專利名稱：流量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種傳感器，特別涉及一種流量傳感器。
背景技術(shù)：
作為測量流體的流量或流速的熱式流量傳感器，有兩種類型，第一類是通過發(fā)熱體發(fā)出的熱流測定流體的空間溫度分布，并由溫度傳感器檢測不均勻性；第二類是在因流體使發(fā)熱體的熱量喪失時(shí)，檢測所發(fā)生的功率或電阻方面的變化，從而檢測流速或流率?，F(xiàn)有類型的流量傳感器中在硅的表面上對傳感器進(jìn)行構(gòu)圖、被測流體直接流過該傳感器圖形的類型，其靈敏度和響應(yīng)性較差，容易受到腐蝕性氣體腐蝕。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就在于提供一種靈敏度和響應(yīng)性良好，且適合于測量腐蝕性流體的流速或流量的流量傳感器。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是這樣的本實(shí)用新型的流量傳感器，包括基部，基部上設(shè)有進(jìn)液孔和出液孔，進(jìn)液孔和出液孔形成流路，所述基部上表面設(shè)置有傳感器芯片，傳感器芯片上設(shè)置有絕緣膜，絕緣膜中部設(shè)有測量裝置，所述基部上套接一蓋板，蓋板中部設(shè)置有一透視窗，蓋板上還設(shè)置有接線柱。作為優(yōu)選，所述傳感器芯片和絕緣膜之間設(shè)置有緩沖層。作為優(yōu)選，所述緩沖層由氮化硅或氧化鋁制成。作為優(yōu)選，所述蓋板與基部上部卡接。作為優(yōu)選，所述傳感器芯片由奧氏體不銹鋼制成。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，采用奧氏體不銹鋼的傳感器芯片，提高了靈敏度和響應(yīng)性，傳感器芯片上設(shè)置有絕緣膜，使其不易受到腐蝕氣體的腐蝕，傳感器芯片和絕緣膜之間設(shè)置有緩沖層，可緩和形成傳感器圖形的絕緣膜和傳感器芯片之間的熱膨脹系數(shù)差異，可以分階段地改變緩沖部件的線膨脹系數(shù)，即使在高溫環(huán)境下，絕緣膜也不會產(chǎn)生裂紋，仍能長期獲得穩(wěn)定的傳感器檢測輸出特性。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、基部；2、進(jìn)液孔；3、出液孔；4、傳感器芯片；5、絕緣膜；6、緩沖層；7、測量
裝置；8、蓋板；9、接線柱。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。參見圖1，本實(shí)用新型的流量傳感器，包括基部1，基部I上設(shè)有進(jìn)液孔2和出液孔3，進(jìn)液孔2和出液孔3形成流路，所述基部I上表面設(shè)置有傳感器芯片4，傳感器芯片4上設(shè)置有絕緣膜5，絕緣膜5中部設(shè)有測量裝置7，所述基部I上套接一蓋板8，蓋板8中部設(shè)置有一透視窗，蓋板8上還設(shè)置有接線柱9，所述傳感器芯片4和絕緣膜5之間設(shè)置有緩沖層6，所述緩沖層6由氮化硅或氧化鋁制成，所述蓋板8與基部I上部卡接，所述傳感器芯片4由奧氏體不銹鋼制成，為一個(gè)薄且細(xì)長的矩形板狀。測量裝置7的流速檢測單元和周圍溫度檢測單元使用一個(gè)發(fā)熱體，可使用恒溫差電路來把流速轉(zhuǎn)換為 電壓信號，恒溫差電路把電流或電壓控制為發(fā)熱體的溫度比周圍溫度傳感器測量出的周圍溫度高處一定溫度，從而把溫度差保持恒定，可通過檢測該電壓、電流或功率變化，測量流體的流速或流量；絕緣膜5由厚度為幾千埃至記微米薄的氧化硅膜、氮化硅膜等材質(zhì)構(gòu)成，氧化硅膜可通過濺射、CVD或SOG等來形成，氮化硅膜也可通過濺射或CVD等來形成；緩沖層6由線膨脹系數(shù)在不銹鋼和絕緣膜5之間的氮化硅、氧化鋁等材質(zhì)制成，緩沖層6通過CVD或?yàn)R射等形成，也可由多層形成。本實(shí)施方式的流量傳感器特別適合于測量在流路中流動的腐蝕性流體的流速或流量。
權(quán)利要求1.一種流量傳感器，包括基部，基部上設(shè)有進(jìn)液孔和出液孔，進(jìn)液孔和出液孔形成流路，其特征在于所述基部上表面設(shè)置有傳感器芯片，傳感器芯片上設(shè)置有絕緣膜，絕緣膜中部設(shè)有測量裝置，所述基部上套接一蓋板，蓋板中部設(shè)置有一透視窗，蓋板上還設(shè)置有接線柱。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的流量傳感器，其特征在于所述傳感器芯片和絕緣膜之間設(shè)置有緩沖層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流量傳感器，其特征在于所述緩沖層由氮化硅或氧化鋁制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的流量傳感器，其特征在于所述蓋板與基部上部卡接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的流量傳感器，其特征在于所述傳感器芯片由奧氏體不銹鋼制成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種流量傳感器，包括基部，基部上設(shè)有進(jìn)液孔和出液孔，進(jìn)液孔和出液孔形成流路，所述基部上表面設(shè)置有傳感器芯片，傳感器芯片上設(shè)置有絕緣膜，絕緣膜中部設(shè)有測量裝置，所述基部上套接一蓋板，蓋板中部設(shè)置有一透視窗，蓋板上還設(shè)置有接線柱。這種流量傳感器靈敏度和響應(yīng)性良好，且適合于測量腐蝕性流體的流速或流量。
文檔編號G01F1/68GK202793484SQ20122032984
公開日2013年3月13日 申請日期2012年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月10日
發(fā)明者劉稼濤, 詹寶駒, 杜嘉暉 申請人:成都駒濤網(wǎng)絡(luò)科技有限公司