放射線檢測器以及具備該檢測器的放射線圖像取得裝置制造方法
【專利摘要】該放射線檢測器（3）具備：平板狀的波長變換板（6），響應(yīng)于透過了對象物（A）的放射線的入射而產(chǎn)生閃爍光；直接變換型檢測器（5），檢測透過了波長變換板（6）的放射線；以及遮光板（7），配置在波長變換板（6）與直接變換型檢測器（5）之間，防止閃爍光向直接變換型檢測器（5）的入射。
【專利說明】放射線檢測器以及具備該檢測器的放射線圖像取得裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及放射線檢測器以及具備該檢測器的放射線圖像取得裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]一直以來，關(guān)于X射線圖像的檢測技術(shù)，為人所知的有:通過檢測由入射到檢測器的放射線產(chǎn)生的電荷而直接檢測放射線的方式即直接變換方式、以及使用閃爍器材料等的放射線變換構(gòu)件來將放射線變換成光之后用檢測器進行檢測的方式即間接變換方式。在這2種變換方式中存在放射線的檢測能量帶受限制的傾向。為了應(yīng)付這樣的問題而設(shè)計了如下結(jié)構(gòu)，即在直接檢測放射線的放射線檢測元件的檢測面設(shè)置由閃爍器材料構(gòu)成的放射線變換膜，由放射線檢測元件同時檢測透過了放射線變換膜的放射線以及被放射線變換膜變換后的閃爍光(參照下述專利文獻I )。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠提高放射線的檢測效率并取得S/N良好的圖像數(shù)據(jù)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開2000-46951號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0007]然而，在上述那樣的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中，用同一檢測器檢測寬能量帶的放射線，因而所得到的圖像數(shù)據(jù)有產(chǎn)生圖像模糊的傾向。其原因在于:本來比較低的能量帶的放射線容易被波長變換膜變換成閃爍光，放射線檢測元件檢測一邊變寬一邊透過放射線變換膜而來的閃爍光，因而在低能量帶的放射線，檢測信號(S)容易減弱，另一方面，在高能量帶由于變寬了的閃爍光而使相對于檢測信號的噪聲容易增加，寬能量帶的放射線的檢測信號的S/N下降。
[0008]因此，本發(fā)明有鑒于上述所涉及的技術(shù)問題而做出的，其目的在于，提供一種可以遍及寬能量帶而取得模糊少的放射線檢測圖像的放射線檢測器以及具備該放射線檢測器的放射線圖像取得裝置。
[0009]解決技術(shù)問題的手段
[0010]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的放射線檢測器，具備:平面狀的波長變換構(gòu)件，響應(yīng)于透過了對象物的放射線的入射而產(chǎn)生閃爍光；放射線檢測元件，檢測透過了波長變換構(gòu)件的放射線；以及遮蔽構(gòu)件，配置在波長變換構(gòu)件與放射線檢測元件之間，防止閃爍光向放射線檢測元件的入射。
[0011]根據(jù)這樣的放射線檢測器，透過了對象物的放射線當(dāng)中比較低能夠量帶的放射線被波長變換構(gòu)件變換成閃爍光，該閃爍光被配置在波長變換構(gòu)件的放射線的入射面?zhèn)鹊臋z測器檢測，由此可以作為圖像信號被檢測。與此同時，透過了對象物的放射線當(dāng)中比較高能量帶的放射線透過波長變換構(gòu)件和遮蔽構(gòu)件而作為直接圖像信號被放射線檢測元件檢測出。此時，由于通過遮蔽構(gòu)件防止閃爍光向放射線檢測元件的入射，因而高能量帶的圖像信號中的S/N提高，并且由于閃爍光在波長變換構(gòu)件的入射面?zhèn)缺粰z測，因此還能夠防止低能量帶的圖像信號中的圖像模糊。其結(jié)果，能夠取得放射線的檢測信號的S/N遍及寬能量帶良好的圖像。再有，“比較低能量帶的放射線”以及“比較高能量帶的放射線”是指，具有相互分離的能量帶的放射線、或者具有共同的能量帶的放射線。
[0012]或者，本發(fā)明的另一個側(cè)面所涉及的放射線圖像取得裝置，具備:放射線源，出射放射線；平面狀的波長變換構(gòu)件，響應(yīng)于從放射線源出射并透過了對象物的放射線的入射而產(chǎn)生閃爍光；攝像元件，對從波長變換構(gòu)件的放射線的入射側(cè)的面輻射的閃爍光進行攝像；放射線檢測元件，檢測透過波長變換構(gòu)件的放射線；以及遮蔽構(gòu)件，配置在波長變換構(gòu)件與放射線檢測元件之間，防止閃爍光向放射線檢測元件的入射。
[0013]根據(jù)這樣的放射線圖像取得裝置，透過了對象物的放射線當(dāng)中比較低能夠量帶的放射線被波長變換構(gòu)件變換成閃爍光，該閃爍光被配置在放射線的入射面?zhèn)鹊臄z像元件檢測，由此可以作為圖像信號被檢測。與此同時，透過了對象物的放射線當(dāng)中比較高能量帶的放射線透過波長變換構(gòu)件和遮蔽構(gòu)件而作為直接圖像信號被放射線檢測元件檢測。此時，由于通過遮蔽構(gòu)件防止閃爍光向放射線檢測元件的入射，因此高能量帶的圖像信號中的S/N提高，并且由于閃爍光在波長變換構(gòu)件的入射面?zhèn)缺粰z測，因此還能夠防止低能量帶的圖像信號中的圖像模糊。其結(jié)果，由于分別取得在攝像元件被攝像的低能量帶的放射線圖像以及被放射線檢測元件檢測的高能量帶的放射圖像，因此通過對所取得的圖像進行加法運算，能夠取得放射線的檢測信號的S/N遍及寬能量帶良好的圖像。另外，通過對所取得的圖像進行差分，能夠取得良好的能量減影(energy subtraction)圖像。
[0014]發(fā)明效果
[0015]根據(jù)本發(fā)明，能夠取得遍及寬能量帶而模糊少的放射線檢測圖像。
【專利附圖】

【附圖說明】`
[0016]圖1是本發(fā)明的優(yōu)選的一個實施方式所涉及的放射線圖像取得裝置的正面圖。
[0017]圖2是放大圖1的放射線檢測器來表示的正面圖。
[0018]圖3是表示圖1的放射線檢測器的組裝狀態(tài)的正面圖。
[0019]圖4是表示圖1的放射線檢測器的組裝狀態(tài)的正面圖。
[0020]圖5是本發(fā)明的變形例的放射線檢測器的正面圖。
[0021]圖6是本發(fā)明的變形例的放射線圖像取得裝置的正面圖。
[0022]圖7是本發(fā)明的變形例的放射線圖像取得裝置的正面圖。
[0023]符號說明:
[0024]I…放射線圖像取得裝置，2…放射線源，4…光檢測器(攝像元件)，5...直接變換型檢測器(放射線檢測元件)，6...波長變換板、波長變換膜(波長變換構(gòu)件)，7...遮光板、遮光膜(遮蔽構(gòu)件)，107...反射板、反射膜(遮蔽構(gòu)件)。
【具體實施方式】
[0025]以下，一邊參照附圖一邊就本發(fā)明所涉及的放射線檢測器和使用該放射線檢測器的放射線圖像取得裝置的優(yōu)選實施方式進行詳細說明。再有，在附圖的說明中對相同或者相當(dāng)?shù)牟糠仲x予相同符號，省略重復(fù)的說明。另外，各個圖面是為了說明用而作成的，以特別強調(diào)說明的對象部位的方式進行描繪。因此，附圖中的各構(gòu)件的尺寸比例不一定與實物
相一致。
[0026]圖1是表示本發(fā)明的優(yōu)選的一個實施方式所涉及的放射線圖像取得裝置I的概略結(jié)構(gòu)的正面圖，圖2是放大圖1的放射線檢測器3來表示的正面圖，圖3和圖4是表示圖1的放射線檢測器3的組裝狀態(tài)的正面圖。如圖1所示，放射線圖像取得裝置I具備:放射線源2，朝向半導(dǎo)體器件等的電子部件和食品等對象物A出射X射線等放射線；放射線檢測器3，檢測從放射線源2出射并透過了對象物A的放射線；以及光檢測器(攝像元件)4，對被放射線檢測器3變換的光進行攝像。該放射線檢測器3是直接檢測入射的放射線并生成表示對象物A的檢測圖像的圖像信號的直接變換方式的檢測器，光檢測器4是檢測基于入射的放射線而變換的光并生成圖像信號的CMOS傳感器、CCD傳感器等的間接變換方式的檢測器。
[0027]如圖1和圖2所示，放射線檢測器3具備直接檢測從放射線源2出射并透過了對象物A的放射線的直接變換型檢測器(放射線檢測元件)5。作為該直接變換型檢測器5，可以列舉以非晶硒、CdTe、硅(Si)或Ge等半導(dǎo)體材料為主要材料的半導(dǎo)體檢測器。直接變換型檢測器5在內(nèi)部將透過了對象物A并從放射線源2側(cè)的平面狀的放射線檢測面5a入射的放射線變換成電荷，檢測該電荷，由此輸出表示對象物A的二維的放射線透過像的圖像信號。
[0028]此外，放射線檢測器3具備配置在直接變換型檢測器5的放射線檢測面5a側(cè)的波長變換板(波長變換膜.波長變換構(gòu)件)6以及遮光板(遮光膜.遮蔽構(gòu)件)7。該波長變換板6是以沿著直接變換型檢測器5的放射線檢測面5a覆蓋放射線檢測面5a的方式配置的平板狀的構(gòu)件，響應(yīng)于透過了對象物A的放射線的入射而產(chǎn)生閃爍光。作為這樣的波長變換板 6，可以列舉 Gd2O2S:Tb、Gd2O2S:Pr、Cs1:Tl、CdWO4、CaWO4、Gd2SiO5:Ce、Lu0 4Gd16SiO5'Bi4Ge3O12' Lu2SiO5ICe, Y2SiO5' YAlO3:Ce, Y2O2SiTb, YTaO4 = Tm 等的閃爍器，其厚度根據(jù)在數(shù)μ m?數(shù)_的范圍檢測的放射線的能量帶來設(shè)定成適當(dāng)?shù)闹?。另外，遮光?是以在波長變換板6與直接變換型檢測器5之間覆蓋放射線檢測面5a的方式配置，并用于防止在波長變換板6產(chǎn)生的閃爍光入射到直接變換型檢測器5的平板狀構(gòu)件。具體而言，遮光板7是對閃爍光的波長帶域的光具有遮光性，并具有讓從放射線源2出射的放射線透過的性質(zhì)的構(gòu)件。作為這樣的遮光構(gòu)件7的材料，可以列舉例如鈹、鋁、銅、鈦等金屬構(gòu)件，或碳和硅(silicon)等非金屬構(gòu)件，使聚丙烯或聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙酯等高分子有機物質(zhì)具有遮光性的構(gòu)件等。這里，作為波長變換構(gòu)件6和遮光構(gòu)件7的形態(tài)，也可以是膜狀的。
[0029]在把遮光構(gòu)件7和波長變換構(gòu)件6組裝到上述那樣的直接變換型檢測器5時，可以在直接變換型檢測器5的放射線檢測面5a上依照該順序蒸鍍遮光構(gòu)件7和波長變換構(gòu)件6，也可以預(yù)先制作了遮光構(gòu)件7和波長變換構(gòu)件6后在放射線檢測面5a上接合遮光構(gòu)件7和波長變換構(gòu)件6。另外，如圖3所示，準(zhǔn)備用于保持遮光構(gòu)件7和波長變換構(gòu)件6的保持構(gòu)件8，9，通過這些保持構(gòu)件8，9可以使遮光構(gòu)件7和波長變換構(gòu)件6保持在直接變換型檢測器5的放射線檢測面5a上。此外，如圖4所示，也可以使用螺栓等固定構(gòu)件使遮光構(gòu)件7和波長變換構(gòu)件6固定在直接變換型檢測器5的放射線檢測面5a上。
[0030]接著，就這樣的結(jié)構(gòu)的放射線檢測器3與放射線源2和光檢測器4的位置關(guān)系進行說明。如圖1所示，放射線源2以放射線的光軸相對于直接變換型檢測器5的放射線檢測面5a大致垂直(放射線檢測面5a與相對于放射線的光軸垂直的面大致平行)且與放射線檢測面5a的中心部相對的方式配置。另外，光檢測器4以可以對從波長變換板6輻射的閃爍光進行攝像的方式且以內(nèi)含的攝像透鏡4a的光軸相對于波長變換板6的放射線入射面6a斜交叉的方式(以相對于光軸垂直的面與放射線入射面6a具有角度的方式)配置。該攝像透鏡4a將從放射線入射面6a輻射的閃爍光朝向光檢測器4的內(nèi)部的攝像元件(未圖示)進行聚光。通過這樣的配置，使得光檢測器4以與來自于放射線源2的放射線的出射區(qū)域偏離的方式配置。
[0031]根據(jù)以上說明的放射線圖像取得裝置1，透過了對象物A的放射線當(dāng)中比較低能量帶的放射線被波長變換板6變換成閃爍光，該閃爍光被配置在波長變換板6的放射線入射面6a側(cè)的光檢測器4檢測，由此可以作為表示對象物A的放射線透過像的圖像信號被檢測。與此同時，透過了對象物A的放射線當(dāng)中比較高能量帶的放射線透過波長變換板6和遮光板7而作為直接圖像信號被直接變換型檢測器5檢測。其原因在于:低能量帶的放射線在波長變換板6的內(nèi)部的放射線入射面6a側(cè)容易被變換成閃爍光，相對于此，高能量帶的放射線容易透過波長變換板6。此時，通過遮光板7防止閃爍光向直接變換型檢測器5的入射，因而被直接變換型檢測器5檢測的高能量帶的圖像信號中的S/N提高。另外，在直接變換方式的檢測器中，在多個放射線以比該檢測器的時間分辨率更短的時間入射的情況下，存在作為比實際能量更高的能量被檢測的傾向(該現(xiàn)象稱為“和峰”)。根據(jù)本實施方式，入射到直接變換方式的檢測器的低能量的放射線減少，其結(jié)果，可以減少偽信號。與此同時，閃爍光在波長變換板6的放射線入射面6a側(cè)被檢測，因而也能夠防止被光檢測器4檢測的低能量帶的圖像信號中的圖像模糊。其結(jié)果，能夠分離成高能量帶和低能量帶而取得S/N良好的雙能(dual-energy)的檢測圖像。
[0032]另外，直接變換方式的檢測器在能量靈敏度方面有界限，在高能量帶具有靈敏度的檢測器會有低能量帶的靈敏度低的情況。因此，在放射線圖像取得裝置I中，由光檢測器4根據(jù)間接變換方式對閃爍光進行攝像，由此也能夠靈敏度良好地取得低能量帶的放射線圖像。其結(jié)果，能夠在包含高能量帶和低能量帶的寬能量范圍取得高靈敏度的檢測圖像。
[0033]另外，光檢測器4以與來自于放射線源2的放射線的出射區(qū)域偏離的方式配置，因而光檢測器4的影像不會映入到對象物A的放射線透過像，能夠減少圖像信號中的噪聲的產(chǎn)生，由于也沒有放射線的衰減因此還可以進行低能量成分的放射線的檢測。此外，也防止包含由光檢測器4的內(nèi)部的被曝光所引起的放射線的直接變換信號的噪聲的產(chǎn)生。
[0034]此外，對由放射線圖像取得裝置I以一次照射(一次攝像或檢測)所取得的低能量帶的圖像信號和高能量帶的圖像信號實施規(guī)定的運算處理，由此能夠得到與對象物A相關(guān)的被高對比度化后的能量差分(能量減影)、被能量區(qū)別后的放射線透過圖像。
[0035]再有，本發(fā)明并不限于前述的實施方式。即，遮光構(gòu)件7也可以是反射在波長變換板6產(chǎn)生的閃爍光的反射板或反射膜。例如，也可以如圖5所示的本發(fā)明的變形例的放射線檢測器103所示，平板狀的反射板107取代遮光板7而介于波長變換板6與直接變換型檢測器5之間。該反射板107以覆蓋直接變換型檢測器5的放射線檢測面5a的方式配置，具有在波長變換板6側(cè)反射閃爍光的波長帶域的光的反射面107a，且是具有讓從放射線源2出射的放射線透過的性質(zhì)的構(gòu)件。作為這樣的反射構(gòu)件107的材料，例如可以列舉通過對鋁或鎳、銅、銀、金等金屬等的平板狀構(gòu)件的表面實施研磨加工而形成有反射面的材料。作為反射面的形成方法，除了研磨加工之外，還可以列舉通過在透過放射線的支撐體的表面蒸鍍或噴涂、涂布等來形成金屬層的方法、或者在波長變換構(gòu)件的放射線入射面6a的背面蒸鍍或噴涂、涂布等來形成金屬層的方法等。通過具備這樣的反射板107，能夠提高由直接變換型檢測器5檢測的高能量帶的圖像信號中的S/N，并且能夠由光檢測器4高效率地檢測閃爍光，因而能夠提高低能量帶的圖像信號的檢測效率。
[0036]另外，在遮光板7和反射板107，也可以具有進一步阻斷透過了對象物A的放射線當(dāng)中低能量帶的成分那樣的濾波功能。作為具有這樣的濾波功能的遮光板7和反射板107的材料的例子，可以列舉銅、鋁、碳、硅(silicon)、鎳、銀、金、不銹鋼(鐵)、鈦等。通過使遮光板7和反射板107具有濾波功能，從而能夠防止從波長變換板6側(cè)入射而來的低能量帶的放射線入射到直接變換型檢測器5，能夠進一步提高高能量帶的圖像信號中的S/N。
[0037]另外，關(guān)于放射線源2和光檢測器4相對于放射線檢測器3的關(guān)系，可以采用各種各樣的變形方式。即，光檢測器4只要以與來自于放射線源2的放射線的出射區(qū)域偏離的方式配置即可，可選地，如圖6所示，放射線源2以放射線的光軸相對于直接變換型檢測器5的放射線檢測面5a傾斜的方式配置，光檢測器4以攝像透鏡4a的光軸相對于波長變換板6的放射線入射面6a大致垂直并與放射線入射面6a的中心部相對的方式配置。另外,可選地，如圖7所示，在從放射線源2出射的放射線的光軸上配置反射從波長變換板6產(chǎn)生的閃爍光的反射板11且光檢測器4的攝像透鏡4a可以對被反射板11反射的閃爍光進行聚光的方式配置有光檢測器4。即使這樣做，也能夠讓光檢測器4與放射線的出射區(qū)域分離。
[0038]這里，遮蔽構(gòu)件優(yōu)選是對閃爍光具有遮光性的平面狀構(gòu)件。若具備所涉及的遮蔽構(gòu)件，則能夠切實地遍及寬能量帶提高S/N。
[0039]另外，遮蔽構(gòu)件優(yōu)選是反射閃爍光的平面狀反射構(gòu)件。在這種情況下，能夠提高高能量帶的圖像信號中的S/N，并且能夠提高低能量帶的圖像信號的檢測效率。
[0040]此外，遮蔽構(gòu)件也優(yōu)選阻斷放射線當(dāng)中的低能量帶。若采用所涉及的結(jié)構(gòu)，則能夠防止從波長變換構(gòu)件側(cè)入射而來的低能量帶的放射線入射到放射線檢測元件，能夠進一步提高高能量帶的圖像信號中的S/N。
[0041]產(chǎn)業(yè)上的利用可能性
[0042]本發(fā)明以放射線檢測器和具備該放射線檢測器的放射線圖像取得裝置為使用用途，可以取得遍及寬能量帶而模糊少的放射線檢測圖像。
【權(quán)利要求】
1.一種放射線檢測器，其特征在于: 具備: 平面狀的波長變換構(gòu)件，響應(yīng)于透過了對象物的放射線的入射而產(chǎn)生閃爍光； 直接變換型的放射線檢測元件，直接檢測透過了所述波長變換構(gòu)件的所述放射線；以及 遮蔽構(gòu)件，配置在所述波長變換構(gòu)件與所述放射線檢測元件之間，防止所述閃爍光向所述放射線檢測元件的入射。
2.如權(quán)利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件是對所述閃爍光具有遮光性的平面狀構(gòu)件。
3.如權(quán)利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件是反射所述閃爍光的平面狀反射構(gòu)件。
4.如權(quán)利要求1~3中任一項所述的放射線檢測器，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件阻斷所述放射線當(dāng)中的低能量帶。
5.一種放射線圖像取得裝置，其特征在于: 具備:` 放射線源，出射放射線； 平面狀的波長變換構(gòu)件，響應(yīng)于從所述放射線源出射并透過了對象物的所述放射線的入射而產(chǎn)生閃爍光； 攝像元件，對從所述波長變換構(gòu)件的所述放射線入射側(cè)的面輻射的所述閃爍光進行攝像； 直接變換型的放射線檢測元件，直接檢測透過了所述波長變換構(gòu)件的所述放射線； 遮蔽構(gòu)件，配置在所述波長變換構(gòu)件與所述放射線檢測元件之間，防止所述閃爍光向所述放射線檢測元件的入射。
6.如權(quán)利要求5所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件是對所述閃爍光具有遮光性的平面狀構(gòu)件。
7.如權(quán)利要求5所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件是反射所述閃爍光的平面狀反射構(gòu)件。
8.如權(quán)利要求5~7中任一項所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件阻斷所述放射線當(dāng)中的低能量帶。
9.如權(quán)利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件和所述波長變換構(gòu)件依照該順序被蒸鍍在所述放射線檢測元件的檢測面上。
10.如權(quán)利要求5所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件和所述波長變換構(gòu)件依照該順序被蒸鍍在所述放射線檢測元件的檢測面上。
11.如權(quán)利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件和所述波長變換構(gòu)件依照該順序被接合在所述放射線檢測元件的檢測面上。
12.如權(quán)利要求5所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于:所述遮蔽構(gòu)件和所述波長變換構(gòu)件依照該順序被接合在所述放射線檢測元件的檢測面上。
13.如權(quán)利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件和所述波長變換構(gòu)件被保持構(gòu)件保持在所述放射線檢測元件的檢測面上。
14.如權(quán)利要求5所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件和所述波長變換構(gòu)件被保持構(gòu)件保持在所述放射線檢測元件的檢測面上。
15.如權(quán)利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件和所述波長變換構(gòu)件被固定構(gòu)件固定在所述放射線檢測元件的檢測面上。
16.如權(quán)利要求5所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述遮蔽構(gòu)件和所述波長變換構(gòu)件被固定構(gòu)件固定在所述放射線檢測元件的檢測面上。
17.如權(quán)利要求5所述`的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述攝像元件以與來自于放射線源的放射線的出射區(qū)域相離的方式配置。
18.如權(quán)利要求17所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述放射線源以放射線的光軸相對于所述放射線檢測元件的檢測面垂直且與所述檢測面相對的方式配置， 所述攝像元件以內(nèi)含的攝像透鏡的光軸相對于所述波長變換構(gòu)件的放射線入射面斜交叉的方式配置。
19.如權(quán)利要求17所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述放射線源以放射線的光軸相對于所述放射線檢測元件的檢測面傾斜的方式配置，所述攝像元件以內(nèi)含的攝像透鏡的光軸相對于所述波長變換構(gòu)件的放射線入射面垂直并與所述放射線入射面相對應(yīng)的方式配置。
20.如權(quán)利要求17所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 還具備配置在從所述放射線源出射的放射線的光軸上并反射所述閃爍光的反射板，所述攝像元件以內(nèi)含的攝像透鏡能夠?qū)Ρ凰龇瓷浒宸瓷涞乃鲩W爍光進行聚光的方式配置。
21.如權(quán)利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于: 所述對象物為電子部件。
22.如權(quán)利要求5所述的放射線圖像取得裝置，其特征在于: 所述對象物為電子部件。
【文檔編號】G01T1/20GK203630057SQ201190001000
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2011年10月21日 優(yōu)先權(quán)日:2011年1月25日
【發(fā)明者】須山敏康, 杉山元胤 申請人:浜松光子學(xué)株式會社