專利名稱：集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及微電子檢測(cè)儀技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀。
技術(shù)背景現(xiàn)代微電子工業(yè)當(dāng)中，在集成電路最前道的加工階段有一種重要的工藝環(huán)節(jié)-光亥|J、刻蝕工藝，該工藝的作用是在微電子產(chǎn)品的原材料底片上通過(guò)光刻、刻蝕等技術(shù)將其做成微電子產(chǎn)品芯片。在該工藝中，有一些重要的工藝參數(shù)，包括微觀尺寸、套刻類型及點(diǎn)距等參數(shù)，這些參數(shù)的異常會(huì)直接導(dǎo)致微電子產(chǎn)品芯片的報(bào)廢，因此集成電路加工后均需要進(jìn)行檢測(cè)?，F(xiàn)有的檢測(cè)技術(shù)大都采用在顯微鏡下手動(dòng)調(diào)焦，通過(guò)人工觀測(cè)對(duì)微觀尺寸、套刻參數(shù)及點(diǎn)距等工藝參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)，核心缺陷如下I、通過(guò)手工上下片的方式，對(duì)微電子產(chǎn)品進(jìn)行逐個(gè)檢測(cè)，此種方法不僅效率低下，并且在上下片的同時(shí)不能保障水平度等參數(shù)，同時(shí)還有可能會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成損傷；2、手動(dòng)調(diào)焦的方法，由于操作員在操作熟練度和視覺感知方面的差異，其重復(fù)性精度極低，最多能達(dá)到50微米的精度，不足以滿足此類測(cè)量的工藝精度要求；3、單一的光源配置，并且采用手動(dòng)調(diào)光，此種方法，不能保證多次檢測(cè)的光照亮度均勻，從而影響檢測(cè)精度；4、無(wú)配套隔震設(shè)施或簡(jiǎn)易隔震，由于該項(xiàng)檢測(cè)需要在高倍數(shù)下實(shí)現(xiàn)，無(wú)隔震或簡(jiǎn)單的隔震效果便不能保證檢測(cè)的精度
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀，它克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)、增加了功能、降低了成本、簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)、易于制造、故障率低、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、便于操作。為了解決背景技術(shù)所存在的問題，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案它包含工業(yè)用CXD相機(jī)I、顯微鏡2、樣品臺(tái)3、自動(dòng)聚焦裝置4、光源箱5、晶圓角度調(diào)整裝置6、大理石桌面7、隔震系統(tǒng)8、晶圓片盒9、液晶顯示器10、懸臂11、配電箱12、柜架13和自動(dòng)上下片裝置14，工業(yè)用CXD相機(jī)I通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口連接在顯微鏡2上，樣品臺(tái)3通過(guò)螺紋連接固定在顯微鏡2的底座上，自動(dòng)聚焦裝置4通過(guò)聯(lián)軸器連接在顯微鏡2的升降部上，光源箱5通過(guò)卡口固定在顯微鏡2上，晶圓片盒9、晶圓角度調(diào)整裝置6、自動(dòng)上下片裝置14及顯微鏡2的底座均通過(guò)螺紋連接固定在大理石桌面7上，大理石桌面7的下端面與柜架13之間設(shè)置有隔震系統(tǒng)8，懸臂11通過(guò)螺紋連接固定在柜架13側(cè)面，液晶顯示器10通過(guò)螺紋連接固定在懸臂11上，配電箱12置于柜架13內(nèi)。所述的自動(dòng)上下片裝置14為機(jī)械手。所述的晶圓角度調(diào)整裝置6為角度探測(cè)器。[0012]所述的自動(dòng)聚焦裝置4為聚焦馬達(dá)。所述的自動(dòng)上下片裝置14上配備角度探測(cè)器，且采用機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下片，保證產(chǎn)品良率；配備角度探測(cè)器可保障上下片的水平度，實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)前提。所述的隔震系統(tǒng)8為氣浮式隔震系統(tǒng)，可有效隔離震動(dòng)源，保障檢測(cè)精度。本實(shí)用新型用自動(dòng)聚焦裝置4配合工業(yè)用CXD相機(jī)I、顯微鏡2實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚集的能力，代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動(dòng)聚焦的方法，排除了操作員操作習(xí)慣和視覺感知上的差異對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生的影響，保障檢測(cè)的重復(fù)性精度，大大提高檢測(cè)性能；光源箱5同時(shí)配備了環(huán)形光和反射、透射多種照明方式，并且用自動(dòng)調(diào)光取代手動(dòng)調(diào)節(jié)，可以滿足各種微電子產(chǎn)品的光照需求，同時(shí)保障檢測(cè)精度，從而提高檢測(cè)性能。本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)、增加了功能、降低了成本、簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)、易于制造、故障率低、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、便于操作。

圖I為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為圖I的主視圖，圖3為圖2的俯視圖，圖4為圖2的左視圖。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)DI-圖4，本具體實(shí)施方式
采用以下技術(shù)方案它包含工業(yè)用C⑶相機(jī)I、顯微鏡2、樣品臺(tái)3、自動(dòng)聚焦裝置4、光源箱5、晶圓角度調(diào)整裝置6、大理石桌面7、隔震系統(tǒng)
8、晶圓片盒9、液晶顯示器10、懸臂11、配電箱12、柜架13和自動(dòng)上下片裝置14，工業(yè)用CXD相機(jī)I通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口連接在顯微鏡2上，樣品臺(tái)3通過(guò)螺紋連接固定在顯微鏡2的底座上，自動(dòng)聚焦裝置4通過(guò)聯(lián)軸器連接在顯微鏡2的升降部上，光源箱5通過(guò)卡口固定在顯微鏡2上，晶圓片盒9、晶圓角度調(diào)整裝置6、自動(dòng)上下 片裝置14及顯微鏡2的底座均通過(guò)螺紋連接固定在大理石桌面7上，大理石桌面7的下端面與柜架13之間設(shè)置有隔震系統(tǒng)8，懸臂11通過(guò)螺紋連接固定在柜架13側(cè)面，液晶顯示器10通過(guò)螺紋連接固定在懸臂11上，配電箱12置于柜架13內(nèi)。所述的自動(dòng)上下片裝置14為機(jī)械手。所述的晶圓角度調(diào)整裝置6為角度探測(cè)器。所述的自動(dòng)聚焦裝置4為聚焦馬達(dá)。所述的自動(dòng)上下片裝置14上配備角度探測(cè)器，且采用機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下片，保證產(chǎn)品良率；配備角度探測(cè)器可保障上下片的水平度，實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)前提。所述的隔震系統(tǒng)8為氣浮式隔震系統(tǒng)，可有效隔離震動(dòng)源，保障檢測(cè)精度。本具體實(shí)施方式
用自動(dòng)聚焦裝置4配合工業(yè)用C⑶相機(jī)I、顯微鏡2實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚集的能力，代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動(dòng)聚焦的方法，排除了操作員操作習(xí)慣和視覺感知上的差異對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生的影響，保障檢測(cè)的重復(fù)性精度，大大提高檢測(cè)性能；光源箱5同時(shí)配備了環(huán)形光和反射、透射多種照明方式，并且用自動(dòng)調(diào)光取代手動(dòng)調(diào)節(jié)，可以滿足各種微電子產(chǎn)品的光照需求，同時(shí)保障檢測(cè)精度，從而提高檢測(cè)性能。[0028]本具體實(shí)施方式
克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)、增加了功能、降低了成本、簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)、 易于制造、故障率低、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、便于操作。
權(quán)利要求1.集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀，其特征在于它包含工業(yè)用C⑶相機(jī)(I)、顯微鏡(2)、樣品臺(tái)(3)、自動(dòng)聚焦裝置(4)、光源箱(5)、晶圓角度調(diào)整裝置(6)、大理石桌面(7)、隔震系統(tǒng)(8)、晶圓片盒(9)、液晶顯示器(10)、懸臂(11)、配電箱(12)、柜架(13)和自動(dòng)上下片裝置(14)，工業(yè)用C⑶相機(jī)(I)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口連接在顯微鏡(2)上，樣品臺(tái)(3)通過(guò)螺紋連接固定在顯微鏡(2)的底座上，自動(dòng)聚焦裝置(4)通過(guò)聯(lián)軸器連接在顯微鏡(2)的升降部上，光源箱(5)通過(guò)卡口固定在顯微鏡(2)上，晶圓片盒(9)、晶圓角度調(diào)整裝置￠)、自動(dòng)上下片裝置(14)及顯微鏡(2)的底座均通過(guò)螺紋連接固定在大理石桌面(7)上，大理石桌面(7)的下端面與柜架(13)之間設(shè)置有隔震系統(tǒng)(8)，懸臂(11)通過(guò)螺紋連接固定在柜架(13)側(cè)面，液晶顯示器(10)通過(guò)螺紋連接固定在懸臂(11)上，配電箱(12)置于柜架(13)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀，其特征在于所述的自動(dòng)上下片裝置(14)為機(jī)械手。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀，其特征在于所述的晶圓角度調(diào)整裝置￠)為角度探測(cè)器。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀，其特征在于所述的隔震系統(tǒng)(8)為氣浮式隔震系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀，其特征在于所述的自動(dòng)聚焦裝置(4)為聚焦馬達(dá)。
專利摘要集成電路微觀尺寸納微檢測(cè)儀，它涉及微電子檢測(cè)儀技術(shù)領(lǐng)域。它的工業(yè)用CCD相機(jī)(1)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口連接在顯微鏡(2)上，樣品臺(tái)(3)通過(guò)螺紋連接固定在顯微鏡(2)的底座上，自動(dòng)聚焦裝置(4)通過(guò)聯(lián)軸器連接在顯微鏡(2)的升降部上，大理石桌面(7)的下端面與柜架(13)之間設(shè)置有隔震系統(tǒng)(8)。它克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)、增加了功能、降低了成本、簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)、易于制造、故障率低、安全可靠、節(jié)能環(huán)保、便于操作。
文檔編號(hào)G01N21/88GK202661393SQ201220088148
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月12日
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