專利名稱：太陽能電池的缺陷檢測裝置及檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢測太陽能電池缺陷的裝置及方法。
背景技術(shù)：
近年來，隨著環(huán)境意識的提高，越來越多的太陽能電池流通到市場上。在此過程中，對太陽能電池本身性能的檢測及在制造工序中確定并去除存在缺陷的太陽能電池顯得尤為重要。在如下所述的專利文件I公開了一種采用主光源部和副光源部兩個光源的太陽能電池輸出測定裝置。在太陽能電池中，在串聯(lián)連接有多個太陽能電池單元的情況下，整個裝置的輸出電流值變成與發(fā)電量最少的太陽能電池單元產(chǎn)生的電流值相同。因此，主光源部將光照射至太陽能電池的一部分測定對象單元的受光面，而副光源部以更高的照度將光照射至非測定對象單元的受光面，以在非測定對象單元中產(chǎn)生更高的電流值，從而可以對測定對象單元中的受光面的面內(nèi)分布進行測定。另外,在專利文件2中公開了一種采用電致發(fā)光法(Electroluminescence,以下稱為EL)的檢測裝置。這是一種基于向太陽能電池施加正向電流會發(fā)光的特性來檢測裂紋和缺口等缺陷的裝置。專利文件1:日本特開2010-238906號專利文件2 :日本特表2006-59615號然而，在串聯(lián)連接有太陽能電池單元的組件串及模塊的測定中，在采用主光源部和副光源部兩個光源進行輸出測定的情況下，對由來自主光源部的光所照射的測定對象單元的發(fā)電電流和從測定對象單元的電阻部分(成分)迂回流過的非測定對象單元的發(fā)電電流進行合計測定。即，太陽能電池單元可以用均衡電路來表示，所述均衡電路具有串聯(lián)連接的電流源和二極管、并聯(lián)連接至所述電流源和二極管的電阻、以及進一步與所述電流源和二極管串聯(lián)連接的電阻。因此，在如此串聯(lián)連接有多個太陽能電池單元的情況下，在各個單元中，迂回的電流流入并聯(lián)連接至電流源及二極管的電阻。例如，測定第一個太陽能電池單元時，所測定的電流值除了第一個單元的發(fā)電電流外，還加入了作為非測定對象的第二個及之后的單元產(chǎn)生的電流流過第一個單元中并聯(lián)連接的電阻的值。以下，將所述迂回的電流稱為偏置電流。構(gòu)成組件串和模塊的每個單元由于在單元制造時的品質(zhì)不同因而其內(nèi)部的電阻值也各不相同。因此，通過副光源部的光的照射，流過每個太陽能電池單元的偏置電流各不相同，從而無法得到正確的檢測結(jié)果。尤其，在偏置電流很大時，檢測結(jié)果的顯示圖像中缺陷單元的圖像由于超過測定系統(tǒng)的輸入范圍，因此圖像超過圖像數(shù)據(jù)的處理上限且亮度過高，且發(fā)白閃爍。偏置電流比主光源部的發(fā)電電流大，如果將其直接形成圖像，則會輸出以下錯誤的結(jié)果在多個單元中，例如在測定電阻部分小的第一個單元的情況下，測出僅該第一個單元的發(fā)電量非常大。
另外，根據(jù)組件串和模塊內(nèi)的太陽能電池的電阻部分的不同狀況，可能將不良部分判斷為良好部分，或?qū)⒘己貌糠峙袛酁椴涣疾糠?。因此，在采用兩個光源的缺陷檢測裝置中，必須檢測偏置電流并從合計的電流值減去該偏置電流的值。但對比文件I中完全沒有記載這一點。此外，在EL法中，存在以下問題在用于檢查多晶型太陽能電池單元的情況下，在正向電流流過時，會受到多晶型太陽能電池中存在的發(fā)電的晶界部和不發(fā)電的晶界部的影響，從而難以根據(jù)多晶型太陽能電池單元的晶界圖案和缺陷之間的圖像進行判別。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上情況，本發(fā)明的目的在于提供一種可高精度判定缺陷的太陽能電池的缺陷檢測裝置及檢測方法。本發(fā)明提供一種太陽能電池的缺陷檢測裝置，用于檢測串聯(lián)連接有多個單元的太陽能電池的缺陷，所述裝置包括主光源，對所述單元中的測定對象單元進行光照射；副光源，對所述單元中的非測定對象單元進行光照射；光源控制電路，分別控制所述主光源及所述副光源的照度，以使得所述副光源的照度高于所述主光源的照度；電流電壓轉(zhuǎn)換器，被供以所述太陽能電池輸出的電流，將所述電流轉(zhuǎn)換為電壓并輸出；放大器，被供以所述電流電壓轉(zhuǎn)換器輸出的電壓，將所述電壓放大并輸出；偏置電流提取電路，提取所述放大器的輸出中所包含的偏置電流，并輸出； 偏置電流消除電路，從所述放大器的所述輸出中減去由所述偏置電流提取電路提取的所述偏置電流，并輸出；A/D轉(zhuǎn)換器，將所述偏置電流消除電路的輸出轉(zhuǎn)換為數(shù)字數(shù)據(jù)，并輸出；圖像處理裝置，對所述A/D轉(zhuǎn)換器輸出的數(shù)字數(shù)據(jù)進行圖像處理，并輸出圖像數(shù)據(jù)；顯示器，被供以所述圖像處理裝置所輸出的所述圖像數(shù)據(jù)，進行圖像顯示；其中，基于考慮了所述偏置電流的由測定對象單元產(chǎn)生的感生電流(起電流)成分進行檢測。本發(fā)明進一步提供一種太陽能電池的缺陷檢測方法，用于檢測串聯(lián)連接有多個單元的太陽能電池的缺陷，所述方法包括由主光源以第一照度對所述單元中的測定對象單元進行光照射；由副光源以高于所述第一照度的第二照度對所述單元中的非測定對象單元進行光照射；由偏置電流提取電路提取所述太陽能電池所輸出的電流中所包含的偏置電流；由偏置電流消除電路從所述太陽能電池所輸出的電流中消除所述偏置電流；使用所述偏置電流消除電路的輸出來進行圖像處理并在顯示器上顯示；由此，基于考慮了所述偏置電流的由測定對象單元產(chǎn)生的感生電流成分進行檢測。
根據(jù)本發(fā)明太陽能電池的缺陷檢測裝置及檢測方法，采用主光源部及副光源部兩個光源，可對去除了偏置電流的正確的發(fā)電電流進行測定，其結(jié)果是也可適當?shù)貙θ毕莸膱D像進行圖像顯示。另外，根據(jù)本發(fā)明，即使在采用多晶型太陽能電池作為太陽能電池的情況下，由于不受晶界的影響，圖像化時不會出現(xiàn)晶界圖案，可以僅對裂紋等的缺陷部位進行
定位。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明實施方式的太陽能電池的缺陷檢測裝置的整體結(jié)構(gòu)的立體圖2是表示同一缺陷檢測裝置中偏置電流提取電路的結(jié)構(gòu)的一個例子的電路圖3是表示具有如圖2所示的結(jié)構(gòu)的偏置電流提取電路中各個部分的電壓波形的圖表；
圖4是表示同一缺陷檢測裝置中偏置電流提取電路的結(jié)構(gòu)的其他例子的電路圖5是表示在同一偏置電流提取電路中提取偏置電流的時間的時序 閱圖6是表示在同一缺陷裝置中采用發(fā)電電流的測定值進行圖像化的方法的說明圖;
圖7是表示在同一缺陷檢測裝置中消除偏置電流前的檢出電流的圖表；
圖8是表示在同一缺陷檢測裝置中消除偏置電流前的檢測圖像的說明圖9是表示在同一缺陷檢測裝置中消除偏置電流后的檢出電流的圖表；
圖10是表示在同一缺陷檢測裝置中消除偏置電流后的檢測圖像的說明圖。
附圖標記說明
I載置臺
2檢測探針
3主光源
4副光源
5光源控制電路
6移動裝置
7分流電阻
8放大器
9偏置電流提取電路
10偏置電流消除電路
11靜音電路
12,31 A/D轉(zhuǎn)換器
13圖像處理裝置
14顯示器
21低通濾波器
22減法電路
23包絡(luò)線檢波電路
24加法電路
32342526、33
采樣保持電路定時信號產(chǎn)生電路微型計算機D/A轉(zhuǎn)換器
具體實施例方式下面，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1表示根據(jù)本發(fā)明實施方式的太陽能電池的缺陷檢測裝置的整體結(jié)構(gòu)。該缺陷檢測裝置具備載置臺1、檢測探針2、主光源3、副光源4、光源控制電路5、移動裝置6、分流電阻7、放大器8、偏置電流提取電路9、偏置電流消除電路10、靜音電路11、模數(shù)(以下稱為“A/D”)轉(zhuǎn)換器12、圖像處理裝置13及顯示器14。載置臺I載置有太陽能電池S，且載置臺I設(shè)于缺陷檢測裝置的上部，這里作為測定對象的太陽能電池S朝下載置有受光面。值得注意的是，這里的太陽能電池是指串聯(lián)連接有多個太陽能電池單元的組件串及連接組件串的模塊。載置臺I優(yōu)選為由玻璃等具有透明性的材料組成。對應(yīng)于所載置的太陽能電池S的兩端突出的每一個引腳，連接設(shè)于載置臺I的兩個端部的檢測探針2。在這個狀態(tài)下，配置于載置臺I的下面的主光源3對作為測定對象的太陽能電池單元進行光照射。其中，主光源3通過移動裝置6可以在太陽能電池S的長度方向上移動。主光源3的初始位置是作為第一個檢測對象的太陽能電池S的第一個單元的正下方。值得注意的是，在本實施方式中，主光源3采用激光光源。多個副光源4對太陽能電池S中的剩余的所有單元，即所有非測定對象單元進行光照射。此時，由光源控制電路5進行控制，以使得副光源4的光的輻射照度高于主光源3的光的輻射照度。從檢測探針處提取測定對象單元產(chǎn)生的電流，并由放大器8將分流電阻7兩端產(chǎn)生的電壓放大，從而將檢測出的電流轉(zhuǎn)換為電壓。值得注意的是，對分流電阻7不作限定，只要是將電流轉(zhuǎn)化為電壓的電流電壓轉(zhuǎn)換器即可。放大的電壓值Va+Vb被提供給偏置電流提取電路9，從而將偏置電壓值Vb提取出來。所述偏置電壓值Vb對應(yīng)于通過副光源4的光的照射所產(chǎn)生的偏置電流成分。值得注意的是，Va設(shè)為通過測定對象單元中光電動勢所產(chǎn)生的電壓。偏置電流消除電路10由差動放大器構(gòu)成，被供以由放大器8所輸出的電壓Va+Vb和由偏置電流提取電路9提取的偏置電壓Vb，將從電壓Va+Vb減去偏置電壓Vb所得到的值放大并輸出。偏置電流消除電路10的輸出被提供給靜音電路11。靜音電路11對偏置電流消除電路10在消除偏置電流成分時產(chǎn)生的暫態(tài)信號的干擾進行消音，以使得不會在后文的顯示器14的圖像中顯示。雖然該靜音電路11期望被設(shè)計為使得圖像不受暫態(tài)信號的干擾的影響，但是只要根據(jù)所期望的圖像品質(zhì)等進行設(shè)計即可，該靜音電路11并非必不可少的部件。靜音電路11的輸出由A/D轉(zhuǎn)換器12轉(zhuǎn)換為數(shù)字數(shù)據(jù)，并在圖像處理裝置13中進行圖像處理，并顯示在顯示器14中。由此，從測定對象的第一個太陽能電池單元的輸出中消除偏置電流并僅提取發(fā)電電流，并顯示在顯示器14中。在完成對測定對象的第一個太陽能電池單元的測定之后，測定對象單元向第二個太陽能電池單元移動。因此，主光源3通過移動裝置5向第二個太陽能電池單元的下部移動，并對第二個太陽能電池單元進行光照射。此時，副光源4的照射對象由光源控制電路5向除作為新的測定對象單元的第二個太陽能電池單元以外的所有非測定對象單元進行切換。在之后的工序中，與測定的第一個單元的程序相同。經(jīng)過這樣的程序，在太陽能電池S的所有單元的測定都完成之前，重復(fù)上述太陽能電池單元的輸出電流的測定、偏置電流的消除和圖像化處理，并測定各個單元的每一個發(fā)電電流從而用作圖像數(shù)據(jù)進行顯示。圖2是表示偏置電流提取電路9的電路結(jié)構(gòu)的一個例子。在該結(jié)構(gòu)中，采用模擬電路方式，并且該結(jié)構(gòu)具有低通濾波器21、減法電路22、包絡(luò)線檢波電路23、加法電路24、采樣保持電路25、定時信號產(chǎn)生電路26。用圖3來說明該偏置電流提取電路9的操作，其中圖3示出了該圖2中各個電路要素輸出的電壓V1-V6的波形。由如圖1所示的放大器8放大并輸出的電壓Vl( = Va+Vb)，具有包含如圖3 (a)所示的高頻成分的波形。該電壓Vl輸入至低通濾波器21并進行積分，去除高頻成分，作為如圖3 (a)所示的電壓V2而被輸出。

該電壓V2和放大器8所輸出的電壓Vl被輸入至減法電路22，從電壓Vl中減去電壓V2。由此，可以提取含有包含在電壓Vl中的高頻成分的電壓V3，所述高頻成分具有發(fā)電電流所對應(yīng)的圖3(b)所示的波形。其中，該電壓V3中含有波紋(Ripple)。該電壓V3被提供給電壓包絡(luò)檢波電路23，通過對電壓V3的底部進行檢波，從而得到具有如圖3(b)所示的波形的電壓V4。該電壓V4和低通濾波器21所輸出的電壓V2被輸入至加法電路24并進行相加，得到如圖3(c)所示的對應(yīng)于偏置電流成分的電壓V5。然而，該電壓V5中殘留有在包絡(luò)線檢波電路23中產(chǎn)生的波紋。因此，在采用保持電路25中，使用采樣信號(所述采樣信號表示由定時信號產(chǎn)生電路26產(chǎn)生的規(guī)定時間(夕^ ^ >々''))，來進行采樣并保持以使得偏置電流形成為固定值。由此，可以得到圖3(d)所示的對應(yīng)于偏置電流的電壓V6。值得注意的是，減法電路22及加法電路24可以由運算放大器或晶體管等構(gòu)成。圖4表示偏置電流提取電路9的電路結(jié)構(gòu)的其他例子。在該結(jié)構(gòu)中，在使用微型計算機并采用數(shù)字電路方式的例子中，相應(yīng)地具有A/D轉(zhuǎn)換器31、微型計算機32、定時信號產(chǎn)生電路33、D/A轉(zhuǎn)換器34。在使用該偏置電流提取電路9的情況下，在開始檢測使用了主光源3的太陽能電池S之前，預(yù)先僅以副光源4的光對測定對象單元以外的太陽能電池S的整體進行照射。即，成為不僅只對測定對象的第一個單元進行照射、還可以對第一個單元以外的太陽能電池S的整體進行照射的狀態(tài)，并在這種狀態(tài)下測定偏置電流值。然后，以副光源4對測定對象的第二個單元以外的太陽能電池S的整體進行光照射，并測定偏置電流值。按照這個程序，對副光源4的非照射對象進行切換，在完成所有單元的偏置電流值的測定的同時，通過A/D轉(zhuǎn)換器31將測定的模擬形態(tài)的偏置電流值轉(zhuǎn)換為數(shù)字數(shù)據(jù)，并將定時信號產(chǎn)生電路33所產(chǎn)生的時間中的數(shù)據(jù)預(yù)先保存在微型計算機32中。當從微型計算機32中讀取時，由D/A轉(zhuǎn)換器34將該數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為模擬形態(tài)的偏置電流值后被輸出。之后，開始檢測太陽能電池S。伴隨用于照射測定對象單元的主光源3的移動，切換副光源4的照射對象。每切換一次，讀取微型計算機32中保存的數(shù)據(jù)，并由偏置電流消除電路10從測定值中減去偏置電流值，從而可以僅求取測定對象單元的發(fā)電電流。圖5表示提取偏置電流成分的時間。這里采用LEDl LED5用作副光源4。當測定對象單元為第一個單元時，熄滅位于第一個單元正下方的LED1，并點亮對應(yīng)于其他所有單元的LED2-LED5。然后，在開始測量作為測定對象單元的第二個單元之前點亮LED1，但熄滅LED2，并保持其他的LED3-LED5處于點亮狀態(tài)。該點亮、熄滅的切換時間例如可以是以下任意一種可以基于相鄰單元的邊界線確定，或與主光源3向下一個測定對象單元移動的時間同
止雄基于相鄰單元的邊界線，在對LED1-LED5進行點亮、熄滅切換的情況下，使用紅外線傳感器、激光傳感器等來檢測所述單元的邊界線。值得注意的是，在輸出來自激光傳感器等或傳感器的光的情況下，期望該輸出相比于檢測用主光源3的輸出要足夠小。同樣，在開始測量作為測定對象的第三個單元之前點亮LED2，但熄滅LED3，并保持其他LEDl、LED4-LED5處于點亮狀態(tài)。在開始測量作為測定對象的第四個單元之前點亮LED3，但熄滅LED4，并保持其他LED1_LED2、LED5處于點亮狀態(tài)。在開始測量作為測定對象的第五個單元之前點亮LED4，但熄滅LED5，并保持其他LED1-LED3、LED5處于點亮狀態(tài)。通過經(jīng)過這樣的程序，輸出第一至第五個單元各自的偏置電流Ibl_Ib5，獲得對應(yīng)于規(guī)定時間的偏置電流值。參照圖6對用太陽能電池S產(chǎn)生的光伏電流進行圖像顯示的方法進行說明。如圖6(a)所示，在垂直于兩端突出的引腳的方向上用主光源3的激光，如圖所示從左向右對表面存在缺陷(裂紋)的太陽能電池單元進行掃描。由此得到的發(fā)電電流I1、12..., In (η是大于等于2的整數(shù))包含各自掃描線上的缺陷位置所對應(yīng)的電流成分。通過以時間順序連接該發(fā)電電流I1、12.....1n的電流值，從而可以由示波器等
顯示如圖6(b)所示的波形。并且，通過對該發(fā)電電流I1、12.....1n施行圖像處理，從而
可以如圖6(c)所示對圖像進行顯示并對缺陷進行定位。圖7表示對應(yīng)于消除偏置電流之前的測定電流值的圖像。該測定電流值對應(yīng)于在如圖1所示的分流電阻7的兩端所產(chǎn)生的電壓，這是將測定對象單元產(chǎn)生的感生電流與偏置電流進行合計的電流。這里，太陽能電池單元是串聯(lián)連接有三個單元的組件串。由此可知由于各個單元具有不同的電阻，因此偏置電流也各不相同。圖8表示消除偏置電流之前的組件串的檢測圖像。在圖中，設(shè)左側(cè)的太陽能電池單元為單元1，中央的單元為單元2，右側(cè)的單元為單元3，則單元2、單元3超過了測定系統(tǒng)的輸入范圍，由于超過圖像數(shù)據(jù)的處理上限而無法進行圖像化處理，因此得不到圖像數(shù)據(jù)。圖9表示對應(yīng)于消除偏置電流之后的測定電流值的圖像。由此可知從位于左側(cè)的第一個單元I中可以得到以O(shè)V為基準的發(fā)電電流的測定值。圖10表示在消除偏置電流之后的組件串的檢測圖像。由此可知在所有單元1-3中，不會受到偏置電流的影響，得到可由檢查人員目測的、顯示缺陷(裂紋)的圖像數(shù)據(jù)。在檢測太陽能電池產(chǎn)生的光伏電流并檢測缺陷部位的方式中，由于基于測定對象單元的發(fā)電電流對缺陷部位正確地進行圖像化，因此，需要檢測并消除包含在測定電流中的偏置電流。根據(jù)本實施方式，如上所述，通過僅對感生電流進行測定，從而可以避免由于EL法等的結(jié)晶圖形被顯示為陰影部而難以對缺陷部位進行定位的現(xiàn)象。上述實施方式是一個任意例子，可以在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)進行各種變形。
權(quán)利要求
1.一種太陽能電池的缺陷檢測裝置，用于檢測串聯(lián)連接有多個單元的太陽能電池的缺陷，其特征在于，所述裝置包括主光源，對所述單元中的測定對象單元進行光照射；副光源，對所述單元中的非測定對象單元進行光照射；光源控制電路，分別控制所述主光源及所述副光源的照度，以使得所述副光源的照度高于所述主光源的照度；電流電壓轉(zhuǎn)換器，被供以所述太陽能電池輸出的電流，將所述電流轉(zhuǎn)換為電壓并輸出；放大器，被供以所述電流電壓轉(zhuǎn)換器輸出的電壓，將所述電壓放大并輸出；偏置電流提取電路，提取所述放大器的輸出中所包含的偏置電流，并輸出；偏置電流消除電路，從所述放大器的所述輸出中減去由所述偏置電流提取電路提取的所述偏置電流，并輸出；A/D轉(zhuǎn)換器，將所述偏置電流消除電路的輸出轉(zhuǎn)換為數(shù)字數(shù)據(jù)，并輸出；圖像處理裝置，對所述A/D轉(zhuǎn)換器輸出的數(shù)字數(shù)據(jù)進行圖像處理，并輸出圖像數(shù)據(jù)； 顯示器，被供以所述圖像處理裝置所輸出的所述圖像數(shù)據(jù)，進行圖像顯示，基于考慮了所述偏置電流的由測定對象單元產(chǎn)生的感生電流成分進行檢測。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述偏置電流提取電路包括低通濾波器，被供以作為第一電壓的所述放大器的輸出，輸出去除了高頻成分的第二電壓；減法電路，被供以所述第一電壓和所述第二電壓，輸出第三電壓，所述第三電壓為所述第一電壓減去所述第二電壓的差并且所述第三電壓包含所述高頻成分；電壓包絡(luò)線檢波電路，被供以所述第三電壓，輸出對所述第三電壓的底部進行檢波的第四電壓；加法電路，被供以所述第二電壓和所述第四電壓，輸出將所述第二電壓和所述第四電壓相加的第五電壓；采樣保持電路，被供以所述第五電壓，將在規(guī)定的時間采樣保持的第六電壓作為所述偏置電流進行輸出；移動裝置，使所述主光源在所述太陽能電池的長度方向上移動，在所述主光源通過所述移動裝置向測定對象單元移動的時刻所對應(yīng)的時間、或者在串聯(lián)連接的單元的接縫所對應(yīng)的時間，求出流入所述測定對象單元的所述偏置電流。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的缺陷檢測裝置，其特征在于，所述偏置電流提取電路包括A/D轉(zhuǎn)換器，被供以所述放大器的輸出，將所述放大器的輸出轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號，并輸出；微型計算機，在規(guī)定的時間將所述A/D轉(zhuǎn)換器的輸出作為偏置電流測定數(shù)據(jù)進行保存；D/A轉(zhuǎn)換器，將保存在所述微型計算機中的所述偏置電流測定數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為模擬信號并作為所述偏置電流進行輸出；移動裝置，使所述主光源在所述太陽能電池的長度方向上移動，在開始檢測之前，測定各個單元的各個偏置電流，并作為所述偏置電流測定數(shù)據(jù)保存在所述微型計算機中；在所述主光源通過所述移動裝置向測定對象單元移動的時刻所對應(yīng)的時間、或者在串聯(lián)連接的單元的接縫所對應(yīng)的時間，輸出所述微型計算機保存的所述偏置電流測定數(shù)據(jù)， 所述D/A轉(zhuǎn)換器輸出所述偏置電流。
4.一種太陽能電池的缺陷檢測方法，用于檢測串聯(lián)連接有所述多個單元的太陽能電池的缺陷，其特征在于，所述方法包括由主光源以第一照度對所述單元中的測定對象單元進行光照射；由副光源以高于所述第一照度的第二照度對所述單元中的非測定對象單元進行光照射；由偏置電流提取電路提取所述太陽能電池所輸出的電流中所包含的偏置電流；由偏置電流消除電路從所述太陽能電池所輸出的電流中消除所述偏置電流；使用所述偏置電流消除電路的輸出來進行圖像處理并在顯示器上顯示；由此，基于考慮了所述偏置電流的由測定對象單元產(chǎn)生的感生電流成分進行檢測。
全文摘要
本發(fā)明提供一種考慮到從測定對象單元的電阻部分迂回流過的偏置電流、從而能夠高精度地檢測缺陷的太陽能電池的檢測裝置及檢測方法。所述檢測裝置包括對測定對象單元進行光照射的主光源(3)；對其他單元進行光照射的副光源(4)；將太陽能電池S的輸出電流轉(zhuǎn)換為電壓的分流電阻(7)；對電壓進行放大的放大器(8)；提取包含在該輸出中的偏置電流的偏置電流提取電路(9)；從放大器的輸出中減去偏置電流的偏置電流消除電路(10)；轉(zhuǎn)換為數(shù)字數(shù)據(jù)的A/D轉(zhuǎn)換器(12)；進行圖像處理的圖像處理裝置(13)；以及進行圖像顯示的顯示器(14)；其中，基于考慮了偏置電流的由測定對象單元產(chǎn)生的感生電流部分進行檢測。
文檔編號G01N21/88GK103033517SQ20121024077
公開日2013年4月10日 申請日期2012年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月15日
發(fā)明者吉野征治 申請人:株式會社 Npc