專利名稱：傳感器元件及其制造方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳感器元件、傳感器元件的制造方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
作為傳感器元件，已知一種角速度傳感器(振動陀螺傳感器)，其被用于例如車輛中的車身控制、車輛導(dǎo)航系統(tǒng)的本車位置檢測、數(shù)碼照相機或攝像機等的振動控制補正(所謂的手抖補正)等，并對角速度、加速度等的物理量進(jìn)行檢測(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。例如，專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器具有音叉，所述音叉通過兩個臂、和對該兩個臂的一端彼此進(jìn)行連接的連接部而構(gòu)成。此外，在專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器中，音叉由非壓電體材料構(gòu)成，并且在各個臂上分別設(shè)置有通過壓電薄膜插入在一對電極之間而構(gòu)成的驅(qū)動部以及檢測部。在這種專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器中，通過向驅(qū)動部的一對電極之間施加電壓，從而使臂進(jìn)行彎曲振動(驅(qū)動)。而且，當(dāng)在該驅(qū)動狀態(tài)下，臂受到繞沿著其延伸方向的軸線的角速度時，將由于科里奧利力，而使臂向與前文所述的驅(qū)動方向正交的方向撓曲，從而由檢測部的一對電極檢測出對應(yīng)于該撓曲量的電荷。根據(jù)該被檢測出的電荷，而能夠?qū)撬俣冗M(jìn)行檢測。然而，如前文所述的具有兩個臂的音叉一般通過對基板進(jìn)行蝕刻加工而形成。此時，由于該基板的蝕刻各向異性或加工工藝的誤差等，而難以使音叉的尺寸與設(shè)計一致。因此，存在如下的情況，即，音叉成為非預(yù)期的形狀，從而即使在臂未受到角速度的狀態(tài)下，臂也向與驅(qū)動方向不同的方向進(jìn)行撓曲。當(dāng)對隨著這種臂的撓曲而由檢測部的一對電極產(chǎn)生的電荷進(jìn)行檢測時，將導(dǎo)致檢測精度的降低。因此，在專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器中，通過對檢測部的一對電極中的一個電極進(jìn)行部分去除，從而對在臂未受到角速度的狀態(tài)下由檢測部的一對電極輸出的電荷
量進(jìn)行調(diào)節(jié)。但是，在專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器中，存在難以高精度地實施對由檢測部的一對電極輸出的電荷量的調(diào)節(jié)的問題。專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-14887號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度的傳感器元件、傳感器元件的制造方法以及傳感器裝置，并且提供一種具備所涉及的傳感器裝置的、可靠性較高的電子設(shè)備。本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的發(fā)明，其能夠作為以下的方式或應(yīng)用例而實現(xiàn)。應(yīng)用例I本發(fā)明的傳感器元件的特征在于，具備基部；驅(qū)動用振動臂，其從所述基部延イ申，并進(jìn)行驅(qū)動振動；振動臂，其從所述基部延伸，井隨著所述驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動振動而進(jìn)行振動；檢測部，其包括檢測用電極，所述檢測用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而輸出信號，在所述振動臂上設(shè)置有電極，所述電極與所述檢測用電極電連接，并且產(chǎn)生與在所述驅(qū)動用振動臂上未施加有物理量時由所述檢測用電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷，所述電極包括共用部，其沿著所述振動臂的延伸方向而設(shè)置；多個分支部，其從所述共用部分支。根據(jù)以此種方式構(gòu)成的傳感器元件，能夠通過針對于由驅(qū)動用振動臂的截面非對稱而引起的檢測用電極的泄漏輸出，使設(shè)置在振動臂上的電極產(chǎn)生相反極性的電荷，從而抵消泄漏輸出而作為傳感器輸出來進(jìn)行輸出。而且，通過將電極的多個分支部中的至少ー個分支部的中途、或共用部的中途切斷，從而能夠減小由電極輸出的電荷，進(jìn)而對傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。具體而言，能夠?qū)鞲衅鬏敵稣{(diào)節(jié)(補正)為，在傳感器兀件上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出成為所需的基準(zhǔn)值(例如零)。尤其是，由于多個分支部從共用部分支，因此，即使將任意的分支部切斷，也能夠維持將其他的分支部電連接于檢測用電極的狀態(tài)。即，能夠?qū)㈦姌O面積減小多個分支部中的任意分支部的量。而且，由于多個分支部沿著振動臂的延伸方向而并排設(shè)置，因此能夠根據(jù)被切斷的分支部的位置以及數(shù)量，而簡單且高精度地對傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于以上原因，本發(fā)明的傳感器元件能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。應(yīng)用例2在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，多個所述分支部電極寬度在所述頂端側(cè)比在所述共用部側(cè)大。 由此，能夠確保調(diào)節(jié)之前(將共用部或分支部的中途切斷之前)的電極的電極面積較大，從而増大通過對共用部或分支部的中途進(jìn)行切斷而實施的對傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度，且比較容易地對分支部的中途切斷進(jìn)行切斷。應(yīng)用例3在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，多個所述分支部的電極面積互不相同。由此，能夠容易地實施對電極的電荷量的調(diào)節(jié)。具體而言，只需預(yù)先計算出與電極面積相應(yīng)的電荷量，并以與檢測用電極的泄漏輸出的電荷量相等的電荷量對分支部進(jìn)行切斷，便能夠高精度地進(jìn)行調(diào)節(jié)。應(yīng)用例4在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，多個所述分支部相對于所述振動臂的所述延伸方向而傾斜。由此，能夠容易地將分支部的中途切斷。具體而言，在使用激光等來對分支部進(jìn)行切斷時，由于無論使激光在X軸方向或y軸方向中的哪個方向上進(jìn)行移動，均能夠?qū)⒎种Р壳袛?，從而由于無需考慮元件相對于激光的配置方向，因此提高了制造效率。應(yīng)用例5在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，多個所述分支部分別在所述共用部的兩側(cè)分支。
由此，能夠防止或抑制共用部作為調(diào)節(jié)用電極而發(fā)揮功能的情況。因此，能夠使傳感器輸出的調(diào)節(jié)較為容易。此外，能夠確保調(diào)節(jié)前(將共用部或分支部的中途切斷之前)的調(diào)節(jié)用電極的電極面積較大。應(yīng)用例6在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，所述振動臂具有第一面、該第一面的相反側(cè)的第二面、以及對所述第一面與所述第二面進(jìn)行連結(jié)的側(cè)面，所述電極在所述第一面以及所述第二面中的至少ー個面上設(shè)置有所述共用部以及多個所述分支部，并且在所述側(cè)面上設(shè)置有側(cè)面電極。通過將第二電極配置為，與第一電極的至少多個分支部的頂端對置，從而能夠?qū)⒂诜种Р颗c第二電極之間產(chǎn)生的電荷用作調(diào)節(jié)用。應(yīng)用例7在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，所述振動臂具備沿著所述延伸方向而設(shè)置的槽部，所述分支部的至少一部分被設(shè)置在所述槽部的壁面上。由此，能夠縮短電極的分支部和與其接近的電極之間的距離，從而增大由電極輸出的電荷。因此，能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。應(yīng)用例8在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，所述共用部以及多個所述分支部分別被設(shè)置在所述第一面以及所述第二面上，設(shè)置在所述第一面上的多個所述分支部、以及設(shè)置在所述第二面上的多個所述分支部被設(shè)置為，在從所述第一面的法線方向觀察時，至少一部分
相互不重疊。由此，能夠使用激光而分別對設(shè)置在振動臂的表面上的分支部、和設(shè)置在振動臂的背面上的分支部進(jìn)行切斷。因此，能夠更高精度地對傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。應(yīng)用例9在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，所述檢測部具備檢測用振動臂，所述檢測用振動臂從所述基部延伸，并根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而進(jìn)行振動，所述檢測用電極被設(shè)置在所述檢測用振動臂上。由此，能夠增大檢測用電極的電極面積。因此，能夠提高傳感器元件的檢測靈敏度。應(yīng)用例10本發(fā)明的傳感器元件的制造方法的特征在于，所述傳感器元件具備基部；驅(qū)動用振動臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動振動；振動臂，其從所述基部延伸，井隨著所述驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動振動而進(jìn)行振動；檢測部，其包括檢測用電極，所述檢測用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而輸出信號，在所述振動臂上設(shè)置有電極，所述電極與所述檢測用電極電連接，并且產(chǎn)生與在所述驅(qū)動用振動臂上未施加有物理量時由所述檢測用電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷，所述電極包括共用部，其沿著所述振動臂的延伸方向而設(shè)置；多個分支部，其從所述共用部分支，所述傳感器元件的制造方法包括電荷調(diào)節(jié)エ序，在所述電荷調(diào)節(jié)エ序中，通過對所述分支部的中途、或所述共用部的中途進(jìn)行切斷，從而對在所述電極上產(chǎn)生的所述電荷進(jìn)行調(diào)節(jié)。根據(jù)這種傳感器元件的制造方法，能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。
應(yīng)用例11在本發(fā)明的傳感器元件的制造方法中，優(yōu)選為，在所述電荷調(diào)節(jié)エ序之前，包括對在未于所述驅(qū)動用振動臂上施加有物理量并通過通電而使所述驅(qū)動用振動臂進(jìn)行振動的狀態(tài)下，產(chǎn)生于所述檢測用電極上的電荷進(jìn)行測量的エ序；對所述振動臂的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的エ序。由此，能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。應(yīng)用例12本發(fā)明的傳感器裝置的特征在于，具有本發(fā)明的傳感器元件；使所述驅(qū)動用振動臂進(jìn)行驅(qū)動的電路；對來自所述檢測用電極的信號進(jìn)行檢測的電路。由此，能夠提供廉價、且具有優(yōu)異的檢測靈敏度的傳感器裝置。應(yīng)用例13本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在干，具有本發(fā)明的傳感器元件。由此，能夠提供ー種具有優(yōu)異的可靠性的電子設(shè)備。


圖1為表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的傳感器裝置(電子裝置)的概要結(jié)構(gòu)的模式剖視圖。圖2為圖1所示的傳感器裝置的俯視圖。圖3為表示在圖1所示的傳感器裝置中所具備的傳感器元件的俯視圖。圖4 Ca)為表示圖3所示的傳感器元件的驅(qū)動用振動臂的放大俯視圖，圖4 (b)為圖4 (a)所示的驅(qū)動用振動臂的剖視圖。圖5 Ca)為表示圖3所示的傳感器元件的檢測用振動臂的放大俯視圖，圖5 (b)為圖5 (a)所示的檢測用振動臂的剖視圖。圖6 Ca)為表示圖3所示的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖，圖6 (b)為圖6 (a)所示的調(diào)節(jié)用振動臂的剖視圖。圖7為表示圖3所示的傳感器元件中的檢測用電極以及調(diào)節(jié)用電極的連接狀態(tài)的圖。圖8為用于對圖3所示的傳感器元件的動作進(jìn)行說明的圖。圖9 (a)為表不圖5所不的檢測用電極的泄漏輸出的圖，圖9 (b)為表不圖6所示的調(diào)節(jié)用電極的輸出的圖。圖10為表示本發(fā)明的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個示例的流程圖。圖11為用于對本發(fā)明的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個示例進(jìn)行說明的圖。圖12為表示本發(fā)明的第二實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。圖13為表示本發(fā)明的第三實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。圖14為表示本發(fā)明的第四實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。圖15為表示本發(fā)明的第五實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。圖16 Ca)為表示本發(fā)明的第六實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖，圖16 (b)為圖16 (a)所示的調(diào)節(jié)用振動臂的剖視圖。圖17為表示本發(fā)明的第七實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。圖18為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的便攜式(或筆記本式)的個人計算機的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖19為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動電話(也包括PHS (PersonalHandy-phone System :個人移動電話系統(tǒng)))的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖20為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機的結(jié)構(gòu)的立體圖。
具體實施例方式以下，根據(jù)附圖所示的實施方式，而對本發(fā)明的傳感器元件、傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。第一實施方式首先，對本發(fā)明的第一實施方式進(jìn)行說明。圖1為表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的傳感器裝置(電子裝置)的概要結(jié)構(gòu)的模式剖視圖，圖2為圖1所示的傳感器裝置的俯視圖，圖3為表示在圖1所示的傳感器裝置中所具備的傳感器元件的俯視圖，圖4 Ca)為表示圖3所示的傳感器元件的驅(qū)動用振動臂的放大俯視圖，圖4 (b)為圖4 (a)所示的驅(qū)動用振動臂的剖視圖，圖5 (a)為表示圖3所示的傳感器元件的檢測用振動臂的放大俯視圖，圖5 (b)為圖5 (a)所示的檢測用振動臂的剖視圖，圖6 (a)為表示圖3所示的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖，圖6 (b)為圖6 Ca)所示的調(diào)節(jié)用振動臂的剖視圖，圖7為表示圖3所示的傳感器元件中的檢測用電極以及調(diào)節(jié)用電極的連接狀態(tài)的圖，圖8為用于對圖3所示的傳感器元件的動作進(jìn)行說明的圖，圖9 (a)為表示圖5所示的檢測用電極的泄漏輸出的圖，圖9 (b)為表示圖6所示的調(diào)節(jié)用電極的輸出的圖。另外，在下文中，為了便于說明，在圖1 7中，作為相互正交的三個軸，圖示了 X軸、y軸以及z軸，并將與X軸平行的方向稱為“X軸方向”，將與y軸平行的方向稱為“y軸方向”，將與z軸平行的方向稱為“z軸方向”。此外，也將+ z軸側(cè)稱為“上”，將ー z軸側(cè)稱為“下”。傳感器裝置圖1以及圖2所示的傳感器裝置I為，對角速度進(jìn)行檢測的陀螺傳感器。這種傳感器裝置I能夠用于，例如攝像設(shè)備的手抖補正、使用了 GPS (GlobalPositioning System :全球定位系統(tǒng))衛(wèi)星信號的移動體導(dǎo)航系統(tǒng)中的車輛等的姿態(tài)檢測、姿態(tài)控制等。如圖1以及圖2所示，該傳感器裝置I具有傳感器元件2 ；IC (IntegratedCircuit :集成電路)芯片3 ;封裝件4，其對傳感器元件2和IC芯片3進(jìn)行收納。以下，對構(gòu)成傳感器裝置I的各個部分依次進(jìn)行說明。傳感器元件2
傳感器元件2為，對繞一個軸的角速度進(jìn)行檢測的陀螺傳感器元件。如圖3所示，該傳感器元件2具有基部21 ; —對驅(qū)動用振動臂221、222 ; —對檢測用振動臂231、232 ; —對調(diào)節(jié)用振動臂(振動臂)241、242 ;支承部25 ;四個連結(jié)部261、262、263,264 ;驅(qū)動用電極組51、52 ;檢測用電極組53、54 ;調(diào)節(jié)用電極組55、56。在本實施方式中，基部21、一對驅(qū)動用振動臂221、222、一對檢測用振動臂231、232、一對調(diào)節(jié)用振動臂241、242、支承部25以及四個連結(jié)部261、262、263、264由壓電體材料一體地形成。作為這種壓電體材料，雖然并不被特別限定，但優(yōu)選使用水晶。由此，能夠使傳感器元件2的特性較為優(yōu)異。水晶具有相互正交的X軸(電軸)、Y軸(機械軸)以及Z軸(光學(xué)軸)。基部21、一對驅(qū)動用振動臂221、222、一對檢測用振動臂231、232、一對調(diào)節(jié)用振動臂241、242、支承部25以及四個連結(jié)部261、262、263、264例如能夠通過對如下基板進(jìn)行蝕刻加工而形成，所述基板由Z軸存在于厚度方向上且具有與X軸以及Y軸平行的板面的水晶構(gòu)成。所涉及的基板的厚度根據(jù)傳感器元件2的振蕩頻率(共振頻率)、外形尺寸以及加工性等而被適當(dāng)設(shè)定。另外，在下文中，以基部21、一對驅(qū)動用振動臂221、222、一對檢測用振動臂231、232、ー對調(diào)節(jié)用振動臂241、242、支承部25以及四個連結(jié)部261、262、263、264由水晶一體地構(gòu)成的情況為示例而進(jìn)行說明?；?1經(jīng)由四個連結(jié)部261、262、263、264而被支承在支承部25上。四個連結(jié)部261、262、263、264分別呈長條狀，且一端與基部21連結(jié)，另一端與支承部25連結(jié)。驅(qū)動用振動臂221、222分別從基部21向y軸方向(+ y軸方向)延伸。此外，驅(qū)動用振動臂221、222分別沿著水晶的Y軸延伸。而且，驅(qū)動用振動臂221、222的橫截面分別呈由與X軸平行的一對邊和與z軸平行的一對邊構(gòu)成的矩形。而且，在驅(qū)動用振動臂221上設(shè)置有驅(qū)動用電極組51，同樣地，在驅(qū)動用振動臂222上設(shè)置有驅(qū)動用電極組52。以下，代表性地對驅(qū)動用電極組51進(jìn)行說明。另外，關(guān)于驅(qū)動用電極組52，由干與驅(qū)動用電極組51相同，因此省略其說明。如圖4 (a)、(b)所示，驅(qū)動用電極組51通過被設(shè)置在驅(qū)動用振動臂221的上表面上的驅(qū)動用電極511、被設(shè)置在驅(qū)動用振動臂221的下表面上的驅(qū)動用電極512、被設(shè)置在驅(qū)動用振動臂221的ー個(圖4中的左側(cè))側(cè)面上的驅(qū)動用電極513、以及被設(shè)置在驅(qū)動用振動臂221的另ー個(圖4中的右側(cè))側(cè)面上的驅(qū)動用電極514而構(gòu)成。驅(qū)動用電極511以及驅(qū)動用電極512以相互成為相同的電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。此外，驅(qū)動用電極513以及驅(qū)動用電極514以相互成為相同的電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。這種驅(qū)動用電極511、512經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置在支承部25上的端子57a電連接。此外，驅(qū)動用電極513、514經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置在支承部25上的端子57b電連接。檢測用振動臂231、232分別從基部21向y軸方向(一 y軸方向)延伸。此外，檢測用振動臂231、232分別沿著水晶的Y軸而延伸。而且，檢測用振動臂231、232的橫截面分別呈由與X軸平行的一對邊和與z軸平行的一對邊構(gòu)成的矩形。這種檢測用振動臂231、232為，分別根據(jù)被施加于驅(qū)動用振動臂221、222的物理量而進(jìn)行振動的構(gòu)件。
而且，在檢測用振動臂231上設(shè)置有檢測用電極組53，同樣地，在檢測用振動臂232上設(shè)置有檢測用電極組54。如此，通過在作為獨立于驅(qū)動用振動臂221、222而設(shè)置的檢測用振動臂231、232上設(shè)置檢測用電極組53、54，從而能夠增大檢測用電極組53、54的檢測用電極的電極面積(作為電極而發(fā)揮功能的部分的面積)。因此，能夠提高傳感器元件2的檢測靈敏度。在此，檢測用振動臂231以及檢測用電極組53構(gòu)成檢測部。同樣地，檢測用振動臂232以及檢測用電極組54也構(gòu)成檢測部。以下，代表性地對檢測用電極組53進(jìn)行說明。另外，關(guān)于檢測用電極組54，由干與檢測用電極組53相同，因此省略其說明。如圖5 (a)、(b)所示，檢測用電極組53通過被設(shè)置在檢測用振動臂231的上表面上的檢測用電極531、532、和被設(shè)置在檢測用振動臂231的下表面上的檢測用電極533、534而構(gòu)成。此處，檢測用電極531、533分別被設(shè)置在檢測用振動臂231的寬度方向上的ー側(cè)(圖5中的左側(cè))，此外，檢測用電極532、534分別被設(shè)置在檢測用振動臂231的寬度方向上的另ー側(cè)(圖5中的右側(cè))。檢測用電極531以及檢測用電極534以相互成為相同的電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。此外，檢測用電極532以及檢測用電極533以相互成為相同的電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。在此，檢測用電極531、534以及檢測用電極532、533成對。這種檢測用電極531、534經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置在支承部25上的端子57c電連接。此外，檢測用電極532、533經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置在支承部25上的端子57e電連接。另外，檢測用電極組54經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置在支承部25上的端子57d、57f電連接。調(diào)節(jié)用振動臂241、242分別從基部21向y軸方向延伸。此外，調(diào)節(jié)用振動臂241、242分別沿著水晶的Y軸而延伸。而且，調(diào)節(jié)用振動臂241、242的橫截面分別呈由與x軸平行的一對邊和與z軸平行的一對邊構(gòu)成的矩形。調(diào)節(jié)用振動臂241、242分別為矩形，且具有表面(第一面)、背面(第二面)、以及對表面和背面進(jìn)行連結(jié)的側(cè)面。這種調(diào)節(jié)用振動臂241、242被設(shè)置為，與前文所述的驅(qū)動用振動臂221、222平行。即，驅(qū)動用振動臂221、222以及調(diào)節(jié)用振動臂241、242在相互平行的方向上延伸。由此，當(dāng)由水晶來構(gòu)成驅(qū)動用振動臂221、222以及調(diào)節(jié)用振動臂241、242等時，能夠?qū)Ⅱ?qū)動用振動臂221、222以及調(diào)節(jié)用振動臂241、242構(gòu)成為分別沿著水晶的Y軸而延伸，從而使驅(qū)動用振動臂221、222高效地進(jìn)行振動，并且通過簡單的結(jié)構(gòu)而使后文所述的調(diào)節(jié)用電極551 554產(chǎn)生電荷。而且，在調(diào)節(jié)用振動臂241上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55，同樣地，在調(diào)節(jié)用振動臂242上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組56。以下，代表性地對調(diào)節(jié)用電極組55進(jìn)行說明。另外，關(guān)于調(diào)節(jié)用電極組56，由干與調(diào)節(jié)用電極組55相同，因此省略其說明。如圖6 (a)、(b)所示，調(diào)節(jié)用電極組55通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241的上表面上的調(diào)節(jié)用電極551、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241的下表面上的調(diào)節(jié)用電極552、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241的ー個(圖6中的左側(cè))側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極(側(cè)面電極)553、以及被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241的另ー個(圖6中的右側(cè))側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極(側(cè)面電極)554而構(gòu)成。調(diào)節(jié)用電極551以及調(diào)節(jié)用電極552被形成為，在俯視觀察時相互重疊。S卩，調(diào)節(jié)用電極551以及調(diào)節(jié)用電極552被形成為，在俯視觀察時彼此的外形相一致。根據(jù)以這種方式形成的調(diào)節(jié)用電極551以及調(diào)節(jié)用電極552，在如后文所述這樣將調(diào)節(jié)用電極551的分支部61切斷時，也能夠同時切斷與該被切斷的分支部61相對應(yīng)的調(diào)節(jié)用電極552的分支部(未圖示)。調(diào)節(jié)用電極551以及調(diào)節(jié)用電極552以相互成為相同的電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。此外，調(diào)節(jié)用電極553以及調(diào)節(jié)用電極554以相互成為相同的電位的方式而電連接。在此，調(diào)節(jié)用電極551、552以及調(diào)節(jié)用電極553、554成對。這種調(diào)節(jié)用電極551、552經(jīng)由未圖示的配線，而與前文所述的檢測用電極532、533 —起，與圖3所示的、被設(shè)置在支承部25上的端子57e電連接。此外，調(diào)節(jié)用電極553、554經(jīng)由未圖示的配線，而與前文所述的檢測用電極531、534—起，與圖3所示的、被設(shè)置在支承部25上的端子57c電連接。另外，調(diào)節(jié)用電極組56經(jīng)由未圖示的配線，而與檢測用電極組54 —起，與圖3所示的、被設(shè)置在支承部25上的端子57d、57f電連接。如圖7所示，在具有這種調(diào)節(jié)用電極551 554的傳感器元件2中，能夠?qū)⒃跈z測用電極531、534以及檢測用電極532、533上產(chǎn)生的電荷量、與在調(diào)節(jié)用電極551、552和調(diào)節(jié)用電極553、554上產(chǎn)生的電荷量相加而得到的值，作為傳感器輸出而從端子57c、57e輸出。

在此，由于在調(diào)節(jié)用電極551、552以及調(diào)節(jié)用電極553、554上產(chǎn)生的電荷，與在檢測用電極531、534以及檢測用電極532、533上產(chǎn)生的電荷為相反極性，因此，將在檢測用電極531、534以及檢測用電極532、533上產(chǎn)生的電荷中的至少一部分電荷抵消。而且，通過對調(diào)節(jié)用電極551、552的一部分進(jìn)行去除，從而能夠?qū)鞲衅鬏敵鲞M(jìn)行調(diào)節(jié)。以下，對調(diào)節(jié)用電極551進(jìn)行詳細(xì)敘述。另外，由于調(diào)節(jié)用電極552與調(diào)節(jié)用電極551相同，因此省略其說明。如圖6 (a)所示，調(diào)節(jié)用電極551具備共用部60和多個分支部61。共用部60與前文所述的檢測用電極531、534電連接。此外，多個分支部61從共用部60分支且沿著調(diào)節(jié)用振動臂241的延伸方向而并排設(shè)置。這種調(diào)節(jié)用電極551、552能夠通過對多個分支部61中的至少ー個分支部61的中途、或者共用部60的中途進(jìn)行切斷，從而減少調(diào)節(jié)用電極551、552以及調(diào)節(jié)用電極553、554之間的電荷量，進(jìn)而對傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。例如，能夠?qū)鞲衅鬏敵稣{(diào)節(jié)(補正)為，在傳感器元件2上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出(以下，也稱為“零點輸出”)成為零。尤其是，由于多個分支部61從共用部60分支，因此即使對任意的分支部61進(jìn)行切斷，也能夠維持其他的分支部61與共用部60電連接的狀態(tài)。即，能夠?qū)⒄{(diào)節(jié)用電極551的面積減少多個分支部61中的任意分支部61的量。而且，由于多個分支部61沿著調(diào)節(jié)用振動臂241的延伸方向而并排設(shè)置，因此能夠根據(jù)被切斷的分支部61的位置以及數(shù)量，而容易并且高精度地對傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。在本實施方式中，共用部60沿著調(diào)節(jié)用振動臂241的延伸方向而延伸，多個分支部61從共用部60的長度方向上的互不相同的多個部位起分支。由此，能夠簡化調(diào)節(jié)用電極551的結(jié)構(gòu)。在本實施方式中，如圖6 (a)所示，在俯視觀察時(從z軸方向觀察時)，共用部60偏置于調(diào)節(jié)用振動臂241的寬度方向上的ー側(cè)。此外，共用部60被形成為狹窄的寬度。由此，能夠比較容易地將共用部60的中途切斷。此外，各個分支部61具有寬度狹窄部62，其以狹窄的寬度被形成在共用部60側(cè)；寬度寬大部63，其以寬大的寬度被形成在與共用部60相反的ー側(cè)。如此，由于各個分支部61具有寬度寬大部63，從而能夠確保調(diào)節(jié)之前(將共用部60或分支部61的中途切斷之前)的調(diào)節(jié)用電極551的電極面積較大，進(jìn)而増大通過共用部60或分支部61的中途的切斷而實施的對傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。此外，由于各個分支部61具有寬度狹窄部62，從而能夠比較容易地將分支部61的中途切斷。此外，多個寬度狹窄部62以相互平行的方式而設(shè)置。此外，各個寬度狹窄部62在與調(diào)節(jié)用振動臂241的延伸方向正交的方向、即X軸方向上延伸。此外，多個分支部61被形成為，相互為相同的尺寸。此外，多個分支部61在調(diào)節(jié)用振動臂241的延伸方向、即y軸方向上，以等間距并排設(shè)置。在以這種方式構(gòu)成的傳感器元件2中，通過向端子57a和端子57b之間施加驅(qū)動信號，從而如圖8所示，驅(qū)動用振動臂221和驅(qū)動用振動臂222以相互接近、遠(yuǎn)離的方式而進(jìn)行彎曲振動(驅(qū)動振動)。即，交替反復(fù)如下兩個狀態(tài)，所述兩個狀態(tài)為，驅(qū)動用振動臂221向圖8所示的箭頭標(biāo)記Al的方向彎曲，且驅(qū)動用振動臂222向圖8所示的箭頭標(biāo)記A2的方向彎曲的狀態(tài)、和驅(qū)動用振動臂221向圖8所示的箭頭標(biāo)記BI的方向彎曲，且驅(qū)動用振動臂222向圖8所示的箭頭標(biāo)記B2的方向彎曲的狀態(tài)。當(dāng)以這種方式而使驅(qū)動用振動臂221、222進(jìn)行驅(qū)動振動的狀態(tài)下，向傳感器元件2施加繞y軸的角速度《時，驅(qū)動用振動臂221、222將通過科里奧利力，而在z軸方向上相互向相反側(cè)進(jìn)行彎曲振動。隨之，檢測用振動臂231、232將在z軸方向上相互向相反側(cè)進(jìn)行彎曲振動(檢測振動)。即，交替反復(fù)如下兩個狀態(tài)，所述兩個狀態(tài)為，檢測用振動臂231向圖8所示的箭頭標(biāo)記Cl的方向彎曲，且檢測用振動臂232向圖8所示的箭頭標(biāo)記C2的方向彎曲的狀態(tài)、和檢測用振動臂231向圖8所示的箭頭標(biāo)記Dl的方向彎曲，且檢測用振動臂232向圖8所示的箭頭標(biāo)記D2的方向彎曲的狀態(tài)。通過對由于這種檢測用振動臂231、232的檢測振動而產(chǎn)生于檢測用電極組53、54上的電荷進(jìn)行檢測，從而能夠求出施加于傳感器元件2的角速度《。此時，調(diào)節(jié)用振動臂241、242也隨著驅(qū)動用振動臂221、222的驅(qū)動振動，而在相互接近、遠(yuǎn)離的方向上進(jìn)行彎曲振動。在所涉及的傳感器元件2中，例如當(dāng)由于制造時的誤差而導(dǎo)致驅(qū)動用振動臂221、222的橫截面形狀與設(shè)計不一致時，在于傳感器元件2上未施加有物理量并通過通電而使驅(qū)動用振動臂221、222振動的狀態(tài)下，如圖9 (a)所示，將在檢測用電極531、534以及檢測用電極532、533之間產(chǎn)生成為泄漏輸出S的電荷。此外，在傳感器元件2中，無論在傳感器元件2上是否施加有物理量，均在通過通電而使驅(qū)動用振動臂221、222進(jìn)行振動的狀態(tài)下，如圖9 (b)所示，在調(diào)節(jié)用電極551、552以及調(diào)節(jié)用電極553、554之間產(chǎn)生成為調(diào)節(jié)用輸出T的電荷。
泄漏輸出S和調(diào)節(jié)用輸出Tl相互為相反極性，因此通過使調(diào)節(jié)用輸出T的絕對值與泄漏輸出S的絕對值相等，從而能夠使傳感器元件2的零點輸出成為零。因此，通過將調(diào)節(jié)用電極551、552的一部分去除，從而減少調(diào)節(jié)用電極551、552和調(diào)節(jié)用電極553、554之間的電荷量，進(jìn)而對傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。即，傳感器元件2的制造方法具有電荷調(diào)節(jié)エ序，在所述電荷調(diào)節(jié)エ序中，通過對分支部61的中途、或共用部60的中途進(jìn)行切斷，從而對在調(diào)節(jié)用電極551、552上產(chǎn)生的電荷進(jìn)行調(diào)節(jié)。此處，列舉具體示例而對電荷調(diào)節(jié)エ序(傳感器元件2的特性調(diào)節(jié)方法)進(jìn)行說明。另外，雖然在下文中，代表性地對與檢測用振動臂231以及調(diào)節(jié)用振動臂241相關(guān)的特性調(diào)節(jié)進(jìn)行說明，但對與檢測用振動臂232以及調(diào)節(jié)用振動臂242相關(guān)的特性調(diào)節(jié)而言也是相同的。圖10為表示本發(fā)明的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個示例的流程圖，圖11為用于對本發(fā)明的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個示例進(jìn)行說明的圖。在傳感器元件2的特性調(diào)節(jié)方法中，準(zhǔn)備前文所述的傳感器元件2，通過對傳感器元件2的多個分支部61中的至少ー個分支部61的中途、或共用部60的中途進(jìn)行切斷，從而對傳感器元件2的特性進(jìn)行調(diào)節(jié)。根據(jù)這種傳感器元件2的特性調(diào)節(jié)方法，能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。在實施所涉及的特性調(diào)節(jié)時，對端子57c、57e之間的電荷量進(jìn)行測量，井根據(jù)該測量結(jié)果來實施所述切斷。由此，能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。更具體地進(jìn)行說明，如圖10所示，首先對泄漏輸出(零點輸出)進(jìn)行測量(步驟SI)。然后，根據(jù)該測量結(jié)果，而對是否需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)進(jìn)行判斷(步驟S2)。具體而言，當(dāng)零點輸出在第一設(shè)定值以上時，判斷為需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)，而當(dāng)零點輸出小于第一設(shè)定值時，判斷為不需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)。當(dāng)判斷為需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)時，實施粗調(diào)節(jié)(步驟S3)。具體而言，例如，如圖11 (a)所示，將調(diào)節(jié)用電極551的多個分支部61中位于調(diào)節(jié)用振動臂241的基端側(cè)的分支部61切斷所需的數(shù)量。此處，通過針對于每個分支部61，利用實驗或計算等而預(yù)先求出由于切斷而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出T的減少量，從而能夠根據(jù)在步驟SI中所測量出的零點輸出，而適當(dāng)?shù)貙π枰袛嗟姆种Р?1的數(shù)量以及位置進(jìn)行選擇。此外，分支部61的切斷并不被特別限定，例如可以使用激光來實施。此外，當(dāng)判斷為需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)時，根據(jù)需要，通過對被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241的頂端部上的質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜(未圖示)的一部分或全部進(jìn)行去除，從而對調(diào)節(jié)用振動臂241的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)。即，根據(jù)需要，在電荷調(diào)節(jié)エ序之前，包括對在通過通電而使驅(qū)動用振動臂221、222進(jìn)行振動的狀態(tài)下，對在檢測用電極531 534上產(chǎn)生的電荷進(jìn)行測量的エ序；根據(jù)該測量結(jié)果而對調(diào)節(jié)用振動臂241的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的エ序。由此，能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。所涉及的質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜的一部分或全部的去除并不被特別限定，例如可以使用激光來實施。在所涉及的粗調(diào)節(jié)之后，再次返回至步驟SI，而對泄漏輸出(零點輸出)進(jìn)行測量。而且，在零點輸出成為小于第一設(shè)定值之前，交替反復(fù)對零點輸出的測量和粗調(diào)節(jié)。另ー方面，當(dāng)判斷為不需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)時，根據(jù)在步驟SI中的測量結(jié)果，而對是否需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)進(jìn)行判斷(步驟S4)。具體而言，當(dāng)零點輸出在小于第一設(shè)定值的第二設(shè)定值以上時，判斷為需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)，而當(dāng)零點輸出小于第二設(shè)定值時，判斷為不需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)。當(dāng)判斷為需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)時，實施微調(diào)節(jié)(步驟S5)。具體而言，例如，如圖11 (b)或圖11 (c)所示，將調(diào)節(jié)用電極551的多個分支部61中位于調(diào)節(jié)用振動臂241的頂端側(cè)的分支部61切斷所需的數(shù)量。另外，圖11 (b)圖示了在未實施粗調(diào)節(jié)的條件下實施了微調(diào)節(jié)的情況，圖11 (c)圖示了在實施粗調(diào)節(jié)之后實施了微調(diào)節(jié)的情況。此外，雖然在圖11(b)、圖11 (c)中，圖示了對分支部61的寬度狹窄部62進(jìn)行切斷的情況，但也可以對共用部60的中途進(jìn)行切斷。由此，能夠通過一次切斷而匯總多個分支部61的量，而減小調(diào)節(jié)用電極551的電極面積。此處，與粗調(diào)節(jié)相同，通過針對于各個分支部61，利用實驗或計算等而預(yù)先求出由于切斷而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出T的減少量，從而能夠根據(jù)在步驟SI中所測量出的零點輸出，而適當(dāng)?shù)貙π枰袛嗟姆种Р?1的數(shù)量以及位置進(jìn)行選擇。在所涉及的微調(diào)節(jié)之后，再次返回至步驟SI，而對泄漏輸出(零點輸出)進(jìn)行檢測。而且，在零點輸出成為小于第二設(shè)定值之前，交替反復(fù)對零點輸出的測量和微調(diào)節(jié)。另ー方面，當(dāng)判斷為不需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)時，結(jié)束傳感器元件2的特性調(diào)節(jié)。根據(jù)如以上所說明的傳感器2的特性調(diào)節(jié)方法，由于能夠根據(jù)需要而任意選擇并實施如前文所述的粗調(diào)節(jié)以及微調(diào)節(jié)，因而能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。IC 芯片 3圖1以及圖2所示的IC芯片3為ー種電子部件，其具有對前文所述的傳感器進(jìn)行驅(qū)動的功能、和對來自傳感器元件2的輸出(傳感器輸出)進(jìn)行檢測的功能。雖然未圖示，但這種IC芯片3具備驅(qū)動電路，其對傳感器元件2進(jìn)行驅(qū)動；檢測電路，其對來自傳感器元件2的輸出進(jìn)行檢測。此外，在IC芯片3上設(shè)置有多個連接端子31。封裝件4如圖1以及圖2所不，封裝件4具備基座部件41(基座),其具有向上方開放的凹部；蓋部件42 (蓋體)，其以覆蓋該基座部件41的凹部的方式而設(shè)置。由此，在基座部件41和蓋部件42之間，形成有用于收納傳感器元件2以及IC芯片3的內(nèi)部空間?；考?1通過平板狀的板體411 (板部)、和與板體411的上表面的外周部接合的框體412 (框部)而構(gòu)成。這種基座部件41例如由氧化鋁質(zhì)燒結(jié)體、水晶、玻璃等構(gòu)成。如圖1所示,在基座部件41的上表面(被蓋部件42所覆蓋ー側(cè)的表面)上，通過如包括例如環(huán)氧樹脂、丙烯酸類樹脂等而構(gòu)成的粘合劑這樣的接合部件81，而接合有前文所述的傳感器元件2的支承部25。由此，傳感器元件2相對于基座部件41而被支承并固定。此外，在基座部件41的上表面上，通過如包括例如環(huán)氧樹脂、丙烯酸類樹脂等而構(gòu)成的粘合劑這樣的接合部件82，而接合有前文所述的IC芯片3。由此，IC芯片3相對于基座部件41而被支承并固定。而且，如圖1以及圖2所示，在基座部件41的上表面上，設(shè)置有多個內(nèi)部端子71以及多個內(nèi)部端子72。在多個內(nèi)部端子71上，通過由例如接合線構(gòu)成的配線，而電連接有前文所述的傳感器元件2的端子57a 57f。該多個內(nèi)部端子71經(jīng)由未圖示的配線，而與多個內(nèi)部端子72電連接。此外，在多個內(nèi)部端子72上，通過由例如接合線構(gòu)成的配線，而電連接有前文所述的IC芯片3的多個連接端子31。另ー方面,如圖1所示,在基座部件41的下表面(封裝件4的底面)上設(shè)置有在被安裝于組裝有傳感器裝置I的設(shè)備(外部設(shè)備)中時所使用的多個外部端子73。該多個外部端子73經(jīng)由未圖示的內(nèi)部配線，而與前文所述的內(nèi)部端子72電連接。由此，IC芯片3和多個外部端子73被電連接。這種各個內(nèi)部端子71、72以及各個外部端子73分別由金屬被膜構(gòu)成，所述金屬被膜例如通過電鍍而在鎢(W)等的金屬層上層疊鎳(Ni)、金(Au)等的被膜而形成。在這種基座部件41上氣密性地接合有蓋部件42。由此，封裝件4內(nèi)被氣密密封。該蓋部件42例如由與基座部件41相同的材料、或者鐵鎳鈷合金、42合金、不銹鋼等的金屬構(gòu)成。作為基座部件41與蓋部件42的接合方法，并不被特別限定，例如可以使用通過由焊料、固化性樹脂等構(gòu)成的粘合劑而實施的接合方法，縫焊、激光焊接等的焊接方法等。由于所涉及的接合在減壓環(huán)境下或惰性氣體環(huán)境下實施，因此能夠?qū)⒎庋b件4內(nèi)保持為減壓狀態(tài)或封入有惰性氣體的狀態(tài)。根據(jù)如以上所說明的第一實施方式所涉及的傳感器裝置I所具備的傳感器元件2，能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。此外，根據(jù)具備如前文所述的傳感器元件2的傳感器裝置1，能夠?qū)崿F(xiàn)價格低廉，且具有優(yōu)異的檢測靈敏度的傳感器裝置。第二實施方式接下來，對本發(fā)明的第二實施方式進(jìn)行說明。圖12為表示本發(fā)明的第二實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。本實施方式所涉及的傳感器元件除調(diào)節(jié)用電極的形狀有所不同以外，與前文所述的第一實施方式所涉及的傳感器元件相同。另外，在以下的說明中，對于第二實施方式的傳感器元件，以與前文所述的實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，而對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖12中，對于與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)記了相同的符號。本實施方式的傳感器元件具有圖12所示的調(diào)節(jié)用振動臂241A。另外，雖然未圖示，但所涉及的傳感器元件與前文所述的第一實施方式相同，具有基部、一對驅(qū)動用振動臂以及一對檢測用振動臂，此外，從所涉及的基部起，也延伸出與調(diào)節(jié)用振動臂241A成對的調(diào)節(jié)用振動臂。
在調(diào)節(jié)用振動臂241A上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55A。該調(diào)節(jié)用電極組55A通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241A的上表面(表面)上的調(diào)節(jié)用電極551A、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241A的下表面(背面)上的調(diào)節(jié)用電極552A、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241A的一個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極553、和被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241A的另ー個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極554而構(gòu)成。調(diào)節(jié)用電極551A具備共用部60A和多個分支部61A。而且，各個分支部61A具有寬度狹窄部62A，其以狹窄的寬度被形成在共用部60A側(cè)；寬度寬大部63A，其以寬大的寬度被形成在與共用部60A相反的ー側(cè)。同樣地，調(diào)節(jié)用電極552A具備共用部64和多個分支部65。而且各個分支部65具有寬度狹窄部66，其以狹窄的寬度被形成在共用部64側(cè)；寬度寬大部67，其以寬大的寬度被形成在與共用部64相反的ー側(cè)。這種調(diào)節(jié)用電極551A、552A具有在俯視觀察吋，分支部6IA和分支部65相互不重疊的部分。即，設(shè)置在隔著調(diào)節(jié)用振動臂241的中心軸而相互對置的表面和背面上的多個分支部61A以及多個分支部65中，設(shè)置在表面上的多個分支部61A以及設(shè)置在背面上的多個分支部65被設(shè)置為，在從表面或背面的法線方向觀察時，至少一部分彼此相互不重疊。更具體而言，該調(diào)節(jié)用電極551A、552A被形成為，在俯視觀察吋，寬度狹窄部62A以及寬度狹窄部66相互不重疊。由此，即使在調(diào)節(jié)用電極551A以及調(diào)節(jié)用電極552A隔著調(diào)節(jié)用振動臂241A而相互対置，也能夠使用激光而分別對調(diào)節(jié)用電極551A的分支部61A、和調(diào)節(jié)用電極552A的分支部65進(jìn)行切斷。因此，能夠更高精度地對傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。根據(jù)如以上所說明的第二實施方式所涉及的傳感器元件，也能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。第三實施方式接下來，對本發(fā)明的第三實施方式進(jìn)行說明。圖13為表示本發(fā)明的第三實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。本實施方式所涉及的傳感器元件除調(diào)節(jié)用電極的形狀有所不同以外，與前文所述的第一實施方式所涉及的傳感器元件相同。另外，在以下的說明中，對于第三實施方式的傳感器元件，以與前文所述的實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，而對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖13中，對于與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)記了相同的符號。本實施方式的傳感器元件具有圖13所示的調(diào)節(jié)用振動臂241B。另外，雖然未圖示，但所涉及的傳感器元件與前文所述的第一實施方式相同，具有基部、一對驅(qū)動用振動臂以及一對檢測用振動臂，此外，從所涉及的基部起，也延伸出與調(diào)節(jié)用振動臂241B成對的調(diào)節(jié)用振動臂。在調(diào)節(jié)用振動臂241B上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55B。該調(diào)節(jié)用電極組55B通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241B的上表面上的調(diào)節(jié)用電極551B、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241B的下表面上的調(diào)節(jié)用電極552B、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241B的一個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極553、和被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241B的另ー個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極554而構(gòu)成。
以下，對調(diào)節(jié)用電極551B進(jìn)行詳細(xì)敘述。另外，調(diào)節(jié)用電極552B與調(diào)節(jié)用電極551B相同。調(diào)節(jié)用電極551B具備共用部60B和多個分支部61B。而且，各個分支部61B具有寬度狹窄部62B，其以狹窄的寬度被形成在共用部60B側(cè)；寬度寬大部63B，其以寬大的寬度被形成在與共用部60B相反的ー側(cè)。多個寬度寬大部63B通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241B的基端側(cè)的寬度寬大部63B1 63B6、和被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241B的頂端側(cè)的多個寬度寬大部63B7 63B18而構(gòu)成。寬度寬大部63B1 63B18從調(diào)節(jié)用振動臂241B的基端側(cè)朝向頂端側(cè)，以寬度寬大部63B1、寬度寬大部63B2、寬度寬大部63B3、寬度寬大部63B4、寬度寬大部63B5、寬度寬大部63B6、…寬度寬大部63B18的順序而并排設(shè)置。各個寬度寬大部63B1 63B6的y軸方向上的寬度大于各個寬度寬大部63B7 63B18的y軸方向上的寬度。由此，各個寬度寬大部63B1 63B6的俯視觀察時的面積(電極面積)大于各個寬度寬大部63B7 63B18的俯視觀察時的面積(電極面積)。因此，能夠增大通過對具有各個寬度寬大部63B1 63B6的分支部61B進(jìn)行切斷而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出的減少量(即，在粗調(diào)節(jié)中的調(diào)節(jié)量)。此外，能夠減小通過對具有各個寬度寬大部63B7 63B18的分支部61B進(jìn)行切斷而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出的減少量(即，在微調(diào)節(jié)中的調(diào)節(jié)量)。根據(jù)如以上所說明的第三實施方式所涉及的傳感器元件，也能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。第四實施方式接下來，對本發(fā)明的第四實施方式進(jìn)行說明。圖14為表示本發(fā)明的第四實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。本實施方式所涉及的傳感器元件除調(diào)節(jié)用電極的形狀有所不同以外，與前文所述的第一實施方式所涉及的傳感器元件相同。另外，在以下的說明中，對于第四實施方式的傳感器元件，以與前文所述的實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，而對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖14中，對與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)記了相同的符號。本實施方式的傳感器元件具有圖14所示的調(diào)節(jié)用振動臂241C。另外，雖然未圖示，但所涉及的傳感器元件與前文所述的第一實施方式相同，具有基部、一對驅(qū)動用振動臂以及一對檢測用振動臂，此外，從所涉及的基部起，也延伸出與調(diào)節(jié)用振動臂241C成對的調(diào)節(jié)用振動臂。在調(diào)節(jié)用振動臂241C上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55C。該調(diào)節(jié)用電極組55C通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241C的上表面上的調(diào)節(jié)用電極551C、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241C的下表面上的調(diào)節(jié)用電極552C、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241C的一個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極553、和被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241C的另ー個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極554而構(gòu)成。以下，對調(diào)節(jié)用電極551C進(jìn)行詳細(xì)敘述。另外，調(diào)節(jié)用電極552C與調(diào)節(jié)用電極551C相同。
調(diào)節(jié)用電極551C具備共用部60C和多個分支部61C。而且，各個分支部61C具有寬度狹窄部62C，其以狹窄的寬度被形成在共用部60C側(cè)；寬度寬大部63C，其以寬大的寬度被形成在與共用部60C相反的ー側(cè)。多個寬度寬大部63C通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241C的基端側(cè)的寬度寬大部63C1 63C5、和被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241C的頂端側(cè)的多個寬度寬大部63C6 63C9而構(gòu)成。關(guān)于寬度寬大部63C1 63C5，在相互鄰接的兩個寬度寬大部63C中，調(diào)節(jié)用振動臂241C的頂端側(cè)的寬度寬大部63C的y軸方向上的寬度大于基端側(cè)的寬度寬大部63C的I軸方向上的寬度。由此，能夠使通過對具有各個寬度寬大部63C1 63C5的分支部Cl進(jìn)行切斷而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出的減少量(即，在粗調(diào)節(jié)中的調(diào)節(jié)量)相等、或者使所涉及的減少量相互之間的差減小。其結(jié)果為，能夠使粗調(diào)節(jié)較為容易。同樣地，關(guān)于寬度寬大部63C6 63C9，在相互鄰接的兩個寬度寬大部63C中，調(diào)節(jié)用振動臂241C的頂端側(cè)的寬度寬大部63C的y軸方向上的寬度大于基端側(cè)的寬度寬大部63C的y軸方向上的寬度。由此，能夠使通過對具有各個寬度寬大部63C6 63C9的分支部62C進(jìn)行切斷而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出的減少量(即，在微調(diào)節(jié)中的調(diào)節(jié)量)相等、或者使所涉及的減少量相互之間的差減小。其結(jié)果為，能夠使微調(diào)節(jié)較為容易。根據(jù)如以上所說明的第四實施方式所涉及的傳感器元件，也能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。第五實施方式 接下來，對本發(fā)明的第五實施方式進(jìn)行說明。圖15為表示本發(fā)明的第五實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。本實施方式所涉及的傳感器元件除調(diào)節(jié)用電極的形狀有所不同之外，與前文所述的第一實施方式所涉及的傳感器元件相同。另外，在以下的說明中，對于第五實施方式的傳感器元件，以與前文所述的實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，而對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖15中，對于與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)記了相同的符號。本實施方式的傳感器元件具有圖15所示的調(diào)節(jié)用振動臂241D。另外，雖然未圖示，但所涉及的傳感器元件與前文所述的第一實施方式相同，具有基部、一對驅(qū)動用振動臂以及一對檢測用振動臂，此外，從所涉及的基部起，也延伸出與調(diào)節(jié)用振動臂241D成對的調(diào)節(jié)用振動臂。在調(diào)節(jié)用振動臂241D上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55D。該調(diào)節(jié)用電極組5 通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241D的上表面上的調(diào)節(jié)用電極551D、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241D的下表面上的調(diào)節(jié)用電極552D、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241D的一個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極553、和被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241D的另ー個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極554而構(gòu)成。以下，對調(diào)節(jié)用電極551D進(jìn)行詳細(xì)敘述。另外，調(diào)節(jié)用電極552D與調(diào)節(jié)用電極551D相同。調(diào)節(jié)用電極55ID具備共用部60D和多個分支部61D。
在俯視觀察時，共用部60D被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241D的寬度方向上的中央部處。而且，各個分支部61D具有寬度狹窄部62D，其以狹窄的寬度被形成在共用部60D側(cè)；寬度寬大部63D，其以寬大的寬度被形成在與共用部60D相反的ー側(cè)。這種分支部61D分別被設(shè)置在共用部60D的寬度方向上的ー側(cè)以及另ー側(cè)。由此，能夠防止或抑制共用部60D作為調(diào)節(jié)用電極551D而發(fā)揮功能的情況。因此，能夠使傳感器輸出的調(diào)節(jié)較為容易。此外，能夠確保調(diào)節(jié)之前(將共用部或分支部的中途切斷之前)的調(diào)節(jié)用電極55ID的電極面積較大。根據(jù)如以上所說明的第五實施方式所涉及的傳感器元件，也能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。第六實施方式接下來，對本發(fā)明的第六實施方式進(jìn)行說明。圖16為表示本發(fā)明的第六實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。本實施方式所涉及的傳感器元件除調(diào)節(jié)用電極的形狀有所不同以外，與前文所述的第一實施方式所涉及的傳感器元件相同。此外，本實施方式所涉及的傳感器元件除調(diào)節(jié)用振動臂的橫截面形狀有所不同以外，與前文所述的第五實施方式所涉及的傳感器元件相同。另外，在以下的說明中，對于第六實施方式的傳感器元件，以與前文所述的實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，而對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖16中，對于與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)記了相同的符號。本實施方式的傳感器元件具有圖16所示的調(diào)節(jié)用振動臂241E。另外，雖然未圖示，但所涉及的傳感器元件與前文所述的第一實施方式相同，具有基部、一對驅(qū)動用振動臂以及一對檢測用振動臂，此外，從所涉及的基部起，也延伸出與調(diào)節(jié)用振動臂241E成對的調(diào)節(jié)用振動臂。調(diào)節(jié)用振動臂241E的橫截面呈H字狀。在這種調(diào)節(jié)用振動臂241E的上表面的寬度方向上的中央部處形成有沿著I軸方向而形成的槽部2411，同樣地，在調(diào)節(jié)用振動臂241E的下表面的寬度方向上的中央部處形成有沿著I軸方向而形成的槽部2412。槽部2411、2412的橫截面分別呈矩形，且具有與調(diào)節(jié)用振動臂241E的側(cè)面平行的壁面。在這種調(diào)節(jié)用振動臂241E上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55E。該調(diào)節(jié)用電極組55E通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241E的上表面上的調(diào)節(jié)用電極551E、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241E的下表面上的調(diào)節(jié)用電極552E、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241E的一個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極553、和被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241E的另ー個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極554而構(gòu)成。以下，對調(diào)節(jié)用電極551E進(jìn)行詳細(xì)敘述。另外，調(diào)節(jié)用電極552E與調(diào)節(jié)用電極551E相同。調(diào)節(jié)用電極55IE具備共用部60E和多個分支部61E。在俯視觀察時，共用部60E被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241E的寬度方向上的中央部處。而且，各個分支部61E具有寬度狹窄部62E，其以狹窄的寬度被形成在共用部60E側(cè)；寬度寬大部63E，其以寬大的寬度被形成在與共用部60E相反的ー側(cè)。這種分支部61E分別被設(shè)置在共用部60E的寬度方向上的ー側(cè)以及另ー側(cè)。尤其是，各個分支部61E的一部分被設(shè)置在槽部2411的壁面(與調(diào)節(jié)用振動臂241E的側(cè)面平行的壁面)上。由此，能夠增大從調(diào)節(jié)用電極551E輸出的電荷。因此，能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。根據(jù)如以上所說明的第六實施方式所涉及的傳感器元件，也能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。第七實施方式接下來，對本發(fā)明的第七實施方式進(jìn)行說明。圖17為表示本發(fā)明的第七實施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動臂的放大俯視圖。本實施方式所涉及的傳感器元件除調(diào)節(jié)用電極的形狀有所不同以外，與前文所述的第一實施方式所涉及的傳感器元件相同。此外，本實施方式所涉及的傳感器元件除調(diào)節(jié)用電極的寬度狹窄部的朝向有所不同以外，與前文所述的第五實施方式所涉及的傳感器元件相同。另外，在以下的說明中，對于第七實施方式的傳感器元件，以與前文所述的實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，而對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖17中，對于與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)記了相同的符號。本實施方式的傳感器元件具有圖17所示的調(diào)節(jié)用振動臂241F。另外，雖然未圖示，但所涉及的傳感器元件與前文所述的第一實施方式相同，具有基部、一對驅(qū)動用振動臂以及一對檢測用振動臂，此外，從所涉及的基部起，也延伸出與調(diào)節(jié)用振動臂241F成對的調(diào)節(jié)用振動臂。在調(diào)節(jié)用振動臂241F上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55F。該調(diào)節(jié)用電極組55F通過被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241F的上表面上的調(diào)節(jié)用電極551F、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241F的下表面上的調(diào)節(jié)用電極552F、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241F的一個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極553、被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241F的另ー個側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極554而構(gòu)成。以下，對調(diào)節(jié)用電極551F進(jìn)行詳細(xì)敘述。另外，調(diào)節(jié)用電極552F與調(diào)節(jié)用電極551F相同。調(diào)節(jié)用電極551F具備共用部60F和多個分支部61F。在俯視觀察時，共用部60F被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂241F的寬度方向上的中央部處。而且，各個分支部61F具有寬度狹窄部62F，其以狹窄的寬度被形成在共用部60F側(cè)；寬度寬大部63F，其以寬大的寬度被形成在與共用部60F相反的ー側(cè)。尤其是，各個寬度狹窄部63F在相對于調(diào)節(jié)用振動臂241F的延伸方向而傾斜的方向上延伸。由此，在使用激光來對寬度狹窄部62F進(jìn)行切斷時，無論使激光在X軸方向以及y軸方向中的哪個方向上掃描，均能夠?qū)挾泉M窄部62F切斷。因此，能夠較為容易地對分支部61F的中途進(jìn)行切斷。這種分支部61F分別被設(shè)置在共用部60F的寬度方向上的ー側(cè)以及另ー側(cè)。根據(jù)如以上所說明的第七實施方式所涉及的傳感器元件，也能夠簡單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度。如以上所說明的各個實施方式的傳感器裝置能夠被組裝到各種電子設(shè)備中而使用。根據(jù)這種電子設(shè)備，能夠使可靠性較為優(yōu)異。電子設(shè)備此處，根據(jù)圖18 圖20，而對具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的ー個示例進(jìn)行詳細(xì)說明。圖18為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的便攜式(或筆記本式)的個人計算機的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，個人計算機1100通過具備鍵盤1102的主體部1104、和具備顯示部100的顯示單元1106而構(gòu)成，并且顯示単元1106以能夠通過鉸鏈結(jié)構(gòu)部而相對于主體部1104進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被支承。在這種個人計算機1100中，內(nèi)置有作為陀螺傳感器而發(fā)揮功能的前文所述的傳感器裝置I。圖19為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動電話(也包括PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，移動電話1200具備多個操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202和聽筒1204之間配置有顯示部100。在這種移動電話1200中，內(nèi)置有作為陀螺傳感器而發(fā)揮功能的前文所述的傳感器裝置I。圖20為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機的結(jié)構(gòu)的立體圖。另外，在該圖中，對該數(shù)碼照相機與外部設(shè)備的連接也簡單地進(jìn)行了圖示。此處，通常的照相機通過被攝物體的光圖像而對銀鹽感光膠片進(jìn)行感光，與此相對，數(shù)碼照相機1300通過CCD (Charge Coupled Device :電荷稱合裝置)等的攝像元件而對被攝物體的光圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號(圖像信號)。在數(shù)碼照相機1300的殼體(主體)1302的背面上設(shè)置有顯示部100，并且成為根據(jù)由CXD產(chǎn)生的攝像信號來進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部100作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。此外，在殼體的1302的正面?zhèn)?圖中的背面?zhèn)?設(shè)置有包括光學(xué)透鏡(攝像光學(xué)系統(tǒng))及CXD等在內(nèi)的受光單元1304。當(dāng)攝影者對被顯示在顯示部上的被攝物體圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306吋，該時間點的CCD的攝像信號被輸送并存儲于存儲器1308中。此外，在該數(shù)碼照相機1300中，在殼體1302的側(cè)面上設(shè)置有影像信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要，而在影像信號輸出端子1312上連接有影像監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個人計算機1440。而且，成為如下的結(jié)構(gòu)，即，通過預(yù)定的操作，從而使被存儲于存儲器1308中的攝像信號向影像監(jiān)視器1430或個人計算機1440輸出。
在這種數(shù)碼照相機1300中，內(nèi)置有作為陀螺傳感器而發(fā)揮功能的前文所述的傳感器裝置I。另外，本發(fā)明的電子設(shè)備除了能夠應(yīng)用于圖18的個人計算機(便攜式個人計算機)、圖19的移動電話、圖20的數(shù)碼照相機中之外，根據(jù)電子設(shè)備的類型，還能夠應(yīng)用于如下裝置中，例如，車身姿態(tài)檢測裝置、指示器、頭戴式顯示器、噴墨式噴出裝置(例如噴墨式打印機)、膝上型個人計算機、電視機、攝像機、錄像機、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機、電子記事本(也包括帶有通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、臺式電子計算機、電子游戲設(shè)備、游戲用控制器、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS (point of sale 銷售點)終端、醫(yī)療設(shè)備(例如，電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖測量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計量儀器類(例如，車輛、飛機、船舶的計量儀器類)、飛行模擬器等。以上，雖然根據(jù)圖示的實施方式而對本發(fā)明的傳感器元件、傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此。此外，在本發(fā)明的傳感器元件、傳感器裝置以及電子設(shè)備中，各個部分的結(jié)構(gòu)可以置換為發(fā)揮相同的功能的任意的結(jié)構(gòu)，此外，也可以添加任意的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明的傳感器元件、傳感器裝置以及電子設(shè)備也可以對前文所述的各個實施方式的任意結(jié)構(gòu)彼此進(jìn)行組合。此外，在本發(fā)明的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法中，可以追加任意的エ序。此外，雖然在前文所述的實施方式中，以將本發(fā)明適用于H型音叉的傳感器元件中的情況為例而進(jìn)行了說明，但本發(fā)明能夠應(yīng)用于雙T型、雙腳音叉、三腳音叉、梳齒型、正交型、棱柱型等各種傳感器元件(陀螺元件)中。此外，驅(qū)動用振動臂、檢測用振動臂以及調(diào)節(jié)用振動臂的數(shù)量分別可以為ー個或三個以上。此外，驅(qū)動用振動臂也可以兼作為檢測用振動臂。此外，只要驅(qū)動用電極的數(shù)量、位置、形狀、大小等為，能夠通過通電而使驅(qū)動用振動臂振動的值，則并不限定于前文所述的實施方式。此外，只要檢測用電極的數(shù)量、位置、形狀、大小等為，能夠電氣性地對由于施加物理量而產(chǎn)生的驅(qū)動用振動臂的振動進(jìn)行檢測的值，則并不限定于前文所述的實施方式。此外，只要調(diào)節(jié)用電極的數(shù)量、位置、形狀、大小等為，能夠?qū)﹄S著調(diào)節(jié)用振動臂的驅(qū)動振動而產(chǎn)生的電荷進(jìn)行輸出的值，則并不限定于前文所述的實施方式。符號說明I…傳感器裝置；2…傳感器兀件；3…IC芯片(電子部件)；4…封裝件；21…基部；25…支承部；31…連接端子；41…基座部件；42…蓋部件；51…驅(qū)動用電極組；52…驅(qū)動用電極組；53…檢測用電極組；54…檢測用電極組；55…調(diào)節(jié)用電極組；55A…調(diào)節(jié)用電極組；55B…調(diào)節(jié)用電極組；55C…調(diào)節(jié)用電極組；55D…調(diào)節(jié)用電極組；55E…調(diào)節(jié)用電極組；55F…調(diào)節(jié)用電極組；56…調(diào)節(jié)用電極組；57a…端子；57b…端子；57c…端子；57d…端子；57e…端子；57f…端子;60…共用部;60A…共用部；60B…共用部；60C…共用部；60D…共用部；60E…共用部；60F…共用部；61…分支部；61A…分支部；61B…分支部；610 分支部；61D…分支部；61E…分支部；61F…分支部；62…寬度狹窄部；62A…寬度狹窄部；62B-寬度狹窄部；62C…寬度狹窄部；62D…寬度狹窄部；62E…寬度狹窄部；62F…寬度狹窄部；63…寬度寬大部；63A…寬度寬大部；63B…寬度寬大部；63C…寬度寬大部；63D…寬度寬大部；63E…寬度寬大部；63F…寬度寬大部；64…共用部；65…分支部；66…寬度狹窄部；67…寬度寬大部；71內(nèi)部端子；72 內(nèi)部端子；73…外部端子；81…接合部件；82…接合部件；100…顯示部；221…驅(qū)動用振動臂；222…驅(qū)動用振動臂；231…檢測用振動臂；232…檢測用振動臂；241…調(diào)節(jié)用振動臂；241A…調(diào)節(jié)用振動臂；241B…調(diào)節(jié)用振動臂；241C…調(diào)節(jié)用振動臂；241D…調(diào)節(jié)用振動臂；241E…調(diào)節(jié)用振動臂；241F…調(diào)節(jié)用振動臂；242…調(diào)節(jié)用振動臂；261、262、263、264…連結(jié)部；411…板體；412…框體；511…驅(qū)動用電極；512…驅(qū)動用電極；513…驅(qū)動用電極；514…驅(qū)動用電極；531…檢測用電極；532…檢測用電極；533…檢測用電極；534…檢測用電極；551…調(diào)節(jié)用電極；551A…調(diào)節(jié)用電極；551B…調(diào)節(jié)用電極；551C…調(diào)節(jié)用電極；551D…調(diào)節(jié)用電極；551E…調(diào)節(jié)用電極；551F…調(diào)節(jié)用電極；552…調(diào)節(jié)用電極；552A…調(diào)節(jié)用電極；552B…調(diào)節(jié)用電極；552C…調(diào)節(jié)用電極；552D…調(diào)節(jié)用電極；552E…調(diào)節(jié)用電極；552F…調(diào)節(jié)用電極；553…調(diào)節(jié)用電極；554…調(diào)節(jié)用電極；1100…個人計算機;1102…鍵盤;1104…主體部;1106…顯示單元;1200…移動電話;1202…操作按鈕;1204…聽筒;1206…話筒;1300…數(shù)碼照相機;1302…殼體;1304...受光單兀；1306…快門；1308…存儲器；1312…影像信號輸出端子；1314…輸入輸出端子；1430…影像監(jiān)視器；1440…個人計算機；2411…槽部；2412…槽部;A1…箭頭標(biāo)記;A2…箭頭標(biāo)記；B1…箭頭標(biāo)記；B2…箭頭標(biāo)記；C1…箭頭標(biāo)記；C2…箭頭標(biāo)記；D1…箭頭標(biāo)記；D2…箭頭標(biāo)記；S…泄漏輸出；S1…步驟；S2…步驟；S3…步驟；S4…步驟；S5…步驟；T…調(diào)節(jié)用輸出；《… 角速度。
權(quán)利要求
1.一種傳感器元件，其特征在于，具備 基部; 驅(qū)動用振動臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動振動； 振動臂，其從所述基部延伸，并隨著所述驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動振動而進(jìn)行振動； 檢測部，其包括檢測用電極，所述檢測用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而輸出信號， 在所述振動臂上設(shè)置有電極，所述電極與所述檢測用電極電連接，并且產(chǎn)生與在所述驅(qū)動用振動臂上未施加有物理量時由所述檢測用電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷， 所述電極包括共用部，其沿著所述振動臂的延伸方向而設(shè)置；多個分支部，其從所述共用部分支。
2.如權(quán)利要求1所述的傳感器元件，其中，多個所述分支部的電極寬度在頂端側(cè)比在共用部側(cè)大。
3.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中，多個所述分支部的電極面積互不相同。
4.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中，多個所述分支部相對于所述振動臂的所述延伸方向而傾斜。
5.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中，多個所述分支部分別在所述共用部的兩側(cè)分支。
6.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中， 所述振動臂具有第一面、該第一面的相反側(cè)的第二面、以及對所述第一面與所述第二面進(jìn)行連結(jié)的側(cè)面， 所述電極在所述第一面以及所述第二面中的至少一個面上設(shè)置有所述共用部以及多個所述分支部，并且在所述側(cè)面上設(shè)置有側(cè)面電極。
7.如權(quán)利要求6所述的傳感器元件，其中， 所述振動臂具備沿著所述延伸方向而設(shè)置的槽部， 所述分支部的至少一部分被設(shè)置在所述槽部的壁面上。
8.如權(quán)利要求6所述的傳感器元件，其中， 所述共用部以及多個所述分支部分別被設(shè)置在所述第一面以及所述第二面上， 設(shè)置在所述第一面上的多個所述分支部、以及設(shè)置在所述第二面上的多個所述分支部被設(shè)置為，在從所述第一面的法線方向觀察時，至少一部分相互不重疊。
9.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中， 所述檢測部具備檢測用振動臂，所述檢測用振動臂從所述基部延伸，并根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而進(jìn)行振動， 所述檢測用電極被設(shè)置在所述檢測用振動臂上。
10.一種傳感器元件的制造方法，其特征在于， 所述傳感器元件具備 基部; 驅(qū)動用振動臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動振動； 振動臂，其從所述基部延伸，并隨著所述驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動振動而進(jìn)行振動； 檢測部，其包括檢測用電極，所述檢測用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動用振動臂的物理量而輸出信號， 在所述振動臂上設(shè)置有電極，所述電極與所述檢測用電極電連接，并且產(chǎn)生與在所述驅(qū)動用振動臂上未施加有物理量時由所述檢測用電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷， 所述電極包括共用部，其沿著所述振動臂的延伸方向而設(shè)置；多個分支部，其從所述共用部分支， 所述傳感器元件的制造方法包括電荷調(diào)節(jié)工序,在所述電荷調(diào)節(jié)工序中，通過對所述分支部的中途、或所述共用部的中途進(jìn)行切斷，從而對在所述電極上產(chǎn)生的所述電荷進(jìn)行調(diào)節(jié)。
11.如權(quán)利要求10所述的傳感器元件的制造方法，其中， 在所述電荷調(diào)節(jié)工序之前，包括對在未于所述驅(qū)動用振動臂上施加有物理量并通過通電而使所述驅(qū)動用振動臂進(jìn)行振動的狀態(tài)下，產(chǎn)生于所述檢測用電極上的電荷進(jìn)行測量的工序；對所述振動臂的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序。
12.—種傳感器裝置，其特征在于，具有 權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件； 使所述驅(qū)動用振動臂進(jìn)行驅(qū)動的電路； 對來自所述檢測用電極的信號進(jìn)行檢測的電路。
13.—種電子設(shè)備,其特征在于， 具有權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件。
全文摘要
本發(fā)明提供傳感器元件及其制造方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備，其能簡單且可靠發(fā)揮優(yōu)異的檢測靈敏度，并且可靠性較高。本發(fā)明的傳感器元件具備基部；驅(qū)動用振動臂，其從所述基部延伸并通過通電而進(jìn)行驅(qū)動振動；調(diào)節(jié)用振動臂(241)，其從基部延伸并隨著驅(qū)動用振動臂的驅(qū)動振動而進(jìn)行振動；檢測用電極，其根據(jù)施加于驅(qū)動用振動臂的物理量而輸出信號；調(diào)節(jié)用電極(551、553)，其被設(shè)置在調(diào)節(jié)用振動臂(241)上，且與檢測用電極電連接，并隨振動臂(241)的振動而輸出與檢測用電極極性相反的電荷，調(diào)節(jié)用電極(551)具備共用部(60)，其與檢測用電極電連接；多個分支部(61)，其從共用部(60)分支且沿著調(diào)節(jié)用振動臂(241)的延伸方向而并排設(shè)置。
文檔編號G01C19/5607GK103033175SQ201210365289
公開日2013年4月10日 申請日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月29日
發(fā)明者市川史生 申請人:精工愛普生株式會社