專利名稱：用于背板內(nèi)水道裂縫檢測(cè)的夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于背板內(nèi)水道裂縫檢測(cè)的夾具。
技術(shù)背景在大規(guī)模集成電路制作過(guò)程中，涉及一些金屬鍍膜的形成。這些金屬鍍膜一般通過(guò)濺射靶材產(chǎn)生。符合濺射性能的靶材在使用時(shí)需固定在一定強(qiáng)度的背板上。該背板可以在所述靶材與背板形成的靶材組件裝配到濺射機(jī)臺(tái)時(shí)起支撐作用，并且具有傳導(dǎo)熱量的功效。為提高傳導(dǎo)熱量的效率，該背板內(nèi)部通常設(shè)置一些供水循環(huán)的管道。而該管道的制作一般是通過(guò)將兩片各自設(shè)置有部分管道的金屬板焊接而成。可以理解，在焊接過(guò)程中若出現(xiàn)裂縫，會(huì)造成靶材在濺射過(guò)程中水泄漏，這會(huì)導(dǎo)致散熱效果變差，更嚴(yán)重地，有可能導(dǎo)致磁控濺射漏電，造成安全隱患?；谏鲜鰡?wèn)題，現(xiàn)有的背板在焊接形成靶材組件之前，必須進(jìn)行水道的裂縫檢測(cè)。早期的裂縫的檢測(cè)方法是通過(guò)水壓檢測(cè)法，檢測(cè)焊點(diǎn)附近是否有漏水跡象產(chǎn)生。該方法由于要引入水分，造成檢測(cè)完畢后續(xù)對(duì)背板烘干，工序麻煩且該水壓易造成背板變形因而逐漸被無(wú)上述缺陷的氦氣檢測(cè)法取代。氦氣檢測(cè)法是通過(guò)先對(duì)背板內(nèi)的水道抽真空，進(jìn)而使其置入氦氣環(huán)境中，切換該抽真空裝置為通用的氣體元素分析儀器或氦氣檢測(cè)儀，檢測(cè)是否在水道內(nèi)部出現(xiàn)外界的氦氣，進(jìn)而判斷水道是否有裂縫。然而，在氦氣檢測(cè)法實(shí)施過(guò)程中，對(duì)于每一個(gè)背板，都需將抽真空裝置的接頭法蘭與其固定，檢測(cè)完畢后，將該法蘭拆下。上述過(guò)程非常麻煩，耗費(fèi)大量時(shí)間。此外，為實(shí)現(xiàn)接頭法蘭與背板的良好固定，在兩者之間設(shè)置夾持背板的“C”型夾具，該夾具開口的一端連接接頭法蘭的外圈，另一端夾持背板，而該“C”型夾具在裝配過(guò)程中，耗費(fèi)人力。針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種檢測(cè)用夾具，以避免上述問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型解決的問(wèn)題是提出一種用于背板內(nèi)水道裂縫檢測(cè)的夾具，以用于批處理，且節(jié)省人力與時(shí)間。為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于背板內(nèi)水道裂縫檢測(cè)的夾具，包括具有密閉內(nèi)腔的夾具本體，所述夾具本體設(shè)有與所述密閉內(nèi)腔相通且適于與檢測(cè)裝置相連的第一開口，與所述密閉內(nèi)腔相通且適于與背板內(nèi)水道一端連通的第二開口 ；封堵所述背板內(nèi)水道另一端的密封裝置?？蛇x地，所述密閉內(nèi)腔由多個(gè)表面圍成，第一開口與所述第二開口設(shè)置在相同的所述表面上?？蛇x地，所述密閉內(nèi)腔由多個(gè)表面圍成，所述多個(gè)表面中有兩個(gè)表面相對(duì)，所述第一開口與所述第二開口分別設(shè)置在相對(duì)的兩個(gè)表面上?？蛇x地，所述密封裝置為所述夾具本體的表面及設(shè)置在其上的第一彈性墊圈?？蛇x地，所述夾具本體上還具有放置所述第一彈性墊圈的第一凹槽。可選地，所述夾具本體在所述第二開口處設(shè)置有第二彈性墊圈?？蛇x地，所述夾具本體上還具有放置所述第二彈性墊圈的第二凹槽?？蛇x地，所述夾具還包括螺栓，所述夾具本體上設(shè)有與所述螺栓匹配的螺孔?？蛇x地，所述夾具還包括定位銷，所述夾具本體上設(shè)有與所述定位銷匹配的非貫通孔?？蛇x地，所述夾具本體具有與背板匹配的凸起?？蛇x地，所述夾具本體具有滑動(dòng)限位裝置?？蛇x地，所述滑動(dòng)限位裝置包括螺桿與嵌套在所述螺桿上的滑塊?？蛇x地，與背板接觸的所述凸起的表面設(shè)有彈性膜。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)I)不同于現(xiàn)有技術(shù)對(duì)于每個(gè)背板，都需將檢測(cè)裝置的法蘭與該背板固定，檢測(cè)完再拆下的方案，本實(shí)用新型提供了一種夾具，該夾具包括具有密閉內(nèi)腔的夾具本體與封堵所述背板內(nèi)水道一端的密封裝置，其中，所述夾具本體設(shè)有與所述密閉內(nèi)腔相通且適于與檢測(cè)裝置相連的第一開口，與所述密閉內(nèi)腔相通且適于與背板內(nèi)水道另一端連通的第二開口。檢測(cè)時(shí)，將該檢測(cè)裝置的法蘭與夾具本體的第一開口固定，將該背板的進(jìn)水口(或出水口，即水道的一端)封堵，相應(yīng)地，將該背板的出水口(或進(jìn)水口，即水道的另一端)與第二開口連通。如此，對(duì)于一批背板，只需將檢測(cè)裝置的法蘭與夾具本體固定一次，拆下一次，避免了每個(gè)背板都需與檢測(cè)裝置的法蘭直接固定；此外，該夾具在抽真空過(guò)程中，由于水道內(nèi)壓力變低，背板與夾具本體依靠吸附力固定，背板兩面實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)固定，節(jié)省人力。2)可選方案中，夾具本體的密閉內(nèi)腔由多個(gè)表面圍成，所述多個(gè)表面中有兩個(gè)表面相對(duì)，所述第一開口與所述第二開口分別設(shè)置在相對(duì)的兩個(gè)表面上，節(jié)省了夾具本體的材料，降低了成本。3)可選方案中，所述密封裝置為所述夾具本體及設(shè)置在其上的第一彈性墊圈，利用了抽真空過(guò)程中，背板與夾具本體的吸附效果，起到了封堵了背板的進(jìn)水口(或出水口)作用。4)可選方案中，所述夾具本體在所述第二開口處設(shè)置有第二彈性墊圈，增強(qiáng)了背板的出水口(或進(jìn)水口)與夾具本體的密閉內(nèi)腔之間的密封性。5)可選方案中，所述夾具本體具有與背板匹配的凸起，避免了檢測(cè)過(guò)程之前進(jìn)行的抽真空過(guò)程中背板移位。6)可選方案中，所述夾具本體具有滑動(dòng)限位裝置，以適應(yīng)不同尺寸的方形或圓形背板。

圖I是圓形背板的俯視圖；圖2是圖I沿A-A直線的剖視圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的針對(duì)圖I中的背板內(nèi)水道檢測(cè)的夾具的正視圖；[0034]圖4是圖3所示夾具的俯視圖；圖5是圖3所示夾具的仰視圖；圖6是圖3中的夾具與圖I中的背板在檢測(cè)時(shí)的裝配圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明，由于重點(diǎn)在于說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，所以未按比例制圖。本實(shí)施例以圓形背板為例，詳細(xì)介紹本實(shí)用新型的技術(shù)方案。如圖I所示為圓形背板的俯視圖，圖2為該俯視圖沿A-A直線的剖視圖。結(jié)合圖I與圖2所示，該圓形背板11由兩塊金屬板113、114焊接而成，其中，每塊金屬板上具有間隔的凹槽，焊接后形成水道115。金屬板114的表面為背板11的焊接面，其表面要求無(wú)瑕疵。背板11的非焊接面，即金屬板113的表面上形成有該水道115的進(jìn)水口 111與出水口112。 針對(duì)圖I所示的圓形背板11，本實(shí)施例提供的用于該背板11內(nèi)水道115裂縫檢測(cè)的夾具2的正視圖如圖3所示、俯視圖如圖4所示及仰視圖如圖5所示。結(jié)合圖3至圖5，該夾具2包括具有密閉內(nèi)腔214的夾具本體21，所述夾具本體21設(shè)有與所述密閉內(nèi)腔214相通且適于與檢測(cè)裝置相連的第一開口 212，與所述密閉內(nèi)腔214相通且適于與背板11內(nèi)水道115 一端連通的第二開口 211 ；封堵所述背板11內(nèi)水道115另一端的密封裝置。具體地，本實(shí)施例中，如圖4所示，該密封裝置為所述夾具本體21的一個(gè)表面及設(shè)置在其上的第一彈性墊圈22。其它實(shí)施例中，該密封裝置也可以為其它起對(duì)水道115密封的裝置。另外，設(shè)置第一開口 212的表面可以設(shè)置支撐裝置(未圖示)，以將夾具本體21與工作臺(tái)或地面隔開一段距離，供檢測(cè)裝置與第一開口 212之間的連接裝置放置。結(jié)合圖3至圖5可以看出，密閉內(nèi)腔214由多個(gè)表面圍成，所述多個(gè)表面中有兩個(gè)表面相對(duì)，所述第一開口 212與所述第二開口 211分別設(shè)置在相對(duì)的兩個(gè)表面上，如此節(jié)省了夾具本體21的材料，降低了成本。其它實(shí)施例中，第一開口 212與所述第二開口 211也可以設(shè)置在相同的表面上。仍采用氦氣檢測(cè)法，采用上述夾具2進(jìn)行背板11內(nèi)水道115裂縫的檢測(cè)過(guò)程包括抽真空過(guò)程與置于氦氣環(huán)境中檢測(cè)兩個(gè)過(guò)程。首先介紹對(duì)背板11內(nèi)的水道115抽真空過(guò)程該抽真空的管道接口的法蘭裝配在第一開口 212上，參照?qǐng)D6所示的裝配圖，背板11放置在夾具本體21上，其上的進(jìn)水口 111與第二開口 211對(duì)準(zhǔn)，第二墊圈215設(shè)置在第二開口 211與進(jìn)水口 111之間，第一彈性墊圈22設(shè)置在出水口 112與夾具本體21之間，上述背板11與夾具2相對(duì)位置確定后，啟動(dòng)抽真空設(shè)備進(jìn)行抽真空。上述過(guò)程中，水道115內(nèi)氣壓變低，第一彈性墊圈22緊緊吸附在夾具本體21，起到了對(duì)水道115密封的作用。上述抽真空過(guò)程中，夾具2與背板11處于密閉環(huán)境。真空度達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)后，停止抽真空，接著，切換該抽真空裝置為通用的氣體元素分析儀器或氦氣檢測(cè)儀，對(duì)上述密封環(huán)境充入氦氣，檢測(cè)是否在水道115內(nèi)部出現(xiàn)外界的氦氣，進(jìn)而判斷水道115是否有裂縫。為避免上述過(guò)程中，尤其是抽真空過(guò)程中，第一彈性墊圈22與第二彈性墊圈215發(fā)生移位，所述夾具本體21 上還設(shè)有第一凹槽(未圖示)與第二凹槽(未圖示)，以分別放置并固定所述第一彈性墊圈22與第二彈性墊圈215。此外，背板11表面具有多個(gè)用于將靶材組件安裝在濺鍍機(jī)上的安裝孔。為避免抽真空過(guò)程中，背板11發(fā)生移位，如圖4所示，所述夾具2還包括螺栓(未圖示)，所述夾具本體21上設(shè)有與所述螺栓匹配的螺孔216。使用時(shí)，所述螺栓穿過(guò)所述背板11表面的安裝孔將背板11固定在夾具本體21上。螺孔216的數(shù)目不限，例如4個(gè)。為方便螺栓固定，所述夾具2還包括定位銷(未圖示)，所述夾具本體21上設(shè)有與所述定位銷匹配的非貫通孔217，該定位銷與非貫通孔217配合使得初步對(duì)背板11進(jìn)行定位。非貫通孔217的數(shù)目不限，例如4個(gè)。同樣基于初步對(duì)背板11進(jìn)行定位的目的，所述夾具本體21上設(shè)有與背板11匹配的凸起213。為防止該凸起213劃傷背板11，該凸起213的位于兩者結(jié)合面的部分設(shè)有彈性膜?？梢岳斫獾氖?，上述的夾具2可以對(duì)一批外形大小相同的背板11進(jìn)行檢測(cè)，為了適用不同大小的背板11，所述夾具本體21的凸起還可以設(shè)置為滑動(dòng)限位裝置(未圖示)?？梢詫?shí)現(xiàn)上述滑動(dòng)限位功能的裝置有多種，例如螺桿(未圖示)與嵌套在所述螺桿上的滑塊(未圖示)，該螺桿固定在夾具本體21上，通過(guò)滑塊沿螺桿滑動(dòng)的距離初步限定背板11的位置?？梢岳斫獾氖?，上述實(shí)施例中，為了固定圓形背板11，與背板11匹配的凸起213的內(nèi)表面為曲面，其它實(shí)施例中，將與背板11結(jié)觸的凸起213的內(nèi)表面設(shè)置為平面，該夾具2即可適用對(duì)方型背板內(nèi)水道的檢測(cè)。本實(shí)用新型雖然已以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來(lái)限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案做出可能的變動(dòng)和修改，因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種用于背板內(nèi)水道裂縫檢測(cè)的夾具，其特征在于，包括 具有密閉內(nèi)腔的夾具本體，所述夾具本體設(shè)有與所述密閉內(nèi)腔相通且適于與檢測(cè)裝置相連的第一開口，與所述密閉內(nèi)腔相通且適于與背板內(nèi)水道一端連通的第二開口 ； 封堵所述背板內(nèi)水道另一端的密封裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的夾具，其特征在于，所述密閉內(nèi)腔由多個(gè)表面圍成，所述多個(gè)表面中有兩個(gè)表面相對(duì)，所述第一開口與所述第二開口分別設(shè)置在相對(duì)的兩個(gè)表面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的夾具，其特征在于，所述密封裝置為所述夾具本體的表面及設(shè)置在其上的第一彈性墊圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具，其特征在于，所述夾具本體上還具有放置所述第一彈性墊圈的第一凹槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的夾具，其特征在于，所述夾具本體在所述第二開口處設(shè)置有第二彈性墊圈。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的夾具，其特征在于，所述夾具本體上還具有放置所述第二彈性墊圈的第二凹槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的夾具，其特征在于，所述夾具還包括螺栓，所述夾具本體上設(shè)有與所述螺栓匹配的螺孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的夾具，其特征在于，所述夾具還包括定位銷，所述夾具本體上設(shè)有與所述定位銷匹配的非貫通孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的夾具，其特征在于，所述夾具本體具有與背板匹配的凸起。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的夾具，其特征在于，所述夾具本體具有滑動(dòng)限位裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的夾具，其特征在于，所述滑動(dòng)限位裝置包括螺桿與嵌套在所述螺桿上的滑塊。
專利摘要一種用于背板內(nèi)水道裂縫檢測(cè)的夾具，包括具有密閉內(nèi)腔的夾具本體及封堵背板內(nèi)水道一端的密封裝置，其中，所述夾具本體設(shè)有與所述密閉內(nèi)腔相通且適于與檢測(cè)裝置相連的第一開口，與所述密閉內(nèi)腔相通且適于與背板內(nèi)水道另一端連通的第二開口。本實(shí)用新型提供的夾具，可用于背板內(nèi)水道裂縫檢測(cè)批處理，且節(jié)省人力與時(shí)間。
文檔編號(hào)G01M3/22GK202793707SQ20122042882
公開日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月27日
發(fā)明者姚力軍, 相原俊夫, 大巖一彥, 潘杰, 王學(xué)澤, 趙衍明 申請(qǐng)人:寧波江豐電子材料有限公司