專利名稱：一種sc切型晶體定向儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備，特別是涉及一種SC切型晶體定向儀。
背景技術(shù)：
晶體生產(chǎn)廠家往往在生產(chǎn)過程中會(huì)生產(chǎn)SC切型晶體，對(duì)晶體的晶格排列需要檢驗(yàn)及定向，目前市面的定向儀，只能對(duì)規(guī)則的晶體進(jìn)行定向，尤其是晶體晶格排列角度過大，與X射線角度過大，導(dǎo)致無法測量SC切型晶體。本專利可以滿足SC切型晶體的檢測及定向。實(shí)現(xiàn)流水線檢測，提聞測量精度，提聞生廣效率
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷和不足，而提供一種能對(duì)SC切型晶片及晶棒進(jìn)行定向及檢驗(yàn)的SC切型晶體定向儀。采用的技術(shù)方案是一種SC切型晶體定向儀，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)下方安裝有高壓變壓器、穩(wěn)壓器、氣泵及氣泵吸管，其特征在于所述的工作臺(tái)上固定有X射線發(fā)生器和測角儀，并配置有數(shù)顯裝置，測角儀內(nèi)安裝蝸輪蝸桿副，且蝸桿副一端連接手輪，其另一端連接編碼器，蝸輪副連接主軸，主軸的上部固定有SC切型樣品臺(tái)和閃爍探測器，X射線發(fā)生器上裝設(shè)有單晶衍射器。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、檢測精度高等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)流水線檢測，提聞測量精度，提聞生廣效率。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
一種SC切型晶體定向儀，包括工作臺(tái)3，工作臺(tái)3上固定有X射線發(fā)生器12和測角儀5，并配置有數(shù)顯裝置10，測角儀5內(nèi)安裝蝸輪蝸桿副6，且蝸桿副一端連接手輪4，其另一端連接編碼器13，蝸輪副連接主軸7，實(shí)現(xiàn)操作者通過手輪4轉(zhuǎn)動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)對(duì)主軸7的轉(zhuǎn)動(dòng)控制，主軸7的上部固定有SC切型樣品臺(tái)9和閃爍探測器8，X射線發(fā)生器12裝設(shè)有單晶衍射器11，從單晶衍射器11中衍射出的X射線實(shí)現(xiàn)對(duì)SC切型晶體的的測量。工作臺(tái)3下方安裝有高壓變壓器2、穩(wěn)壓器I、氣泵14及氣泵吸管15。
權(quán)利要求1.一種SC切型晶體定向儀，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)下方安裝有高壓變壓器、穩(wěn)壓器、氣泵及氣泵吸管，其特征在于所述的工作臺(tái)上固定有X射線發(fā)生器和測角儀，并配置有數(shù)顯裝置，測角儀內(nèi)安裝蝸輪蝸桿副，且蝸桿副一端連接手輪，其另一端連接編碼器，蝸輪副連接主軸，主軸的上部固定有SC切型樣品臺(tái)和閃爍探測器，X射線發(fā)生器上裝設(shè)有單晶衍射器。
專利摘要一種SC切型晶體定向儀，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)下方安裝有高壓變壓器、穩(wěn)壓器、氣泵及氣泵吸管，其特征在于所述的工作臺(tái)上固定有X射線發(fā)生器和測角儀，并配置有數(shù)顯裝置，測角儀內(nèi)安裝蝸輪蝸桿副，且蝸桿副一端連接手輪，其另一端連接編碼器，蝸輪副連接主軸，主軸的上部固定有SC切型樣品臺(tái)和閃爍探測器，X射線發(fā)生器上裝設(shè)有單晶衍射器。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、檢測精度高等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)流水線檢測，提高測量精度，提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G01N23/207GK202661417SQ201220322398
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月5日
發(fā)明者甄偉, 趙松彬 申請(qǐng)人:丹東新東方晶體儀器有限公司