專利名稱：慣性傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種慣性傳感器、尤其是具有平行彈簧的慣性傳感器。
背景技術(shù)：
這樣的慣性傳感器是已知的。它們通常包括一個經(jīng)穿孔的可運動的襯底，該襯底借助兩個扭轉(zhuǎn)彈簧與襯底連接。在此，兩個扭轉(zhuǎn)彈簧以它們的縱向軸線為參照共線地設(shè)置。即尤其是兩個縱向軸線沿著一個共同的線延伸。在慣性傳感器相對于襯底平面豎直偏移時，在彈簧中產(chǎn)生顯著的機械應(yīng)力。在此，具有較短彈簧長度的彈簧比具有較長的彈簧長度的彈簧具有更大的機械應(yīng)力。
也希望的是，為了在相同的彈簧寬度時減少機械應(yīng)力，使彈簧長度最大化。但是， 由于扭轉(zhuǎn)彈簧的共線布置，這一點僅能受限地實現(xiàn)，因為在彈簧的縱向端部上擺桿作為限界元件作用，其中，在彈簧的另一個端部上第二彈簧或襯底連接裝置作為限界元件作用。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的任務(wù)可以在于，提供一種慣性傳感器，其中彈簧中的機械應(yīng)力在豎直過載時被減小。該任務(wù)借助獨立權(quán)利要求的主題解決。有利的設(shè)計方案是各個從屬權(quán)利要求的主題。根據(jù)一個方面提供一種慣性傳感器，其具有襯底和擺桿。在此，擺桿借助彈簧裝置與襯底連接。彈簧裝置包括至少兩個彈簧，這些彈簧將擺桿懸掛在襯底上。擺桿就此而言懸掛在襯底上。在此，兩個彈簧以他們的縱向軸線為參照相互錯開地設(shè)置。在本發(fā)明的意義上，縱向軸線是彈簧的軸線，該軸線相應(yīng)于它們的最大膨脹尺寸的方向。在本發(fā)明的意義上，縱向端部表示以縱向軸線為參照的彈簧端部。豎直以襯底平面為參照定義。為了更清楚，如下地定義x、y、z坐標(biāo)系。X和y軸位于襯底平面中。z軸垂直于襯底平面延伸。共線尤其是意味著在一個共同的線上延伸。兩個彈簧以它們的縱向軸線為參照相互錯開地設(shè)置，由此它們不再作為相互限界的元件作用并且由此能夠至少在一個方向上延長，而它們不會相互碰撞或解除。由此能夠與現(xiàn)有技術(shù)相比增大彈簧長度，當(dāng)彈簧豎直偏移時，這以有利的方式導(dǎo)致彈簧中的機械應(yīng)力較小。也就是說，按本發(fā)明的慣性傳感器以有利的方式經(jīng)受住在豎直方向上的較大的機械加速力。根據(jù)一種優(yōu)選的實施方式，慣性傳感器構(gòu)成為微機械的慣性傳感器。微機械的慣性傳感器尤其是借助相應(yīng)的微機械的制造方法例如蝕刻和/或平版印刷方法和/或電流方法和/或光刻方法構(gòu)成。優(yōu)選地，襯底是硅晶片。按照一種優(yōu)選的實施方式，慣性傳感器構(gòu)成為加速度傳感器。根據(jù)另一種實施方式，擺桿構(gòu)成為經(jīng)穿孔的擺桿。在本發(fā)明的意義中，經(jīng)穿孔尤其是意味著擺桿具有至少一個孔，流體能夠流動或流過該孔。流體可以例如是蝕刻流體、尤其是蝕刻氣體或蝕刻液體。由于穿孔，流體可以以有利的方式作用位于擺桿下方，即在襯底和擺桿之間的元件上。尤其地，流體作用在襯底本身上。穿孔可以具有多個孔，這些孔優(yōu)選設(shè)置成一個網(wǎng)柵中。根據(jù)另一種實施方式，也可以設(shè)置超過兩個彈簧。例如，可以設(shè)置四個彈簧。由此引起特別穩(wěn)定但又彈性的懸掛。這些彈簧共同地優(yōu)選構(gòu)成為扭轉(zhuǎn)彈簧。尤其地，這些彈簧構(gòu)成板式彈簧。這些彈簧可以例如相同地或不同地構(gòu)成。在另一種實施方式中，彈簧裝置具有至少一個與襯底連接的懸掛塊，至少一個彈簧固定在該懸掛塊上。彈簧可以優(yōu)選也與懸掛塊連接。尤其地，彈簧的一個縱向端部固定在或連接在懸掛塊上。彈簧的另一個縱向端部優(yōu)選固定或連接在擺桿上。尤其地，在懸掛塊上也可以固定或連接兩個或多于兩個彈簧。例如也可以構(gòu)成多個懸掛塊、尤其是三個或四個懸掛塊。懸掛塊優(yōu)選與襯底一體地構(gòu)成。懸掛塊可以例如相對于彈簧的縱向軸線相互錯開地設(shè)置。因此，彈簧的長度以有利的方式僅由懸掛塊-擺桿距離、即尤其是由懸掛塊-擺桿距離的長度限制并且不附加地通過另一個懸掛塊限制。在偶數(shù)數(shù)量的懸掛塊時，它們可以優(yōu)選成對并排地設(shè)置。在四個懸掛塊時，兩對可以優(yōu)選點對稱地構(gòu)成。在奇數(shù)數(shù)量的懸 掛塊時，它們例如可以軸線對稱地設(shè)置，其中，對稱軸線平行于彈簧的縱向軸線延伸。懸掛塊上的其上固定彈簧或與彈簧連接的區(qū)域也可以稱為彈簧連接裝置。懸掛塊上的與襯底連接的區(qū)域也可以稱為襯底連接裝置。襯底可以尤其是也稱為陸地，使得襯底連接裝置也可以稱為陸地連接裝置。根據(jù)另一種實施方式，這些彈簧至少部分搭接地并排地設(shè)置。優(yōu)選地，彈簧平行并排地設(shè)置。相應(yīng)的慣性傳感器也可以稱為具有平行彈簧的慣性傳感器。在偶數(shù)數(shù)量的彈簧時，它們也可以成對并排地平行延伸地設(shè)置。這些彈簧對也可以稱為交叉的雙彈簧。因此能夠以有利的方式引起顯著高的扭轉(zhuǎn)剛度，因為這些彈簧同樣在z方向上承受彎曲，而不是僅承受扭轉(zhuǎn)。尤其地借助對兩個雙彈簧相互之間和/或與擺桿的旋轉(zhuǎn)軸線的距離的相應(yīng)匹配能夠以有利的方式引起改變的扭轉(zhuǎn)剛度，而不改變其它的幾何參數(shù)。根據(jù)另一種實施方式，擺桿以所述擺桿的一個借助所述彈簧的縱向軸線限定的在擺桿平面中構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)軸線為參照非對稱地懸掛在所述襯底上。在垂直于襯底平面偏移時，該非對稱的懸掛以有利的方式引起擺桿的傾斜。擺桿的質(zhì)量分布尤其是相對于旋轉(zhuǎn)軸線是非對稱的。根據(jù)另一個實施方式，在襯底上與擺桿相對置地設(shè)置至少一個電極，所述電極與擺桿構(gòu)成一個用于電容地檢測擺桿偏移的電容器。在另一種實施方式中，在襯底上設(shè)置至少兩個電極，其中，這些電極與擺桿相對置地設(shè)置。每個電極與擺桿成形一個電容器，使得兩個電極與擺桿一起形成一個差動式電容器。這樣的差動式電容器以有利的方式具有特別線性的特性。擺桿尤其可以位于電勢CM上并且尤其是兩個電極可以位于電勢Cl或電勢C2上。在擺桿偏移時，電容器中的相應(yīng)的電容量改變，使得借助對電容器的相應(yīng)分析處理能夠檢測擺桿的偏移，由此以有利的方式能夠求出施加在擺桿上的加速度。電極也可以稱為檢測電極。優(yōu)選地，設(shè)置檢測電極，它們能夠檢測x、y平面中在X和/或y方向上的加速度。電極優(yōu)選構(gòu)成為條形的電極或條狀電極。根據(jù)另一種實施方式也可以構(gòu)成多于兩個電極，尤其是可以構(gòu)成三個、優(yōu)選四個、特別是五個、例如六個電極。由此能夠執(zhí)行特別靈敏的電容測量。根據(jù)另一種實施方式，構(gòu)成用于限制擺桿偏移的止擋。止擋以有利的方式引起擺桿偏移被這樣地限制，使得彈簧裝置的機械應(yīng)力位于預(yù)先確定的值之下，該預(yù)先確定的值等于慣性傳感器或彈簧裝置可能損壞的值。尤其地，止擋限制平行于襯底延伸的擺桿偏移。例如也可以構(gòu)成多個止擋。根據(jù)另一種實施方式，擺桿具有一個空槽，彈簧裝置設(shè)置在該空槽中。在此尤其是空槽的對稱中心不同于擺桿的對稱中心，使得由此以有利的方式能夠?qū)崿F(xiàn)非對稱的懸掛。在另一種實施方式中，慣性傳感器構(gòu)成為多通道的慣性傳感器、尤其是多通道的加速度傳感器。


本發(fā)明在下面根據(jù)優(yōu)選實施例參照附圖詳細(xì)闡述。在此示出 圖I示出已知的慣性傳感器的俯視圖；圖2示出按本發(fā)明的慣性傳感器的示意視圖；圖3示出另一個按本發(fā)明的慣性傳感器的俯視圖；圖4示出按本發(fā)明的慣性傳感器的側(cè)視圖；圖5示出另一個按本發(fā)明的慣性傳感器的俯視圖；圖6示出圖5的慣性傳感器的一部分的放大視圖；圖7示出圖6的慣性傳感器的一部分的放大視圖；圖8示出另一個按本發(fā)明的慣性傳感器的俯視圖；圖9示出圖8的慣性傳感器的一部分的放大視圖；圖10示出圖9的慣性傳感器的一部分的放大視圖；圖11示出具有和不具有能量優(yōu)化止擋的按本發(fā)明的慣性傳感器的一部分的相應(yīng)俯視圖；圖12示出另一個按本發(fā)明的慣性傳感器的俯視圖；圖13示出另一個按本發(fā)明的慣性傳感器的俯視圖；圖14示出另一個按本發(fā)明的慣性傳感器的俯視圖；圖15示出另一個按本發(fā)明的慣性傳感器的俯視圖；和圖16示出具有檢測電極的圖15的慣性傳感器。在下面對于相同的特征使用相同的附圖標(biāo)記。
具體實施例方式圖I示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的慣性傳感器101的俯視圖。慣性傳感器101包括四角形的襯底103,在該襯底上構(gòu)成一個用于兩個彈簧107、109的彈簧懸掛塊105。與襯底103平行地構(gòu)成一個經(jīng)穿孔的擺桿111，該擺桿具有空槽113。彈簧懸掛塊105和兩個彈簧107和109設(shè)置在空槽113中。在此，兩個彈簧107、109以它們的縱向軸線為參照共線地設(shè)置。即尤其是兩個縱向軸線在一個共同的線上延伸。彈簧107以其第一端部107a固定在彈簧懸掛塊105上。彈簧107的另一個縱向端部107b與擺桿11連接。類似地，彈簧109也具有第一縱向端部109a,該第一端部固定在彈簧懸掛塊105上。彈簧109的第二縱向端部109b與擺桿111連接。通過附圖標(biāo)記115還標(biāo)出兩個機械止擋，它們可以限制擺桿111的側(cè)向偏移，即尤其是在X、y平面中的偏移。因為由于兩個彈簧107、109的共線布置，兩個縱向端部107a、109a在彈簧107、109的可能的延長上相互阻礙，所以兩個彈簧107、109的各自的長度通過在彈簧懸掛塊105與第二縱向端部107b和109b在擺桿111上的固定區(qū)域之間的距離的長度限制。就此而言，在豎直偏移時，即在z方向上偏移時，在彈簧107、109中出現(xiàn)顯著的機械應(yīng)力，這可能導(dǎo)致彈簧斷裂，其中，襯底平面位于X、y平面中。圖2示出包括襯底203的按本發(fā)明的慣性傳感器201。另外，形成彈簧裝置205，該彈簧裝置將襯底203與擺桿207連接。彈簧裝置205具有兩個彈簧209a、209b。彈簧209a、209b的各自的縱向軸線通過附圖標(biāo)記211a、211b表示。如明顯可看出的那樣，兩個彈簧209a、209b以其縱向軸線211a、211b為參照相互錯開地設(shè)置。由此以有利的方式實現(xiàn) 兩個彈簧209a、209b在縱向上不再相互阻礙，由此能夠以有利的方式相對于現(xiàn)有技術(shù)實現(xiàn)在彈簧209a、209b的縱向上的較大的延長。因此，可以顯著減少在彈簧209a、209b豎直偏移時彈簧209a、209b中的機械應(yīng)力。豎直在此尤其是意味著垂直于縱向軸線211a、211b。在豎直過載時，機械應(yīng)力以有利的方式被限制，這避免了彈簧斷裂。在一種未不出的實施方式中，也可以設(shè)置多于兩個彈簧。在另一種未不出的實施方式中，慣性傳感器構(gòu)成為微機械的慣性傳感器。優(yōu)選地，在另一種未示出的實施方式中，慣性傳感器構(gòu)造為加速度傳感器、尤其是微機械的加速度傳感器。彈簧優(yōu)選構(gòu)成為扭轉(zhuǎn)彈簧或板式彈簧。圖3示出包括襯底303的按本發(fā)明的另一個慣性傳感器301。在襯底303上設(shè)有兩個懸掛塊305、307。另外，構(gòu)成兩個彈簧309和311。與襯底303平行地構(gòu)成一個經(jīng)穿孔的擺桿312，擺桿具有空槽314。懸掛塊305和307與彈簧309和311設(shè)置在空槽314中?？詹?14的對稱中心不同于擺桿312的對稱中心，使得擺桿312具有一個非對稱的質(zhì)量分布。彈簧309在其一個縱向端部309a上與經(jīng)穿孔的擺桿312連接。另一個縱向端部309b固定在懸掛塊305上。類似地，彈簧311的一個縱向端部311a與擺桿312固定。彈簧311的另一個縱向端部311b固定在懸掛塊307上。如圖3明顯看到，兩個彈簧309和311以其縱向軸線為參照相互錯開地設(shè)置并且能夠選擇得比彈簧共線設(shè)置時更長，縱向軸線在y方向上延伸。通過附圖標(biāo)記313還標(biāo)出兩個用于限制擺桿312的偏移的止擋。圖4示出在y方向?qū)Π幢景l(fā)明的慣性傳感器401的側(cè)視圖。因為在圖4中示出的視圖是側(cè)視圖，所以彈簧未被示出。出于清楚的考慮，擺桿312的穿孔也未繪出。擺桿312在z軸的方向上膨脹尺寸以H表示作為高度。附圖標(biāo)記401表示陸地連接裝置。附圖標(biāo)記403表示彈簧連接裝置。在襯底303上設(shè)有兩個電極405、407，使得它們與擺桿312相對置。這兩個電極405和407并排地設(shè)置在襯底303上，其中，陸地連接裝置位于兩個電極405和407之間。兩個電極407、409分別位于電勢Cl和C2上。擺桿312位于電勢CM上。兩個電極407和409和擺桿312就此而言形成差動式電容器。
當(dāng)慣性傳感器401在z方向上、即垂直于襯底平面或擺桿平面加速時，擺桿在z方向上傾斜。差動式電容器的電容量改變，這可以被檢測到，使得能夠以有利的方式相應(yīng)地求出加速度。圖5示出包括襯底503和經(jīng)穿孔的擺桿505的按本發(fā)明的另一個慣性傳感器501的俯視圖，該擺桿具有空槽507。在空槽507中設(shè)有兩個各具有一個彈簧513和515的懸掛塊509和511。彈簧513具有第一縱向端部513a和第二縱向端部513b。類似地，彈簧515具有第一縱向端部515a和第二縱向端部515b。第一縱向端部5153a和515a固定在懸掛塊511或懸掛塊509上。第二縱向端部513b和515b固定在經(jīng)穿孔的擺桿505上。附圖標(biāo)記517表示陸地連接裝置。通過附圖標(biāo)記519示出兩個止擋。彈簧513和515的縱向軸線相互平行地在I方向上延伸，但是在X方向上相對彼此錯開地設(shè)置。圖6示出圖5中的以字母“A”標(biāo)出的區(qū)域的放大視圖。圖7示出圖6中的以字母“B”標(biāo)出的區(qū)域的放大視圖。 圖8示出另一個按本發(fā)明的慣性傳感器801的俯視圖。出于清楚的考慮，襯底503沒有示出。在圖8中通過字母“A”標(biāo)出的區(qū)域在圖9中放大地被示出。圖9中的通過字母“B”標(biāo)出的區(qū)域在圖10中放大地被示出。圖11在左圖中示出按本發(fā)明的具有兩個能量優(yōu)化止擋1103和1105的慣性傳感器1101的部分視圖。在圖11的右圖中示出另一個按本發(fā)明的沒有這樣的能量優(yōu)化止擋1103和1105的慣性傳感器1107的部分視圖。出于清楚的考慮，在這兩個圖中沒有繪出襯底。兩個能量優(yōu)化止擋1103和1105設(shè)置在懸掛塊509或511的在y方向上面向擺桿505的端部區(qū)域中并且分別包括多個平行設(shè)置的具有高彈簧常數(shù)的彈簧1109，使得彈簧1109具有高的剛度。這些彈簧1109可以尤其是具有相同或不同的彈簧常數(shù)。在止擋1103和1105的在y方向上面向擺桿505的端部區(qū)域中分別構(gòu)成梳狀形式的接觸凸起1111。在接觸凸起1111之間的空位中設(shè)置另外的接觸凸起1113，它們與擺桿505連接。當(dāng)擺桿505在X、y平面中足夠大地偏移時，接觸凸起1111和1113相互接觸或觸碰。它們形成接觸區(qū)域。擺桿505的進(jìn)一步偏移被阻止。擺桿505的運動在此借助彈簧1109吸收，使得以有利的方式減少了懸掛塊509和511的機械應(yīng)力。圖12示出按本發(fā)明的慣性傳感器1201的另一個實施方式的俯視圖。慣性傳感器1201包括一個具有四角形空槽1205的經(jīng)穿孔的擺桿1203，其中，空槽1205的對稱中心不同于擺桿1203的對稱中心。擺桿1203因此具有非對稱的質(zhì)量分布。在空槽1205中構(gòu)成四個懸掛塊1207a、1207b、1207c和1207d，它們與設(shè)置在擺桿1203下方的襯底(未示出)連接。在此，懸掛塊1207a和1207b以及1207c和1207d相互成對地設(shè)置，其中，這兩個對在空槽1205中相對于空槽1205的對稱中心以點對稱的方式設(shè)置。另外各一個彈簧1209、1211、1213 和 1215 通過第一縱向端部 1209a、1211a、1213a和1215a固定在懸掛塊1207a、、1207b、1207c和1207d上。第二縱向端部1209b、1211b、1213b和1215b固定在擺桿上，其中，彈簧1209、1211、1213和1215在y方向上延伸地平行于四角形空槽1205的兩側(cè)構(gòu)成。彈簧1209和1211以及彈簧1213和1215尤其是形成兩個交叉的雙彈簧。圖13示出按本發(fā)明的慣性傳感器1301的另一個實施方式的俯視圖。與圖12的慣性傳感器1201不同，在空槽1205中僅設(shè)有三個懸掛塊1207a、b和C。兩個懸掛塊1207a和1207b設(shè)置在四角形空槽1205的兩個角中的上端部上。第三懸掛塊1207c中心地設(shè)置在空槽1205的下端部上。同樣構(gòu)成四個彈簧1209、1211、1213和1215，這些彈簧類似于圖12以它們的兩個縱向端部固定在懸掛塊或擺桿1203上。在此，各一個彈簧1211和1213以它們各自的縱向端部1211a和1213a固定在懸掛塊1207c的兩側(cè)上。在此兩個彈簧1209和1211以及彈簧1213和1215也形成兩個交叉的雙彈簧，但是它們以空槽1205的對稱軸線為參照在γ方向上軸線對稱地相互設(shè)置。兩個交叉的雙彈簧相互平行地延伸，即它們并排設(shè)置，由此能夠以有利的方式實現(xiàn)明顯提高的扭轉(zhuǎn)剛度，因為彈簧同樣在z方向上承受彎曲，而不是僅承受扭轉(zhuǎn)。在此能夠?qū)崿F(xiàn)兩個雙彈簧的如在圖12中所示點對稱的且如在圖13中所示軸線對稱的布置。通過兩個雙彈簧相互之間和/或與擺桿1203的旋轉(zhuǎn)軸線的距離的匹配，能夠以有利的方式引起扭轉(zhuǎn)剛度，而不改變其它的幾何參數(shù)。在增大的距離(參見圖14)時，其中距離借助兩個箭頭以附圖標(biāo)記1401表示，彈簧1209、1211、1213和1215在z方向上的必須的 彎曲在擺桿1205的扭轉(zhuǎn)角度相同時增加，使得彈簧裝置的合成的扭轉(zhuǎn)剛度同樣增加。相應(yīng)地，在兩個雙彈簧相互之間的距離縮小時，總扭轉(zhuǎn)剛度縮小(參見圖15)。X方向上的剛度獨立于距離的改變。這些在圖12至15中示出的慣性傳感器以有利的方式特別適合于傳感器、尤其是加速度傳感器，其除了在z方向上的加速度外也應(yīng)當(dāng)檢測在x、y平面中的橫向加速度(見圖16)。通過雙彈簧的距離和彈簧本身的幾何結(jié)構(gòu)、尤其是彈簧長度和/或彈簧寬度和/或彈簧高度的改變，能夠以有利的方式相互獨立地匹配在X、y平面中在X方向和/或y方向上的剛度和扭轉(zhuǎn)剛度。圖16示出圖15的慣性傳感器，其在此構(gòu)成加速度傳感器1600。通過附圖標(biāo)記1601表示電極，這些電極檢測在X、y平面中在X方向上的加速度。電極1601可以尤其是也稱為X通道檢測電極。電極1601相互平行地在γ方向上設(shè)置在空槽1205中，其中，電極1601對在此尤其是構(gòu)成電容器。通常X通道檢測電極也可以稱為橫向電極。通過附圖標(biāo)記1603表示兩個用于檢測z方向上的加速度的條形檢測電極。檢測電極1603也可以稱為Z通道檢測電極。兩個檢測電極1603類似于圖4地設(shè)置在襯底上并且與擺桿1203相對置，使得構(gòu)成一個差動式電容器。當(dāng)擺桿在z方向上傾斜時，差動式電容器的電容量改變，使得由此能夠執(zhí)行z加速度的確定。在圖16中示出的慣性傳感器構(gòu)成為2通道加速度傳感器，因為他能夠不僅檢測X方向上的而且檢測z方向上的加速度。在一種未示出的實施方式中，可以構(gòu)成另外的橫向電極，使得還能夠附加地檢測y方向上的加速度。在這種情況中，慣性傳感器構(gòu)成為3通道加速度傳感器。綜上所述，本發(fā)明尤其是提供以下可能性，減少在過載時加速度傳感器、尤其是微機械的加速度傳感器的扭轉(zhuǎn)彈簧中的機械應(yīng)力，使得以有利的方式避免彈簧斷裂。
權(quán)利要求
1.慣性傳感器(201)，其具有襯底(203)和擺桿(207)，所述擺桿借助彈簧裝置(205)與所述襯底(203 )連接，其中，所述彈簧裝置(205 )具有至少兩個用于將所述擺桿(207 )懸掛在所述襯底(203)上的彈簧(209a，209b)，其特征在于，這兩個彈簧(209a，209b)以它們的縱向軸線(211a，211b)為參照相互錯開地設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I的慣性傳感器(201)，其特征在于，所述彈簧裝置(205)具有至少一個與所述襯底(203 )連接的懸掛塊(305，307 )，至少一個彈簧(209a, 209b )固定在所述懸掛塊上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的慣性傳感器(201)，其特征在于，構(gòu)成多個懸掛塊(305，307)并且在每個懸掛塊(305，307 )上固定至少一個彈簧(209a, 209b )。
4.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的慣性傳感器(201)，其特征在于，所述彈簧(209a，209b)至少部分搭接并排地、尤其是平行并排地設(shè)置。
5.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的慣性傳感器(201)，其特征在于，以所述擺桿的一個借助所述彈簧的縱向軸線(211a，211b)限定的在擺桿平面中構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)軸線為參照，所述擺桿(207)非對稱地懸掛在所述襯底(203)上。
6.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的慣性傳感器(201)，其特征在于，至少一個電極與所述擺桿(207 )相對置地設(shè)置在所述襯底(203 )上，該電極與所述擺桿(207 )形成一個用于電容地檢測所述擺桿(207)的偏移的電容器。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的慣性傳感器(201)，其特征在于，至少兩個電極(407，409)與所述擺桿(207)相對置地設(shè)置在所述襯底(203)上以形成差動式電容器。
8.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的慣性傳感器(201)，其特征在于，構(gòu)成一用于限制擺桿偏移的止擋(313)。
9.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的慣性傳感器(201)，其特征在于，所述擺桿(207)具有空槽(314)，所述彈簧裝置(205)設(shè)置在所述空槽中。
10.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的慣性傳感器(201)，其特征在于，所述慣性傳感器(201)構(gòu)成為微機械的慣性傳感器。
11.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的慣性傳感器(201)，其特征在于，所述慣性傳感器(201)構(gòu)成為加速度傳感器。
12.根據(jù)以上權(quán)利要求之一的慣性傳感器(201)，其特征在于，所述慣性傳感器(201)構(gòu)成為多通道的慣性傳感器、尤其是多通道的加速度傳感器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種慣性傳感器(201)，其具有襯底(203)和擺桿(207)，所述擺桿借助彈簧裝置(205)與所述襯底(203)連接，其中，所述彈簧裝置(205)具有至少兩個用于將所述擺桿(207)懸掛在所述襯底(203)上的彈簧(209a，209b)，其中，這兩個彈簧(209a，209b)以它們的縱向軸線(211a，211b)為參照相互錯開地設(shè)置。
文檔編號G01P15/125GK102798733SQ20121016661
公開日2012年11月28日 申請日期2012年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月26日
發(fā)明者G-N-C·烏爾希里, F·菲舍爾, L·特夫耶, C·格克勒 申請人:羅伯特·博世有限公司