專利名稱:光全周編碼器和馬達(dá)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及光全周編碼器和馬達(dá)系統(tǒng)。
背景技術(shù):
為了測(cè)定移動(dòng)體的位置和速度等物理量,使用光學(xué)式編碼器。光學(xué)式編碼器存在下述結(jié)構(gòu):為了產(chǎn)生與圓盤(pán)的旋轉(zhuǎn)對(duì)應(yīng)的反射光或透射光,使用與形成于圓盤(pán)的旋轉(zhuǎn)窄縫對(duì)應(yīng)的固定窄縫。在該種光學(xué)式編碼器中,為了進(jìn)行高精度的位置檢測(cè),需要高精度地調(diào)整旋轉(zhuǎn)窄縫與固定窄縫的位置關(guān)系。其原因在于,在固定窄縫與旋轉(zhuǎn)窄縫的位置關(guān)系存在誤差的情況下,由于在設(shè)計(jì)上并不希望的反射光和透射光被光敏元件接收到等而導(dǎo)致噪聲增力口,所述噪聲的增加與所述誤差的量對(duì)應(yīng)。為了減小該種噪聲,開(kāi)發(fā)出光全周補(bǔ)償式旋轉(zhuǎn)編碼器(下面,也稱為“光全周編碼器”。)(例如,參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)1:日本特表2006-515426號(hào)公報(bào)所述光全周編碼器對(duì)在圓盤(pán)的全周形成的多條窄縫中的大致全部窄縫照射光,并接收其反射光或透射光。從而,例如在圓盤(pán)被偏心安裝的情況下等,即使固定圓盤(pán)和旋轉(zhuǎn)圓盤(pán)的位置關(guān)系產(chǎn)生誤差的情況下,通過(guò)使用從全周得到的反射光或透射光,也能夠使誤差相互抵消。這樣對(duì)誤差的容忍度提高的結(jié)果是,能夠容易地制造光全周編碼器。另一方面,在所述光全周編碼器中,如專利文獻(xiàn)I所示,繞旋轉(zhuǎn)軸線遍及全周形成的旋轉(zhuǎn)窄縫和固定窄縫的至少一方由沿徑向排列的雙重窄縫形成。并且,為了對(duì)每個(gè)雙重化的窄縫得到不同的信號(hào),光路等在徑向或高度方向(軸方向)被雙重化。這樣在徑向或高度方向被雙重化后的光路等成為使裝置整體大型化的原因。
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明正是鑒于該種問(wèn)題而完成的,本發(fā)明的目的在于提供一種光全周編碼器和馬達(dá)系統(tǒng),既容易制造又能夠小型化。為解決所述課題,根據(jù)本發(fā)明的某一觀點(diǎn),提供一種光全周編碼器,其具有:基板,位于旋轉(zhuǎn)軸線上的光源配置在所述基板的一面?zhèn)?;圓盤(pán),所述圓盤(pán)以能夠繞所述旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的方式配置在所述基板的另一面?zhèn)龋⒕哂兄辽?個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道,所述旋轉(zhuǎn)軌道具有以所述旋轉(zhuǎn)軸線為中心的多條旋轉(zhuǎn)窄縫;和導(dǎo)光部,所述導(dǎo)光部將從所述光源照射的光呈放射狀地朝向所述圓盤(pán)的外周方向的大致整個(gè)區(qū)域引導(dǎo),并引導(dǎo)至所述2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道,所述導(dǎo)光部具有:第I導(dǎo)光部,所述第I導(dǎo)光部具有直接或間接面對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軌道中的第I旋轉(zhuǎn)軌道的大致環(huán)狀的面,所述第I導(dǎo)光部用于呈放射狀地引導(dǎo)所述光以使所述光從所述面朝向所述第I旋轉(zhuǎn)軌道射出;和第2導(dǎo)光部,所述第2導(dǎo)光部配置有至少2個(gè)以上,所述第2導(dǎo)光部用于將所述被呈放射狀地引導(dǎo)的光的一部分引導(dǎo)到所述旋轉(zhuǎn)軌道中的除所述第I旋轉(zhuǎn)軌道以外的至少I(mǎi)個(gè)以上的第2旋轉(zhuǎn)軌道。而且,也可以是,所述光全周編碼器還具有固定軌道,所述固定軌道固定在所述圓盤(pán)的軸向一方側(cè)或另一方側(cè),并具有與所述第I旋轉(zhuǎn)軌道的所述旋轉(zhuǎn)窄縫對(duì)應(yīng)的多條固定窄縫;所述固定軌道沿周向被分割為2個(gè)以上的區(qū)域;所述第I導(dǎo)光部至少在與所述2個(gè)以上區(qū)域的邊界對(duì)應(yīng)的位置具有用于遮蔽光的多個(gè)遮蔽部;所述第2導(dǎo)光部被設(shè)置成相對(duì)于所述遮蔽部向所述圓盤(pán)側(cè)突出,用于將被呈放射狀地引導(dǎo)且進(jìn)入所述遮蔽部的光引導(dǎo)到所述第2旋轉(zhuǎn)軌道。而且,也可以是,所述第I導(dǎo)光部一邊使作用于所述多條固定窄縫和所述多條旋轉(zhuǎn)窄縫的光會(huì)聚,一邊朝向所述旋轉(zhuǎn)軸線附近引導(dǎo)所述光;所述光全周編碼器還具有2個(gè)以上的受光部,所述2個(gè)以上的受光部配置在所述旋轉(zhuǎn)軸線附近,用于在所述2個(gè)以上的區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域分別接收由所述第I導(dǎo)光部引導(dǎo)的光;在所述固定軌道中,所述區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域內(nèi)的多條固定窄縫以及在與所述一個(gè)區(qū)域相鄰的另一區(qū)域內(nèi)的多條固定窄縫形成為,使得由所述受光部接收的受光信號(hào)之間產(chǎn)生能夠判別旋轉(zhuǎn)方向的相位差。而且,也可以是,所述固定軌道被分割為4的整數(shù)倍個(gè)所述區(qū)域;所述第2導(dǎo)光部被設(shè)置為與所述區(qū)域相同個(gè)數(shù)。而且,也可以是,所述固定軌道所具有的2個(gè)以上的區(qū)域被設(shè)定為繞所述旋轉(zhuǎn)軸線按照所述區(qū)域的個(gè)數(shù)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱;繞所述旋轉(zhuǎn)軸線成為點(diǎn)對(duì)稱關(guān)系的2個(gè)所述區(qū)域中的每一個(gè)區(qū)域的所述多條旋轉(zhuǎn)窄縫或者固定窄縫形成為使得由2個(gè)所述受光部接收的受光信號(hào)之間產(chǎn)生電角度為0°或180°的相位差。而且,也可以是,所述光全周編碼器具有位置數(shù)據(jù)生成部,所述位置數(shù)據(jù)生成部用于基于將從處于所述點(diǎn)對(duì)稱關(guān)系的2個(gè)區(qū)域得到的2個(gè)受光信號(hào)彼此相加或相減的結(jié)果,來(lái)生成包含旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)方向的位置數(shù)據(jù)。而且,為解決所述課題,根據(jù)本發(fā)明的另一觀點(diǎn),提供一種馬達(dá)系統(tǒng),所述馬達(dá)系統(tǒng)具備:馬達(dá)部,所述馬達(dá)部用于使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn);光全周編碼器,所述光全周編碼器與所述旋轉(zhuǎn)軸連接,用于測(cè)定所述旋轉(zhuǎn)軸的位置;和控制部,所述控制部基于所述光全周編碼器檢測(cè)出的位置來(lái)控制所述馬達(dá)部的旋轉(zhuǎn),所述光全周編碼器具有:基板,位于所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)軸線上的光源配置在所述基板的一面?zhèn)?;圓盤(pán),所述圓盤(pán)以能夠繞所述旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的方式配置在所述基板的另一面?zhèn)龋⒕哂兄辽?個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道,所述旋轉(zhuǎn)軌道具有以所述旋轉(zhuǎn)軸線為中心的多條旋轉(zhuǎn)窄縫;和導(dǎo)光部,所述導(dǎo)光部用于將從所述光源照射的光呈放射狀地朝向所述圓盤(pán)的外周方向的大致整個(gè)區(qū)域引導(dǎo),并引導(dǎo)至所述2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道,所述導(dǎo)光部具有:第I導(dǎo)光部,所述第I導(dǎo)光部具有直接或間接面對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軌道中的第I旋轉(zhuǎn)軌道的大致環(huán)狀的面,所述第I導(dǎo)光部用于呈放射狀地引導(dǎo)所述光以使所述光從所述面朝向所述第I旋轉(zhuǎn)軌道射出;和第2導(dǎo)光部,所述第2導(dǎo)光部配置有至少2個(gè)以上,所述第2導(dǎo)光部用于將所述被呈放射狀地引導(dǎo)的光的一部分引導(dǎo)到所述旋轉(zhuǎn)軌道中的除所述第I旋轉(zhuǎn)軌道以外的至少I(mǎi)個(gè)以上的第2旋轉(zhuǎn)軌道。如以上說(shuō)明的那樣,根據(jù)本發(fā)明,既容易制造,又能夠小型化。
圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明的第I實(shí)施方式涉及的馬達(dá)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖2是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的編碼器的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖3是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的編碼器的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖4是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的基板的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖5是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的基板的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖6是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的導(dǎo)光部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖7是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的導(dǎo)光部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖8是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的導(dǎo)光部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖9是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的導(dǎo)光部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖10是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的遮蔽部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖11是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的圓盤(pán)的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖12是用于說(shuō)明所述實(shí)施方式涉及的信號(hào)處理部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖13是用于說(shuō)明變形例涉及的編碼器的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖14是用于說(shuō)明變形例涉及的導(dǎo)光部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明1:馬達(dá)系統(tǒng);10:馬達(dá);20:控制部;100:編碼器;110:基板;111:發(fā)光部(光源的一例);112、112A、112B、112C、112D:受光部;113、113A、113B、113C、113D:絕對(duì)檢測(cè)部;114:信號(hào)處理部;1141:A相信號(hào)生成部;1142:B相信號(hào)生成部;1143:絕對(duì)信號(hào)生成部;1144:位置數(shù)據(jù)生成部;120:導(dǎo)光部;121:入光部;122:發(fā)散聚光部;122A:發(fā)散面;
122B:聚光面;123:增量用第I導(dǎo)光部(第I導(dǎo)光部的一例);124:方向變換面(第I導(dǎo)光部的一例);125:增量用第2導(dǎo)光部(第I導(dǎo)光部的一例);126:照射入光面(大致環(huán)狀的面,第I導(dǎo)光部的一例);127、127A、127B、127C、127D:出光部;128:凸緣部;129:絕對(duì)用導(dǎo)光部(第2導(dǎo)光部的一例);CO:涂層;SP:遮光部;SPl:第I遮光部;SP2:第2遮光部;SP3:第3遮光部;130:遮蔽部;131:開(kāi) 口部;Tl:固定軌道;S1:固定窄縫;140:圓盤(pán);141:遮蔽部;142:導(dǎo)光部;T2:旋轉(zhuǎn)軌道(第I旋轉(zhuǎn)軌道的一例);T3:旋轉(zhuǎn)軌道(第2旋轉(zhuǎn)軌道的一例);S2,S3:旋轉(zhuǎn)窄縫;S31、S32、S33、S34、S35、S36、S37:絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫;V1、V2:反射部;200:馬達(dá)部;201:旋轉(zhuǎn)軸;202:旋轉(zhuǎn)軸端部;203:開(kāi) 口部;AX:旋轉(zhuǎn)軸線;XA、XB、XC、XD:區(qū)域;fA、<pB、fC、fD;窄縫間隔;p:間距;x:位置;100':編碼器;120':導(dǎo)光部。
具體實(shí)施方式
下面,參照附圖,對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)進(jìn)行說(shuō)明。另外,在本說(shuō)明書(shū)和附圖中,將實(shí)質(zhì)上具有同一功能的結(jié)構(gòu)要素在原則上以同一標(biāo)號(hào)表示,并適當(dāng)省略這些結(jié)構(gòu)要素的重復(fù)說(shuō)明。在下面說(shuō)明的本發(fā)明的各實(shí)施方式中,列舉具有旋轉(zhuǎn)型光學(xué)式編碼器的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)系統(tǒng)為例進(jìn)行說(shuō)明。亦即,各實(shí)施方式涉及的光全周編碼器應(yīng)用于旋轉(zhuǎn)馬達(dá)系統(tǒng)(下面,也稱為“馬達(dá)系統(tǒng)”),用于測(cè)定馬達(dá)系統(tǒng)所具有的馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)軸(旋轉(zhuǎn)體的一例)的包含旋轉(zhuǎn)角度(也稱為“位置”)的位置數(shù)據(jù)。但是,此處說(shuō)明的各實(shí)施方式涉及的光全周編碼器當(dāng)然能夠應(yīng)用于例如原動(dòng)機(jī)和轉(zhuǎn)向機(jī)(Steering)等那樣繞固定的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的各種旋轉(zhuǎn)體。另外,按下面的順序進(jìn)行說(shuō)明,以使對(duì)本發(fā)明的各實(shí)施方式的理解變得容易?!?.第I實(shí)施方式〉(1-1.第I實(shí)施方式涉及的馬達(dá)系統(tǒng))(1-2.第I實(shí)施方式涉及的編碼器的結(jié)構(gòu))(1-3.第I實(shí)施方式涉及的編碼器的動(dòng)作)(1-4.第I實(shí)施方式的效果的例子)〈2.變形例等〉〈1.第I實(shí)施方式〉(1-1.第I實(shí)施方式涉及的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)系統(tǒng))首先,一邊參照?qǐng)D1,一邊對(duì)本發(fā)明的第I實(shí)施方式涉及的馬達(dá)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明的第I實(shí)施方式涉及的馬達(dá)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。如圖1所示,本實(shí)施方式涉及的馬達(dá)系統(tǒng)I具有馬達(dá)10和控制部20。而且,馬達(dá)10具有光學(xué)式光全周編碼器(下面,也簡(jiǎn)稱為“編碼器”)100和馬達(dá)部200。馬達(dá)部200是不包含編碼器100的動(dòng)力發(fā)生源的一例。也有將該馬達(dá)部200簡(jiǎn)稱為馬達(dá)的情況。馬達(dá)部200至少在一側(cè)具有旋轉(zhuǎn)軸201,通過(guò)使該旋轉(zhuǎn)軸201繞旋轉(zhuǎn)軸線AX旋轉(zhuǎn)而輸出旋轉(zhuǎn)力。另外,馬達(dá)部200只要是基于位置數(shù)據(jù)進(jìn)行控制的伺服馬達(dá),就沒(méi)有特別的限制。而且,馬達(dá)部200并不僅限于使用電力作為動(dòng)力源的電動(dòng)式馬達(dá)部的情況,例如,也可以是液壓式馬達(dá)部、空氣式馬達(dá)部、蒸汽式馬達(dá)部等使用其它動(dòng)力源的馬達(dá)部。但是,為便于說(shuō)明,在下面,對(duì)馬達(dá)部200是電動(dòng)式馬達(dá)部的情況進(jìn)行說(shuō)明。編碼器100與旋轉(zhuǎn)軸201的一端部(負(fù)載相反側(cè)端部)202連接,該端部位于用于輸出旋轉(zhuǎn)力的輸出端(負(fù)載側(cè)端部)的相反側(cè),該編碼器100用于檢測(cè)旋轉(zhuǎn)軸201 (旋轉(zhuǎn)體的一例)的位置數(shù)據(jù)。但是,編碼器100的配置位置并沒(méi)有特別限定,例如,也可以經(jīng)由減速機(jī)或旋轉(zhuǎn)方向轉(zhuǎn)換機(jī)等其它機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)軸201等旋轉(zhuǎn)體連接。另外,在下面的說(shuō)明中,在本實(shí)施方式涉及的編碼器100所檢測(cè)的位置數(shù)據(jù)包含旋轉(zhuǎn)軸201等的位置(旋轉(zhuǎn)角度。下面也稱為“馬達(dá)位置”等)以及旋轉(zhuǎn)軸201等的包括旋轉(zhuǎn)方向的速度(旋轉(zhuǎn)速度。下面也稱為“馬達(dá)速度”等)的數(shù)據(jù)。但是,本實(shí)施方式涉及的編碼器100,也可以代替馬達(dá)速度而只檢測(cè)旋轉(zhuǎn)方向,并且還可以檢測(cè)旋轉(zhuǎn)軸201等的加速度(角加速度;下面也稱為“馬達(dá)加速度”等。)??刂撇?0取得從編碼器100輸出的位置數(shù)據(jù),并基于該位置數(shù)據(jù)來(lái)控制馬達(dá)部200的旋轉(zhuǎn)。從而,在使用電動(dòng)式馬達(dá)部作為馬達(dá)部200的本實(shí)施方式中,控制部20基于位置數(shù)據(jù)來(lái)控制對(duì)馬達(dá)部200施加的電流或電壓等,從而控制馬達(dá)部200的旋轉(zhuǎn)。并且,也可以是,控制部20從上級(jí)控制裝置(未圖示)取得上級(jí)控制信號(hào),并控制馬達(dá)部200以從馬達(dá)部200的旋轉(zhuǎn)軸201輸出該上級(jí)控制信號(hào)所表達(dá)的位置或速度等。另外,在馬達(dá)部200使用液壓式、空氣式、蒸汽式等其它動(dòng)力源的情況下,控制部20可以通過(guò)控制這些動(dòng)力源的供給來(lái)控制馬達(dá)部200的旋轉(zhuǎn)。(1-2.第I實(shí)施方式涉及的編碼器的結(jié)構(gòu))接著,一邊參照?qǐng)D2和圖3,一邊對(duì)本實(shí)施方式涉及的編碼器100的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖2和圖3是用于說(shuō)明本實(shí)施方式涉及的光全周編碼器的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。另外,圖2是從斜上方觀察本實(shí)施方式涉及的編碼器100的部分結(jié)構(gòu)的圖,圖3是將圖2所示的編碼器100沿A-A線剖開(kāi)得到的剖視圖。如圖2和圖3所示,本實(shí)施方式涉及的編碼器100大體劃分為具有基板110、導(dǎo)光部120、遮蔽部130和圓盤(pán)140。下面,在參照適當(dāng)?shù)母綀D對(duì)各結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明之后,通過(guò)編碼器100的動(dòng)作來(lái)對(duì)光的流向和檢測(cè)原理等進(jìn)行說(shuō)明。另外,下面為便于說(shuō)明,將旋轉(zhuǎn)軸線AX的馬達(dá)部200側(cè)(旋轉(zhuǎn)軸的端部202側(cè))也稱為“下方”或“下”,將遠(yuǎn)離馬達(dá)部200的方向也稱為“上方”或“上”,將與旋轉(zhuǎn)軸線AX垂直的方向也稱為“側(cè)方”或“徑向”。但是,本實(shí)施方式涉及的編碼器100并不受上下概念的限定,當(dāng)然也可以按任意的姿態(tài)配置。(基板110)如圖3所示,基板110具有發(fā)光部111、受光部112、絕對(duì)檢測(cè)部113和信號(hào)處理部114 (參照?qǐng)D13)。并且,基板110配置在遮蔽部130的上方。該基板110具有的結(jié)構(gòu)在圖4和圖5中不出。圖4和圖5是用于說(shuō)明本實(shí)施方式涉及的基板的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。另外,圖4是表不基板110的上表面的圖,圖5是表不基板110的下表面的圖。發(fā)光部111是光源的一例,如圖4所示,其在基板110的上表面配置在旋轉(zhuǎn)軸線AX上。并且,發(fā)光部111沿旋轉(zhuǎn)軸線AX朝向上方產(chǎn)生光。另外,該發(fā)光部111發(fā)出的光可以是激光、平行光、散射光、會(huì)聚光等各種各樣的光,而且,其波長(zhǎng)也沒(méi)有被特別限定。受光部112是2個(gè)以上的受光部的一例,如圖4所示,在本實(shí)施方式中,由4個(gè)受光部112A 112D構(gòu)成。受光部112A 112D以在基板110的上表面圍著發(fā)光部111的方式,在旋轉(zhuǎn)軸線AX的附近分別配置在4個(gè)區(qū)域XA XD的每個(gè)區(qū)域內(nèi)。另外,在本實(shí)施方式中,由于4個(gè)區(qū)域XA XD被設(shè)定為繞旋轉(zhuǎn)軸線AX為點(diǎn)對(duì)稱,因此,受光部112A 112D也被配置為繞旋轉(zhuǎn)軸線AX點(diǎn)對(duì)稱。所述受光部112A 112D分別在各區(qū)域XA XD的每個(gè)區(qū)域接收光,從而生成受光信號(hào)。亦即,在本實(shí)施方式中,在各區(qū)域XA XD的每個(gè)區(qū)域生成受光信號(hào),共生成4個(gè)受光信號(hào)。另外,在本實(shí)施方式中,如后所述地設(shè)置在遮蔽部130的多條固定窄縫SI被劃分在繞旋轉(zhuǎn)軸線AX點(diǎn)對(duì)稱的4個(gè)區(qū)域XA XD。從而,所述受光部112A 112D和后述的其它結(jié)構(gòu)均配置有4個(gè)。但是,在該遮蔽部130設(shè)定的區(qū)域數(shù)只要是2個(gè)以上即可,區(qū)域的設(shè)定位置也可以不是點(diǎn)對(duì)稱的。在該情況下,優(yōu)選的是,受光部112和其它結(jié)構(gòu)與區(qū)域的個(gè)數(shù)及所述區(qū)域的設(shè)定位置對(duì)應(yīng)進(jìn)行配置。另外,在區(qū)域個(gè)數(shù)是4的整數(shù)倍的情況下,本實(shí)施方式涉及的編碼器100降低受偏心影響的效果就能夠進(jìn)一步提高。并且,在區(qū)域是按點(diǎn)對(duì)稱形成的情況下,該種耐偏心性進(jìn)一步提高。另一方面,在本實(shí)施方式中,絕對(duì)檢測(cè)部113由4個(gè)絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D構(gòu)成。如圖5所示,絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D在基板110的下表面點(diǎn)對(duì)稱地配置在從旋轉(zhuǎn)軸線AX離開(kāi)的位置。作為絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D,例如能夠使用光敏元件。由發(fā)光部111發(fā)光并由后述的絕對(duì)用導(dǎo)光部129引導(dǎo)至圓盤(pán)140并被反射的光由絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D接收。其結(jié)果是,絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D生成受光信號(hào)。在所述絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D生成的信號(hào)中包含絕對(duì)位置,即絕對(duì)位置的信息,所述信號(hào)被用在后述的馬達(dá)位置的計(jì)算中。從而,所述絕對(duì)檢測(cè)部113的個(gè)數(shù)和配置位置只要是能夠檢測(cè)馬達(dá)位置的絕對(duì)值的結(jié)構(gòu)即可,并不受本實(shí)施方式的限定。另外,作為絕對(duì)檢測(cè)部,例如也可以使用受發(fā)光一體型元件。在該情況下,能夠?qū)?lái)自發(fā)光部111的光和來(lái)自絕對(duì)檢測(cè)部的光兩者用于絕對(duì)檢測(cè),能夠增大絕對(duì)檢測(cè)部的受光量而提聞檢測(cè)精度。信號(hào)處理部114在圖4和圖5中被省略,其配置在基板110處。并且,信號(hào)處理部114從所述受光部112和絕對(duì)檢測(cè)部113取得受光信號(hào),并根據(jù)所述多個(gè)受光信號(hào)生成包含馬達(dá)位置(包含絕對(duì)值)和馬達(dá)速度(包含旋轉(zhuǎn)方向)的位置數(shù)據(jù)。該生成的位置數(shù)據(jù)被發(fā)送到控制部20。另外,關(guān)于該信號(hào)處理部114,在編碼器100的動(dòng)作中,與結(jié)構(gòu)一起進(jìn)行說(shuō)明(參照?qǐng)D13)。而且,信號(hào)處理部114也可以與本實(shí)施方式不同,配置在編碼器100的除基板110以外的結(jié)構(gòu),或者配置在控制部20內(nèi),而且,還可以是獨(dú)立于編碼器100和控制部20的結(jié)構(gòu)。另外,如圖4和圖5所示,在基板110設(shè)有與絕對(duì)檢測(cè)部113個(gè)數(shù)相同的貫通孔115。貫通孔115用于使后述的絕對(duì)用導(dǎo)光部129從基板110的上方貫通到下方,在本例中,貫通孔115配置在受光部112的外周側(cè)且在絕對(duì)檢測(cè)部113的內(nèi)周側(cè)位于與絕對(duì)檢測(cè)部113對(duì)應(yīng)的位置。(導(dǎo)光部120)導(dǎo)光部120主要由例如玻璃材料或塑料材料等透光的材質(zhì)形成,其從旋轉(zhuǎn)軸線AX上朝向遮蔽部130延長(zhǎng)形成,以與遮蔽部130 (固定軌道Tl)之間夾著基板110并覆蓋該基板110的上方和大致整個(gè)側(cè)方。并且,導(dǎo)光部120使從發(fā)光部111發(fā)出的光發(fā)散地(換言之,朝向圓盤(pán)140的外周方向的大致整個(gè)區(qū)域呈放射狀地)引導(dǎo)到側(cè)方之后向下方引導(dǎo),從而照射遮蔽部130的固定軌道Tl的大致全周。不僅如此,導(dǎo)光部120將大致全周地透過(guò)后述的多條固定窄縫和多條旋轉(zhuǎn)窄縫的光一邊以與上述照射時(shí)同樣的光路聚光一邊朝向旋轉(zhuǎn)軸線AX附近引導(dǎo),從而照射受光部112。此時(shí),在該光的流向中,將向遮蔽部130照射光的過(guò)程也稱為“往路”,將向受光部112照射從遮蔽部130等返回的光的過(guò)程也稱為“復(fù)路”。而且,導(dǎo)光部120將所述呈放射狀地引導(dǎo)的光的一部分向下方引導(dǎo),并照射到后述的旋轉(zhuǎn)軌道T3。一邊參照?qǐng)D3和圖6 圖9,一邊更詳細(xì)地說(shuō)明該導(dǎo)光部120的結(jié)構(gòu)等。圖6 圖9是用于說(shuō)明本實(shí)施方式涉及的導(dǎo)光部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。另外,圖6是從斜上方觀察導(dǎo)光部120的圖,圖7是從上方觀察導(dǎo)光部120的圖,圖8是從斜下方觀察導(dǎo)光部120的圖,圖9是從下方觀察導(dǎo)光部120的圖。如圖3、圖6和圖8所示,導(dǎo)光部120大體劃分為具有入光部121、發(fā)散聚光部122、增量用第I導(dǎo)光部123、方向變換面124、增量用第2導(dǎo)光部125、照射入光面126、出光部127、凸緣部128、絕對(duì)用導(dǎo)光部129、涂層CO和遮光部SP。增量用第I導(dǎo)光部123、方向變換面124、增量用第2導(dǎo)光部125以及照射入光面126相當(dāng)于第I導(dǎo)光部的一例。作為第2導(dǎo)光部的一例的絕對(duì)用導(dǎo)光部129具有絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291、方向變換面1292、絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293和照射面1294。如圖8和圖9所示,入光部121配置在旋轉(zhuǎn)軸線AX上,并沿旋轉(zhuǎn)軸線AX從增量用第I導(dǎo)光部123朝向發(fā)光部111延長(zhǎng)形成。并且,入光部121接收從發(fā)光部111發(fā)出的光,并將該光引導(dǎo)到上方。此時(shí),優(yōu)選的是,入光部121形成為越往上方半徑越大的圓柱狀。從入光部121入射的光照射到發(fā)散聚光部122的發(fā)散面122A。發(fā)散聚光部122具有向下方凹陷而形成的大致圓錐形狀的面,并且,從旋轉(zhuǎn)軸線AX向周向劃分為發(fā)散面122A和聚光面122B。發(fā)散面122A由以下述方式彎曲的面形成:一邊使從入光部121傳導(dǎo)來(lái)的光沿徑向反射,一邊使光以遍布增量用第I導(dǎo)光部123和絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291的全周的方式發(fā)散。另外,優(yōu)選的是,該彎曲面設(shè)定為:當(dāng)從徑向外周向該彎曲面照射平行光時(shí),將所述平行光會(huì)聚到發(fā)光部111。另一方面,聚光面122B設(shè)置得比發(fā)散聚光部122的大致圓錐形狀中的發(fā)散面122A靠半徑方向外側(cè)。并且,聚光面122B由以下述方式彎曲的面形成:使傳導(dǎo)到復(fù)路并在增量用第I導(dǎo)光部123內(nèi)沿徑向朝向旋轉(zhuǎn)軸線AX聚光的光向受光部112方向反射。優(yōu)選的是,所述彎曲面的焦點(diǎn)被設(shè)定為:當(dāng)從徑向外周向該彎曲面照射平行光時(shí),最大限度地聚光到受光部112。如圖3和圖6 圖9所示,增量用第I導(dǎo)光部123以覆蓋基板110的方式形成為大致圓盤(pán)狀,所述增量用第I導(dǎo)光部123用于對(duì)在發(fā)散面122A發(fā)散的光朝向徑向外周呈放射狀地進(jìn)行導(dǎo)光,另一方面,對(duì)復(fù)路的光朝向徑向內(nèi)周進(jìn)行導(dǎo)光。如圖3和圖6等所示,方向變換面124形成為在增量用第I導(dǎo)光部123的徑向外周相對(duì)于半徑方向呈大致45°的環(huán)狀面。并且,方向變換面124將在增量用第I導(dǎo)光部123內(nèi)朝向徑向傳導(dǎo)的光朝向下方反射。另一方面,方向變換面124將增量用第2導(dǎo)光部125朝向上方傳導(dǎo)的光沿徑向朝向旋轉(zhuǎn)軸線AX反射。增量用第2導(dǎo)光部125在環(huán)狀的方向變換面124下方呈環(huán)狀地配置,所述增量用第2導(dǎo)光部125在覆蓋基板110的側(cè)方的同時(shí)從方向變換面124延長(zhǎng)形成到遮蔽部130(固定軌道Tl)附近。并且,在該增量用第2導(dǎo)光部125的下方形成有作為大致環(huán)狀的面的一例的照射入光面126。從而,在導(dǎo)光部120的往路內(nèi)傳導(dǎo)的光由增量用第2導(dǎo)光部125引導(dǎo)到遮蔽部130的附近,并通過(guò)照射入光面126照射到遮蔽部130。另一方面,從遮蔽部130等返回的光從照射入光面126入射到增量用第2導(dǎo)光部125,并通過(guò)導(dǎo)光部120傳導(dǎo)過(guò)所述復(fù)路。出光部127為:在入光部121的附近,在各區(qū)域XA XD的每個(gè)區(qū)域,在與受光部112A 112D對(duì)應(yīng)的位置配置4個(gè)出光部127A 127D。并且,各出光部127A 127D將在復(fù)路內(nèi)傳導(dǎo)并由聚光面122B會(huì)聚的光引導(dǎo)到各受光部112A 112D的附近,并朝向受光部112A 112D照射。凸緣部128形成為從增量用第2導(dǎo)光部125的外周朝向徑向外側(cè)突出。該凸緣部128起著將導(dǎo)光部120固定在編碼器100的框體(未圖示)的作用。絕對(duì)用導(dǎo)光部129是至少2個(gè)以上的第2導(dǎo)光部的一例,如圖3和圖6 圖9所示,在本實(shí)施方式中,絕對(duì)用導(dǎo)光部129由在與4個(gè)區(qū)域XA XD的邊界位置配置的4個(gè)絕對(duì)用導(dǎo)光部129構(gòu)成。如圖3和圖6 圖9所示,絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291在與4個(gè)區(qū)域XA XD的邊界對(duì)應(yīng)的位置呈楔狀地配置,所述絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291用于對(duì)由發(fā)散面122A發(fā)散后的光的一部分朝向徑向外周呈放射狀地進(jìn)行導(dǎo)光。如圖3和圖6等所示,方向變換面1292形成為在絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291的徑向外周相對(duì)于半徑方向呈大致45°的矩形形狀的面。并且,方向變換面1292將在絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291內(nèi)朝向徑向傳導(dǎo)的光朝向下方反射。絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293在矩形形狀的方向變換面1292的下方向圓盤(pán)140側(cè)突出地設(shè)置,所述絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293貫通基板110的貫通孔115和遮蔽部130的開(kāi)口部131,并且從方向變換面1292延長(zhǎng)形成到圓盤(pán)140 (旋轉(zhuǎn)軌道T3)的附近。并且,在該絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293的下方形成有照射面1294。從而,在絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291內(nèi)傳導(dǎo)的光由絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293引導(dǎo)到圓盤(pán)140的附近,并通過(guò)照射面1294照射到圓盤(pán)140。另外,與來(lái)自該照射面1294的照射光對(duì)應(yīng)的從圓盤(pán)140等返回的光再次透過(guò)遮蔽部130的開(kāi)口部131并由絕對(duì)檢測(cè)部113接收。涂層CO配置在導(dǎo)光部120的除照射入光面126、入光部121的入光面、出光部127的出光面以及照射面1294以外的表面。并且,該涂層CO由反射或遮蔽光的材料形成。從而,涂層CO既能夠防止將導(dǎo)光部120引導(dǎo)的光泄漏到外部,又能夠防止照射光和返回光以外的多余的光混入導(dǎo)光部120。另外,如果由漏光或雜散光造成的影響較小的話,也可以不配置該涂層CO。如圖9所示,在與4個(gè)區(qū)域XA XD的邊界對(duì)應(yīng)的位置配置遮光部SP,用于遮蔽越過(guò)區(qū)域XA XD之間的光。亦即,在本實(shí)施方式的情況下,在4個(gè)區(qū)域XA XD的4個(gè)邊界各配置一個(gè)遮光部SP。通過(guò)具有該種遮光部SP’導(dǎo)光部120能夠?qū)恼诒尾?30的區(qū)域XA XD分別入射的光引導(dǎo)向各自對(duì)應(yīng)的受光部112A 112D,從而能夠使受光信號(hào)的噪聲成分減少。更加詳細(xì)地對(duì)遮光部SP進(jìn)行說(shuō)明。如圖9等所示,遮光部SP從旋轉(zhuǎn)軸線AX起依次具有第I遮光部S P1、第2遮光部SP2以及第3遮光部SP3。第I遮光部SPl形成為:隨著從旋轉(zhuǎn)軸線AX朝向徑向外周,使導(dǎo)光部120的寬度(與旋轉(zhuǎn)軸線AX垂直的面內(nèi)的寬度)擴(kuò)大且使厚度(旋轉(zhuǎn)軸線AX方向的厚度)大致固定。另外,第I遮光部SPl與所述絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291是同一結(jié)構(gòu)要素。亦即,絕對(duì)用導(dǎo)光部129包含第I遮光部SPl作為其結(jié)構(gòu)要素,也可以說(shuō),絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293構(gòu)成為從第I遮光部SPl向圓盤(pán)140側(cè)突出地設(shè)置。另一方面,如圖3,圖7和圖8所示,第2遮光部SP2和第3遮光部SP3形成為導(dǎo)光部120的切口。另外,第I遮光部SPl通過(guò)具有所述那樣的形狀,從而使導(dǎo)光部120的整體機(jī)械強(qiáng)度提高。并且,第I遮光部SPl通過(guò)采用該種形狀能夠提高下述效果:既防止往路光被擴(kuò)散,又在各區(qū)域XA XD之間合適地防止復(fù)路光的串?dāng)_。另外,第2遮光部SP2和第3遮光部SP3也可以不是切口等,而是由不透光的材質(zhì)形成。具有該種形狀的導(dǎo)光部120能夠?qū)⑼饭夂蛷?fù)路光在遮蔽部130與發(fā)光部111之間或受光部112與遮蔽部130之間傳導(dǎo)。此時(shí),導(dǎo)光部120由于具有遮光部SP而使越過(guò)各區(qū)域XA XD間的光減少,從而能夠減小受光信號(hào)的噪聲。而且,導(dǎo)光部120能夠?qū)⑼饭獾囊徊糠衷诎l(fā)光部111與圓盤(pán)140之間傳導(dǎo)。并且,導(dǎo)光部120由于具有涂層CO,從而能夠防止接收到漏光或雜散光,進(jìn)一步減小受光信號(hào)的噪聲。而且,由于導(dǎo)光部120除一部分結(jié)構(gòu)之外,導(dǎo)光部件的整體能夠用同一材質(zhì)一體地形成因此,使用模具成形等制造比較容易。(遮蔽部130)遮蔽部130至少表面主要由吸收或擴(kuò)散光的材質(zhì)形成,所述遮蔽部130具有覆蓋圓盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)軌道T2的上表面的形狀,所述遮蔽部130固定配置在遮蔽導(dǎo)光部120照射的光的位置。將該遮蔽部130的結(jié)構(gòu)在圖10中示出。圖10是用于說(shuō)明本實(shí)施方式涉及的遮蔽部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。如圖10所示,遮蔽部130具有固定軌道Tl和開(kāi)口部131。固定軌道Tl在旋轉(zhuǎn)軌道T2的上方(軸向一方側(cè)的一例)被設(shè)定為以旋轉(zhuǎn)軸線AX為中心的環(huán)狀。另外,該固定軌道Tl具有與旋轉(zhuǎn)軌道T2對(duì)應(yīng)的形狀。并且,如圖10所示,該固定軌道Tl沿周向(旋轉(zhuǎn)方向)被分為4個(gè)區(qū)域XA XD。并且,在所述區(qū)域XA XD的每個(gè)區(qū)域中配置有多條固定窄縫SI。如圖10所示,以旋轉(zhuǎn)軸線AX為中心,在各區(qū)域XA XD內(nèi)以間距(重復(fù)間隔)p相等的放射狀圖案形成多條固定窄縫SI。并且,固定窄縫SI透過(guò)往路光和復(fù)路光。另外,將區(qū)域XA XD各自包含的多條固定窄縫SI稱為固定窄縫SlA S1D。亦即,透過(guò)固定窄縫SlA的光在區(qū)域XA內(nèi)傳導(dǎo),透過(guò)固定窄縫SlB的光在區(qū)域XB內(nèi)傳導(dǎo),透過(guò)固定窄縫SlC的光在區(qū)域XC內(nèi)傳導(dǎo),透過(guò)固定窄縫SlD的光在區(qū)域XD內(nèi)傳導(dǎo)。更加具體地,列舉多條固定窄縫SlA為例進(jìn)行說(shuō)明。多條固定窄縫SlA配置在固定軌道Tl的區(qū)域XA。多條固定窄縫SlA按相等的間距P (例如,角度間距)以旋轉(zhuǎn)軸線AX為中心呈放射狀地配置。另外,固定窄縫SlB SlD各自的間距p也被設(shè)定為與固定窄縫SlA的間距p相等。另一方面,固定軌道Tl中的一個(gè)區(qū)域內(nèi)的多條固定窄縫SI,以及與該一個(gè)區(qū)域相鄰的另一區(qū)域內(nèi)的多條固定窄縫SI形成為:使得由受光部112接收的受光信號(hào)之間產(chǎn)生能夠判別旋轉(zhuǎn)方向的相位差。亦即,一個(gè)區(qū)域內(nèi)的多條固定窄縫SI形成為相對(duì)于繞旋轉(zhuǎn)軸線AX的角度呈預(yù)定的重復(fù)周期(間距p),但該一個(gè)區(qū)域的固定窄縫SI以及與其相鄰的另一區(qū)域的固定窄縫SI形成為即使重復(fù)周期相同,但所述周期也會(huì)產(chǎn)生相位差。并且,該相位差被設(shè)定為能夠判別后述的圓盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)方向的相位差。另外,根據(jù)固定軌道Tl的分割數(shù)(本實(shí)施方式中為4)和受光信號(hào)的分辨率不同,該相位差的預(yù)期值也不同,不過(guò)通過(guò)將該相位差設(shè)定為大于0°而小于180°的值,從而能夠判別圓盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)方向。另外,在本實(shí)施方式的情況下,由于區(qū)域XA XD是4個(gè)等分而成的區(qū)域,因此,優(yōu)選將相位差設(shè)定為90°或180°。由此,能夠使各區(qū)域間的相位差相同,從而制造和信號(hào)處理變得容易。另外,在本實(shí)施方式中,列舉相鄰區(qū)域間的相位差為90°的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。更具體地,對(duì)相鄰的固定窄縫SlA與固定窄縫SlB之間的關(guān)系舉例進(jìn)行說(shuō)明。在位于區(qū)域XA的靠固定窄縫SlB側(cè)端部的固定窄縫SlA與位于區(qū)域XB的靠固定窄縫SlA側(cè)端部的固定窄縫SlB之間設(shè)有窄縫間隔<pA (相位差)。由于在本實(shí)施方式中相位差是90°,因此,將該窄縫間隔一設(shè)定為間距P的1/4的奇數(shù)倍。并且,將其他窄縫間隔(PB 也同樣設(shè)定為間距P的1/4的奇數(shù)倍。另外,在相位差是180°的情況下,將窄縫間隔cpA tpD設(shè)定為間距P的1/2的奇數(shù)倍。開(kāi)口部131設(shè)在遮蔽部130的中央部。該開(kāi)口部131設(shè)置到與后述的絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3 (絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S31 S37)對(duì)應(yīng)的位置為止,絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293貫通該開(kāi)口部131并延長(zhǎng)形成到圓盤(pán)140的附近。而且,開(kāi)口部131用于對(duì)基板110的發(fā)光部111等發(fā)出的熱進(jìn)行散熱。另外,在旋轉(zhuǎn)軸端部202設(shè)置送風(fēng)機(jī)構(gòu)并將由所述送風(fēng)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的風(fēng)通過(guò)開(kāi)口部131吹送到基板110,也能夠從所述遮光部SP的切口使熱散發(fā)。在此情況下,送風(fēng)機(jī)構(gòu)也可以設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸端部202的開(kāi)口部190 (參照?qǐng)D3)內(nèi)。(圓盤(pán)140)如圖3所示,圓盤(pán)140被固定在用于傳遞馬達(dá)部200的旋轉(zhuǎn)輸出的旋轉(zhuǎn)軸201的端部202。另外,圓盤(pán)140被配置為與垂直于旋轉(zhuǎn)軸線AX的面平行,這與所述遮蔽部130和導(dǎo)光部120的增量用第I導(dǎo)光部123、基板110等的結(jié)構(gòu)是相同的。而且,如圖3所示,圓盤(pán)140具有遮蔽部141和導(dǎo)光部142。并且,遮蔽部141具有作為2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道的一例的旋轉(zhuǎn)軌道T2和旋轉(zhuǎn)軌道T3。關(guān)于該圓盤(pán)140的結(jié)構(gòu),一邊參照?qǐng)D3和圖11 一邊更具體地說(shuō)明。圖11是用于說(shuō)明對(duì)本實(shí)施方式涉及的圓盤(pán)的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。另外,圖11是觀察圓盤(pán)140的遮蔽部141側(cè)的面(上方)的圖。如圖11所示,圓盤(pán)140形成為以旋轉(zhuǎn)軸線AX為中心的圓板狀。并且,遮蔽部141配置在圓盤(pán)140的上表面。另外,遮蔽部141的配置位置并沒(méi)有特別限定,但最好配置得比導(dǎo)光部142的反射部Vl和V2靠基板110側(cè)。遮蔽部141由例如吸收或擴(kuò)散光而不使光透過(guò)或正反射的材質(zhì)形成。另一方面,在遮蔽部141設(shè)有旋轉(zhuǎn)軌道T2,在該旋轉(zhuǎn)軌道T2配置透過(guò)光的多條旋轉(zhuǎn)窄縫S2。并且,在遮蔽部141,在旋轉(zhuǎn)軌道T2的內(nèi)周側(cè)設(shè)定旋轉(zhuǎn)軌道T3,該旋轉(zhuǎn)軌道T3具有透過(guò)光的絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3(絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S31 S37)。另外,這些窄縫與遮蔽部141的其它部位不同,這些窄縫透過(guò)光。旋轉(zhuǎn)軌道T2是第I旋轉(zhuǎn)軌道的一例,其在圖10所示的遮蔽部130的固定軌道Tl的下方,被設(shè)定為以大致相同的半徑以旋轉(zhuǎn)軸線AX為中心的環(huán)狀。并且,旋轉(zhuǎn)窄縫S2以與固定窄縫SlA SlD的間距p相同的間距p以旋轉(zhuǎn)軸線AX為中心呈放射狀地形成。亦即,旋轉(zhuǎn)窄縫S2具有增量圖案(incremental pattern)。從而,在圓盤(pán)140旋轉(zhuǎn)時(shí),僅當(dāng)圖10所示的固定窄縫SlA SlD與旋轉(zhuǎn)窄縫S2在旋轉(zhuǎn)軸線AX方向一致時(shí),區(qū)域XA XD的遮蔽部141才將光透過(guò)到下方(導(dǎo)光部142側(cè))。另一方面,旋轉(zhuǎn)軌道T3是第2旋轉(zhuǎn)軌道的一例,其被配置在離旋轉(zhuǎn)軸線AX的距離與絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D離旋轉(zhuǎn)軸線AX的距離相同的位置。并且,旋轉(zhuǎn)軌道T3的絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S31 S37具有預(yù)定的絕對(duì)圖案(absolute pattern),在絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S31 S37與絕對(duì)用導(dǎo)光部129的照射面1294在旋轉(zhuǎn)軸線AX方向一致的情況下,將光透過(guò)到下方。另外,該絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3的絕對(duì)圖案被設(shè)定為:在圓盤(pán)140的一旋轉(zhuǎn)周內(nèi),所述絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3的絕對(duì)圖案與絕對(duì)用導(dǎo)光部129的任意一個(gè)照射面1294在旋轉(zhuǎn)軸線AX方向一致時(shí)的組合不相同。亦即,該絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3的絕對(duì)圖案被形成為:利用所述絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3的絕對(duì)圖案與任意一個(gè)照射面1294在旋轉(zhuǎn)軸線AX方向一致時(shí)的組合來(lái)表示一旋轉(zhuǎn)周內(nèi)的絕對(duì)位置。如圖3所示,導(dǎo)光部142具有反射部V1、反射部V2和涂層CO。反射部Vl和反射部V2分別配置在旋轉(zhuǎn)窄縫S2和絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3的下方,用于使透過(guò)旋轉(zhuǎn)窄縫S2和絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3的光朝向上方反射并再次透過(guò)旋轉(zhuǎn)窄縫S2和絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3。如圖3所示,本實(shí)施方式中的反射部V1、V2在導(dǎo)光部142的下面突出形成為剖面為V字的環(huán)狀。從而,反射部V1、V2使透過(guò)各窄縫并沿與旋轉(zhuǎn)軸線AX大致平行的光路朝向下方的光沿徑向偏移(反射部Vl使其向徑向內(nèi)側(cè)偏移,反射部V2使其向徑向外側(cè)偏移),并沿與旋轉(zhuǎn)軸線AX大致平行的光路反射,而且這次是朝向上方反射。另外,當(dāng)觀察反射部Vl中的復(fù)路光時(shí),該復(fù)路光再次透過(guò)旋轉(zhuǎn)窄縫S2和固定窄縫SI而入射向?qū)Ч獠?20并由方向變換面124反射,其結(jié)果是,所述復(fù)路光從比往路光靠上方的位置通過(guò)而到達(dá)聚光面122B,并朝向受光部112聚光。另一方面,當(dāng)觀察反射部V2中的反射光時(shí),該反射光再次透過(guò)絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3和遮蔽部130的開(kāi)口部131,并由絕對(duì)檢測(cè)部113接收。另外,并不僅限于該種結(jié)構(gòu),只要反射部Vl和反射部V2構(gòu)成為如此以一邊使光路沿徑向偏移一邊使光返回各窄縫的方式進(jìn)行反射即可。例如,反射部Vl和反射部V2也可以是設(shè)在導(dǎo)光部142的上表面的V字狀的槽(在此情況下,導(dǎo)光部142沒(méi)有必要透過(guò)光)。但是,通過(guò)如此將反射部Vl和反射部V2作為突起設(shè)在導(dǎo)光部142的下方,能夠使傳遞離心力和信號(hào)的圓盤(pán)140的機(jī)械強(qiáng)度提高。以上,對(duì)本發(fā)明的第I實(shí)施方式涉及的編碼器100的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明。接下來(lái),對(duì)本發(fā)明的第I實(shí)施方式涉及的編碼器100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。另外,關(guān)于該編碼器100具有的信號(hào)處理部114的詳細(xì)結(jié)構(gòu),在該動(dòng)作說(shuō)明中一邊參照?qǐng)D12 —邊說(shuō)明。圖12是用于說(shuō)明本實(shí)施方式涉及的信號(hào)處理部的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。(1-3.第I實(shí)施方式涉及的編碼器的動(dòng)作)如圖12所示,信號(hào)處理部114具有A相信號(hào)生成部1141、B相信號(hào)生成部1142、絕對(duì)信號(hào)生成部1143和位置數(shù)據(jù)生成部1144。關(guān)于各結(jié)構(gòu),通過(guò)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。(絕對(duì)信號(hào)生成動(dòng)作)首先,關(guān)于絕對(duì)(絕對(duì)位置)信號(hào)(絕對(duì)信號(hào))的生成動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。該絕對(duì)信號(hào)生成動(dòng)作由圖12所示的絕對(duì)信號(hào)生成部1143進(jìn)行。下面,與光的流向一起說(shuō)明。圖3和圖4所示的發(fā)光部111朝向?qū)Ч獠?20的入光部121照射光。從入光部121入射后的光通過(guò)入光部121傳播到上方,并由位于發(fā)散聚光部122的旋轉(zhuǎn)軸線AX側(cè)的發(fā)散面122A朝向徑向反射,然后在絕對(duì)用第I導(dǎo)光部1291內(nèi)朝向徑向的外周側(cè)傳導(dǎo)。接著,該光由方向變換面1292進(jìn)一步朝向下方(遮蔽部130側(cè))反射,并在絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293內(nèi)朝向下方傳導(dǎo),從照射面1294照射到圓盤(pán)140。另一方面,由于圓盤(pán)140借助馬達(dá)部200的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn),因此圖11所示的具有預(yù)定圖案的絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S31 S37也旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是,與絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S31 S37和照射面1294的任意一個(gè)一致的光透過(guò)絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S31 S37。透過(guò)的光由導(dǎo)光部142的反射部V2反射。該反射的光再次透過(guò)絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S31 S37和遮蔽部130的開(kāi)口部131并由絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D的光敏元件接收。從而,絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D輸出具有以圓盤(pán)140的一旋轉(zhuǎn)周為周期的預(yù)定組合的受光信號(hào)。因此,絕對(duì)信號(hào)生成部1143從絕對(duì)檢測(cè)部113A 113D取得該受光信號(hào)。并且,絕對(duì)信號(hào)生成部1143根據(jù)該4個(gè)受光信號(hào)的組合算出一旋轉(zhuǎn)周內(nèi)的大體的絕對(duì)位置。由該絕對(duì)信號(hào)生成部1143生成的表示絕對(duì)位置的絕對(duì)信號(hào)生成處理可使用下述等各種各樣的方法:例如,預(yù)先將4個(gè)受光信號(hào)的組合與絕對(duì)位置之間的關(guān)系存儲(chǔ)在表格等中,根據(jù)該關(guān)系算出絕對(duì)信號(hào)。并且,絕對(duì)信號(hào)生成部1143將生成后的絕對(duì)信號(hào)輸出到位置數(shù)據(jù)生成部 1144。(A相信號(hào)和B相信號(hào)的生成動(dòng)作)
接著,對(duì)與所述絕對(duì)信號(hào)生成動(dòng)作一起進(jìn)行的,與增量信號(hào)對(duì)應(yīng)的A相信號(hào)和B相信號(hào)的生成動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。該A相信號(hào)和B相信號(hào)的生成動(dòng)作由A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142進(jìn)行。下面,與光的流向一起進(jìn)行說(shuō)明。圖3和圖4所示的發(fā)光部111朝向?qū)Ч獠?20的入光部121照射光。從入光部121入射的光通過(guò)入光部121傳播到上方,并由位于發(fā)散聚光部122的旋轉(zhuǎn)軸線AX側(cè)的發(fā)散面122A朝向徑向反射,在增量用第I導(dǎo)光部123內(nèi)朝向徑向外周的大致全周傳導(dǎo)。接著,該光由方向變換面124進(jìn)一步朝向下方(遮蔽部130側(cè))反射,并在增量用第2導(dǎo)光部125內(nèi)朝向下方傳導(dǎo),從照射入光面126照射到遮蔽部130。如圖10所示,在遮蔽部130的區(qū)域XA XD分別形成有具有90°相位差且間距p相同的多條固定窄縫SlA S1D。從而,從導(dǎo)光部120照射的光透過(guò)該固定窄縫SlA S1D,并按該固定窄縫SlA SlD的圖案照射到圓盤(pán)140。另一方面,如圖11所示,由于旋轉(zhuǎn)的圓盤(pán)140遍及全周形成有等間距p的旋轉(zhuǎn)窄縫S2,因此,隨著該圓盤(pán)140的位置(角度)不同,僅在固定窄縫SlA SlD與旋轉(zhuǎn)窄縫S2相互重合的部位,使光透過(guò)到下方。從而,在圓盤(pán)140旋轉(zhuǎn)相當(dāng)于旋轉(zhuǎn)窄縫S2的一個(gè)間距P的量期間強(qiáng)度按大致正弦波狀變化的光透過(guò)圓盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)窄縫S2。另一方面,由于固定窄縫SlA SlD在各區(qū)域XA XD彼此之間形成90°或180°的相位差,因此,在與各區(qū)域XA XD對(duì)應(yīng)的位置透過(guò)圓盤(pán)140的光成為分別具有90°或180°的相位差的大致正弦波狀的光。亦即,在圓盤(pán)140旋轉(zhuǎn)相對(duì)于I個(gè)間距p的量期間,例如,旋轉(zhuǎn)窄縫S2依次與區(qū)域XA的固定窄縫S1A、區(qū)域XB的固定窄縫S1B、區(qū)域XC的固定窄縫SlC和區(qū)域XD的固定窄縫SlD —致。如此透過(guò)圓盤(pán)140的光,如圖3所示地透過(guò)在圓盤(pán)140的背面形成的導(dǎo)光部142并由V字狀的反射部Vl暫時(shí)向徑向內(nèi)側(cè)反射,然后再次被朝向上方(旋轉(zhuǎn)窄縫S2側(cè))反射。在向徑向內(nèi)側(cè)偏移了的復(fù)路內(nèi)沿與往路相反的方向前進(jìn)的光依次透過(guò)旋轉(zhuǎn)窄縫S2和固定窄縫SI并入射到導(dǎo)光部120。于是,該光與往路相反,從沒(méi)有涂覆涂層CO的照射入光面126被引導(dǎo)到導(dǎo)光部120的增量用第2導(dǎo)光部125,并在增量用第2導(dǎo)光部125內(nèi)朝向上方傳導(dǎo)。接著,該光由方向變換面124朝向徑向內(nèi)側(cè)(亦即旋轉(zhuǎn)軸線AX側(cè))反射和聚光。由方向變換面124反射的光在反射前比往路光靠徑向內(nèi)側(cè)通過(guò),因此,所述光在反射后在比往路光靠上方(離開(kāi)遮蔽部130的方向)通過(guò)。從而,該復(fù)路光與往路光不同,主要到達(dá)發(fā)散聚光部122的聚光面122B。另一方面,由于聚光面122B被設(shè)定為使光路由出光部127聚光到受光部112的受光面附近,因此,由聚光面122B反射的光一邊被聚光一邊在出光部127內(nèi)傳導(dǎo),并由受光部112接收。另外,如上所述,該復(fù)路光等隨著圓盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)而利用固定窄縫SlA SlD在每個(gè)區(qū)域XA XD在不同的時(shí)機(jī)由受光部112A 112D接收。并且,如圖7和圖8等所示,導(dǎo)光部120具有遮光部SP,所述遮光部SP能夠防止在所述不同的時(shí)機(jī)產(chǎn)生的每個(gè)區(qū)域XA XD的光發(fā)生串?dāng)_。并且,如圖4和圖8 圖9所示,在每個(gè)區(qū)域XA XD都設(shè)有出光部127和受光部112A 112D。從而,根據(jù)本實(shí)施方式涉及的編碼器100,受光部112A 112D產(chǎn)生正弦波狀的受光信號(hào),所述正弦波狀的受光信號(hào)的噪聲減小,且在每個(gè)區(qū)域XA XD具有90°或180°的相位差。并且,如圖12所示,夾著旋轉(zhuǎn)軸線AX相向的受光部112A和受光部112C的受光信號(hào)被輸出到信號(hào)處理部114的A相信號(hào)生成部1141,同樣地,夾著旋轉(zhuǎn)軸線AX相向的受光部112B和受光部112D的受光信號(hào)被輸出到信號(hào)處理部114的B相信號(hào)生成部1142。A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142分別從處于點(diǎn)對(duì)稱關(guān)系的2個(gè)區(qū)域取得由2個(gè)受光部分別受光得到的2個(gè)受光信號(hào)。接著,A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142分別通過(guò)將所述2個(gè)受光信號(hào)彼此相減(差分)而生成I個(gè)信號(hào)。從而,從A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142生成2個(gè)信號(hào)(A相信號(hào)和B相信號(hào))。此時(shí),在本實(shí)施方式的情況下,由于夾著旋轉(zhuǎn)軸線AX配置的區(qū)域的固定窄縫SI具有180°的相位差,因此A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142分別取得的2個(gè)受光信號(hào)也具有180°的相位差。從而,通過(guò)如此進(jìn)行差分,通過(guò)2個(gè)受光信號(hào)生成將偏心量等誤差抵消了的I個(gè)A相信號(hào)或B相信號(hào)。亦即,例如,在圖10中,在圓盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)軸線AX從預(yù)期的位置向區(qū)域XA和區(qū)域XC的方向偏心了的情況下,由該偏心引起的誤差相對(duì)于其它區(qū)域來(lái)說(shuō)是由來(lái)自區(qū)域XA的受光信號(hào)和來(lái)自區(qū)域XC的受光信號(hào)產(chǎn)生的。但是,由該誤差影響的受光信號(hào)的強(qiáng)度,在區(qū)域XA的受光信號(hào)和區(qū)域XC的受光信號(hào)是相反的。從而,通過(guò)如本實(shí)施方式那樣A相信號(hào)生成部1141對(duì)兩個(gè)受光信號(hào)進(jìn)行差分,從而能夠使該種誤差抵消。同樣地,B相信號(hào)生成部1142能夠?qū)⒃趫A盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)軸線AX從預(yù)期的位置向區(qū)域XB和區(qū)域XD的方向偏心了的情況下所產(chǎn)生的誤差抵消。而且,由于固定窄縫S1A、S1C與固定窄縫S1B、S1D具有按電角度來(lái)說(shuō)為90°的相位差,因此,如所述那樣生成的A相信號(hào)和B相信號(hào)以圓盤(pán)140的I個(gè)間距p的旋轉(zhuǎn)為一個(gè)周期,并且具有90°的相位差。并且,A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142將生成的A相信號(hào)和B相信號(hào)輸出到位置數(shù)據(jù)生成部1144。此時(shí),也可以是,A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142通過(guò)將生成的A相信號(hào)和B相信號(hào)按預(yù)定的倍增數(shù)倍增并輸出,從而使分辨率提高。而且,優(yōu)選的是,A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142在生成A相信號(hào)和B相信號(hào)的過(guò)程中實(shí)行模數(shù)轉(zhuǎn)換處理和信號(hào)放大處理。另外,在此,由于A相信號(hào)生成部1141和B相信號(hào)生成部1142分別取得的2個(gè)受光信號(hào)具有180°的相位差,因此,使該2個(gè)受光信號(hào)差分放大,但是,例如在2個(gè)受光信號(hào)具有0°相位差的情況下,通過(guò)使該2個(gè)受光信號(hào)加和放大,同樣能夠使誤差抵消。(位置數(shù)據(jù)生成動(dòng)作)最后,對(duì)根據(jù)所述絕對(duì)信號(hào)、A相信號(hào)和B相信號(hào)生成位置數(shù)據(jù)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。該位置數(shù)據(jù)生成動(dòng)作在位置數(shù)據(jù)生成部1144進(jìn)行。位置數(shù)據(jù)生成部1144取得如上那樣生成的絕對(duì)信號(hào)、A相信號(hào)和B相信號(hào)。并且,位置數(shù)據(jù)生成部1144基于這些信號(hào)生成包含圓盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)方向的位置數(shù)據(jù)。亦即,位置數(shù)據(jù)生成部1144基于絕對(duì)信號(hào)來(lái)確定圓盤(pán)140的一旋轉(zhuǎn)周內(nèi)的大概的絕對(duì)位置(絕對(duì)(absolute)位置)。另一方面,位置數(shù)據(jù)生成部1144通過(guò)對(duì)A相信號(hào)和B相信號(hào)的至少一方進(jìn)行計(jì)數(shù)等,從而相對(duì)于所述大概的絕對(duì)位置確定更加詳細(xì)的絕對(duì)位置。并且,位置數(shù)據(jù)生成部1144通過(guò)參照A相信號(hào)和B相信號(hào)的相位差到底是90°還是-90°來(lái)確定圓盤(pán)140的旋轉(zhuǎn)方向。于是,位置數(shù)據(jù)生成部1144生成包含確定了的精度很高的絕對(duì)位置和旋轉(zhuǎn)方向的位置數(shù)據(jù),并輸出到控制部20。(1-4.由第I實(shí)施方式取得的效果的例子)
以上,對(duì)本發(fā)明的第I實(shí)施方式涉及的編碼器100和具有該編碼器100的馬達(dá)系統(tǒng)I進(jìn)行了說(shuō)明。根據(jù)該編碼器100等,遍及圓盤(pán)140的大致全周照射光,根據(jù)從所述全周得到的信號(hào)生成受光信號(hào)。從而,編碼器100等就能夠減小由圓盤(pán)140的偏心等產(chǎn)生的誤差的影響,能夠進(jìn)行精度很高的位置檢測(cè)。從而,根據(jù)編碼器100等,不要求圓盤(pán)140等的聞精度的定位,從而能夠使編碼器100等的制造容易。另一方面,根據(jù)編碼器100等,導(dǎo)光部120具有增量用第I導(dǎo)光部123等和絕對(duì)用導(dǎo)光部129,通過(guò)導(dǎo)光部120能夠?qū)陌l(fā)光部111照射的光引導(dǎo)到2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道T2、T3。從而,根據(jù)由旋轉(zhuǎn)軌道T3得到的絕對(duì)信號(hào),能夠確定圓盤(pán)140在一旋轉(zhuǎn)周內(nèi)的大概絕對(duì)位置,并且,基于由旋轉(zhuǎn)軌道T2得到的增量信號(hào),能夠相對(duì)于所述大概絕對(duì)位置確定更加詳細(xì)的絕對(duì)位置,從而能夠生成包含精度很高的絕對(duì)位置的位置數(shù)據(jù)。這樣,為了生成包含精度很高的絕對(duì)位置的位置數(shù)據(jù),不必與在圓盤(pán)140設(shè)定的多個(gè)軌道對(duì)應(yīng)地準(zhǔn)備多個(gè)導(dǎo)光部即可實(shí)現(xiàn)。從而,根據(jù)該編碼器100等,不僅可使零部件個(gè)數(shù)減少,降低制造成本,而且能夠使裝置自身小型化。進(jìn)一步說(shuō),這不僅實(shí)現(xiàn)了原材料的使用量的減少,而且由于沒(méi)有必要準(zhǔn)備多個(gè)發(fā)光部111,因此還能夠減少能源消耗量。另外,如上所述,作為絕對(duì)檢測(cè)部,雖然也可以與本實(shí)施方式不同地使用受發(fā)光一體型的元件,但如果如本實(shí)施方式那樣使用只進(jìn)行受光的絕對(duì)檢測(cè)部,則不必增大受光用的結(jié)構(gòu),能夠更有效地減少消耗電力。特別地,在沒(méi)有外部電源供給的電池驅(qū)動(dòng)時(shí),能夠發(fā)揮非常大的削減電力消耗的效果。而且,根據(jù)編碼器100等,將絕對(duì)用導(dǎo)光部129 (絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293)設(shè)于第I遮光部SP1。在沒(méi)有設(shè)置該種絕對(duì)用導(dǎo)光部129的情況下,從發(fā)光部111發(fā)出并被呈放射狀地引導(dǎo)的光中進(jìn)入遮光部SP的光無(wú)法被利用,但根據(jù)本實(shí)施方式,由于能夠?qū)⑦M(jìn)入遮光部SP的光由絕對(duì)用第2導(dǎo)光部1293引導(dǎo)到旋轉(zhuǎn)軌道T3從而用于絕對(duì)檢測(cè),因此,能夠不浪費(fèi)地有效利用發(fā)光部111的光。并且,由于該種結(jié)構(gòu)能夠作為導(dǎo)光部120 —體地形成,因此,例如,能夠使用模具形成導(dǎo)光部120等來(lái)容易且低成本地進(jìn)行制造。并且,該編碼器100等在一個(gè)固定軌道Tl中具有多個(gè)區(qū)域XA XD,并且形成為能夠得到每個(gè)區(qū)域XA XD相位不同的受光信號(hào)。從而,由于該編碼器100等得到了用于檢測(cè)旋轉(zhuǎn)方向的多個(gè)相位的受光信號(hào),因此,沒(méi)有必要在圓盤(pán)140或遮蔽部130設(shè)定多條軌道,也沒(méi)有必要準(zhǔn)備與所述多條軌道對(duì)應(yīng)的多個(gè)導(dǎo)光部即可實(shí)現(xiàn)。從而,根據(jù)本編碼器100等,不僅能夠與上述同樣地使零部件個(gè)減少,降低制造成本,還能夠使裝置本身小型化。此時(shí),根據(jù)編碼器100等,將固定窄縫SI設(shè)定成能夠從夾著軸線相向的區(qū)域得到相位相差電角度為0°或180°的受光信號(hào),并且,對(duì)從兩區(qū)域得到的2個(gè)受光信號(hào),在相位差是180°的情況下相減,在相位差是0°的情況下相加。從而,根據(jù)該編碼器100等,能夠防止所述偏心誤差降低效果變差。另外,關(guān)于此點(diǎn)來(lái)說(shuō),在本實(shí)施方式中,對(duì)固定軌道Tl被分為4部分的情況進(jìn)行了說(shuō)明,但該固定軌道Tl的分割數(shù)并不被特別限定。但是,在分割數(shù)是4的倍數(shù)的情況下,能夠從夾著旋轉(zhuǎn)軸線AX相向的區(qū)域生成A相信號(hào)或B相信號(hào),從而能夠發(fā)揮更大的偏心誤差降低效果。而且,分割數(shù)越大,則越能夠發(fā)揮更大的偏心誤差降低效果。并且,根據(jù)編碼器100等,通過(guò)具有用于防止在各區(qū)域XA XD內(nèi)傳導(dǎo)的光串?dāng)_的遮光部SP,能夠減小因使A相信號(hào)用的受光信號(hào)和B相信號(hào)用的受光信號(hào)在同一導(dǎo)光部120中傳導(dǎo)而產(chǎn)生的噪聲。從而,編碼器100等就能夠進(jìn)行精度更高的位置檢測(cè)。并且,根據(jù)編碼器100,通過(guò)有效利用該遮光部SP,將其兼用作絕對(duì)用導(dǎo)光部129,能夠省略絕對(duì)用光源和與之相伴的光路?!?.變形例等〉以上,一邊參照附圖,一邊對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)進(jìn)行了說(shuō)明。但是,本發(fā)明當(dāng)然并不僅限于這些實(shí)施方式的例子,只要是本領(lǐng)域技術(shù)人員,顯然能夠在權(quán)利要求的范圍所記述的技術(shù)思想的范圍內(nèi)設(shè)想進(jìn)行各種變更和修正。從而,這些變更后和修正后的技術(shù)當(dāng)然也屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍。例如,在所述實(shí)施方式中,對(duì)所設(shè)置的絕對(duì)用導(dǎo)光部129的個(gè)數(shù)與在遮蔽部130設(shè)定的區(qū)域個(gè)數(shù)(所述實(shí)施方式中為4)相同的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明,但絕對(duì)用導(dǎo)光部129的個(gè)數(shù)并不僅限于此。例如,也可以如圖13和圖14所示,除了與4個(gè)區(qū)域XA XD的邊界對(duì)應(yīng)的4個(gè)位置之外,還在各區(qū)域XA XD的中心部各設(shè)有一個(gè)絕對(duì)用導(dǎo)光部129,共計(jì)設(shè)置8個(gè)絕對(duì)用導(dǎo)光部129。圖13是從斜上方觀察本變形例涉及的編碼器100'的部分結(jié)構(gòu)的圖。圖14是從上方觀察本變形例涉及的導(dǎo)光部120'的圖。在該情況下,雖然沒(méi)有特別圖示,不過(guò)絕對(duì)用旋轉(zhuǎn)窄縫S3的絕對(duì)圖案被設(shè)定為:在圓盤(pán)140的一旋轉(zhuǎn)周內(nèi),所述絕對(duì)圖案與8個(gè)絕對(duì)用導(dǎo)光部129的照射面1294的任意一個(gè)照射面1294在旋轉(zhuǎn)軸線AX方向一致的組合都不相同。根據(jù)本變形例,相對(duì)于所述實(shí)施方式,使絕對(duì)用導(dǎo)光部129的個(gè)數(shù)增加了,因此,能夠提高基于絕對(duì)信號(hào)確定的絕對(duì)位置的精度。而且,例如,在所述實(shí)施方式中,在相鄰的固定窄縫SlA SlD之間設(shè)置了電角度為90。的窄縫間隔fA 以使從相鄰的區(qū)域XA XD得到的受光信號(hào)彼此的相位具有90°的不同。但是,所述窄縫間隔(pA _并不僅限于該例,只要所述間隔在受光信號(hào)中產(chǎn)生電角度大于0°小于180°的分辨率以上的相位差即可。而且,在所述實(shí)施方式中,對(duì)反射部V1、V2作為向圓盤(pán)140的背面突出的部位進(jìn)行設(shè)置的情況進(jìn)行了說(shuō)明。但是,所述反射部V1、V2只要能夠?qū)⑼高^(guò)旋轉(zhuǎn)窄縫S2的往路光以與該往路相同或平行的光路反射的結(jié)構(gòu),也可以考慮各種結(jié)構(gòu)。亦即,例如,反射部V1、V2也可以作為在旋轉(zhuǎn)窄縫S2本身或旋轉(zhuǎn)窄縫S2下方配置的V字狀的槽形成。在此情況下,導(dǎo)光部142不是必要的。而且,在使往路光和復(fù)路光在同一光路傳導(dǎo)的情況下,也可以將旋轉(zhuǎn)窄縫S2本身構(gòu)成為反射窄縫。例如,通過(guò)只在遮蔽部141的窄縫開(kāi)口部在平板狀的低反射部件上局部地配置高反射涂層,從而能夠成為不要導(dǎo)光部142的結(jié)構(gòu)。而且,在所述實(shí)施方式中,作為導(dǎo)光部120,對(duì)具有多個(gè)反射面等的導(dǎo)光部件進(jìn)行了說(shuō)明。但是,該導(dǎo)光部120例如也可以由能夠向全周照射光的光纖或光纖束等構(gòu)成。并且,在所述實(shí)施方式中,為了最終構(gòu)成絕對(duì)式編碼器,對(duì)還具有用于得到絕對(duì)信號(hào)的結(jié)構(gòu)的例進(jìn)行了說(shuō)明。但是,該絕對(duì)信號(hào)用的結(jié)構(gòu)除所述實(shí)施方式之外,也能夠使用無(wú)論光電式、磁力式、旋轉(zhuǎn)變壓器式、機(jī)械式的各種各樣的結(jié)構(gòu)。更進(jìn)一步來(lái)說(shuō),在構(gòu)成增量式編碼器的情況下,當(dāng)然無(wú)需絕對(duì)信號(hào)用的結(jié)構(gòu),而將絕對(duì)用元件配置和絕對(duì)用窄縫配置與U、V、W相等配置對(duì)應(yīng)。而且,在所述實(shí)施方式中,通過(guò)將固定軌道Tl分為多個(gè)區(qū)域XA XD,以從一個(gè)旋轉(zhuǎn)軌道T2得到相位不同的受光信號(hào),但也可以不必將固定軌道分為多個(gè)區(qū)域。例如,為了得到相位不同的多個(gè)受光信號(hào),也可以形成為將相位不同的旋轉(zhuǎn)軌道沿圓盤(pán)140的徑向多重排列的結(jié)構(gòu),并且形成為用導(dǎo)光部120分別將光引導(dǎo)到這些多個(gè)旋轉(zhuǎn)軌道的結(jié)構(gòu)。而且,在所述實(shí)施方式中,對(duì)將遮蔽部130設(shè)在圓盤(pán)140的上方(軸向一方側(cè)的一例)的情況進(jìn)行了說(shuō)明,但也可以相反地,將遮蔽部130設(shè)在圓盤(pán)140的下方(軸向另一方側(cè)的一例)的結(jié)構(gòu)。在該情況下,只要如下構(gòu)成即可:只用遮蔽部141構(gòu)成圓盤(pán)140,將具有反射部Vl和反射部V2的導(dǎo)光部142設(shè)在遮蔽部130的與圓盤(pán)140相反的一側(cè)。
權(quán)利要求
1.一種光全周編碼器,其特征在于, 所述光全周編碼器具有: 基板,位于旋轉(zhuǎn)軸線上的光源配置在所述基板的一面?zhèn)龋? 圓盤(pán),所述圓盤(pán)以能夠繞所述旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的方式配置在所述基板的另一面?zhèn)?,并且所述圓盤(pán)具有至少2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道,所述至少2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道具有以所述旋轉(zhuǎn)軸線為中心的多條旋轉(zhuǎn)窄縫;和 導(dǎo)光部,所述導(dǎo)光部將從所述光源照射的光呈放射狀地朝向所述圓盤(pán)的外周方向的大致整個(gè)區(qū)域引導(dǎo),并引導(dǎo)至所述2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道, 所述導(dǎo)光部具有: 第I導(dǎo)光部,所述第I導(dǎo)光部具有直接或間接面對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軌道中的第I旋轉(zhuǎn)軌道的大致環(huán)狀的面,所述第I導(dǎo)光部用于呈放射狀地引導(dǎo)所述光以使所述光從所述面朝向所述第1旋轉(zhuǎn)軌道射出;和 第2導(dǎo)光部,所述第2導(dǎo)光部配置有至少2個(gè)以上,所述第2導(dǎo)光部用于將所述被呈放射狀地引導(dǎo)的光的一部分引導(dǎo)到所述旋轉(zhuǎn)軌道中的除所述第I旋轉(zhuǎn)軌道以外的至少I(mǎi)個(gè)以上的第2旋轉(zhuǎn)軌道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光全周編碼器,其中, 所述光全周編碼器還具有固定軌道,所述固定軌道固定在所述圓盤(pán)的軸向一方側(cè)或另一方側(cè),并且所述固定軌道具有與所述第I旋轉(zhuǎn)軌道的所述旋轉(zhuǎn)窄縫對(duì)應(yīng)的多條固定窄縫, 所述固定軌道沿周向被分為2個(gè)以上的區(qū)域, 所述第I導(dǎo)光部至少在與所述2個(gè)以上的區(qū)域的邊界對(duì)應(yīng)的位置具有用于遮蔽光的多個(gè)遮蔽部, 所述第2導(dǎo)光部被設(shè)置成相對(duì)于所述遮蔽部向所述圓盤(pán)那一側(cè)突出,用于將被呈放射狀地引導(dǎo)且進(jìn)入所述遮蔽部的光引導(dǎo)到所述第2旋轉(zhuǎn)軌道。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光全周編碼器,其中, 所述第I導(dǎo)光部一邊使作用于所述多條固定窄縫和所述多條旋轉(zhuǎn)窄縫的光會(huì)聚,一邊朝向所述旋轉(zhuǎn)軸線附近引導(dǎo)所述光,所述光全周編碼器還具有2個(gè)以上的受光部,所述2個(gè)以上的受光部配置在所述旋轉(zhuǎn)軸線附近,用于在所述2個(gè)以上的區(qū)域中的每個(gè)區(qū)域分別接收由所述第I導(dǎo)光部引導(dǎo)的光,在所述固定軌道中,所述區(qū)域中的一個(gè)區(qū)域內(nèi)的多條固定窄縫以及在與所述一個(gè)區(qū)域相鄰的另一區(qū)域內(nèi)的多條固定窄縫形成為,使得由所述受光部接收的受光信號(hào)之間產(chǎn)生能夠判別旋轉(zhuǎn)方向的相位差。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光全周編碼器,其中, 所述固定軌道被分為4的整數(shù)倍個(gè)所述區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求2 4中的任意一項(xiàng)所述的光全周編碼器,其中, 所述固定軌道所具有的2個(gè)以上的區(qū)域被設(shè)定為繞所述旋轉(zhuǎn)軸線按照所述區(qū)域的個(gè)數(shù)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱, 繞所述旋轉(zhuǎn)軸線成為點(diǎn)對(duì)稱關(guān)系的2個(gè)所述區(qū)域中的每一個(gè)區(qū)域的所述多條旋轉(zhuǎn)窄縫或者固定窄縫形成為,使得由2個(gè)所述受光部接收的受光信號(hào)之間產(chǎn)生電角度為O?;?80°的相位差。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光全周編碼器,其中, 所述光全周編碼器還具有位置數(shù)據(jù)生成部,所述位置數(shù)據(jù)生成部用于基于將從處于所述點(diǎn)對(duì)稱關(guān)系的2個(gè)區(qū)域得到的2個(gè)受光信號(hào)彼此相加或相減的結(jié)果,來(lái)生成包含旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)方向的位置數(shù)據(jù)。
7.—種馬達(dá)系統(tǒng),其特征在于, 所述馬達(dá)系統(tǒng)具備: 馬達(dá)部,所述馬達(dá)部用于使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn); 光全周編碼器,所述光全周編碼器與所述旋轉(zhuǎn)軸連接,用于測(cè)定所述旋轉(zhuǎn)軸的位置;和 控制部,所述控制部基于所述光全周編碼器檢測(cè)出的位置來(lái)控制所述馬達(dá)部的旋轉(zhuǎn), 所述光全周編碼器具有: 基板,位于所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)軸線上的光源配置在所述基板的一面?zhèn)龋? 圓盤(pán),所述圓盤(pán)以能夠繞所述旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的方式配置在所述基板的另一面?zhèn)?,并且所述圓盤(pán)具有至少2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道,所述至少2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道具有以所述旋轉(zhuǎn)軸線為中心的多條旋轉(zhuǎn)窄縫;和 導(dǎo)光部,所述導(dǎo)光部用于將從所述光源照射的光呈放射狀地朝向所述圓盤(pán)的外周方向的大致整個(gè)區(qū)域引導(dǎo),并引導(dǎo)至所述2個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)軌道, 所述導(dǎo)光部具有: 第I導(dǎo)光部,所述第I導(dǎo)光部具有直接或間接面對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軌道中的第I旋轉(zhuǎn)軌道的大致環(huán)狀的面,所述第I導(dǎo)光部用于呈放射狀地引導(dǎo)所述光以使所述光從所述面朝向所述第I旋轉(zhuǎn)軌道射出;和 第2導(dǎo)光部,所述第2導(dǎo)光部配置有至少2個(gè)以上,所述第2導(dǎo)光部用于將所述被呈放射狀地引導(dǎo)的光的一部分引導(dǎo)到所述旋轉(zhuǎn)軌道中的除所述第I旋轉(zhuǎn)軌道以外的至少I(mǎi)個(gè)以上的第2旋轉(zhuǎn)軌道。
全文摘要
本發(fā)明提供一種既容易制造又能夠小型化的光全周編碼器和馬達(dá)系統(tǒng)。光圓周編碼器具有基板(110),位于旋轉(zhuǎn)軸線(AX)上的發(fā)光部(111)配置在一面?zhèn)龋粓A盤(pán)(140),其以能夠繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的方式配置在基板的另一面?zhèn)?,具?個(gè)旋轉(zhuǎn)軌道(T2、T3),所述旋轉(zhuǎn)軌道以旋轉(zhuǎn)軸線為中心地具有多條旋轉(zhuǎn)窄縫(S2、S3);和導(dǎo)光部(120),其將從發(fā)光部照射的光呈放射狀地朝向圓盤(pán)的外周方向的大致整個(gè)區(qū)域引導(dǎo)并導(dǎo)入旋轉(zhuǎn)軌道(T2、T3),導(dǎo)光部具有增量用第1導(dǎo)光部(123)等,其具有間接面對(duì)旋轉(zhuǎn)軌道(T2)的大致環(huán)狀的照射入光面(126),并且呈放射狀地引導(dǎo)光以使其從照射入光面朝向旋轉(zhuǎn)軌道(T2)射出;和絕對(duì)用第2導(dǎo)光部(1293),其將光的一部分引導(dǎo)到旋轉(zhuǎn)軌道(T3)。
文檔編號(hào)G01D5/347GK103105184SQ20121037515
公開(kāi)日2013年5月15日 申請(qǐng)日期2012年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月5日
發(fā)明者村岡次郎, 井上貞敏 申請(qǐng)人:株式會(huì)社安川電機(jī)