一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，該裝置利用超低熱膨脹系數(shù)的墊片，和普通材料制造的探頭固定結(jié)構(gòu)、彈性體，以及目標(biāo)導(dǎo)體片、支架、底座構(gòu)成一個(gè)非常精確穩(wěn)定的位移固定系統(tǒng)。不同于以往的測(cè)量裝置全部采用低溫漂的因瓦（Invar）合金等材料制造的溫度漂移測(cè)量裝置，本裝置的主體可以是廉價(jià)而易于加工制造的常用材料，確定位移的墊片采用低熱膨脹系數(shù)的材料制造。本發(fā)明裝置可以用來(lái)精確測(cè)量高分辨率電渦流位移傳感器的溫度漂移，還可以安裝精密位移制動(dòng)器來(lái)校準(zhǔn)靈敏度和線性度等?；诒景l(fā)明的渦流傳感器溫度系數(shù)測(cè)量裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，而且其所固定的位移溫漂系數(shù)可以低至1nm/℃以下。
【專利說明】一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及位移傳感器的溫度漂移系數(shù)測(cè)量，尤其涉及一種電渦流位移傳感器的溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電渦流傳感器由于能工作在各種惡劣的環(huán)境下，在各種工業(yè)應(yīng)用和科學(xué)研究中得到了廣泛的應(yīng)用。相對(duì)于電容式位移傳感器和光學(xué)位移傳感器對(duì)各種環(huán)境參數(shù)的高敏感性，電渦流傳感器可以工作在很多極端的環(huán)境下，比如高溫，低溫，或者受污染環(huán)境，甚至在一些液體環(huán)境里。然而，在一些高精度的位移測(cè)量中，電渦流位移傳感器相對(duì)較大的溫度漂移系數(shù)限制了其應(yīng)用。為了給出電渦流傳感器的溫度漂移系數(shù)指標(biāo)，或者為了校正其溫度漂移，需要精確測(cè)量其溫度漂移系數(shù)。目前已有的電渦流位移傳感器溫度系數(shù)測(cè)量裝置都昂貴而復(fù)雜。并且已有的溫度系數(shù)測(cè)量裝置沒有考慮支架本身的熱膨脹系數(shù)，因此系統(tǒng)本身有一個(gè)溫度系數(shù)，造成測(cè)量的溫度系數(shù)并不準(zhǔn)確；或者直接采用因瓦合金等低熱膨脹系數(shù)的材料制造探頭和目標(biāo)固定系統(tǒng)，價(jià)格昂貴。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提出了一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，其為簡(jiǎn)單、低價(jià)、有效的測(cè)量裝置，實(shí)現(xiàn)了非常高穩(wěn)定性的位移固定精度，可以精確標(biāo)定電渦流位移傳感器的溫度系數(shù)。
[0004]本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，該裝置包括:底座、螺旋測(cè)微頭、鎖緊螺釘、彈性體、標(biāo)準(zhǔn)墊片、壓緊機(jī)構(gòu)、同軸電纜、電渦流位移傳感器探頭、目標(biāo)導(dǎo)體片以及帶V型槽和圓柱孔的支架；支架固定在底座上，電渦流位移傳感器探頭由壓緊機(jī)構(gòu)固定在`支架的V型槽中，目標(biāo)導(dǎo)體片和電渦流位移傳感器探頭之間的距離由標(biāo)準(zhǔn)墊片確定，軸線與電渦流位移傳感器探頭平行的螺旋測(cè)微頭通過彈性體將目標(biāo)導(dǎo)體片壓緊到標(biāo)準(zhǔn)墊片上，螺旋測(cè)微頭安裝到支架的圓柱孔中，并通過鎖緊螺釘固定，電渦流位移傳感器探頭的探測(cè)信號(hào)通過同軸電纜輸出。
[0005]進(jìn)一步的，電渦流位移傳感器探頭放入支架的V型槽中，彈簧柱塞通過支架側(cè)板的圓柱孔固定在支架上，彈簧柱塞的前端壓到壓塊上，壓塊的圓弧面與傳感器探頭的圓柱面接觸，調(diào)節(jié)壓緊機(jī)構(gòu)的旋鈕螺帽，能夠改變施加在探頭上的力，壓力應(yīng)該適中，能保證很好的固定傳感器探頭，同時(shí)又不能損壞傳感器的外殼，組裝位移固定部分時(shí)，首先選取需要的固定厚度的超低熱膨脹系數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)墊片貼到傳感器探頭的前端面上，然后把目標(biāo)導(dǎo)體片貼到標(biāo)準(zhǔn)墊片上，再加彈性體壓到目標(biāo)導(dǎo)體片上，再緩慢調(diào)節(jié)螺旋測(cè)微頭，使測(cè)桿往探頭方向移動(dòng)，逐漸壓緊彈性體，直到彈性體產(chǎn)生一個(gè)明顯變形為止，彈性體的壓力也應(yīng)該適中。
[0006]進(jìn)一步的，目標(biāo)導(dǎo)體片和電渦流位移傳感器探頭之間的距離由標(biāo)準(zhǔn)墊片確定。
[0007]進(jìn)一步的，標(biāo)準(zhǔn)墊片采用超低熱膨脹系數(shù)的材料制造，能夠采用石英玻璃。
[0008]進(jìn)一步的，彈性體的剛度K1遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于標(biāo)準(zhǔn)墊片的剛度K2 Α?。[0009]進(jìn)一步的，V型槽兩側(cè)關(guān)于垂直面對(duì)稱，V型槽的中線和螺旋測(cè)微探頭的軸線平行。
[0010]進(jìn)一步的，螺旋測(cè)微探頭采用公法螺旋測(cè)微儀探頭，其測(cè)桿在移動(dòng)的時(shí)候不轉(zhuǎn)動(dòng)，因此系統(tǒng)熱脹冷縮時(shí)，測(cè)頭不會(huì)對(duì)彈性體產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)力。
[0011]本發(fā)明的原理在于:
[0012]本發(fā)明的核心思想是:電渦流傳感器探頭放在V型槽中，通過壓緊機(jī)構(gòu)施加向下的壓緊力固定在V型槽中，保證了安裝之后的渦流傳感器的軸線和螺旋測(cè)微儀的測(cè)頭軸線平行，不存在俯仰或者左右偏斜角度。同時(shí)電渦流傳感器的前后位置并沒有固定，在熱脹冷縮中可以自由變形，保證了電渦流傳感器測(cè)量過程中不產(chǎn)生熱變形。標(biāo)準(zhǔn)墊片采用超低熱膨脹系數(shù)的材料制作，其厚度的溫度穩(wěn)定性非常高。通過剛度很低的彈性體提供一個(gè)合適的預(yù)壓力，但彈性體受到熱應(yīng)力時(shí)，會(huì)首先產(chǎn)生變形，補(bǔ)償了其它部件的熱變形，使得目標(biāo)導(dǎo)體片和標(biāo)準(zhǔn)墊片以及電渦流探頭始終保持接觸。這樣，電渦流傳感器探頭和目標(biāo)導(dǎo)體片之間的距離由標(biāo)準(zhǔn)墊片的厚度確定，因此本發(fā)明裝置所確定的電渦流傳感器探頭和目標(biāo)導(dǎo)體距離的溫度穩(wěn)定性非常高。本發(fā)明裝置具有低成本，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于調(diào)節(jié)使用等優(yōu)點(diǎn)，在電渦流傳感器溫度系數(shù)的精密測(cè)量中具有重要應(yīng)用價(jià)值。
[0013]本發(fā)明所述的一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，主要由帶V型槽和圓柱孔的支架、螺旋測(cè)微頭、電渦流位移傳感器探頭、壓緊機(jī)構(gòu)、彈性體、目標(biāo)導(dǎo)體片和標(biāo)準(zhǔn)墊片組成。其中電渦流位移傳感器探頭通過壓緊機(jī)構(gòu)固定在支架的V型槽中；螺旋測(cè)微頭通過鎖緊螺釘固定在支架上的圓孔中。工作時(shí)，將螺旋測(cè)微頭向探頭方向移動(dòng)，通過彈性體，壓緊目標(biāo)導(dǎo)體片，使目標(biāo)導(dǎo)體片和探頭都與標(biāo)準(zhǔn)墊片在一定壓力下保持接觸。當(dāng)螺旋測(cè)微頭向探頭方向移動(dòng)，施加一定的預(yù)緊力在彈性體上時(shí)彈性體受壓縮產(chǎn)生了一定的變形。由于厚度方向的剛度K = EA/L,彈性體的楊氏模量遠(yuǎn)小于標(biāo)準(zhǔn)墊片的楊氏模量E1KE2,再者彈性體的長(zhǎng)度(厚度)要比標(biāo)準(zhǔn)墊片的厚度大很多倍，L1 > L2，而且A1 < A2,因此K1KK2。在系統(tǒng)熱脹冷縮的過程中，由于支架和測(cè)微桿長(zhǎng)度會(huì)發(fā)生變化，造成彈性體上的壓力的改變，長(zhǎng)度也發(fā)生改變，從而保持目標(biāo)導(dǎo)體片和探頭始終與標(biāo)準(zhǔn)墊片在一定壓力下接觸。由于彈性體的剛度很低，因此熱脹冷縮變形引起的內(nèi)應(yīng)力很小，由熱應(yīng)力引起的標(biāo)準(zhǔn)墊片厚度的改變完全可以忽略不計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)墊片采用石英玻璃等超低熱膨脹系數(shù)的材料制造，假設(shè)所用石英玻璃片的厚度為1mm，熱膨脹系數(shù)為0.5ppm/°C，則其厚度變化的溫度系數(shù)為0.5nm/°C。高分辨率的電渦流傳感器的探測(cè)距離通常都在1_以下，因此標(biāo)準(zhǔn)墊片的厚度隨溫度的變化可以忽略不計(jì)。螺旋測(cè)微頭可以直接采用標(biāo)準(zhǔn)的25mm、15mm或者其它的測(cè)微頭，調(diào)節(jié)和安裝都很方便。支架可以采用鋁或者鋼等材料制造，成本低廉，容易加工，保證測(cè)微頭的安裝孔和探頭安裝的V型面的加工的形位公差，即可保證整個(gè)系統(tǒng)工作良好。支架可以直接安裝在隔振平臺(tái)上，也可以安裝在設(shè)計(jì)好的任何底座上。支架可以設(shè)計(jì)成臥式的，也可以設(shè)計(jì)成立式的。電渦流位移傳感器探頭直徑可以在一定范圍里面變化，在必要的時(shí)候，還可以通過改變V型槽的尺寸，來(lái)適應(yīng)相應(yīng)的探頭直徑。整個(gè)位移固定機(jī)構(gòu)在探頭軸線以外的方向都是自由的，可以自由變形，不會(huì)因?yàn)闊嶙冃?，產(chǎn)生熱應(yīng)力。因此，即使存一些細(xì)微的加工或者安裝誤差，系統(tǒng)熱脹冷縮時(shí)仍然可以保證目標(biāo)和探頭的距離保持穩(wěn)定。
[0014]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)為:
[0015](I)、不同于以往的測(cè)量裝置全部采用低溫漂的因瓦合金等材料制造的溫度漂移測(cè)量裝置，本裝置的主體可以是廉價(jià)而易于加工制造的常用材料，確定位移的墊片采用低熱膨脹系數(shù)的材料制造即可。
[0016](2)、本發(fā)明裝置中的傳感器探頭采用V型槽、帶圓弧面的壓塊和彈簧柱塞構(gòu)成的壓緊機(jī)構(gòu)來(lái)固定。傳感器探頭固定可靠，定位精度高。探頭通過壓塊的圓弧面均勻受力，不會(huì)造成變形。通過彈簧柱塞施加到壓緊滑塊上一個(gè)適當(dāng)?shù)膲毫?，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壓力可以通過安裝在彈簧柱塞上的旋鈕螺帽進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)。此外V型槽和圓弧壓塊固定探頭，可以適用于一個(gè)很大范圍尺寸的探頭。小直徑和大直徑的探頭，都可以很好實(shí)現(xiàn)良好、精確的固定。
[0017](3)、位移固定機(jī)構(gòu)采用簡(jiǎn)單的螺旋測(cè)微頭和彈性體壓緊，通過低熱膨脹系數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)墊片確定位移。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠，位移穩(wěn)定性高，拆卸、安裝都很方便，不需要任何工具。本發(fā)明裝置所固定的位移的熱膨脹系數(shù)低于lnm/°C，可以用來(lái)精確測(cè)量高分辨率電渦流位移傳感器的溫度漂移系數(shù)，同時(shí)還可以用來(lái)校準(zhǔn)靈敏度和線性度等。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為本發(fā)明裝置結(jié)構(gòu)示意圖(臥式)；
[0019]圖2為本發(fā)明裝置結(jié)構(gòu)示意圖(立式)；
[0020]圖3為利用本發(fā)明裝置的溫度漂移系數(shù)測(cè)量系統(tǒng)；
[0021]圖4為渦流傳感器探頭固定壓緊機(jī)構(gòu)；
[0022]圖5為壓塊和彈簧柱塞結(jié)構(gòu)；
[0023]圖6為位移固定結(jié)構(gòu)；
[0024]圖7利用本發(fā)明測(cè)得的渦流位移傳感器溫度漂移。
[0025]附圖標(biāo)記說明:1:底座；2:螺旋測(cè)微頭；3:鎖緊螺釘；4:彈性體；5:標(biāo)準(zhǔn)墊片；6:壓緊機(jī)構(gòu)；7:同軸電纜；8:電渦流位移傳感器探頭；9:目標(biāo)導(dǎo)體片；10:螺栓；11:支架；12:溫度傳感器(PtlOO) ；13:溫度控制箱；14:渦流傳感器信號(hào)處理電路；15:溫度傳感器信號(hào)處理電路；16:計(jì)算機(jī)(或DSP) ；17:壓塊；18:彈簧柱塞；19:旋鈕螺帽。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0027]參照?qǐng)D1，一種臥式的電渦流位移傳感器的溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，主要由帶V型槽和圓柱孔的“II”形狀的支架11、螺旋測(cè)微頭2、電渦流位移傳感器探頭8、壓緊機(jī)構(gòu)6、彈性體、目標(biāo)導(dǎo)體片9和標(biāo)準(zhǔn)墊片5組成。支架11為“II”形狀，具有兩個(gè)側(cè)板，一個(gè)底板，兩個(gè)側(cè)板均與底板垂直，V型槽和圓柱孔分別位于“U”形狀的支架11的兩個(gè)側(cè)板上，其中電渦流位移傳感器探頭8通過壓緊機(jī)構(gòu)固定在支架11的V型槽中；螺旋測(cè)微頭2通過鎖緊螺釘3固定在支架11上的圓柱孔中。工作時(shí)，將螺旋測(cè)微頭2向探頭方向移動(dòng)，通過彈性體4，壓緊目標(biāo)導(dǎo)體片9，使目標(biāo)導(dǎo)體片9和探頭都與標(biāo)準(zhǔn)墊片5在一定壓力下保持接觸。
[0028]當(dāng)螺旋測(cè)微頭2向探頭方向移動(dòng)，施加一定的預(yù)緊力在彈性體4上時(shí)，彈性體4受壓縮產(chǎn)生了一定的變形。由于厚度方向的剛度K = EA/L，而彈性體4的楊氏模量E1遠(yuǎn)小于標(biāo)準(zhǔn)墊片5的楊氏模量E2,即E1KE2，再者彈性體4的厚度(長(zhǎng)度)U要比標(biāo)準(zhǔn)墊片5的厚度L2大很多倍，L1 > L2,而且墊片5的面積A1比彈性體4的面積A2要大A1 < A2,因此K1KKy在系統(tǒng)熱脹冷縮的過程中，由于支架11和測(cè)微桿長(zhǎng)度會(huì)發(fā)生變化，造成彈性體4上的壓力的改變，長(zhǎng)度也發(fā)生改變，從而保持目標(biāo)導(dǎo)體片9和探頭始終與標(biāo)準(zhǔn)墊片5在一定壓力下接觸。由于彈性體4的剛度很低，因此熱脹冷縮變形引起的內(nèi)應(yīng)力很小，由熱應(yīng)力引起的標(biāo)準(zhǔn)墊片5厚度的改變完全可以忽略不計(jì)。
[0029]標(biāo)準(zhǔn)墊片5 —般可采用石英玻璃或者微晶玻璃等低熱膨脹系數(shù)、不導(dǎo)電的材料制造成不同標(biāo)準(zhǔn)厚度的墊片。對(duì)于絕大多數(shù)高分辨率的電渦流位移傳感器，其量程大都只有幾十到幾百微米。以最大量程探頭間距為2mm為例，微晶玻璃熱膨脹系數(shù)為0.5ppm/°C，則該2mm間距的熱穩(wěn)定性高達(dá)lnm/°C，對(duì)于比較小的間距，這個(gè)系數(shù)更低，可以滿足高分辨率、高精度的電渦流傳感器的溫度系數(shù)標(biāo)定的要求。
[0030]螺旋測(cè)微頭2可以直接采用標(biāo)準(zhǔn)的25_、15_或者其它的測(cè)微頭，調(diào)節(jié)和安裝都很方便。
[0031]支架11可以采用鋁或者鋼等材料制造，成本低廉，容易加工，保證測(cè)微頭的安裝孔和探頭安裝的V型面的加工的形位公差，即可保證整個(gè)系統(tǒng)工作良好。
[0032]支架11可以直接安裝在隔振平臺(tái)上，也可以安裝在設(shè)計(jì)好的任何底座上。
[0033]支架11可以設(shè)計(jì)成臥式的，也可以設(shè)計(jì)成立式的。
[0034]電渦流位移傳感器的探頭直徑可以在一定范圍里面變化，在必要的時(shí)候，還可以通過改變V型槽的尺寸，來(lái)適應(yīng)更大范圍的探頭直徑。
[0035]彈性體4 一般可采用彈性比較好的橡膠柱來(lái)實(shí)現(xiàn)，也可以采用其它彈性體來(lái)實(shí)現(xiàn)，變形接觸面積大，受力均勻，容易獲得。彈簧雖然也可以，但彈簧受力點(diǎn)分布很小，容易產(chǎn)生其它方向的內(nèi)應(yīng)力，有可能在系統(tǒng)熱脹冷縮時(shí)造成被測(cè)目標(biāo)或者標(biāo)準(zhǔn)墊片產(chǎn)生額外的變形，乃至損壞某個(gè)元件。
[0036]彈性體和標(biāo)準(zhǔn)墊片、被測(cè)目標(biāo)與探頭和螺旋測(cè)微頭的安裝關(guān)系如圖6所示。
[0037]本發(fā)明裝置中，探頭由V型槽、壓塊和螺旋柱塞固定。如圖4所示，安裝時(shí)，先將探頭放在V型槽中，然后將帶圓弧面的壓塊放在探頭上，調(diào)節(jié)旋鈕，使彈簧柱塞往下移動(dòng)，施加到壓塊上一個(gè)力，探頭的位置由V型槽和壓塊確定，壓力大小可以通過彈簧柱塞調(diào)節(jié)。
[0038]整個(gè)位移固定機(jī)構(gòu)在探頭軸線以外的方向都是自由的，可以自由變形，不會(huì)因?yàn)闊嶙冃?，產(chǎn)生熱應(yīng)力。因此，即使存一些細(xì)微的加工或者安裝誤差，系統(tǒng)熱脹冷縮時(shí)仍然可以保證目標(biāo)和探頭的距離保持穩(wěn)定。
[0039]參照?qǐng)D2給出了一種立式的電渦流位移傳感器溫度系數(shù)標(biāo)定裝置，其基本結(jié)構(gòu)與圖1所述的裝置一致，不作詳細(xì)描述。
[0040]電渦流位移傳感器的溫度系數(shù)測(cè)定時(shí)，把支架11安裝到底座I上，固定好電渦流位移傳感器探頭之后，選擇合適的厚度的標(biāo)準(zhǔn)墊片5，然后將目標(biāo)導(dǎo)體片9和墊片一起靠到探頭前端面上，移動(dòng)測(cè)微桿，通過彈性體4壓緊目標(biāo)和墊片。然后把整個(gè)裝置放到帶溫度傳感器的溫度控制箱中，通過溫度控制箱緩慢加熱或者冷卻整個(gè)系統(tǒng)，通過記錄溫度和傳感器的輸出，即可獲得準(zhǔn)確的傳感器溫度漂移曲線，可計(jì)算出該傳感器的溫度系數(shù)等指標(biāo)。整個(gè)系統(tǒng)如圖3所示。
[0041]為了驗(yàn)證本實(shí)驗(yàn)裝置的效果，我們利用本發(fā)明裝置對(duì)美國(guó)KAMAN公司的渦流傳感器SMT9700-15N進(jìn)行了溫度漂移測(cè)試。實(shí)驗(yàn)中，標(biāo)準(zhǔn)墊片的厚度為0.25mm，其熱膨脹引起的位移變化僅為0.25nm/°C左右，完全可以忽略不計(jì)。計(jì)算機(jī)記錄在加熱過程中，傳感器輸出位移和溫度隨著時(shí)間的變化如圖7(a)所示，由此數(shù)據(jù)即可繪制出傳感器位移輸出與溫度的關(guān)系曲線如圖7(b)所示。由該圖可知該傳感器的溫度漂移基本上是線性的，與溫度變化成正比，測(cè)得的漂移系數(shù)大約為130nm/°C?？梢姡帽景l(fā)明裝置，可以簡(jiǎn)單、精確地測(cè)量出電渦流位移傳感器的溫度漂移曲線。
[0042]本發(fā)明未詳細(xì)公開的部分屬于本領(lǐng)域的公知技術(shù)。
[0043]盡管上面對(duì)本發(fā)明說明性的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了描述，以便于本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員理解本發(fā)明，但應(yīng)該清楚，本發(fā)明不限于【具體實(shí)施方式】的范圍，對(duì)本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)講，只要各種變化在所附的權(quán)利要求限定和確定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，這些變化是顯而易見的，一切利用本發(fā)明構(gòu)思的發(fā)明創(chuàng)造均在保護(hù)之列。
【權(quán)利要求】
1.一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，其特征在于:該裝置包括:底座(I)、螺旋測(cè)微頭(2)、鎖緊螺釘(3)、彈性體(4)、標(biāo)準(zhǔn)墊片(5)、壓緊機(jī)構(gòu)(6)、同軸電纜(7)、電渦流位移傳感器探頭(8)、目標(biāo)導(dǎo)體片(9)、固定螺釘(10)和帶V型槽和圓柱孔的支架(11);支架(11)固定在底座(I)上，電渦流位移傳感器探頭(8)由壓緊機(jī)構(gòu)(6)固定在支架(11)的V型槽中，目標(biāo)導(dǎo)體片(9)和電渦流位移傳感器探頭(8)之間的距離由標(biāo)準(zhǔn)墊片(5)確定，軸線與電渦流位移傳感器探頭(8)平行的螺旋測(cè)微頭(2)通過彈性體(4)將目標(biāo)導(dǎo)體片(9)壓緊到標(biāo)準(zhǔn)墊片(5)上，螺旋測(cè)微頭(2)安裝到支架(11)的圓柱孔中，并通過鎖緊螺釘(3)固定，電渦流位移傳感器探頭(8)的探測(cè)信號(hào)通過同軸電纜(7)輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，其特征在于:電渦流位移傳感器探頭(8)放入支架(11)的V型槽中，彈簧柱塞通過支架側(cè)板的圓柱孔固定在支架上，彈簧柱塞的前端壓到壓塊上，壓塊的圓弧面與傳感器探頭的圓柱面接觸，調(diào)節(jié)壓緊機(jī)構(gòu)的旋鈕螺帽，能夠改變施加在探頭上的力，壓力應(yīng)該適中，能保證很好的固定傳感器探頭，同時(shí)又不能損壞傳感器的外殼，組裝位移固定部分時(shí)，首先選取需要的固定厚度的超低熱膨脹系數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)墊片(5)貼到傳感器探頭的前端面上，然后把目標(biāo)導(dǎo)體片(9)貼到標(biāo)準(zhǔn)墊片(5)上，再加彈性體壓到目標(biāo)導(dǎo)體片(9)上，再緩慢調(diào)節(jié)螺旋測(cè)微頭(2)，使測(cè)桿往探頭方向移動(dòng)，逐漸壓緊彈性體，直到彈性體產(chǎn)生一個(gè)明顯變形為止，彈性體的壓力也應(yīng)該適中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，其特征在于目標(biāo)導(dǎo)體片(9)和電渦流位移傳感器探頭(8)之間的距離由標(biāo)準(zhǔn)墊片(5)確定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，其特征在于標(biāo)準(zhǔn)墊片(5)采用超低熱膨脹系數(shù)的材料制造，能夠采用石英玻璃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，其特征在于彈性體(4)的剛度K1遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于標(biāo)準(zhǔn)墊片(5)的剛度K2
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，其特征在于V型槽兩側(cè)關(guān)于垂直面對(duì)稱，V型槽的中線和螺旋測(cè)微探頭(2)的軸線平行。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種電渦流位移傳感器溫度漂移系數(shù)的測(cè)量裝置，其特征在于螺旋測(cè)微探頭(2)采用公法千分尺的螺旋測(cè)微頭，其測(cè)桿在移動(dòng)的時(shí)候不轉(zhuǎn)動(dòng)，因此系統(tǒng)熱脹冷縮時(shí)，測(cè)頭對(duì)彈性體(4)不產(chǎn)生扭轉(zhuǎn)力。
【文檔編號(hào)】G01B7/02GK103644835SQ201310740208
【公開日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2013年12月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月29日
【發(fā)明者】馮志華, 王洪波, 劉永斌, 李偉, 張連生 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)