一種基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，包括上層蓋片和下層基片，所述蓋片上集成有樣品室、儲(chǔ)液池、薄膜聲波傳感器的固定凹槽、微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)及微柱定位結(jié)構(gòu)，所述基片上成型微通道，所述微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)由閥膜和閥腔組成，所述閥膜經(jīng)微閥開關(guān)固定裝置壓住，并通過所述微柱定位結(jié)構(gòu)準(zhǔn)確定位所述微閥開關(guān)固定裝置。本發(fā)明采用多路微通道，可以對小型樣本中多種標(biāo)志物進(jìn)行高通量的測定，各微通道通過獨(dú)立控制微閥開關(guān)，實(shí)時(shí)獲取樣品在不用用量、不同測定時(shí)間下的檢測結(jié)果，并且利用薄膜聲波傳感器實(shí)現(xiàn)pg/mL的檢測精度；能夠自動(dòng)進(jìn)行系統(tǒng)的清洗，從而反復(fù)使用，有效地解決了集成微流控芯片工藝復(fù)雜和成本高的問題。
【專利說明】一種基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于微流控芯片領(lǐng)域，具體涉及一種基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片。
【背景技術(shù)】
[0002]在腫瘤的發(fā)生過程中，血清中某些腫瘤標(biāo)志物的升高與腫瘤密切相關(guān)。因此，檢測腫瘤標(biāo)記物在對腫瘤的篩選、診斷和判斷預(yù)后中扮演著重要的角色。為了實(shí)現(xiàn)腫瘤早期診治，目前研究大多集中于檢測活細(xì)胞內(nèi)一種腫瘤標(biāo)志物，這可能會(huì)帶來“假陽性”結(jié)果。因?yàn)橐恍┠[瘤標(biāo)志物不但在癌細(xì)胞中表達(dá)，在正常細(xì)胞中也會(huì)表達(dá)，所以同時(shí)檢測活細(xì)胞中多種腫瘤標(biāo)志物具有非常重要的意義。例如肝癌通常需要同時(shí)檢測癌胚抗原(CEA)、糖類抗原19 (CA19-9)、甲胎蛋白(AFP)以及糖類抗原125 (CA125)四種標(biāo)記物，肺癌則需要癌胚抗原(CEA)、神經(jīng)元特異性烯醇化酶(NSE)、細(xì)胞角蛋白19片斷(CyFRA21-l)、鱗狀細(xì)胞癌抗原(SCC)、糖類抗原125 (CA125)、組織多肽抗原(TPA)等多種標(biāo)記物的檢測。采用多種癌癥標(biāo)記物的聯(lián)合檢測可提聞癥狀診斷的準(zhǔn)確性，其中涉及的關(guān)鍵問題，如減少樣品和試劑的用量、準(zhǔn)確控制樣品試劑混合程度、縮短檢測周期以及保證檢測精度亟待解決。
[0003]微流控芯片技術(shù)是把生物、化學(xué)及醫(yī)療分析等領(lǐng)域中所涉及的樣品制備、反應(yīng)、分離、檢測等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上，通過蠕動(dòng)泵、注射泵或者電場的作用形成微通路，達(dá)到快速可靠分析樣品的目的，目前已經(jīng)開始在生物分析、醫(yī)學(xué)檢測、食品藥品安全及環(huán)境污染等領(lǐng)域發(fā)揮越來越重要的作用。
[0004]目前微流控芯片很多試驗(yàn)針對某一種癌癥標(biāo)志物進(jìn)行對比性分析試驗(yàn)，每次試驗(yàn)檢測中，保證各通路通入樣品和試劑的量相等，樣品和試劑混合時(shí)間一致，顯然這種方式測試多種腫瘤標(biāo)記物樣品的周期較長，降低了腫瘤細(xì)胞早期診斷的效率。
[0005]同時(shí)，常用的高聚物微流控芯片通過注塑法將樣品室和儲(chǔ)液池等結(jié)構(gòu)同時(shí)脫模，甚至和微通道一體成型，極大地提高了芯片的集成度。但是，集成系統(tǒng)極其容易造成污染，每完成一次測定后，都要進(jìn)行樣品室及微通道系統(tǒng)的清洗，尤其針對多種標(biāo)記物的測試，過程十分繁瑣。采用一次性高聚物微流控芯片是目前較為常用的做法，但是以現(xiàn)有的微加工工藝，加工一塊集成微流控芯片的工藝較為復(fù)雜，成本相對較高，一次性使用芯片代價(jià)較大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為解決上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，實(shí)時(shí)得到樣品在不用用量、不同測定時(shí)間下的檢測結(jié)果，同時(shí)保證檢測精度，實(shí)現(xiàn)多通道分時(shí)、定量、編程控制，從而應(yīng)用于高靈敏度、多種癌癥標(biāo)志物的測量。
[0007]樣處理廠的告知系統(tǒng)為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn): 一種基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，包括上層蓋片和下層基片，所述蓋片上集成有樣品室、儲(chǔ)液池、薄膜聲波傳感器的固定凹槽、微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)及微柱定位結(jié)構(gòu)，所述基片上成型微通道，所述微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)由閥膜和閥腔組成，所述閥膜經(jīng)微閥開關(guān)固定裝置壓住，并通過所述微柱定位結(jié)構(gòu)準(zhǔn)確定位所述微閥開關(guān)固定裝置。
[0008]進(jìn)一步的，所述薄膜聲波傳感器放置于所述凹槽內(nèi)，所述薄膜聲波傳感器采用表聲波器件或體聲波器件。
進(jìn)一步的，所述微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)的開啟和關(guān)閉通過頂針系統(tǒng)的壓下和抬起，對所述閥膜施加作用力來實(shí)現(xiàn)，各個(gè)頂針單獨(dú)控制，并分別連接壓力傳感器進(jìn)行壓力的準(zhǔn)確反饋和調(diào)
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[0009]進(jìn)一步的，所述閥膜采用硅膠膜或Parylene鍍膜，所述閥腔采用碗狀結(jié)構(gòu)。
[0010]進(jìn)一步的，所述樣品室為16個(gè)，呈2x8交錯(cuò)排列的方式，為長方體、圓柱或圓錐體，容積為O-lOOml，可以同時(shí)進(jìn)行16種不同樣品的檢測，所述樣品室下端為斜面并留有小孔。
[0011]進(jìn)一步的，所述儲(chǔ)液池為16個(gè)，呈錐形，分別通過接頭連接注射泵，所述注射泵提供動(dòng)力將樣品和緩沖液引入所述微通道，并且負(fù)責(zé)排出廢液。
[0012]進(jìn)一步的，所述蓋片和所述基片之間采用粘結(jié)、超聲焊接或者激光焊接的方式鍵
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[0013]進(jìn)一步的，所述蓋片選用高聚物材料，為聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、聚二甲基硅氧烷PDMS或聚酰胺PA，所述基片采用同種高聚物材料或玻璃。
[0014]進(jìn)一步的,所述蓋片基層基本形狀為長方形,長度為80-200mm,寬度為50-200mm,厚度為1.0-5.0mm,在所述基片上經(jīng)熱壓成型或注塑成型得到所述微通道，截面形狀為深50-100 μ m、寬50-200 μ m的矩形或半圓形，基片厚度為0.l_3mm。
[0015]進(jìn)一步的，緩沖液通過外部容器接入，實(shí)時(shí)地對參與反應(yīng)的所述微通道進(jìn)行清洗。
[0016]本發(fā)明的有益效果是:
1、本發(fā)明采用多路微通道，可以對小型樣本中多種標(biāo)志物進(jìn)行高通量的測定，各微通道通過獨(dú)立控制微閥開關(guān)，實(shí)時(shí)獲取樣品在不用用量、不同測定時(shí)間下的檢測結(jié)果，并且利用薄膜聲波傳感器實(shí)現(xiàn)pg/mL的檢測精度；
2、本發(fā)明能夠自動(dòng)進(jìn)行系統(tǒng)的清洗，從而反復(fù)使用，有效地解決了集成微流控芯片工藝復(fù)雜和成本高的問題；
3、本發(fā)明可應(yīng)用于臨床診斷，尤其是新穎分子標(biāo)記物開發(fā)以及現(xiàn)有分子標(biāo)記物檢測，還可以用于檢疫檢驗(yàn)，如食品藥品安全評估、傳染病控制以及違禁品監(jiān)測。
[0017]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為本發(fā)明的總體三維軸測圖；
圖2為本發(fā)明的主視圖；
圖3為本發(fā)明的基片微通道示意圖；
圖4為圖3的I處局部放大圖； 圖5為圖3的II處局部放大圖；
圖6為本發(fā)明的樣品室局部首I]視圖；
圖7為本發(fā)明的微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)局部剖視圖；
圖8為本發(fā)明的微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)去掉閥膜后的局部剖視圖；
圖9為本發(fā)明的微閥開關(guān)控制結(jié)構(gòu)示意圖；
圖10為本發(fā)明的薄膜聲波傳感器截面剖視圖；
圖11為本發(fā)明的儲(chǔ)液池局部剖視圖。
[0019]圖中標(biāo)號說明:
1、蓋片，2、樣品室，3、微閥開關(guān)固定裝置，4、閥膜，5、薄膜聲波傳感器，6、微柱定位結(jié)構(gòu)，7、儲(chǔ)液池，8、基片，1-1、閥腔，1-2、第一突起，1-3、第一閥孔，1-4、第二閥孔，1_5、第二突起，1-6、微柱，3-1、緩沖液引入通道，3-2、樣品引入通道，3-3、引入傳感器微通道，3-4、弓丨出傳感器微通道，3-5、流經(jīng)儲(chǔ)液池微通道，3-6、以及廢液排出微通道，3-7、第一微閥開關(guān)，3-8、第二微閥開關(guān)，3-9、第三微閥開關(guān)，3-10、第四微閥開關(guān)，8-1、第一微通道，8-2、第二微通道，9-1、壓力傳感器，9-2、頂端，9-3、壓縮彈簧，9-4、頂針，9-5、固定擋板，10-1、薄膜聲波傳感器核心器件，10-2、密封材料，11-1、注射泵。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來詳細(xì)說明本發(fā)明。
[0021]參見圖1所示，一種基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，包括上層蓋片I和下層基片8，所述蓋片I上集成有樣品室2、儲(chǔ)液池7、薄膜聲波傳感器5的固定凹槽、微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)及微柱定位結(jié)構(gòu)6，所述基片8上成型微通道，所述微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)由閥膜4和閥腔1-1組成，所述閥膜4經(jīng)微閥開關(guān)固定裝置3壓住，并通過所述微柱定位結(jié)構(gòu)6準(zhǔn)確定位所述微閥開關(guān)固定裝置3。
[0022]進(jìn)一步的，所述薄膜聲波傳感器5放置于所述凹槽內(nèi)，所述薄膜聲波傳感器5采用表聲波器件或體聲波器件。
進(jìn)一步的，所述微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)的開啟和關(guān)閉通過頂針系統(tǒng)的壓下和抬起，對所述閥膜4施加作用力來實(shí)現(xiàn)，各個(gè)頂針單獨(dú)控制，并分別連接壓力傳感器進(jìn)行壓力的準(zhǔn)確反饋和調(diào)
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[0023]進(jìn)一步的，所述閥膜4采用硅膠膜或Parylene鍍膜，所述閥腔1_1采用碗狀結(jié)構(gòu)。
[0024]進(jìn)一步的，所述樣品室2為16個(gè)，呈2x8交錯(cuò)排列的方式，為長方體、圓柱或圓錐體，容積為O-lOOml，可以同時(shí)進(jìn)行16種不同樣品的檢測，所述樣品室2下端為斜面并留有小孔。
[0025]進(jìn)一步的，所述儲(chǔ)液池7為16個(gè)，呈錐形，分別通過接頭連接注射泵11-1，所述注射泵11-1提供動(dòng)力將樣品和緩沖液引入所述微通道，并且負(fù)責(zé)排出廢液。
[0026]進(jìn)一步的，所述蓋片I和所述基片8之間采用粘結(jié)、超聲焊接或者激光焊接的方式鍵合。
[0027]進(jìn)一步的，所述蓋片I選用高聚物材料，為聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、聚二甲基硅氧烷PDMS或聚酰胺PA，所述基片8采用同種高聚物材料或玻璃。
[0028]進(jìn)一步的，所述蓋片I基層基本形狀為長方形，長度為80-200mm,寬度為50-200mm,厚度為1.0-5.0mm,在所述基片8上經(jīng)熱壓成型或注塑成型得到所述微通道，截面形狀為深50-100 μ m、寬50-200 μ m的矩形或半圓形，基片厚度為0.1_3_。
[0029]進(jìn)一步的，緩沖液通過外部容器接入，實(shí)時(shí)地對參與反應(yīng)的所述微通道進(jìn)行清洗。 參見圖2所示，其中A-A為樣品室2剖視圖，B-B為微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)剖視圖，C-C為薄膜聲
波傳感器5剖視圖，D-D為儲(chǔ)液池7剖視圖。
[0030]參見圖3、圖4、圖5所示，微通道包括緩沖液引入通道3-1、樣品引入通道3-2、引入傳感器微通道3-3、引出傳感器微通道3-4、流經(jīng)儲(chǔ)液池微通道3-5以及廢液排出微通道3-6。樣品引入順序?yàn)?樣品室2—樣品引入通道3-2—第二微閥開關(guān)3-8—引入傳感器微通道3-3—薄膜聲波傳感器5—第三微閥開關(guān)3-9—弓丨出傳感器微通道3-4—流經(jīng)儲(chǔ)液池微通道3-5—儲(chǔ)液池7。緩沖液引入順序?yàn)?緩沖液引入通道3-1—第一微閥開關(guān)3-7—引入傳感器微通道3-3—薄膜聲波傳感器5—弓丨出傳感器微通道3-4—第三微閥開關(guān)3-9—流經(jīng)儲(chǔ)液池微通道3-5—儲(chǔ)液池7。測試完成后，樣品和緩沖液排出過程為:儲(chǔ)液池7—流經(jīng)儲(chǔ)液池微通道3-5—第四微閥開關(guān)3-10—廢液排出微通道3-6。
[0031]參見圖6所示，所述樣品室2為16個(gè)，呈2x8交錯(cuò)排列的方式，為長方體、圓柱或圓錐體，容積為Ο-lOOml，可以同時(shí)進(jìn)行16種不同樣品的檢測，所述樣品室2下端留有小孔，便于樣品順利流入微通道，并且底部斜面易于樣品室脫模。
[0032]參見圖7、圖8所示，閥膜4放于蓋片I的第一突起1-2和第二突起1_5上，閥膜4采用硅膠模，厚度為0.3-1.2_，第一突起1-2和第二突起1-5上相對蓋片基層高度均為
0.10mm。閥膜4通過微柱定位結(jié)構(gòu)6和蓋片I突出的微柱1_6配合來固定,微柱1_6高出蓋片基層高度為0.2mm，直徑為0.8-1.2mm。液體進(jìn)樣時(shí)，從基片8中的第一微通道8-1引入，流經(jīng)蓋片I中的第一閥孔1-3后進(jìn)入閥腔1-1，圖中閥膜4左側(cè)在水平位置，說明閥膜4左側(cè)開關(guān)處于打開狀態(tài)，將閥膜4右側(cè)壓下關(guān)閉右邊通路，液體進(jìn)而經(jīng)過第二閥孔1-4進(jìn)入基片8的第二微通道8-2，確保在第二微通道8-2中間位置處流入傳感器微通道3-3。閥腔
1-1為碗裝結(jié)構(gòu)，相比長方體結(jié)構(gòu)，閥膜4壓下時(shí)的密封效果更好，閥腔1-1直徑為0.6 mm,高度為0.2mm。第一閥孔1-3和第二閥孔1-4直徑為0.1-0.2mm。
[0033]參見圖9所示，閥門的關(guān)閉和開啟通過頂針9-4壓下或釋放閥膜4來實(shí)現(xiàn)。當(dāng)微閥開關(guān)執(zhí)行關(guān)閉時(shí)，頂端9-2得到觸發(fā)信號，壓縮彈簧9-3，頂針9-4隨著頂端9-2壓下，通過固定擋板9-5，使得閥膜4進(jìn)入閥腔1-1直至第一閥孔1-3和第二閥孔1-4不再導(dǎo)通，壓力傳感器9-1調(diào)整頂針9-4對閥膜4的壓力，保持大小為2-4N。當(dāng)微閥開關(guān)執(zhí)行開啟時(shí)，頂端9-2再次得到觸發(fā)信號，壓縮彈簧9-3伸長，頂端9-2帶動(dòng)頂針9-4抬起，壓力傳感器
9-1保持頂針9-4底部對閥膜4施加微小的作用力。
[0034]薄膜聲波傳感器5是分析檢測的核心部分，分別具有16個(gè)輸入輸出接口，其中I路接口微通路如圖10所示，薄膜聲波傳感器核心器件10-1背面硅襯底刻蝕后由密封材料
10-2密封，并放于蓋片I的凹槽中。液體經(jīng)基片8的微通道流入蓋片1，沿圖中箭頭方向進(jìn)入檢測部分并流出。
[0035]薄膜聲波傳感器核心器件10-1的硅襯底背面經(jīng)濕法刻蝕得到，由于Ti或Mo電極和壓電薄膜AlN的晶格失配度較常見金屬低，器件正面首先濺射Ti或者M(jìn)o作為地電極。壓電材料AlN通過直流濺射的方法轟擊Al靶材進(jìn)行薄膜沉積，薄膜厚度為0.2-2.0 μ m。為了測試器件的導(dǎo)電性，AlN薄膜上濺射沉積金屬電極，可采用Al、Au等金屬。[0036]儲(chǔ)液池7采用錐形結(jié)構(gòu)，如圖11所示，共16個(gè)，每個(gè)儲(chǔ)液池最大設(shè)計(jì)容積為120ml，分別對應(yīng)各樣品室和緩沖液通道。儲(chǔ)液池通過連接注射泵11-1，將樣品和緩沖液弓I入微通道，并且負(fù)責(zé)排出廢液。錐形結(jié)構(gòu)能夠減小芯片液相分離分析中由于液面壓力差引起的區(qū)帶增寬效應(yīng)，并且便于脫模。注射泵的推拉通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠或者采用直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，每一路單獨(dú)控制，并且各條管路均可以接入壓力傳感器，精確控制微通道液體的壓力和流速。
[0037]微流控芯片系統(tǒng)樣品檢測流程如下所示:首先，系統(tǒng)得到觸發(fā)信號，所有頂針9-4壓下閥膜4，使閥膜4均勻平鋪在蓋片I的第一突起1-2和第二突起1-5上，此時(shí)閥腔1-1同第一閥孔1-3、第二閥孔1-4形成封閉的微通道，第一微閥開關(guān)3-7、第二微閥開關(guān)3-8、第三微閥開關(guān)3-9和第四微閥開關(guān)3-10全部打開。系統(tǒng)再次獲得觸發(fā)信號，頂針9-4繼續(xù)對閥膜4施加作用力，通過壓力傳感器控制力的大小為2-4N，使得第一微閥開關(guān)3-7和第四微閥開關(guān)3-10關(guān)閉，此時(shí)第二微閥開關(guān)3-8和第三微閥開關(guān)3-9處于導(dǎo)通狀態(tài)。然后引入樣品，具體步驟是從樣品室2滴入適量樣品，儲(chǔ)液池7的注射泵提供動(dòng)力，樣品流經(jīng)樣品引入通道3-2、第二微閥開關(guān)3-8、引入傳感器微通道3-3進(jìn)入薄膜聲波傳感器5，測試的樣品通過引出傳感器微通道3-4、第三微閥開關(guān)3-9、流經(jīng)儲(chǔ)液池微通道3-5進(jìn)入儲(chǔ)液池7。隨后將第二微閥開關(guān)3-8關(guān)閉，結(jié)束樣品的引入，同時(shí)第一微閥開關(guān)3-7打開，開始引入緩沖液，具體步驟是在儲(chǔ)液池7連接的注射泵的驅(qū)動(dòng)下，緩沖液經(jīng)引入通道3-1，第一微閥開關(guān)3-7、引入傳感器微通道3-3進(jìn)入薄膜聲波傳感器5，引出傳感器微通道3-4、第三微閥開關(guān)3-9、流經(jīng)儲(chǔ)液池微通道3-5進(jìn)入儲(chǔ)液池7。最后，進(jìn)行混合液的排出，關(guān)閉第三微閥開關(guān)3-9，開啟第四微閥開關(guān)3-10，儲(chǔ)液池7中的混合液經(jīng)流經(jīng)儲(chǔ)液池微通道3-5、第四微閥開關(guān)3-10以及廢液排出微通道3-6引出芯片系統(tǒng)。
[0038]以上所述僅為發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，包括上層蓋片(I)和下層基片(8)，其特征在于:所述蓋片(I)上集成有樣品室(2)、儲(chǔ)液池(7)、薄膜聲波傳感器(5)的固定凹槽、微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)及微柱定位結(jié)構(gòu)(6)，所述基片(8)上成型微通道，所述微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)由閥膜(4)和閥腔(1-1)組成，所述閥膜(4)經(jīng)微閥開關(guān)固定裝置(3)壓住，并通過所述微柱定位結(jié)構(gòu)(6)準(zhǔn)確定位所述微閥開關(guān)固定裝置(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:所述薄膜聲波傳感器(5 )放置于所述凹槽內(nèi)，所述薄膜聲波傳感器(5 )米用表聲波器件或體聲波器件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:所述微閥開關(guān)結(jié)構(gòu)的開啟和關(guān)閉通過頂針系統(tǒng)的壓下和抬起，對所述閥膜(4)施加作用力來實(shí)現(xiàn)，各個(gè)頂針單獨(dú)控制，并分別連接壓力傳感器進(jìn)行壓力的準(zhǔn)確反饋和調(diào)整。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:所述閥膜(4)采用硅膠膜或Parylene鍍膜，所述閥腔(1_1)采用碗狀結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:所述樣品室(2)為16個(gè)，呈2x8交錯(cuò)排列的方式，為長方體、圓柱或圓錐體，容積為O-lOOml，可以同時(shí)進(jìn)行16種不同樣品的檢測，所述樣品室(2)下端為斜面并留有小孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:所述儲(chǔ)液池(7)為16個(gè)，呈錐形，分別通過接頭連接注射泵(11-1)，所述注射泵(11-1)提供動(dòng)力將樣品和緩沖液引入所述微通道，并且負(fù)責(zé)排出廢液。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:所述蓋片(I)和所述基片(8)之間采用粘結(jié)、超聲焊接或者激光焊接的方式鍵合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:所述蓋片(I)選用高聚物材料，為聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、聚二甲基硅氧烷PDMS或聚酰胺PA，所述基片(8)采用同種高聚物材料或玻璃。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:所述蓋片(I)基層基本形狀為長方形，長度為80-200mm，寬度為50-200mm，厚度為1.0-5.0mm,在所述基片(8)上經(jīng)熱壓成型或注塑成型得到所述微通道，截面形狀為深50-100 μ m、寬50-200 μ m的矩形或半圓形，基片厚度為0.l_3mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于薄膜聲波器件的多通道獨(dú)立控制集成微流控芯片，其特征在于:緩沖液通過外部容器接入，實(shí)時(shí)地對參與反應(yīng)的所述微通道進(jìn)行清洗。
【文檔編號】G01N29/02GK103852518SQ201210517172
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2012年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月6日
【發(fā)明者】李傳宇, 周連群, 吳一輝, 黎海文 申請人:蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所