一種在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置，包括光源、探測(cè)器、透射測(cè)量光路組件、反射測(cè)量光路組件和樣品架組件：樣品承載于樣品架組件上，樣品架組件可帶動(dòng)樣品旋轉(zhuǎn)；在裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，透射測(cè)量光路組件放置于光源與探測(cè)器之間；在裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，反射測(cè)量光路組件放置于光源與探測(cè)器之間,最終完成兩種方式的測(cè)量；本發(fā)明的測(cè)光裝置可實(shí)現(xiàn)在透射測(cè)量狀態(tài)和反射測(cè)量狀態(tài)之間的快速切換，方便使用；光源、探測(cè)器及樣品架組件，在兩種測(cè)量模式下共用，僅替換盡可能少的光路元件，并盡量保持其它部件的方位不變，使產(chǎn)品具有簡(jiǎn)單可靠，成本低廉的特點(diǎn)。
【專利說明】一種在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置，屬于光電【技術(shù)領(lǐng)域】，該裝置主要用于光譜儀、透射率及反射率測(cè)量?jī)x等需要配備發(fā)光源及測(cè)量樣品透射或反射光強(qiáng)度的場(chǎng)合。
【背景技術(shù)】
[0002]目前光譜儀產(chǎn)品已被廣泛的應(yīng)用于民用及科研的各個(gè)領(lǐng)域，成為辨識(shí)物質(zhì)成分，物質(zhì)結(jié)構(gòu)分析，內(nèi)部物質(zhì)檢測(cè)的有效手段。而光譜儀系統(tǒng)的常用檢測(cè)原理是令準(zhǔn)直探測(cè)光束入射物質(zhì)表面接受物質(zhì)透射光和反射光以檢測(cè)光強(qiáng)度。這種方法在光源功率受到限制或者樣品透過率、反射率較差的情況下無(wú)法得到足夠大的輸出光強(qiáng)度，同時(shí)在某些應(yīng)用中需要對(duì)樣品進(jìn)行逐點(diǎn)的檢測(cè)以反映細(xì)微結(jié)構(gòu)信息，而準(zhǔn)直光束入射通常形成的能量密度較低、光斑較大而無(wú)法適應(yīng)上述兩種情況。為此，某些光譜儀使用了匯聚光束取代準(zhǔn)直光進(jìn)行探測(cè)。在匯聚探測(cè)情況下，自光源而來(lái)的準(zhǔn)直光并不是直接入射樣品，而是被光學(xué)元件匯聚并令匯聚焦點(diǎn)與樣品重合，再以對(duì)稱的光學(xué)系統(tǒng)接收自樣品而來(lái)的透射或反射光，準(zhǔn)直而形成輸出光束，輸出到后續(xù)光探測(cè)器。
[0003]通常具有匯聚光束探測(cè)功能的光譜儀僅具有透射探測(cè)和反射探測(cè)功能之一，但單一的探測(cè)光路形式限制了其應(yīng)用范圍。為了提高產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力和適應(yīng)性，多功能的匯聚光束探測(cè)光譜儀可同時(shí)具有透射測(cè)量和反射測(cè)量?jī)煞N功能。由于光路結(jié)構(gòu)的限制，結(jié)構(gòu)固定而具有兩種探測(cè)功能的光譜儀需要配備兩個(gè)功能完全一樣的探測(cè)器，分別用于透射和反射光的測(cè)量。這種配置方式不適合探測(cè)器及光源成本較高的光譜儀系統(tǒng)當(dāng)中，典型的如太赫茲光譜儀。因此為降低成本，在太赫茲光譜儀等同類產(chǎn)品中通常僅配備一組光源和一組探測(cè)器，在透射和反射測(cè)量中共用，并在執(zhí)行不同測(cè)量任務(wù)時(shí)在兩種模式間進(jìn)行切換。而目前切換過程除了更換相應(yīng)的光學(xué)零件以外，還要求光路結(jié)構(gòu)改變以后對(duì)各部件位置進(jìn)行諸多調(diào)整，切換困難，使用不便，難以適應(yīng)實(shí)際應(yīng)用需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置，能夠使兼具透射光測(cè)量和反射光測(cè)量功能的系統(tǒng)在兩種探測(cè)模式下便捷切換。
[0005]本發(fā)明的一種在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置，包括光源、探測(cè)器、透射測(cè)量光路組件、反射測(cè)量光路組件和樣品架組件:樣品承載于樣品架組件上，樣品架組件可帶動(dòng)樣品旋轉(zhuǎn)；在裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，所述透射測(cè)量光路組件放置于光源與探測(cè)器之間，樣品架組件帶動(dòng)樣品旋轉(zhuǎn)，使得透射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后垂直投射到樣品入射面上，探測(cè)光線從樣品透射后，透射測(cè)量光路組件將探測(cè)光線準(zhǔn)直后輸出至所述探測(cè)器；在裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，所述反射測(cè)量光路組件放置于光源與探測(cè)器之間，樣品架組件旋轉(zhuǎn)，使得反射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后以角度e投射到樣品入射面上，探測(cè)光線從樣品入射面反射后，反射測(cè)量光路組件將探測(cè)光線準(zhǔn)直后輸出至所述探測(cè)器，其中，所述角度0與探測(cè)光線在樣品入射面的反射率成反比。
[0006]進(jìn)一步的，所述透射測(cè)量光路組件包括兩個(gè)平面反射鏡和兩個(gè)離軸拋物面鏡，其中，在所述測(cè)光裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，第一平面反射鏡將從所述光源接收的探測(cè)光線送至第一離軸拋物面鏡，第一離軸拋物面鏡對(duì)探測(cè)光線進(jìn)行匯聚并將探測(cè)光線垂直反射至樣品入射面，第二離軸拋物面鏡接收從樣品中透射的探測(cè)光線并將其準(zhǔn)直后反射至第二平面反射鏡，第二平面反射鏡最終將探測(cè)光線送至所述探測(cè)器；所述反射測(cè)量光路組件包括兩個(gè)離軸拋物面鏡和四個(gè)平面反射鏡，其中，所述測(cè)光裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，第三平面反射鏡將從光源接收的探測(cè)光線反射至第三離軸拋物面鏡，第三離軸拋物面鏡對(duì)探測(cè)光線進(jìn)行匯聚后將其反射至第四平面反射鏡，第四平面反射鏡再將探測(cè)光線以角度e反射至樣品入射面，第五平面反射鏡接收從樣品入射面反射的探測(cè)光線并將其反射至第四離軸拋物面鏡，第四離軸拋物面鏡將探測(cè)光線準(zhǔn)直并反射至第六平面反射鏡，第六平面反射鏡最終將探測(cè)光線反射至所述探測(cè)器。
[0007]較佳的，所述樣品架組件包括均呈方形片狀的樣品架底座和樣品固定裝置，所述樣品固定裝置在四邊均開有安裝孔，相對(duì)的兩個(gè)安裝孔的中心連線互相垂直；樣品固定在所述樣品固定裝置的一側(cè)表面，樣品的入射面與該側(cè)表面垂直；所述樣品架底座上固定連接兩個(gè)銷釘，該兩個(gè)銷釘與所述樣品固定裝置上的任意兩個(gè)相對(duì)的安裝孔互相配合，使得樣品架底座與所述樣品架固定裝置有兩種連接方式:在所述測(cè)光裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置上的其中兩個(gè)相對(duì)的安裝孔與所述樣品架底座上的兩個(gè)銷釘連接，使得透射測(cè)量光路組件將從所述光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后垂直投射到樣品入射面上；在測(cè)光裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置上的另兩個(gè)相對(duì)的安裝孔與所述樣品架底座上的兩個(gè)銷釘連接，使得反射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后以角度e投射到樣品入射面上。
[0008]較佳的，所述樣品架組件包括樣品架底座和樣品固定裝置，所述樣品架固定裝置的一側(cè)表面上加工有條形凸起，條形凸起上端固定所述樣品，所述樣品架底座上開有均與所述條形凸起配合的且互相垂直的兩個(gè)條形孔，使得樣品架底座與所述樣品架固定裝置有兩種連接方式:在所述測(cè)光裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置上的條形凸起穿過所述樣品架底座上的其中一個(gè)條形孔，使得透射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后垂直投射到樣品入射面上；在所述測(cè)光裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置上的條形凸起穿過所述樣品架底座上的另一個(gè)條形孔，使得反射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后以角度0投射到樣品入射面上。
[0009]本發(fā)明具有如下有益效果:
[0010]本發(fā)明的測(cè)光裝置可實(shí)現(xiàn)在透射測(cè)量狀態(tài)和反射測(cè)量狀態(tài)之間的快速切換，方便使用。光源、探測(cè)器及樣品架組件，在兩種測(cè)量模式下共用，僅替換盡可能少的光路元件，并盡量保持其它部件的方位不變，使產(chǎn)品具有簡(jiǎn)單可靠，成本低廉的特點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明的在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置在透射測(cè)量狀態(tài)下的光路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本發(fā)明的在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置在反射測(cè)量狀態(tài)下的光路結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3是本發(fā)明的在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置的透射測(cè)量光路組件與反射測(cè)量光路組件的結(jié)構(gòu)之間的相對(duì)位置關(guān)系示意圖；
[0014]圖4是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中樣品架組件包括的樣品架底座和樣品固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖5是本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中樣品架組件包括的樣品架底座和樣品固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]以下參照說明書附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0017]本發(fā)明的測(cè)光裝置包括光源、探測(cè)器、透射測(cè)量光路組件1001、反射測(cè)量光路組件2001和樣品架組件1002，其中，樣品架組件1002固定安裝在測(cè)光裝置內(nèi)部的光源與探測(cè)器之間的合適位置上，用于承載樣品1007。
[0018]如圖1所示，為本發(fā)明的測(cè)光裝置在透射測(cè)量狀態(tài)下的光路結(jié)構(gòu)示意圖，選擇透射測(cè)量光路組件1001設(shè)置在光源與探測(cè)器之間，用于對(duì)樣品1007采用透射方式進(jìn)行測(cè)量，其中，透射測(cè)量光路組件1001包括兩個(gè)平面反射鏡和兩個(gè)離軸拋物面鏡，從光源水平入射的探測(cè)光1003，被平面反射鏡1004反射后豎直向下入射至離軸拋物面鏡1005，然后向右水平傳播形成匯聚光1006，匯聚焦點(diǎn)位于樣品1007處；為了獲得較好的探測(cè)結(jié)果，需要調(diào)整透射測(cè)量光路組件1001與樣品1007之間的相對(duì)位置，使得匯聚光1006的主光軸垂直于樣品1007的入射面，由于透射測(cè)量光路組件1001較樣品架組件1002更龐大更復(fù)雜，因此，調(diào)整樣品架組件1002更為便捷。本實(shí)施例中，由于探測(cè)光線為水平入射，因此，應(yīng)調(diào)整樣品架組件1002，使得樣品1007的入射面為豎直放置。透過樣品1007的探測(cè)光形成向右的發(fā)散光束1008入射至離軸拋物面鏡1009，被準(zhǔn)直后豎直向上反射，然后入射平面反射鏡1010，沿水平向右反射形成輸出光線1011，最終輸入探測(cè)器。
[0019]如圖2所示，為本發(fā)明的測(cè)光裝置在反射測(cè)量狀態(tài)下的光路結(jié)構(gòu)示意圖，反射測(cè)量光路組件2001設(shè)置在光源與探測(cè)器之間，用于對(duì)樣品1007采用反射方式進(jìn)行測(cè)量，其中，反射測(cè)量光路組件2001包括兩個(gè)離軸拋物面鏡和四個(gè)平面反射鏡:從光源發(fā)出的水平入射的探測(cè)光2003，被平面反射鏡2004反射后豎直向下入射離軸拋物面鏡2005，經(jīng)向右反射形成匯聚光2006，然后入射平面反射鏡2007，被向右斜下反射，使得探測(cè)光線的主光軸以一定角度9入射到樣品1007的入射面上，且焦點(diǎn)匯聚在樣品1007處；需要說明的是，為了滿足探測(cè)光線與樣品1007入射面之間的角度關(guān)系，仍需調(diào)整樣品架組件1002，本實(shí)施例中，基于反射測(cè)量光路組件2001的對(duì)稱性，此時(shí)需要調(diào)整樣品架組件1002使得樣品1007入射面為水平放置。透射測(cè)量方式時(shí)樣品1007為豎直放置，在兩種測(cè)量方式切換中，樣品1007只需要旋轉(zhuǎn)90°即可，因此，本發(fā)明中為了操作方便快捷，將樣品架組件1002設(shè)計(jì)成可帶動(dòng)樣品1007旋轉(zhuǎn)的形式，其旋轉(zhuǎn)角度可任意，也可只旋轉(zhuǎn)90°。被樣品1007反射的發(fā)散光2010向右斜上入射平面反射鏡2011，被反射后水平向右入射離軸拋物面鏡2012，被準(zhǔn)直后豎直向上反射，形成準(zhǔn)直光2013，然后入射平面反射鏡2014，再被沿水平向向右反射形成輸出光線2015輸出至探測(cè)器。
[0020]需要說明的是，本發(fā)明中的透射測(cè)量光路組件1001和反射測(cè)量光路組件中用來(lái)實(shí)現(xiàn)光線反射和匯聚功能的平面反射鏡與離軸拋物面鏡的組合也可由平面反射鏡與透鏡組合來(lái)代替，其具體組合方式屬于本領(lǐng)域的基本技術(shù)，在此不再舉例贅述。
[0021]如圖3所示，本發(fā)明的測(cè)光裝置的透射測(cè)量光路組件1001與反射測(cè)量光路組件2001的結(jié)構(gòu)之間的相對(duì)位置關(guān)系示意圖，在兩種測(cè)量狀態(tài)下透射測(cè)量光路組件1001和反射測(cè)量光路組件2001共用光源和探測(cè)器，即兩種測(cè)量方式的輸入光3003和輸出光3004 —致，匯聚焦點(diǎn)3005位置一致，因此可實(shí)現(xiàn)在透射測(cè)量方式和反射測(cè)量方式間的便捷轉(zhuǎn)換。
[0022]本發(fā)明還提供了兩種樣品架組件結(jié)構(gòu)，如圖4所示，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的樣品架組件，包括均呈方形片狀的樣品架底座4001和樣品固定裝置4002，樣品固定裝置4002在四邊均開有安裝孔，相對(duì)的兩個(gè)安裝孔的中心連線互相垂直；樣品1007固定在樣品固定裝置4002的一側(cè)表面，樣品1007的入射面與該側(cè)表面垂直；樣品架底座4001上固定連接兩個(gè)銷釘4003和4004，該兩個(gè)銷釘與樣品固定裝置4002上的任意兩個(gè)相對(duì)的安裝孔互相配合，使得樣品架底座4001與樣品架固定裝置4002有兩種連接方式:在測(cè)光裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置4002上的其中兩個(gè)相對(duì)的安裝孔4005和4006與樣品架底座4001上的兩個(gè)銷釘連接，使得樣品1007沿豎直方向放置，即透射測(cè)量光路組件1001將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后垂直投射到樣品1007入射面上；在測(cè)光裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置4002上的另兩個(gè)相對(duì)的安裝孔4007和4008與樣品架底座4001上的兩個(gè)銷釘連接，使得樣品1007沿水平方向放置，即反射測(cè)量光路組件2001將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后以一定角度0投射到樣品1007入射面上。
[0023]如圖5所示，為本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中的樣品架組件:包括樣品架底座5001和樣品固定裝置5002，樣品架固定裝置5002的一側(cè)表面上加工有條形凸起5005，條形凸起5005上端固定樣品1007，樣品架底座5001上開有均能與條形凸起5005配合的且互相垂直的兩個(gè)條形孔5003和5004，使得樣品架底座5001與樣品架固定裝置5002有兩種連接方式:在測(cè)光裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置5002上的條形凸起5005穿過樣品架底座5001上的其中一個(gè)條形孔5004，使得樣品1007沿豎直方向放置，即透射測(cè)量光路組件1001將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后垂直投射到樣品1007入射面上；在測(cè)光裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置5002上的條形凸起5005穿過樣品架底座5001上的另一個(gè)條形孔5003，使得樣品1007沿水平方向放置，即反射測(cè)量光路組件2001將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后以一定角度0投射到樣品1007的入射面上。
[0024]需要說明的是，角度0的選擇與探測(cè)光線在樣品1007上的反射率有關(guān)，要求的反射率越大，則角度0越小。
[0025]在上述實(shí)施例中，為方便各個(gè)部件之間的相對(duì)位置描述，使光源的入射光和輸出到探測(cè)器的輸出光沿水平放置，但是在實(shí)際應(yīng)用中，可使測(cè)光裝置整體旋轉(zhuǎn)并保持各個(gè)部件的相對(duì)位置保持不變。另一方面，實(shí)例中入射光3003和輸出光3004沿一條直線放置，但實(shí)際應(yīng)用中可使其中一個(gè)相對(duì)于另一個(gè)位置有一定平移。
[0026]綜上，以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置，包括光源、探測(cè)器、透射測(cè)量光路組件、反射測(cè)量光路組件和樣品架組件，其特征在于:樣品承載于樣品架組件上，樣品架組件可帶動(dòng)樣品旋轉(zhuǎn)；在裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，所述透射測(cè)量光路組件放置于光源與探測(cè)器之間，樣品架組件帶動(dòng)樣品旋轉(zhuǎn)，使得透射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后垂直投射到樣品入射面上，探測(cè)光線從樣品透射后，透射測(cè)量光路組件將探測(cè)光線準(zhǔn)直后輸出至所述探測(cè)器；在裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，所述反射測(cè)量光路組件放置于光源與探測(cè)器之間，樣品架組件旋轉(zhuǎn)，使得反射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后以角度0投射到樣品入射面上，探測(cè)光線從樣品入射面反射后，反射測(cè)量光路組件將探測(cè)光線準(zhǔn)直后輸出至所述探測(cè)器，其中，所述角度0與探測(cè)光線在樣品入射面的反射率成反比。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置，其特征在于，所述透射測(cè)量光路組件包括兩個(gè)平面反射鏡和兩個(gè)離軸拋物面鏡，其中，在所述測(cè)光裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，第一平面反射鏡將從所述光源接收的探測(cè)光線送至第一離軸拋物面鏡，第一離軸拋物面鏡對(duì)探測(cè)光線進(jìn)行匯聚并將探測(cè)光線垂直反射至樣品入射面，第二離軸拋物面鏡接收從樣品中透射的探測(cè)光線并將其準(zhǔn)直后反射至第二平面反射鏡，第二平面反射鏡最終將探測(cè)光線送至所述探測(cè)器；所述反射測(cè)量光路組件包括兩個(gè)離軸拋物面鏡和四個(gè)平面反射鏡，其中，所述測(cè)光裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，第三平面反射鏡將從光源接收的探測(cè)光線反射至第三離軸拋物面鏡，第三離軸拋物面鏡對(duì)探測(cè)光線進(jìn)行匯聚后將其反射至第四平面反射鏡，第四平面反射鏡再將探測(cè)光線以角度e反射至樣品入射面，第五平面反射鏡接收從樣品入射面反射的探測(cè)光線并將其反射至第四離軸拋物面鏡，第四離軸拋物面鏡將探測(cè)光線準(zhǔn)直并反射至第六平面反射鏡，第六平面反射鏡最終將探測(cè)光線反射至所述探測(cè)器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)光裝置，其特征在于，所述樣品架組件包括均呈方形片狀的樣品架底座和樣品固定裝置，所述樣品固定裝置在四邊均開有安裝孔，相對(duì)的兩個(gè)安裝孔的中心連線互相垂直；樣品固定在所述樣品固定裝置的一側(cè)表面，樣品的入射面與該側(cè)表面垂直；所述樣品架底座上固定連接兩個(gè)銷釘，該兩個(gè)銷釘與所述樣品固定裝置上的任意兩個(gè)相對(duì)的安裝孔互相配合，使得樣品架底座與所述樣品架固定裝置有兩種連接方式:在所述測(cè)光裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置上的其中兩個(gè)相對(duì)的安裝孔與所述樣品架底座上的兩個(gè)銷釘連接，使得透射測(cè)量光路組件將從所述光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后垂直投射到樣品入射面上；在測(cè)光裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置上的另兩個(gè)相對(duì)的安裝孔與所述樣品架底座上的兩個(gè)銷釘連接，使得反射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后以角度e投射到樣品入射面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的在透射和反射測(cè)量間切換的測(cè)裝置，其特征在于，所述樣品架組件包括樣品架底座和樣品固定裝置，所述樣品架固定裝置的一側(cè)表面上加工有條形凸起，條形凸起上端固定所述樣品，所述樣品架底座上開有均與所述條形凸起配合的且互相垂直的兩個(gè)條形孔，使得樣品架底座與所述樣品架固定裝置有兩種連接方式:在所述測(cè)光裝置采用透射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置上的條形凸起穿過所述樣品架底座上的其中一個(gè)條形孔，使得透射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后垂直投射到樣品入射面上；在所述測(cè)光裝置采用反射測(cè)量方式時(shí)，樣品架固定裝置上的條形凸起穿過所述樣品架底座上的另一個(gè)條形孔，使得反射測(cè)量光路組件將從光源發(fā)出的探測(cè)光線聚焦后以角度0投射到樣品入射面上。
【文檔編號(hào)】G01N21/01GK103698275SQ201310681987
【公開日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年12月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月12日
【發(fā)明者】劉明, 趙躍進(jìn), 董立泉, 劉小華, 武紅, 盧鐵林, 張建成 申請(qǐng)人:北京理工大學(xué)