專利名稱：一種耐環(huán)境氣體污染的表壓測(cè)量硅傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種壓力測(cè)量裝置，尤其是具備耐環(huán)境氣體污染的表壓測(cè)量硅傳感器。
背景技術(shù)：
目前，公知的表壓測(cè)量硅傳感器是由測(cè)量膜片、充灌液、腔室、硅信號(hào)發(fā)生器、通氣管道組成。工作時(shí)，測(cè)量介質(zhì)的壓力通過(guò)測(cè)量膜片和充灌液向信號(hào)發(fā)生器正側(cè)傳遞，環(huán)境氣體的壓力(一般為當(dāng)前大氣壓力)作為參比壓力通過(guò)通氣管道直接向硅信號(hào)發(fā)生器負(fù)側(cè)傳遞，實(shí)現(xiàn)表壓測(cè)量的目的。但這種表壓測(cè)量硅傳感器在污染氣體環(huán)境下工作時(shí)，污染氣體會(huì)通過(guò)通氣管道直接進(jìn)入硅傳感器參比腔與硅信號(hào)發(fā)生器接觸，將使硅信號(hào)發(fā)生器受到污染和氧化，最終影響表壓測(cè)量硅傳感器的長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性和可靠性。 發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有的表壓測(cè)量硅傳感器在污染氣體環(huán)境下工作時(shí)的不足，本實(shí)用新型提供一種耐環(huán)境氣體污染的表壓測(cè)量娃傳感器。該耐環(huán)境氣體污染的表壓測(cè)量娃傳感器工作時(shí)，環(huán)境氣體的壓力(一般為當(dāng)前大氣壓力)作為參比壓力通過(guò)通氣管道和參比腔體向硅信號(hào)發(fā)生器負(fù)側(cè)傳遞，測(cè)量介質(zhì)的壓力通過(guò)正側(cè)腔體向硅信號(hào)發(fā)生器正側(cè)傳遞，實(shí)現(xiàn)表壓測(cè)量的目的。本實(shí)用新型解決問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是在硅信號(hào)發(fā)生器的負(fù)側(cè)上端焊接密封一張可傳遞壓力的參比腔耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，充入?yún)⒈惹怀涔嘁?，形成參比腔體，同時(shí)，通氣管道與參比腔體連通；在硅信號(hào)發(fā)生器的正側(cè)下端焊接密封一張可傳遞壓力的正側(cè)耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，充入正腔充灌液，形成正側(cè)腔體。環(huán)境氣體的壓力作為參比壓力通過(guò)通氣管道先傳遞至參比腔耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，再通過(guò)參比腔充灌液向硅信號(hào)發(fā)生器負(fù)側(cè)傳遞壓力；測(cè)量介質(zhì)的壓力通過(guò)正側(cè)耐腐蝕金屬測(cè)量膜片和正腔充灌液向硅信號(hào)發(fā)生器正側(cè)傳遞壓力，實(shí)現(xiàn)了表壓測(cè)量。本實(shí)用新型的有益效果是，這種硅傳感器的設(shè)計(jì)方式在有污染氣體環(huán)境下工作時(shí)，有效地隔絕了污染氣體對(duì)硅信號(hào)發(fā)生器的污染和氧化，保證了表壓測(cè)量硅傳感器性能不受影響，長(zhǎng)期工作的穩(wěn)定性和可靠性。
以下結(jié)合附圖
和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理圖。圖2是本實(shí)用新型的工作原理圖。圖中I.參比腔耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，2.參比腔充灌液，3.硅信號(hào)發(fā)生器，4.正側(cè)耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，5.正腔充灌液，6.通氣管道。
具體實(shí)施方式
在圖I中，將硅信號(hào)發(fā)生器(3)裝入表壓測(cè)量硅傳感器內(nèi)，在硅信號(hào)發(fā)生器(3)負(fù)側(cè)上端焊接密封一張參比腔耐腐蝕金屬測(cè)量膜片(I)，并充入?yún)⒈惹怀涔嘁?2)，形成一個(gè)可以向硅信號(hào)發(fā)生器(3)負(fù)側(cè)傳遞壓力的參比腔體；在硅信號(hào)發(fā)生器(3)正側(cè)下端焊接密封一張正側(cè)耐腐蝕金屬測(cè)量膜片(4)，并充入正腔充灌液(5)，形成一個(gè)可以向硅信號(hào)發(fā)生器(3)正側(cè)傳遞壓力的正側(cè)腔體。在圖2所示的硅傳感器工作實(shí)施例中，環(huán)境氣體的壓力(一般為當(dāng)前大氣壓力P。)作為參比壓力通過(guò)通氣管道(6)傳遞至參比腔耐腐蝕金屬測(cè)量膜片(I)，再通過(guò)參比腔充灌液(2)向硅信號(hào)發(fā)生器(3)負(fù)側(cè)傳遞當(dāng)前環(huán)境氣體的壓力Ptl ;測(cè)量介質(zhì)的壓力P通過(guò)正側(cè)耐腐蝕金屬測(cè)量膜片(4)和正腔充灌液(5)向硅信號(hào)發(fā)生器(3)正側(cè)傳遞測(cè)量介質(zhì) 的壓力P，這樣，通過(guò)參比強(qiáng)耐腐蝕金屬測(cè)量膜片⑴和參比腔充灌液⑵形成的參比腔體隔絕了環(huán)境氣體與硅信號(hào)發(fā)生器(3)，杜絕了硅信號(hào)發(fā)生器(3)被環(huán)境氣體污染和氧化的情況的發(fā)生，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了表壓測(cè)量。
權(quán)利要求1. 一種耐環(huán)境氣體污染的表壓測(cè)量娃傳感器，在娃信號(hào)發(fā)生器的負(fù)側(cè)上端焊接密封一張可傳遞壓力的參比腔耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，充入?yún)⒈惹怀涔嘁海纬蓞⒈惹惑w，同時(shí)，通氣管道與參比腔體連通；在硅信號(hào)發(fā)生器的正側(cè)下端焊接密封一張可傳遞壓力的正側(cè)耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，充入正腔充灌液，形成正側(cè)腔體。
專利摘要一種耐環(huán)境氣體污染的表壓測(cè)量硅傳感器，在硅信號(hào)發(fā)生器的負(fù)側(cè)上端焊接密封一張可傳遞壓力的參比腔耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，充入?yún)⒈惹怀涔嘁海纬蓞⒈惹惑w，環(huán)境氣體的壓力作為參比壓力通過(guò)通氣管道和參比腔體向硅信號(hào)發(fā)生器負(fù)側(cè)傳遞；在硅信號(hào)發(fā)生器的正側(cè)下端焊接密封一張可傳遞壓力的正側(cè)耐腐蝕金屬測(cè)量膜片，充入正腔充灌液，形成正側(cè)腔體，測(cè)量介質(zhì)的壓力通過(guò)正側(cè)腔體向硅信號(hào)發(fā)生器正側(cè)傳遞，這種硅傳感器的設(shè)計(jì)方式在有污染氣體環(huán)境下工作時(shí)，有效地隔絕了污染氣體對(duì)硅信號(hào)發(fā)生器的污染和氧化，并實(shí)現(xiàn)了表壓測(cè)量。
文檔編號(hào)G01L19/06GK202420756SQ201220044150
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2012年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月10日
發(fā)明者姚康, 張曙, 李俊毅, 王徐堅(jiān), 郝正宏 申請(qǐng)人:上海洛丁森工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司