專利名稱：一種探針卡維護(hù)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備維護(hù)領(lǐng)域，尤其涉及一種探針卡維護(hù)方法。
背景技術(shù)：
使用探針卡對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行檢測(cè)是當(dāng)今半導(dǎo)體器件測(cè)試中的一種十分常用的方法。使用探針卡進(jìn)行測(cè)試是為了規(guī)格一致性而在硅片集成電路上進(jìn)行的電學(xué)參數(shù)測(cè)試，通過(guò)使用探針卡對(duì)硅片的測(cè)試能夠發(fā)現(xiàn)被測(cè)硅片存在的缺陷，避免將有缺陷的硅片投入市場(chǎng)，同時(shí)在發(fā)現(xiàn)了存在缺陷的硅片后能夠?qū)?shù)據(jù)反饋給半導(dǎo)體工程師，從而發(fā)現(xiàn)并糾正制造過(guò)程中的問(wèn)題。娃片在生廣完成后被安裝在印刷電路板(PCB)上，當(dāng)印刷電路板生廣完畢后，這時(shí)如果在對(duì)PCB進(jìn)行的檢測(cè)中發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，需要極其復(fù)雜的診斷過(guò)程和人工分析才能找到問(wèn)題的原因。如果是集成電路的問(wèn)題，這就需要將存在問(wèn)題的集成電路拆卸下來(lái)，將替換的集成電路安裝上去，由于當(dāng)下大規(guī)模集成電路的封裝一般都是球柵陣列封裝(Ball Grid ArrayPackage，BGA)，使得手工拆卸幾乎不可能，因此在拆卸過(guò)程中需要使用專業(yè)的工具。由此可見(jiàn)，如果在印刷電路板的生產(chǎn)完畢后才測(cè)試出問(wèn)題，對(duì)于生產(chǎn)的影響是大大高于單片階段的發(fā)現(xiàn)問(wèn)題的，對(duì)于復(fù)雜的設(shè)備，如果在整機(jī)階段才發(fā)現(xiàn)集成電路的問(wèn)題，其對(duì)于生產(chǎn)的影響是更為巨大的。所以，對(duì)于集成電路生產(chǎn)時(shí)的測(cè)試是很有意義的。而對(duì)于集成電路生產(chǎn)時(shí)的測(cè)試通常采用探針卡對(duì)芯片進(jìn)行測(cè)試，探針卡是自動(dòng)測(cè)試儀與待測(cè)器件之間的橋梁，通過(guò)探針卡實(shí)現(xiàn)測(cè)試儀和被測(cè)芯片的連接。因此在測(cè)試過(guò)程中探針卡的狀態(tài)是十分重要的，使用一個(gè)具有瑕疵的探針卡來(lái)進(jìn)行測(cè)試無(wú)疑會(huì)使得測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確，從而失去了測(cè)試的意義。探針卡在反復(fù)的測(cè)試使用過(guò)程中是極易出現(xiàn)故障的，通常會(huì)出現(xiàn)探針的氧化、觸點(diǎn)壓力的不準(zhǔn)確、探針臺(tái)的平整度不佳、探針磨損和污染等等，這些探針卡的故障都會(huì)對(duì)測(cè)試的結(jié)果造成負(fù)面的影響。因此，經(jīng)常對(duì)探針卡進(jìn)行維護(hù)是十分必要的，現(xiàn)有的規(guī)定是按照一個(gè)固定時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行探針卡狀態(tài)的維護(hù)，一般規(guī)定為30天至60天。這就使得探針卡在維護(hù)時(shí)存在過(guò)度維護(hù)和維護(hù)不足的問(wèn)題，因?yàn)?，在這段時(shí)間中探針卡的使用是不規(guī)律的，會(huì)出現(xiàn)一些探針卡使用得較少而相比之下另一些探針卡則使用得較為頻繁的情況，甚至出現(xiàn)有些探針卡使用次數(shù)超標(biāo)的情況發(fā)生，以至于對(duì)漏電造成不利影響，導(dǎo)致之后的測(cè)試結(jié)果與實(shí)際不符。中國(guó)專利(公開(kāi)號(hào):CN 101441625B)公開(kāi)了一種利用探針卡測(cè)試儀實(shí)現(xiàn)的探針卡使用量的計(jì)算方法，具體為:所述測(cè)試儀取得所述測(cè)試條件信息以及所使用的探針卡型號(hào)的信息，在所述測(cè)試條件數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢到所述探針卡單詞使用量的信息，然后通過(guò)所述探針卡型號(hào)的信息關(guān)聯(lián)到所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫(kù)，得到累計(jì)使用量信息，并進(jìn)行存儲(chǔ)，所述探針卡用量數(shù)據(jù)庫(kù)中相對(duì)應(yīng)的累計(jì)使用量信息大于或等于探針卡使用壽命信息時(shí)，所述探針卡測(cè)試儀發(fā)出更換探針卡的提示。
該發(fā)明方法雖然克服了以時(shí)間為標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行探針卡維護(hù)中的探針卡使用不均衡的問(wèn)題，但是其發(fā)明方法的過(guò)程需要進(jìn)行查表，因此過(guò)于繁瑣。中國(guó)專利(公開(kāi)號(hào):CN 1979197A)公開(kāi)了一種增加芯片同測(cè)數(shù)目的方法，具體為:多臺(tái)測(cè)試儀共同使用一臺(tái)探針臺(tái)，共同使用一個(gè)探針卡或硬件接口對(duì)被測(cè)體進(jìn)行測(cè)試，合并多臺(tái)獨(dú)立測(cè)試儀的測(cè)試功能。該發(fā)明能夠提高探針卡測(cè)試的效率，并不能解決探針卡使用不均衡的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種探針卡維護(hù)方法。本發(fā)明解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為:一種探針卡維護(hù)方法，應(yīng)用于探針卡檢測(cè)系統(tǒng)中，其中，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)包括第一數(shù)據(jù)庫(kù)和第二數(shù)據(jù)庫(kù)，所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)有原始扎針次數(shù)，所述第二數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)有原始累計(jì)扎針次數(shù)，所述探針卡維護(hù)方法包括以下步驟:
根據(jù)工藝需求，設(shè)定探針卡的報(bào)廢扎針次數(shù)限值和維護(hù)扎針次數(shù)限值，并設(shè)定該探針卡工作的時(shí)間tztn-h，η為對(duì)該探針卡進(jìn)行數(shù)據(jù)采集的次數(shù)，η為正整數(shù)；對(duì)所述探針卡進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，以獲取所述探針卡在時(shí)間段內(nèi)所述探針卡的實(shí)際扎針次數(shù)；將所述實(shí)際扎針次數(shù)與所述原始累計(jì)扎針次數(shù)相加得到當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)，并將該當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值與所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值進(jìn)行比對(duì)；若所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值大于或等于所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值，則所述探針卡報(bào)廢，更換新探針卡，同時(shí)將所述原始扎針次數(shù)的數(shù)值和所述原始累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)置為零，并對(duì)所述新探針卡進(jìn)行第一次的數(shù)據(jù)采集；若所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值小于所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值，則將所述原始累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值更新為所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值，并繼續(xù)將所述實(shí)際扎針次數(shù)與所述原始扎針次數(shù)進(jìn)行相加得到當(dāng)前扎針次數(shù)，并將該當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值與所述維護(hù)扎針次數(shù)限值進(jìn)行比對(duì)；若所述當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值大于或等于所述維護(hù)扎針次數(shù)限值，則對(duì)所述探針卡進(jìn)行維護(hù)，將所述原始扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)置為零，并繼續(xù)對(duì)所述探針卡進(jìn)行下一次的數(shù)據(jù)米集；若所述當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值小于所述維護(hù)扎針次數(shù)限值，則將所述原始扎針次數(shù)的數(shù)值更新為所述當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值，并繼續(xù)對(duì)所述探針卡進(jìn)行下一次的數(shù)據(jù)采集。所述的探針卡維護(hù)方法，其中，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)還包括設(shè)定存儲(chǔ)端，通過(guò)所述設(shè)定存儲(chǔ)端設(shè)定所述探針卡的所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值和所述維護(hù)扎針次數(shù)限值。所述的探針卡維護(hù)方法，其中，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)還包括信息采集端，通過(guò)所述信息采集端對(duì)所述探針卡進(jìn)行所述數(shù)據(jù)采集。所述的探針卡維護(hù)方法，其中，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)中還包括信息輸出端，所述信息輸出端對(duì)所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值、維護(hù)扎針次數(shù)限值、所述當(dāng)前實(shí)際扎針次數(shù)和所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)進(jìn)行輸出。所述的探針卡維護(hù)方法，其中，采用顯示器作為所述信息輸出端。
所述的探針卡維護(hù)方法，其中，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)還包括中央處理端，通過(guò)所述中央處理端對(duì)所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值與所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值進(jìn)行比對(duì)。所述的探針卡維護(hù)方法，其中，通過(guò)所述中央處理端對(duì)所述當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值與所述維護(hù)扎針次數(shù)限值進(jìn)行比對(duì)。所述的探針卡維護(hù)方法，其中，所述維護(hù)扎針次數(shù)限值為200000次。所述的探針卡維護(hù)方法，其中，所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值為10000000次。上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果:本發(fā)明方法通過(guò)對(duì)探針卡使用次數(shù)相關(guān)參數(shù)的設(shè)定以及設(shè)置相應(yīng)的比較判斷方法，從而使得探針卡的維護(hù)不完全依賴于時(shí)間，而是可通過(guò)具體的探針卡使用情況，即探針卡扎針次數(shù)的多少來(lái)確定是否需要進(jìn)行維護(hù)操作和相應(yīng)的報(bào)廢操作，在很大程度上解決了傳統(tǒng)方法的探針卡維護(hù)中探針卡使用不均衡的問(wèn)題，有效避免了過(guò)多維護(hù)而造成的浪費(fèi)和過(guò)少維護(hù)而造成的探針卡測(cè)試不準(zhǔn)確的情況。


參考所附附圖，以更加充分的描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，所附附圖僅用于說(shuō)明和闡述，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明范圍的限制。圖1是本發(fā)明探針卡維護(hù)方法的步驟示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明是一種探針卡維護(hù)方法，更具體的說(shuō)是一種對(duì)探針卡自動(dòng)化維護(hù)的方法。本發(fā)明方法是基于探針卡測(cè)試系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的，該探針卡測(cè)試系統(tǒng)包括信息采集端、中央處理端和設(shè)定存儲(chǔ)端。探針卡測(cè)試系統(tǒng)還包括信息輸出端，該信息輸出端可以對(duì)報(bào)廢扎針次數(shù)限值、維護(hù)扎針次數(shù)限值、當(dāng)前實(shí)際扎針次數(shù)和當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)等必要的數(shù)據(jù)進(jìn)行輸出，工程師可根據(jù)信息輸出端的輸出數(shù)據(jù)來(lái)監(jiān)測(cè)探針卡的運(yùn)行狀況。探針卡測(cè)試系統(tǒng)還包括第一數(shù)據(jù)庫(kù)和第二數(shù)據(jù)庫(kù)。其中，第一數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)有原始扎針次數(shù)，該原始扎針次數(shù)是從上一次維護(hù)后至今的探針卡扎針的次數(shù)；第二數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)有原始累計(jì)扎針次數(shù)，該原始累計(jì)扎針次數(shù)是探針卡使用以來(lái)到當(dāng)下的總扎針的次數(shù)。圖1是本發(fā)明探針卡維護(hù)方法的步驟圖，如圖1所示，本發(fā)明的探針卡維護(hù)方法包括以下步驟:首先，根據(jù)具體工藝需求，通過(guò)設(shè)定存儲(chǔ)端來(lái)設(shè)定探針卡的報(bào)廢扎針次數(shù)限值(Life Limit)和探針卡的維護(hù)扎針次數(shù)限值(PM Limit)。該探針卡的報(bào)廢扎針次數(shù)限值和該探針卡的維護(hù)扎針次數(shù)限值可根據(jù)實(shí)際的情況進(jìn)行設(shè)定。然后，信息采集端對(duì)探針卡進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，以獲取在時(shí)間段內(nèi)的探針卡實(shí)際扎針次數(shù)。通過(guò)中央處理端調(diào)用第二數(shù)據(jù)庫(kù)中的原始累計(jì)扎針次數(shù)，并將該探針卡實(shí)際扎針次數(shù)與調(diào)用的原始累計(jì)扎針次數(shù)相加，得到當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)。中央處理端調(diào)用之前設(shè)定的報(bào)廢扎針次數(shù)限值，將報(bào)廢扎針次數(shù)限值與當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值進(jìn)行比對(duì):
若當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值大于或等于報(bào)廢扎針次數(shù)限值，則該探針卡需要進(jìn)行報(bào)廢操作，在完成報(bào)廢操作之后，對(duì)第二數(shù)據(jù)庫(kù)中的累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)定為零，此時(shí)，信息采集端自動(dòng)對(duì)新探針卡重新進(jìn)行數(shù)據(jù)的采集；若當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值小于報(bào)廢扎針次數(shù)限值，則設(shè)定存儲(chǔ)端自動(dòng)將原始累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值更新為當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值，并進(jìn)行后續(xù)的步驟。中央處理端調(diào)用第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的原始扎針次數(shù)，并將該探針卡實(shí)際扎針次數(shù)與調(diào)用的原始扎針次數(shù)進(jìn)行相加，得到當(dāng)前扎針次數(shù)。中央處理端繼續(xù)調(diào)用之前設(shè)定的維護(hù)扎針次數(shù)限值，將維護(hù)扎針次數(shù)限值與當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值進(jìn)行比對(duì):若當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值大于或等于維護(hù)扎針次數(shù)限值，則該探針卡需要進(jìn)行維護(hù)(Prevention Maintenance, PM),待維護(hù)完成后,將第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的原始扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)定為零，此時(shí)，信息采集端繼續(xù)對(duì)探針卡進(jìn)行下一時(shí)間段的數(shù)據(jù)采集；若當(dāng)前扎針次 數(shù)的數(shù)值小于維護(hù)扎針次數(shù)限值，則設(shè)定存儲(chǔ)端自動(dòng)將原始扎針次數(shù)的數(shù)值更新為當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值，此時(shí)，信息采集端繼續(xù)對(duì)探針卡進(jìn)行下一時(shí)間段的數(shù)據(jù)采集。下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明方法加以闡述。為了更清楚地對(duì)本發(fā)明方法進(jìn)行闡述，在此假設(shè)探針卡的使用時(shí)間為t，t=tn-t0,探針卡的使用時(shí)間段為，其中，η表示對(duì)探針卡進(jìn)行數(shù)據(jù)采集的次數(shù)，η為自然數(shù)，若η為I時(shí)，則，該t表示探針卡從使用以來(lái)至第一次數(shù)據(jù)采集時(shí)的使用時(shí)間，相應(yīng)的則T1則表示從探針卡使用以來(lái)至第一次數(shù)據(jù)采集時(shí)的使用時(shí)間；若η為2時(shí)，則，該t表示探針卡從使用以來(lái)至第二次數(shù)據(jù)采集時(shí)的使用時(shí)間，相應(yīng)的Τ2= 2-^則T1則表示從探針卡從第一次數(shù)據(jù)采集時(shí)至第二次數(shù)據(jù)采集時(shí)的使用時(shí)間，當(dāng)η大于3的時(shí)候，情況與η=2是相同，故在此處不進(jìn)行贅述。首先，根據(jù)具體工藝需求，通過(guò)設(shè)定存儲(chǔ)端將探針卡的報(bào)廢扎針次數(shù)限值設(shè)置為10000000次以及將探針卡的維護(hù)扎針次數(shù)限值設(shè)置為200000次。然后，信息采集端對(duì)探針卡進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，以獲取在時(shí)間段T1內(nèi)的探針卡實(shí)際扎針次數(shù)，為了便于說(shuō)明，本實(shí)施例中將實(shí)際扎針次數(shù)的數(shù)值用X來(lái)表示。通過(guò)中央處理端調(diào)用第二數(shù)據(jù)庫(kù)中的原始累計(jì)扎針次數(shù)，并將該探針卡實(shí)際扎針次數(shù)與調(diào)用的原始累計(jì)扎針次數(shù)相加，得到當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)，由于在第一次的數(shù)據(jù)采集時(shí)，第二數(shù)據(jù)庫(kù)中的原始累計(jì)扎針次數(shù)為零，因此，此處得到的當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)即為探針卡實(shí)際扎針次數(shù)X。中央處理端調(diào)用之前設(shè)定的報(bào)廢扎針次數(shù)限值，將報(bào)廢扎針次數(shù)限值與當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值進(jìn)行比對(duì):若當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值大于或等于報(bào)廢扎針次數(shù)限值，即X ^ 10000000，則該探針卡需要進(jìn)行報(bào)廢操作，在完成報(bào)廢操作之后，對(duì)第二數(shù)據(jù)庫(kù)中的累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)定為零，此時(shí)，信息采集端自動(dòng)對(duì)新探針卡重新進(jìn)行第一次的數(shù)據(jù)采集；若當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值小于報(bào)廢扎針次數(shù)限值，即X ( 10000000，則設(shè)定存儲(chǔ)端自動(dòng)將原始累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值更新為當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值，即將第二數(shù)據(jù)庫(kù)中的累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值更新為X，并進(jìn)行后續(xù)的步驟。
中央處理端調(diào)用第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的原始扎針次數(shù)，并將該探針卡實(shí)際扎針次數(shù)X與調(diào)用的該原始扎針次數(shù)進(jìn)行相加，得到當(dāng)前扎針次數(shù)，由于在第一次的數(shù)據(jù)采集時(shí)，第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的原始扎針次數(shù)為零，因此，此處得到的當(dāng)前扎針次數(shù)數(shù)值為X。中央處理端繼續(xù)調(diào)用之前設(shè)定的維護(hù)扎針次數(shù)限值，將維護(hù)扎針次數(shù)限值與當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值進(jìn)行比對(duì):若當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值大于或等于維護(hù)扎針次數(shù)限值，即X ^ 200000，則該探針卡需要進(jìn)行維護(hù)，待維護(hù)完成后，將第一數(shù)據(jù)庫(kù)中的原始扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)定為零，此時(shí)，信息采集端繼續(xù)對(duì)探針卡進(jìn)行第二次的數(shù)據(jù)采集；若當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值小于維護(hù)扎針次數(shù)限值，即X ( 200000則設(shè)定存儲(chǔ)端自動(dòng)將原始扎針次數(shù)的數(shù)值更新為當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值，即原始扎針次數(shù)的數(shù)值更新為X，此時(shí)，信息采集端繼續(xù)對(duì)探針卡進(jìn)行下一時(shí)間段的數(shù)據(jù)采集。綜上所述，本發(fā)明是通過(guò)采集探針卡的扎針次數(shù)，并設(shè)置了具體的判斷規(guī)則，并通過(guò)探針卡檢測(cè)系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)了探針卡維護(hù)的自動(dòng)化。相比于傳統(tǒng)的依靠時(shí)間來(lái)對(duì)探針卡進(jìn)行維護(hù)的方法，本發(fā)明能夠從探針卡的根本上著手，以精確的扎針次數(shù)來(lái)反應(yīng)探針卡的具體使用情況，從而克服了通過(guò)時(shí)間來(lái)對(duì)探針卡進(jìn)行維護(hù)時(shí)可能出現(xiàn)的浪費(fèi)以及不及時(shí)等問(wèn)題。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說(shuō)明后，各種變化和修正無(wú)疑將顯而易見(jiàn)。因此，所附的權(quán)利要求書(shū)應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書(shū)范圍內(nèi)任何 和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種探針卡維護(hù)方法，應(yīng)用于探針卡檢測(cè)系統(tǒng)中，其特征在于，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)包括第一數(shù)據(jù)庫(kù)和第二數(shù)據(jù)庫(kù)，所述第一數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)有原始扎針次數(shù)，所述第二數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)有原始累計(jì)扎針次數(shù)，所述探針卡維護(hù)方法包括以下步驟: 根據(jù)工藝需求，設(shè)定探針卡的報(bào)廢扎針次數(shù)限值和維護(hù)扎針次數(shù)限值，并設(shè)定該探針卡工作的時(shí)間tztn-tM η為對(duì)該探針卡進(jìn)行數(shù)據(jù)采集的次數(shù)，η為正整數(shù)； 對(duì)所述探針卡進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，以獲取所述探針卡在時(shí)間段內(nèi)所述探針卡的實(shí)際扎針次數(shù)； 將所述實(shí)際扎針次數(shù)與所述原始累計(jì)扎針次數(shù)相加得到當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)，并將該當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值與所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值進(jìn)行比對(duì)； 若所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值大于或等于所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值，則所述探針卡報(bào)廢，更換新探針卡，同時(shí)將所述原始扎針次數(shù)的數(shù)值和所述原始累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)置為零，并對(duì)所述新探針卡進(jìn)行第一次的數(shù)據(jù)采集； 若所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值小于所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值，則將所述原始累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值更新為所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值，并繼續(xù)將所述實(shí)際扎針次數(shù)與所述原始扎針次數(shù)進(jìn)行相加得到當(dāng)前扎針次數(shù)，并將該當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值與所述維護(hù)扎針次數(shù)限值進(jìn)行比對(duì)； 若所述當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值大于或等于所述維護(hù)扎針次數(shù)限值，則對(duì)所述探針卡進(jìn)行維護(hù)，將所述原始扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)置為零，并繼續(xù)對(duì)所述探針卡進(jìn)行下一次的數(shù)據(jù)采集； 若所述當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值小于所述維護(hù)扎針次數(shù)限值，則將所述原始扎針次數(shù)的數(shù)值更新為所述當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值，并繼續(xù)對(duì)所述探針卡進(jìn)行下一次的數(shù)據(jù)采集。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡維護(hù)方法，其特征在于，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)還包括設(shè)定存儲(chǔ)端，通過(guò)所述設(shè)定存儲(chǔ)端設(shè)定所述探針卡的所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值和所述維護(hù)扎針次數(shù)限值。
3.如權(quán)利要求1所述的探針卡維護(hù)方法，其特征在于，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)還包括信息采集端，通過(guò)所述信息采集端對(duì)所述探針卡進(jìn)行所述數(shù)據(jù)采集。
4.如權(quán)利要求1所述的探針卡維護(hù)方法，其特征在于，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)中還包括信息輸出端，所述信息輸出端對(duì)所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值、維護(hù)扎針次數(shù)限值、所述當(dāng)前實(shí)際扎針次數(shù)和所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)進(jìn)行輸出。
5.如權(quán)利要求4所述的探針卡維護(hù)方法，其特征在于，采用顯示器作為所述信息輸出端。
6.如權(quán)利要求1所述的探針卡維護(hù)方法，其特征在于，所述探針卡檢測(cè)系統(tǒng)還包括中央處理端，通過(guò)所述中央處理端對(duì)所述當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值與所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值進(jìn)行比對(duì)。
7.如權(quán)利要求6所述的探針卡維護(hù)方法，其特征在于，通過(guò)所述中央處理端對(duì)所述當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值與所述維護(hù)扎針次數(shù)限值進(jìn)行比對(duì)。
8.如權(quán)利要求1所述的探針卡維護(hù)方法，其特征在于，所述維護(hù)扎針次數(shù)限值為200000 次。
9.如權(quán)利要求1所述的探針卡維護(hù)方法，其特征在于，所述報(bào)廢扎針次數(shù)限值為10000000次。
全文摘要
本發(fā)明探針卡維護(hù)方法，包括以下步驟設(shè)定探針卡的報(bào)廢扎針次數(shù)限值和維護(hù)扎針次數(shù)限值；獲取探針卡的實(shí)際扎針次數(shù)；將實(shí)際扎針次數(shù)與原始累計(jì)扎針次數(shù)相加得到當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)；若當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)大于或等于報(bào)廢扎針次數(shù)限值，則更換探針卡，且同時(shí)將原始扎針次數(shù)的數(shù)值和原始累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)置為零；反之，則將原始累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值更新為當(dāng)前累計(jì)扎針次數(shù)的數(shù)值，并繼續(xù)將實(shí)際扎針次數(shù)與原始扎針次數(shù)進(jìn)行相加得到當(dāng)前扎針次數(shù)；若當(dāng)前扎針次數(shù)大于或等于維護(hù)扎針次數(shù)限值，則對(duì)探針卡進(jìn)行維護(hù)，并將原始扎針次數(shù)的數(shù)值設(shè)置為零；反之，則將原始扎針次數(shù)的數(shù)值更新為當(dāng)前扎針次數(shù)的數(shù)值。本發(fā)明解決了探針卡維護(hù)中的浪費(fèi)問(wèn)題。
文檔編號(hào)G01R1/06GK103217558SQ201310081818
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月14日
發(fā)明者沈茜, 周波 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司