三維測(cè)量裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題在于提供在進(jìn)行三維測(cè)量時(shí)能夠抑制測(cè)量效率的降低并實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度的提高等的三維測(cè)量裝置。解決手段在于：基板檢查裝置（10）包括運(yùn)送印刷基板（1）的傳輸帶（13）；相對(duì)于印刷基板（1）的表面從斜上方照射預(yù)定的光的照明裝置（14）；以及對(duì)照射了該光的印刷基板（1）拍攝的相機(jī)（15）。照明裝置（14）包括第一照明（14A）～第八照明（14H）。并且，在以三維測(cè)量為目的而在第一亮度的圖案光下進(jìn)行多次的拍攝的期間，進(jìn)行以三維測(cè)量為目的的在第二亮度的圖案光下的多次的拍攝或以獲取亮度圖像數(shù)據(jù)為目的的在第一亮度以及第二亮度的各種顏色成分的均勻光下的拍攝。
【專利說(shuō)明】三維測(cè)量裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及三維測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]通常當(dāng)在印刷基板上安裝電子部件的情況下，首先在配置在印刷基板上的預(yù)定的電極圖案上印刷膏狀釬焊料。接著，基于該膏狀釬焊料的粘性，電子部件被臨時(shí)點(diǎn)焊在印刷基板上。之后，所述印刷基板被引導(dǎo)至回流爐，通過(guò)經(jīng)過(guò)預(yù)定的回流工序來(lái)進(jìn)行軟釬焊。最近，存在在引導(dǎo)至回流爐之前階段需要檢查膏狀釬焊料的印刷狀態(tài)、并在該檢查時(shí)使用三維測(cè)量裝置的情況。
[0003]近年來(lái)，提出了各種使用光的所謂非接觸式的三維測(cè)量裝置，例如提出了涉及使用了相移法的三維測(cè)量裝置的技術(shù)。
[0004]在利用了該相移法的三維測(cè)量裝置中，通過(guò)由光源和正弦波圖案的濾波器的組合構(gòu)成的照射單元對(duì)被測(cè)量物(該情況下是印刷基板)照射具有正弦波狀(條紋狀)的光強(qiáng)度分布的圖案光。然后，對(duì)基板上的點(diǎn)使用配置在正上方的拍攝單元進(jìn)行觀測(cè)。作為拍攝單元使用由鏡頭以及拍攝元件等構(gòu)成的CCD相機(jī)等。該情況下，畫面上的測(cè)量對(duì)象點(diǎn)P的光的強(qiáng)度I通過(guò)下式給出。
[0005]
I=B+A.cos9
[0006][這里，B:直流光噪聲(偏置分量)，A:正弦波的對(duì)比(反射率)，Φ:根據(jù)物體的凹凸給出的相位]。
[0007]此時(shí)，使圖案光移動(dòng)來(lái)使相位在例如四個(gè)階段(φ+ο、Φ + 3Ι/2、Φ + 3Ι、Φ+3 3Ι/2)變化，取入與這些對(duì)應(yīng)的具有強(qiáng)度分布I1、12、13、14的圖像，并基于下式求出調(diào)制量(用于導(dǎo)出高度的位置信息)Θ。
[0008]Θ =arctan{ (14-12) / (11-13) }
[0009]使用該調(diào)制量Θ求出印刷基板上的膏狀釬焊料等的測(cè)量對(duì)象點(diǎn)P的三維坐標(biāo)(X、Y、Z)，以此來(lái)測(cè)量測(cè)量對(duì)象的三維形狀、特別是高度。
[0010]近年來(lái)，為了實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度的提高等，除了獲取上述以往的三維測(cè)量用的一組圖像數(shù)據(jù)(例如四套圖像數(shù)據(jù))之外，還提出各種另外獲取在與該一組圖像數(shù)據(jù)的拍攝時(shí)的圖案光不同的照射光下拍攝的圖像數(shù)據(jù)的技術(shù)(例如參照專利文獻(xiàn)1、2)。
[0011]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0012]專利文獻(xiàn)
[0013]專利文獻(xiàn)1:日本專利文獻(xiàn)特開2003-279334號(hào)公報(bào)；
[0014]專利文獻(xiàn)2:日本專利文獻(xiàn)特開2006-300539號(hào)公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]發(fā)明所要解決的問(wèn)題[0016]但是，在上述專利文獻(xiàn)1、2等現(xiàn)有技術(shù)中，為以下構(gòu)成:針對(duì)預(yù)定的測(cè)量對(duì)象范圍(拍攝范圍)在預(yù)定的圖案光下對(duì)三維測(cè)量用的一組圖像數(shù)據(jù)全部拍攝之后，針對(duì)該測(cè)量對(duì)象范圍在與所述圖案光不同的照射光下進(jìn)行另外的拍攝。
[0017]因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，僅是進(jìn)行另外的拍攝的情況，與以往比就有可能延長(zhǎng)在獲取預(yù)定的測(cè)量對(duì)象范圍所涉及的所有的圖像數(shù)據(jù)所需要的時(shí)間。并且，在一張印刷基板上設(shè)定多個(gè)測(cè)量對(duì)象范圍的情況下，對(duì)一張印刷基板的測(cè)量所需要的時(shí)間有可能顯著增加。
[0018]此外，上述課題未必限定于在印刷基板上所印刷的膏狀釬焊料等的高度測(cè)量或基于相移法的測(cè)量，在其他的三維測(cè)量裝置的領(lǐng)域中也是普遍存在的。
[0019]本發(fā)明就是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供在進(jìn)行三維測(cè)量時(shí)能夠抑制測(cè)量效率的降低并實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度的提高等的三維測(cè)量裝置。
[0020]用于解決問(wèn)題的手段
[0021]以下，對(duì)應(yīng)用于解決上述問(wèn)題的各手段分項(xiàng)進(jìn)行說(shuō)明。此外，根據(jù)需要對(duì)對(duì)應(yīng)的手段標(biāo)注特有的作用效果。
[0022]手段1.一種三維測(cè)量裝置，其特征在于，包括:
[0023]第一照射單元，所述第一照射單元對(duì)于被連續(xù)運(yùn)送的被測(cè)量物能夠照射沿該被測(cè)量物的運(yùn)送方向具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光；
[0024]第二照射單元，所述第二照射單元對(duì)于所述被測(cè)量物能夠照射與所述圖案光不同的第二光；
[0025]拍攝單元，所述拍攝單元能夠拍攝照射了所述的各種光的所述被測(cè)量物；
[0026]第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元，所述被測(cè)量物每被運(yùn)送預(yù)定量，則所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取在從所述第一照射單元照射的所述圖案光下通過(guò)所述拍攝單元拍攝的多套圖像數(shù)據(jù)；
[0027]三維測(cè)量單元，所述三維測(cè)量單元基于至少通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行三維測(cè)量；
[0028]第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元，在拍攝了通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)中的預(yù)定的圖像數(shù)據(jù)之后，所述第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元在到拍攝下一圖像數(shù)據(jù)為止的間隔獲取在從所述第二照射單元照射的所述第二光下通過(guò)所述拍攝單元拍攝的圖像數(shù)據(jù)；以及
[0029]特定處理執(zhí)行單元，所述特定處理執(zhí)行單元基于通過(guò)所述第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行預(yù)定的處理。
[0030]根據(jù)上述手段1，對(duì)被連續(xù)運(yùn)送的被測(cè)量物照射具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光，該圖案光所照射的被測(cè)量物每被運(yùn)送預(yù)定量(例如與圖案光的相位η /2大小相當(dāng)?shù)木嚯x)就通過(guò)拍攝單元拍攝。由此，被照射的圖案光的相位每預(yù)定量(例如每η/2)被獲取不同的多套圖像數(shù)據(jù)。并且，以這些圖像數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)進(jìn)行被測(cè)量物的三維測(cè)量。
[0031]并且，在該手段中，在進(jìn)行以上述三維測(cè)量為目的的多次的拍攝期間，在從第二照射單元照射第二光下進(jìn)行被測(cè)量物的拍攝。即，不會(huì)延長(zhǎng)在進(jìn)行上述三維測(cè)量的基礎(chǔ)上獲取需要的所有圖像數(shù)據(jù)所需要的時(shí)間，除了該三維測(cè)量用的圖像數(shù)據(jù)的獲取之外，能夠另外獲取使用在與該三次元測(cè)量不同的其它用途上的圖像數(shù)據(jù)(用于通過(guò)特定處理執(zhí)行單元執(zhí)行預(yù)定的處理的圖像數(shù)據(jù))。[0032]作為結(jié)果，能夠組合多種種類的測(cè)量來(lái)進(jìn)行，在進(jìn)行三維測(cè)量時(shí)，能夠抑制測(cè)量效率的降低，并實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度的提高等。
[0033]手段2.—種三維測(cè)量裝置，其特征在于，包括:
[0034]第一照射單元，對(duì)于被連續(xù)運(yùn)送的被測(cè)量物能夠照射沿該被測(cè)量物的運(yùn)送方向具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光；
[0035]第二照射單元，所述第二照射單元對(duì)于所述被測(cè)量物能夠照射與所述圖案光不同的第二光；
[0036]拍攝單元，所述拍攝單元能夠拍攝照射了所述的各種光的所述被測(cè)量物；
[0037]第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元，所述被測(cè)量物每被運(yùn)送預(yù)定量，則所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取在從所述第一照射單元照射的所述圖案光下通過(guò)所述拍攝單元拍攝的多套圖像數(shù)據(jù)；
[0038]三維測(cè)量單元，所述三維測(cè)量單元基于至少通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)通過(guò)相移法進(jìn)行三維測(cè)量；
[0039]第二數(shù)據(jù)獲取單元，在拍攝了通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)中的預(yù)定的圖像數(shù)據(jù)之后，所述第二數(shù)據(jù)獲取單元在到拍攝下一圖像數(shù)據(jù)為止的期間獲取在從所述第二照射單元照射的所述第二光下通過(guò)所述拍攝單元拍攝的圖像數(shù)據(jù)；以及
[0040]特定處理執(zhí)行單元，所述特定處理執(zhí)行單元基于通過(guò)所述第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行預(yù)定的處理。
[0041]根據(jù)上述手段1，對(duì)被連續(xù)運(yùn)送的被測(cè)量物照射具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光，該圖案光所照射的被測(cè)量物每被運(yùn)送預(yù)定量(例如與圖案光的相位η /2大小相當(dāng)?shù)木嚯x)就通過(guò)拍攝單元拍攝。由此，被照射的圖案光的相位每預(yù)定量(例如每η/2)被獲取不同的多套圖像數(shù)據(jù)。并且，以這些圖像數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)通過(guò)相移法進(jìn)行被測(cè)量物的三維測(cè)量。
[0042]并且，在該手段中，在進(jìn)行以上述三維測(cè)量為目的的多次的拍攝期間，在從第二照射單元照射第二光下進(jìn)行被測(cè)量物的拍攝。即，不會(huì)延長(zhǎng)在進(jìn)行基于上述相移法的三維測(cè)量的基礎(chǔ)上獲取需要的所有圖像數(shù)據(jù)所需要的時(shí)間，除了該三維測(cè)量用的圖像數(shù)據(jù)的獲取之外，能夠另外獲取使用在與該三次元測(cè)量不同的其它用途上的圖像數(shù)據(jù)(用于通過(guò)特定處理執(zhí)行單元執(zhí)行預(yù)定的處理的圖像數(shù)據(jù))。
[0043]作為結(jié)果，能夠組合多種種類的測(cè)量來(lái)進(jìn)行，在進(jìn)行利用了相移法的三維測(cè)量時(shí)，能夠抑制測(cè)量效率的降低，并實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度的提高等。
[0044]手段3.如手段I或2所述的三維測(cè)量裝置，其特征在于，所述第二照射單元被構(gòu)成為在到通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)全部被拍攝為止的期間，能夠切換照射多種種類的光作為所述第二光。
[0045]根據(jù)上述手段3，能夠另外獲取使用在多種種類的用途上的圖像數(shù)據(jù)，能夠進(jìn)一步提高上述手段I等的作用效果。這里，多種種類的光當(dāng)然也包含后述的均勻光和圖案光等照射形態(tài)不同的不同種類的光，例如亮度不同的兩種均勻光等、亮度不同的同種光。
[0046]此外，通過(guò)照射亮度不同的多種種類的光能夠抑制基于被測(cè)量物上的各部位的亮暗的不同而發(fā)生各種不良情況。
[0047]例如，作為被測(cè)量物的印刷基板上的膏狀釬焊料的印刷部分的周圍(以下稱為背景區(qū)域)的顏色是各種各樣的。這是因?yàn)閷?duì)玻璃環(huán)氧樹脂和抗蝕劑膜使用各種各樣的顏色。并且，在例如黑色等比較暗的顏色的背景區(qū)域下，基于由拍攝單元進(jìn)行的拍攝的圖像數(shù)據(jù)的對(duì)比變小。即，圖像數(shù)據(jù)上，上述圖案光的亮暗的差(亮度差)變小。因此，有可能難以測(cè)量背景區(qū)域的高度。如果是原來(lái)，為了以更高精度測(cè)量印刷在基板上的膏狀釬焊料的高度，優(yōu)選在該基板內(nèi)采用高度基準(zhǔn)。但是，由于無(wú)法恰當(dāng)?shù)乩帽尘皡^(qū)域作為高度基準(zhǔn)面，因此有可能產(chǎn)生無(wú)法在該基板內(nèi)采用高度基準(zhǔn)的不良情況。
[0048]因此，代替例如照射光的亮度，分別進(jìn)行基于適合錫焊印刷區(qū)域(亮部)的亮度的拍攝和基于適合背景區(qū)域(暗部)的亮度的拍攝，適當(dāng)?shù)販y(cè)量高度基準(zhǔn)，由此能夠抑制上述不良情況的發(fā)生。
[0049]手段4.如手段I至3中任一項(xiàng)所述的三維測(cè)量裝置，其特征在于，所述第二照射單元被構(gòu)成為能夠照射光強(qiáng)度一定的均勻光作為所述第二光。
[0050]根據(jù)上述手段4，能夠獲取亮度圖像數(shù)據(jù)。進(jìn)而能夠以該亮度圖像數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)對(duì)例如通過(guò)上述三維測(cè)量而得到的三維數(shù)據(jù)進(jìn)行映射、測(cè)量區(qū)域的提取等，因此能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步提聞測(cè)量精度等。
[0051]手段5.如手段I至4中任一項(xiàng)所述的三維測(cè)量裝置，其特征在于，所述第二照射單元被構(gòu)成為能夠照射沿著所述被測(cè)量物的運(yùn)送方向具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光作為所述第二光。
[0052]根據(jù)上述手段5，能夠照射與上述第一照射單元的圖案光不同的圖案光(例如亮度不同的圖案光)。作為結(jié)果，能夠重新進(jìn)行與上述三維測(cè)量不同的三維測(cè)量，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度等的提聞。
[0053]手段6.如手段I至5中任一項(xiàng)所述的三維測(cè)量裝置，其特征在于，包括對(duì)位單元，所述對(duì)位單元使在所述印刷基板的運(yùn)送方向上的不同位置分別拍攝的所述圖像數(shù)據(jù)相互間的坐標(biāo)系一致。
[0054]根據(jù)上述單元6，由于能夠不使印刷基板的運(yùn)送停止而獲取各種圖像數(shù)據(jù)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)量效率的提高等。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0055]圖1是示意性地示出一實(shí)施方式中的基板檢查裝置的簡(jiǎn)略立體圖；
[0056]圖2是印刷基板的截面圖；
[0057]圖3是示出基板檢查裝置的概略的框圖；
[0058]圖4是用于說(shuō)明隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而發(fā)生變化的相機(jī)的拍攝范圍與印刷基板的坐標(biāo)位置之間的關(guān)系的示意圖；
[0059]圖5是用于說(shuō)明隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而發(fā)生變化的照射光的種類、以及印刷基板的各坐標(biāo)位置中的照射光的形態(tài)的對(duì)應(yīng)表；
[0060]圖6是示意性地示出將多個(gè)圖像數(shù)據(jù)的坐標(biāo)位置對(duì)位的狀態(tài)的表；
[0061]圖7示意性地示出將印刷基板的各坐標(biāo)位置涉及的各種數(shù)據(jù)按照各種種類進(jìn)行整理、排列了的狀態(tài)的表。
【具體實(shí)施方式】
[0062]以下，參考附圖對(duì)一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。首先對(duì)作為被測(cè)量物的印刷基板的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。
[0063]如圖2所示，印刷基板I構(gòu)成平板狀，并在由玻璃環(huán)氧樹脂等構(gòu)成的基底基板2上設(shè)置銅箔構(gòu)成的電極圖案3。并且，在預(yù)定的電極圖案3上印刷形成膏狀釬焊料4。將印刷有該膏狀釬焊料4的區(qū)域稱為“錫焊印刷區(qū)域”。將錫焊印刷區(qū)域以外的部分總稱為“背景區(qū)域”，該背景區(qū)域包含:電極圖案3露出的區(qū)域(符號(hào)A)、基底基板2露出的區(qū)域(符號(hào)B)、在基底基板2上涂覆了抗蝕劑膜5的區(qū)域(符號(hào)C)、以及在電極圖案3上涂覆了抗蝕劑膜5的區(qū)域(符號(hào)D)。此外，抗蝕劑膜5被涂覆在印刷基板I的表面上，以避免在預(yù)定布線部分以外附上膏狀釬焊料4。
[0064]接著，對(duì)具有本實(shí)施方式中的三維測(cè)量裝置的基板檢查裝置的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。圖1是示意性地示出基板檢查裝置10的簡(jiǎn)略構(gòu)成圖。
[0065]基板檢查裝置10具有:作為運(yùn)送印刷基板I的運(yùn)送單元的傳輸帶13 ;相對(duì)于印刷基板I的表面從斜上方照射預(yù)定的光的照明裝置14 ;作為拍攝該光所照射的印刷基板I的拍攝單元的相機(jī)15 ;以及用于實(shí)施基板檢查裝置10內(nèi)的各種控制、圖像處理、運(yùn)算處理的控制裝置16 (參照?qǐng)D3)。
[0066]傳輸帶13設(shè)置有未圖示的馬達(dá)，該馬達(dá)被控制裝置16進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，由此載置在傳輸帶13上的印刷基板I向預(yù)定方向(圖1右方方向)以等速被連續(xù)運(yùn)送。由此，相機(jī)15的拍攝范圍W相對(duì)于印刷基板I向相反方向(圖1左方方向)進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。
[0067]照明裝置14具有八個(gè)照明。具體地，具有第一照明14A?第八照明14H。
[0068]第一照明14A以及第二照明14B具有公知的液晶光學(xué)開閉器，并被構(gòu)成為能夠?qū)τ∷⒒錓照射沿著其運(yùn)送方向具有條紋狀(正弦波狀)的光強(qiáng)度分布的圖案光。即，被照射條紋的方向與印刷基板I的運(yùn)送方向正交的圖案光。
[0069]從第一照明14A照射的圖案光和從第二照明14B照射的圖案其亮度不同。詳細(xì)而言，第一照明14A的圖案光的亮度被設(shè)定為與成為“暗部”的上述“背景區(qū)域”對(duì)應(yīng)的比較明亮的第一亮度。另一方面，第二照明14B的圖案光的亮度被設(shè)定為與成為“亮部”的上述“錫焊印刷區(qū)域”對(duì)應(yīng)的、比所述第一亮度暗的第二亮度。
[0070]第三照明4C以及第四照明4D被構(gòu)成為在整個(gè)范圍中能夠照射光強(qiáng)度一定的紅色均勻光。與上述同樣，為以下構(gòu)成:從第三照明4C照射上述第一亮度的紅色均勻光，從第四照明4D照射上述第二亮度的紅色均勻光。
[0071]第五照明4E以及第六照明4F被構(gòu)成為在整個(gè)范圍中能夠照射光強(qiáng)度一定的綠色均勻光。與上述同樣，為以下構(gòu)成:從第五照明4E照射上述第一亮度的綠色均勻光，從第六照明4F照射上述第二亮度的綠色均勻光。
[0072]第七照明4G以及第八照明4H被構(gòu)成為在整個(gè)范圍中能夠照射光強(qiáng)度一定的藍(lán)色均勻光。與上述同樣，為以下構(gòu)成:從第七照明4G照射上述第一亮度的藍(lán)色均勻光，從第八照明4H照射上述第二亮度的藍(lán)色均勻光。
[0073]此外，上述第一照明14A?第八照明14H中的第一照明14A或者第二照明14B的一者相當(dāng)于本實(shí)施方式中的第一照射單元，第一照明14A或者第二照明14B的另一者以及第三照明14C?第八照明14H相當(dāng)于第二照射單元。因此，第一照明14A或者第二照明14B的另一者照射的圖案光、以及第三照明14C?第八照明14H照射的均勻光相當(dāng)于本實(shí)施方式中的第二光。[0074]相機(jī)15采用作為拍攝元件使用了 CCD傳感器的單色CCD相機(jī)。當(dāng)然，相機(jī)15并不限定于此。例如，可以采用作為拍攝元件使用了 CMOS傳感器的相機(jī)等。
[0075]由相機(jī)15所拍攝的圖像數(shù)據(jù)在該相機(jī)15內(nèi)部中被轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，在此基礎(chǔ)上以數(shù)字信號(hào)的形態(tài)被輸入到控制裝置16。然后，控制裝置16以該圖像數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)實(shí)施如后述那樣的圖像處理、三維測(cè)量處理、檢查處理等。
[0076]接著，參照?qǐng)D3對(duì)控制裝置16的電氣構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。圖3是示出基板檢查裝置10的概略的框圖。
[0077]如圖3所示，控制裝置16包括:管理基板檢查裝置10整體的控制的CPU以及輸入輸出接口 21 ;包括鍵盤和鼠標(biāo)、或者觸摸面板的作為輸入單元的輸入裝置22 ;CRT或液晶等作為具有顯示畫面的顯示單元的顯示裝置23 ;用于存儲(chǔ)通過(guò)相機(jī)15所拍攝的圖像數(shù)據(jù)的圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置24 ;用于存儲(chǔ)基于該圖像數(shù)據(jù)所得到的三維測(cè)量結(jié)果等各種運(yùn)算結(jié)果的運(yùn)算結(jié)果存儲(chǔ)裝置25等。此外，這些各裝置22~25相對(duì)于CPU以及輸入輸出接口 21進(jìn)行電連接。
[0078]接著，對(duì)由基板檢查裝置10執(zhí)行的三維測(cè)量處理等各種處理進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。
[0079]控制裝置16對(duì)傳輸帶13進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制并以等速連續(xù)運(yùn)送印刷基板I。并且，控制裝置16基于來(lái)自設(shè)置在傳輸帶13上的未圖示的編碼器的信號(hào)對(duì)照明裝置14以及相機(jī)15進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。
[0080]更詳細(xì)地，印刷基板I每被運(yùn)送預(yù)定量ΛΧ、即每經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)間At，就以預(yù)定的順序切換從照明裝置14照射的光，并通過(guò)相機(jī)15對(duì)該光所照射的印刷基板I進(jìn)行拍攝。在本實(shí)施方式中，所述預(yù)定量ΛΧ被設(shè)定為與從第一照明14Α以及第二照明14Β照射的圖案光的相位π/8大小(22.5°大小)相當(dāng)?shù)木嚯x。另外，相機(jī)15的拍攝范圍W被設(shè)定為與所述圖案光的相位2 π大小(360°大小)相當(dāng)?shù)拈L(zhǎng)度。
`[0081]這里，對(duì)從照明裝置14照射的光和相機(jī)15的拍攝范圍W的關(guān)系列舉具體例來(lái)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖4是用于說(shuō)明隨時(shí)間經(jīng)過(guò)進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的相機(jī)15的拍攝范圍W與印刷基板I的坐標(biāo)位置的關(guān)系的示意圖。圖5是用于說(shuō)明隨時(shí)間經(jīng)過(guò)發(fā)生變化的照射光的種類、以及印刷基板I的各坐標(biāo)位置中的照射光的形態(tài)(圖案光的相位等)的對(duì)應(yīng)表。
[0082]如圖4、5所示，在預(yù)定的拍攝定時(shí)tl對(duì)印刷基板I從第一照明4A照射第一亮度的圖案光。此時(shí)，與印刷基板I中的、其運(yùn)送方向(X方向)中的坐標(biāo)Pl~P17相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)。即，在拍攝定時(shí)tl中，獲取照射了第一亮度的圖案光的印刷基板I表面的坐標(biāo)Pl~P17的范圍的圖像數(shù)據(jù)。此外，對(duì)于與運(yùn)送方向正交的方向(Y方向)，印刷基板I的Y方向整個(gè)范圍包含在相機(jī)15的拍攝范圍內(nèi)，對(duì)于X方向的同一坐標(biāo)位置上的Y方向的各坐標(biāo)位置在照射光的種類以及形態(tài)上沒(méi)有不同(以下同樣)。
[0083]如圖5所示，在拍攝定時(shí)tl，如照射在印刷基板I的圖案光的相位以坐標(biāo)P17為“O?！?、以坐標(biāo)P16為“22.5° ”、以坐標(biāo)P15為“45° ”、。……、以坐標(biāo)Pl為“360?！蹦菢?，獲取圖案光的相位按照各坐標(biāo)Pl~P17各錯(cuò)開了 “22.5° ”的圖像數(shù)據(jù)。
[0084]在與拍攝定時(shí)tl相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間Δ t的拍攝定時(shí)t2,對(duì)印刷基板I從第三照明4C照射第一亮度的紅色均勻光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P2~P18相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。此外，在圖5中的各坐標(biāo)位置中有“R”的是指向該位置照射的光是“第一亮度的紅色均勻光”。[0085]在與拍攝定時(shí)t2相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間Λ t的拍攝定時(shí)t3，對(duì)印刷基板I從第二照明4B照射第二亮度的圖案光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P3?P19相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。
[0086]在與拍攝定時(shí)t3相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)t4,對(duì)印刷基板I從第四照明4D照射第二亮度的紅色均勻光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P4?P20相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。此外，在圖5中的各坐標(biāo)位置中有“r”的是指向該位置照射的光是“第二亮度的紅色均勻光”。
[0087]在與拍攝定時(shí)t4相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)t5,對(duì)印刷基板I從第一照明4A照射第一亮度的圖案光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P5?P21相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。
[0088]在與拍攝定時(shí)t5相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)t6,對(duì)印刷基板I從第五照明4E照射第一亮度的綠色均勻光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P6?P22相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。此外，在圖5中的各坐標(biāo)位置中有“G”的是指向該位置照射的光是“第一亮度的綠色均勻光”。
[0089]在與拍攝定時(shí)t6相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)t7，對(duì)印刷基板I從第二照明4B照射第二亮度的圖案光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P7?P23相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。
[0090]在與拍攝定時(shí)t7相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)t8，對(duì)印刷基板I從第六照明4F照射第二亮度的綠色均勻光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P8?P24相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。此外，在圖5中的各坐標(biāo)位置中有“g”的是指向該位置照射的光是“第二亮度的綠色均勻光”。
[0091]在與拍攝定時(shí)t8相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間Δ t的拍攝定時(shí)t9,對(duì)印刷基板I從第一照明4A照射第一亮度的圖案光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P9?P25相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。
[0092]在與拍攝定時(shí)t9相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)tlO，對(duì)印刷基板I從第七照明4G照射第一亮度的藍(lán)色均勻光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)PlO?P26相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。此外，在圖5中的各坐標(biāo)位置中有“B”的是指向該位置照射的光是“第一亮度的藍(lán)色均勻光”。
[0093]在與拍攝定時(shí)tlO相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)til，對(duì)印刷基板I從第二照明4B照射第二亮度的圖案光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)Pll?P27相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。
[0094]在與拍攝定時(shí)til相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)tl2，對(duì)印刷基板I從第八照明4H照射第二亮度的藍(lán)色均勻光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P12?P28相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。此外，在圖5中的各坐標(biāo)位置中有“b”的是指向該位置照射的光是“第二亮度的藍(lán)色均勻光”。
[0095]在與拍攝定時(shí)tl2相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)tl3，對(duì)印刷基板I從第一照明4A照射第一亮度的圖案光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P13?P29相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。
[0096]在與拍攝定時(shí)tl3相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)tl4，不進(jìn)行來(lái)自照明裝置14的照射以及由相機(jī)15進(jìn)行的拍攝。
[0097]在與拍攝定時(shí)tl4相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)tl5，對(duì)印刷基板I從第二照明4B照射第二亮度的圖案光。此時(shí)，與印刷基板I的坐標(biāo)P15?P31相當(dāng)?shù)姆秶挥谙鄼C(jī)15的拍攝范圍W內(nèi)，并獲取該范圍的圖像數(shù)據(jù)。
[0098]在與拍攝定時(shí)tl5相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的拍攝定時(shí)tl6，不進(jìn)行來(lái)自照明裝置14的照射以及由相機(jī)15進(jìn)行的拍攝。
[0099]在與拍攝定時(shí)tl6相比經(jīng)過(guò)了預(yù)定時(shí)間At的定時(shí)，再次進(jìn)行與上述拍攝定時(shí)tl中的處理同樣的處理。之后,重復(fù)進(jìn)行與上述拍攝定時(shí)tl?tl6的處理同樣的處理。
[0100]如此，當(dāng)獲取印刷基板I整體的數(shù)據(jù)時(shí)，執(zhí)行將上述各圖像數(shù)據(jù)的坐標(biāo)位置對(duì)位的對(duì)位處理(參照?qǐng)D6)。執(zhí)行該處理的功能構(gòu)成本實(shí)施方式中的對(duì)位單元。圖6是示意性的示出將在拍攝定時(shí)tl?tl6獲取的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)的坐標(biāo)位置對(duì)位了的狀態(tài)的表。
[0101]接著，在按照各坐標(biāo)位置匯集多個(gè)圖像數(shù)據(jù)的同一坐標(biāo)位置所涉及的各種數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上，按照每個(gè)預(yù)先設(shè)定了的群進(jìn)行整理，并存儲(chǔ)到運(yùn)算結(jié)果存儲(chǔ)裝置25(參照?qǐng)D7)。圖7是示意性地示出按照預(yù)先設(shè)定了的群對(duì)印刷基板I的各坐標(biāo)位置所涉及的各種數(shù)據(jù)進(jìn)行整理排列后的狀態(tài)的表。不過(guò)，在圖7中，例示的僅是坐標(biāo)P17所涉及的部分。
[0102]在本實(shí)施方式中，對(duì)印刷基板I的各坐標(biāo)位置劃分以下數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行存儲(chǔ):由在第一亮度的圖案光下拍攝且該圖案光的相位每90°錯(cuò)開的四組數(shù)據(jù)構(gòu)成的第一群數(shù)據(jù)；由在第二亮度的圖案光下拍攝且該圖案光的相位每90°錯(cuò)開的四套數(shù)據(jù)構(gòu)成的第二群數(shù)據(jù)；由在第一亮度的紅、綠、藍(lán)各種顏色成分的均勻光下拍攝的、三種顏色的顏色成分的亮度數(shù)據(jù)構(gòu)成的第三群數(shù)據(jù)；以及由在第二亮度的紅、綠、藍(lán)各種顏色成分的均勻光下拍攝的、三種顏色的顏色成分的亮度數(shù)據(jù)構(gòu)成的第四群數(shù)據(jù)。
[0103]獲取第一群數(shù)據(jù)或者第二群數(shù)據(jù)的一者的處理功能構(gòu)成本實(shí)施方式中的第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元，獲取第一群數(shù)據(jù)或者第二群數(shù)據(jù)中的另一者、以及第三群數(shù)據(jù)和第四群數(shù)據(jù)的處理功能構(gòu)成第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元。
[0104]接著，控制裝置16基于上述各群數(shù)據(jù)執(zhí)行與該群對(duì)應(yīng)的各種處理。
[0105]更詳細(xì)地，基于第一群數(shù)據(jù)通過(guò)在【背景技術(shù)】中也示出的公知的相移法進(jìn)行按照各坐標(biāo)的高度測(cè)量。然后，按照各坐標(biāo)重復(fù)該處理，由此計(jì)算出印刷基板I整體的高度數(shù)據(jù)，并作為該印刷基板I的三維數(shù)據(jù)(以下稱為第一三維數(shù)據(jù))存儲(chǔ)在運(yùn)算結(jié)果存儲(chǔ)裝置25中。
[0106]同樣，基于第二群數(shù)據(jù)通過(guò)公知的相移法進(jìn)行按照各坐標(biāo)的高度測(cè)量。然后，按照各坐標(biāo)重復(fù)該處理，由此計(jì)算印刷基板I整體的高度數(shù)據(jù)，并作為該印刷基板I的三維數(shù)據(jù)(以下稱為第二三維數(shù)據(jù))存儲(chǔ)在運(yùn)算結(jié)果存儲(chǔ)裝置25中。
[0107]另外，基于第三群數(shù)據(jù)生成具有紅、綠、藍(lán)的各種顏色成分的印刷基板I整體的色彩圖像數(shù)據(jù)(以下稱為第一色彩圖像數(shù)據(jù))，并存儲(chǔ)在運(yùn)算結(jié)果存儲(chǔ)裝置25中。
[0108]同樣，基于第四群數(shù)據(jù)生成具有紅、綠、藍(lán)的各種顏色成分的印刷基板I整體的色彩圖像數(shù)據(jù)(以下稱為第二色彩圖像數(shù)據(jù))，并存儲(chǔ)在運(yùn)算結(jié)果存儲(chǔ)裝置25中。
[0109]獲取第一三維數(shù)據(jù)或者第二三維數(shù)據(jù)中的一者的處理功能構(gòu)成本實(shí)施方式中的三維測(cè)量單元，獲取第一三維數(shù)據(jù)或者第二三維數(shù)據(jù)中的另一者、以及第一色彩圖像數(shù)據(jù)和第二色彩圖像數(shù)據(jù)的處理功能構(gòu)成特定處理執(zhí)行單元。
[0110]接著，判別上述各色彩圖像數(shù)據(jù)的各像素的顏色信息進(jìn)行各種測(cè)量對(duì)象區(qū)域的提抽。例如，從第二色彩圖像數(shù)據(jù)提取“白色”的像素的范圍作為錫焊印刷區(qū)域，從第一色彩圖像數(shù)據(jù)提取“紅色”的像素的范圍作為電極圖案3露出的電極區(qū)域(背景區(qū)域)，提取“綠色”的像素的范圍作為基底基板2或者抗蝕劑膜5露出的基板區(qū)域(背景區(qū)域)。
[0111]接著，基于如上述那樣得到的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行膏狀釬焊料4的印刷狀態(tài)的是否良好的判定。具體地，檢測(cè)與高度基準(zhǔn)面相比是預(yù)定長(zhǎng)度以上的變高的膏狀釬焊料4的印刷范圍，并計(jì)算出該范圍內(nèi)的部位的體積。并且，將該體積與預(yù)先設(shè)定了的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較判定，根據(jù)該比較結(jié)果是否處于允許范圍內(nèi)來(lái)判定該膏狀釬焊料4的印刷狀態(tài)的是否良好。
[0112]在進(jìn)行上述判定處理時(shí)，在本實(shí)施方式中，與從第二色彩圖像數(shù)據(jù)提取的錫焊印刷區(qū)域相關(guān)采用第一三維數(shù)據(jù)的值，與為高度基準(zhǔn)面的背景區(qū)域相關(guān)采用第二三維數(shù)據(jù)的值。
[0113]如以上詳細(xì)敘述的那樣，在本實(shí)施方式中，在以基于相移法的三維測(cè)量為目的而在第一亮度的圖案光下進(jìn)行多次拍攝的間隔中，進(jìn)行以基于相移法的三維測(cè)量為目的的在第二亮度的圖案光下的多次拍攝、和以獲取亮度圖像數(shù)據(jù)為目的的在第一亮度以及第二亮度的各種顏色成分的均勻光下的拍攝。
[0114]S卩，不會(huì)延長(zhǎng)在進(jìn)行基于上述相移法的三維測(cè)量基礎(chǔ)上獲取需要的所有的圖像數(shù)據(jù)所需要的時(shí)間，除了該三維測(cè)量用的圖像數(shù)據(jù)的獲取之外，還能另外獲取使用在與該三維測(cè)量不同的其它用途上的圖像數(shù)據(jù)。
[0115]作為結(jié)果能夠組合多個(gè)種類的測(cè)量來(lái)進(jìn)行，在進(jìn)行利用了相移法的三維測(cè)量時(shí)，能夠抑制測(cè)量效率的降低并實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度的提高等。
[0116]另外，代替照射光的亮度而分別進(jìn)行基于適合錫焊印刷區(qū)域(亮部)的亮度的拍攝和基于適合背景區(qū)域(暗部)的亮度的拍攝，由此能夠抑制基于印刷基板I上的各部位的亮暗的不同的各種不良情況的發(fā)生。
[0117]此外，不限定于上述實(shí)施方式的記載內(nèi)容，可以例如如以下那樣實(shí)施。毋庸置疑，在以下沒(méi)有例示的其它的應(yīng)用例、變形例也是當(dāng)然可以的。
[0118](a)在上述實(shí)施方式中，具體化為對(duì)將膏狀釬焊料4設(shè)為“白色”、將電極圖案3設(shè)為“紅色”、將基底基板2以及抗蝕劑膜5設(shè)為“綠色”的印刷基板I進(jìn)行測(cè)量的情況，但是并不限于，例如可以具體化為對(duì)基底基板2是黑色或者相對(duì)接近黑色的灰色、或者白色或者相對(duì)接近白色的灰色的印刷基板等不同構(gòu)成的印刷基板進(jìn)行測(cè)量的情況。
[0119](b)在上述實(shí)施方式中，將三維測(cè)量裝置具體化為對(duì)印刷形成在印刷基板I上的膏狀釬焊料4的高度進(jìn)行測(cè)量的基板檢查裝置10，但是并不限于此，例如可以具體化為對(duì)印刷在基板上的錫焊隆起塊、已安裝在基板上的電子部件等其他的部件的高度進(jìn)行測(cè)量的構(gòu)成。
[0120](C)在上述實(shí)施方式的相移法中，為使圖案光的相位每四分之一間隔發(fā)生變化的構(gòu)成，但并不限于此，可以為使圖案光的相位每三分之一間隔發(fā)生變化的構(gòu)成。
[0121](d)在上述實(shí)施方式中，為由在紅、綠、藍(lán)的各種顏色成分的均勻光下拍攝的三種顏色的顏色成分的亮度數(shù)據(jù)生成色彩圖像數(shù)據(jù)的構(gòu)成，但并不限于此，例如可以為照射白色均勻光而獲取色彩圖像數(shù)據(jù)的構(gòu)成。
[0122](e)在上述實(shí)施方式中，為了進(jìn)行各種測(cè)量對(duì)象區(qū)域的提取處理而利用色彩圖像數(shù)據(jù)，但替代此或者除此之外，也可以使用在其他的用途上。例如可以設(shè)為對(duì)通過(guò)三維測(cè)量得到的三維數(shù)據(jù)映射色彩圖像數(shù)據(jù)的構(gòu)成。如果設(shè)為該構(gòu)成，則能夠描述被測(cè)量物的濃淡，提高三維圖像的質(zhì)感。其結(jié)果是，容易瞬間把握被測(cè)量物的形狀，能夠顯著地減少確認(rèn)操作所需要的時(shí)間。
[0123](f)照明裝置14的構(gòu)成并不限定于上述實(shí)施方式。例如，可以設(shè)為將第一照明14A以及第二照明14B設(shè)成一個(gè)而每次改變亮度的構(gòu)成。
[0124](g)在上述實(shí)施方式中，為以下構(gòu)成:在以基于相移法的三維測(cè)量為目的而在第一亮度的圖案光下進(jìn)行多次的拍攝的間隔中，進(jìn)行以基于相移法的三維測(cè)量為目的的在第二亮度的圖案光下的多次的拍攝和以獲取亮度圖像數(shù)據(jù)為目的的在第一亮度以及第二亮度的各種顏色成分的均勻光下的拍攝。并不限于此，例如可以為以下構(gòu)成:在以基于相移法的三維測(cè)量為目的而在第一亮度的圖案光下進(jìn)行多次的拍攝的間隔在白色均勻光下進(jìn)行僅一次拍攝的構(gòu)成。
[0125](h)在上述實(shí)施方式中，作為使用了圖案光的三維測(cè)量方法而采用了相移法，但除此之外也能夠采用空間編碼法、或云紋法、聚焦法等各種三維測(cè)量方法。
[0126]符號(hào)說(shuō)明
[0127]1…印刷基板，4…膏狀釬焊料,10…基板檢查裝置，13…傳輸帶，14…照明裝置，14A~14H...照明，15...相機(jī)，16...控制裝置，24…圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置，25…運(yùn)算結(jié)果存儲(chǔ)裝置，Pl~P31...坐標(biāo)，W...拍攝范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種三維測(cè)量裝置，其特征在于，包括: 第一照射單元，所述第一照射單元對(duì)于被連續(xù)運(yùn)送的被測(cè)量物能夠照射沿該被測(cè)量物的運(yùn)送方向具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光； 第二照射單元，所述第二照射單元對(duì)于所述被測(cè)量物能夠照射與所述圖案光不同的第二光； 拍攝單元，所述拍攝單元能夠拍攝照射了所述的各種光的所述被測(cè)量物； 第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元，所述被測(cè)量物每被運(yùn)送預(yù)定量，則所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取在從所述第一照射單元照射的所述圖案光下通過(guò)所述拍攝單元拍攝的多套圖像數(shù)據(jù)； 三維測(cè)量單元，所述三維測(cè)量單元基于至少通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行三維測(cè)量； 第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元，在拍攝了通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)中的預(yù)定的圖像數(shù)據(jù)之后，所述第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元在到拍攝下一圖像數(shù)據(jù)為止的間隔獲取在從所述第二照射單元照射的所述第二光下通過(guò)所述拍攝單元拍攝的圖像數(shù)據(jù)；以及 特定處理執(zhí)行單元，所述特定處理執(zhí)行單元基于通過(guò)所述第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行預(yù)定的處理。
2.—種三維測(cè)量裝置，其特征在于，包括: 第一照射單元，對(duì)于被連續(xù)運(yùn)送的被測(cè)量物能夠照射沿該被測(cè)量物的運(yùn)送方向具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光； 第二照射單元，所述第二照射單元對(duì)于所述被測(cè)量物能夠照射與所述圖案光不同的第二光； 拍攝單元，所述拍攝單元能夠拍攝照射了所述的各種光的所述被測(cè)量物； 第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元，所述被測(cè)量物每被運(yùn)送預(yù)定量，則所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取在從所述第一照射單元照射的所述圖案光下通過(guò)所述拍攝單元拍攝的多套圖像數(shù)據(jù)； 三維測(cè)量單元，所述三維測(cè)量單元基于至少通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)通過(guò)相移法進(jìn)行三維測(cè)量； 第二數(shù)據(jù)獲取單元，在拍攝了通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)中的預(yù)定的圖像數(shù)據(jù)之后，所述第二數(shù)據(jù)獲取單元在到拍攝下一圖像數(shù)據(jù)為止的期間獲取在從所述第二照射單元照射的所述第二光下通過(guò)所述拍攝單元拍攝的圖像數(shù)據(jù)；以及 特定處理執(zhí)行單元，所述特定處理執(zhí)行單元基于通過(guò)所述第二圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行預(yù)定的處理。
3.如權(quán)利要求1或2所述的三維測(cè)量裝置，其特征在于， 所述第二照射單元被構(gòu)成為，在到通過(guò)所述第一圖像數(shù)據(jù)獲取單元獲取的多套圖像數(shù)據(jù)全部被拍攝為止的期間能夠切換照射多種種類的光作為所述第二光。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的三維測(cè)量裝置，其特征在于， 所述第二照射單元被構(gòu)成為能夠照射光強(qiáng)度一定的均勻光作為所述第二光。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的三維測(cè)量裝置，其特征在于，所述第二照射單元被構(gòu)成為能夠照射沿著所述被測(cè)量物的運(yùn)送方向具有條紋狀的光強(qiáng)度分布的圖案光作為所述第二光。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的三維測(cè)量裝置，其特征在于， 包括對(duì)位單元，所述對(duì)位單元使在所述印刷基板的運(yùn)送方向上的不同位置分別拍攝的所述圖像數(shù)據(jù)相互間的坐標(biāo)系一致。
【文檔編號(hào)】G01B11/25GK103562673SQ201180071306
【公開日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2011年7月25日 優(yōu)先權(quán)日:2011年5月31日
【發(fā)明者】間宮高弘 申請(qǐng)人:Ckd株式會(huì)社