專利名稱：平膜壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種平膜壓力傳感器。
背景技術(shù)：
與本申請最接近的是PC12型衛(wèi)生型平膜壓力傳感器，PC12座芯結(jié)構(gòu)平膜壓力傳感器是制造壓力變送器的核心部件，壓力芯片放在工件前端，充油少，溫漂好?，F(xiàn)有的PC12型衛(wèi)生型平膜壓力傳感器只能適用于中等量程(IOOKPa以上60MPa以下)，用于IOOKPa以下溫漂達(dá)不到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，用于60MPa (含)以上膜片容易變形。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的是針對現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷提供一種平膜壓力傳感器。本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:本實(shí)用新型平膜壓力傳感器，包括膜片、進(jìn)壓頭和導(dǎo)線，其還包括壓力芯片和座芯，所述座芯焊接于進(jìn)壓頭前端，所述芯片膠粘于座芯上并通過金線與座芯上的管腳的一端連接，管腳的另一端與導(dǎo)線連接。所述進(jìn)壓頭底部還設(shè)置補(bǔ)償板，所述補(bǔ)償板通過卡環(huán)固定于進(jìn)壓頭底部臺(tái)階處。所述導(dǎo)線為硅膠導(dǎo)線。本實(shí)用新型壓力芯片在進(jìn)壓頭前端，充油少；溫漂小，膜片不易變形；可解決常規(guī)PC12的兩個(gè)極端問題:一個(gè)是小量程(IOOKPa以下溫漂大問題)，一個(gè)是大量程(60MPa以上壓力大膜片容易變形問題)，此結(jié)構(gòu)這兩種情況均得到解決。

圖1:本實(shí)用新型機(jī)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
產(chǎn)品的形狀和各個(gè)部件的說明如圖1所示，本實(shí)用新型平膜壓力傳感器，包括膜片1、進(jìn)壓頭9和導(dǎo)線8，其還包括壓力芯片3和座芯10，所述座芯10焊接于進(jìn)壓頭9前端，所述芯片3膠粘于座芯10上并通過金線2與座芯10上的管腳4的一端連接，管腳4的另一端與導(dǎo)線8連接。所述進(jìn)壓頭9底部還設(shè)置補(bǔ)償板6，所述補(bǔ)償板6通過卡環(huán)7固定于進(jìn)壓頭9底部臺(tái)階處。所述導(dǎo)線8為硅膠導(dǎo)線。本實(shí)用新型的形狀和各個(gè)部件的說明:1、12G座芯(圖中的元件10)管腿(圖中的元件4)上引出硅膠導(dǎo)線(AGR0.07/39)；2、芯片(圖中的元件3)用膠粘在12G座芯(圖中的元件10)上，烘120°C 90分鐘；3、用金絲連接芯片(圖中的元件3)上壓焊點(diǎn)和管腿(圖中的元件4);[0018]4、12G座芯(圖中的元件10)和進(jìn)壓頭(圖中的元件9)氬弧焊接在一起；5、進(jìn)壓頭(圖中的元件9)前端焊不銹鋼膜片(圖中的元件I)；6、進(jìn)壓頭(圖中的元件9)進(jìn)行充油封鋼珠；7、高低溫測試后，在補(bǔ)償板IB1/IB5 (圖中的元件6)上焊好補(bǔ)償電阻和管腿；8、12G座芯管腿上的硅膠導(dǎo)線(圖中的元件5)連接到補(bǔ)償板管腿上，連接處加A、B還氧膠固定；9、補(bǔ)償板(圖中的元件6)用卡環(huán)(圖中的元件7)固定在工件臺(tái)階處；10、管腿上引出IlOmm硅膠導(dǎo)線(圖中的元件8)。本實(shí)用新型座芯結(jié)構(gòu)平膜壓力傳感器采用前端放置壓力芯片，充油少，溫漂小，量程是根據(jù)客戶的要求來定的，根據(jù)量程來選擇相應(yīng)的芯片，油也是根據(jù)客戶的要求來選擇，還可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行負(fù)遷調(diào)試，壓力通過膜片，再傳遞到硅油上，硅油再把壓力傳遞到內(nèi)部前端的芯片上，芯片不直接接觸被測物體，形成全固態(tài)的結(jié)構(gòu)。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種平膜壓力傳感器，包括膜片(I)、進(jìn)壓頭(9)和導(dǎo)線(8)，其特征在于還包括壓力芯片(3)和座芯(10)，所述座芯(10)焊接于進(jìn)壓頭(9)前端，所述芯片(3)膠粘于座芯(10)上并通過金線(2)與座芯(10)上的管腳(4)的一端連接，管腳(4)的另一端與導(dǎo)線(8)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平膜壓力傳感器，其特征在于進(jìn)壓頭(9)底部還設(shè)置補(bǔ)償板(6)，所述補(bǔ)償板(6)通過卡環(huán)(7)固定于進(jìn)壓頭(9)底部臺(tái)階處。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平膜壓力傳感器，其特征在于所述導(dǎo)線(8)為硅膠導(dǎo)線。
專利摘要本實(shí)用新型公布了一種平膜壓力傳感器，包括膜片、進(jìn)壓頭和導(dǎo)線，其還包括壓力芯片和座芯，所述座芯焊接于進(jìn)壓頭前端，所述芯片膠粘于座芯上并通過金線與座芯上的管腳的一端連接，管腳的另一端與導(dǎo)線連接。本實(shí)用新型壓力芯片在進(jìn)壓頭前端，充油少；溫漂小，膜片不易變形；可解決常規(guī)PC12的兩個(gè)極端問題一個(gè)是小量程(100KPa以下溫漂大問題)，一個(gè)是大量程(60MPa以上壓力大膜片容易變形問題)，此結(jié)構(gòu)這兩種情況均得到解決。
文檔編號(hào)G01L7/02GK203083763SQ20122072910
公開日2013年7月24日 申請日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者呂麗 申請人:南京沃天科技有限公司