專利名稱：微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體上涉及慣性傳感器裝置，尤其涉及微機(jī)械慣性傳感器裝置。
背景技術(shù)：
六軸動作感應(yīng)的應(yīng)用需要用于三軸加速度測量的X軸、y軸及z軸加速計(jì)，以及用于三軸角速率測量的陀螺儀。文獻(xiàn)中已經(jīng)記載了多個(gè)單軸或多軸的微機(jī)械加速計(jì)結(jié)構(gòu)和陀螺儀結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)單軸或多軸的微機(jī)械加速計(jì)結(jié)構(gòu)和陀螺儀結(jié)構(gòu)能夠集成在系統(tǒng)中以形成六軸慣性傳感器組。然而，對于某些應(yīng)用來說，這種由分立傳感器組成的傳感器組的尺寸會過大且成本也會過高。此外，裝配在單片微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)芯片上的單軸或多軸陀螺儀和加速計(jì)的現(xiàn)有實(shí)例需要每個(gè)傳感器都有其各自的驅(qū)動電子器件和感應(yīng)電子器件，進(jìn)一步提高了單片MEMS芯片的成本和復(fù)雜度。

發(fā)明內(nèi)容
除其它情況之外，本發(fā)明討論了包括位于裝置層的x-y面的單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器的六自由度出-DOF)慣性測量系統(tǒng)。該單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器可包括主質(zhì)量塊部件、中心懸置系統(tǒng)和驅(qū)動電極。其中，所述主質(zhì)量塊部件懸置于單中心支架上，所述主質(zhì)量塊部件包括向外朝所述六軸慣性傳感器邊緣延伸的放射狀部分，所述中心懸置系統(tǒng)被配置為在所述單中心支架上懸置所述六軸慣性傳感器，所述驅(qū)動電極包括移動部分和固定部分，所述移動部分連接到所述放射狀部分上，其中所述驅(qū)動電極和所述中心懸置系統(tǒng)被配置為使得所述六軸慣性傳感器圍繞z軸(垂直于x-y面)振動。在一個(gè)實(shí)施例中，所述六自由度慣性測量系統(tǒng)可包括粘合到所述裝置層的第一面上的帽晶片和與粘合到所述裝置層的第二面上的通孔晶片。在某些實(shí)施例中，所述帽晶片和所述通孔晶片可被配置為封裝所述單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器。此概述意在提供本專利申請主題的概述。并不旨在提供本發(fā)明專用的或全面的說明。
具體實(shí)施方式
的包含用于提供有關(guān)本專利申請的更多信息。


在附圖(其不一定按比例繪制)中，相同的附圖標(biāo)記可在不同的視圖中描述相似的部件。具有不同字母后綴的相似附圖標(biāo)記可表示同類部件的不同例子。附圖以示例而非限制的方式大體示出了本文中所論述的各個(gè)實(shí)施例。圖1大體示出了六自由度(6-D0F)慣性測量單元(MU)的橫斷面示意圖；圖2大體示出了六軸慣性傳感器的一個(gè)實(shí)施例；圖3大體示出了六軸慣性傳感器在驅(qū)動動作中的一個(gè)實(shí)施例；圖4大體示出了六軸慣性傳感器的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于圍繞X軸旋轉(zhuǎn)的單質(zhì)量塊；圖5大體示出了六軸慣性傳感器的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于圍繞y軸旋轉(zhuǎn)的單質(zhì)量塊；圖6大體示出了六軸慣性傳感器的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于圍繞z軸旋轉(zhuǎn)的單質(zhì)量塊；圖7大體示出了六軸慣性傳感器的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于沿X軸的加速度的單質(zhì)量塊；圖8大體示出了六軸慣性傳感器的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于沿y軸的加速度的單質(zhì)量塊；圖9大體示出了六軸慣性傳感器的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于沿z軸的加速度的單質(zhì)量塊；圖10大體示出了包含通孔晶片電極安置的系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例；圖11大體示出了包含面內(nèi)弧形平行板傳感電極的六軸慣性傳感器的一個(gè)實(shí)施例；圖12大體示出了關(guān)于支架固定的所述中心懸置的一個(gè)實(shí)施例；圖13大體示出了所述中心懸置的一部分在驅(qū)動動作中的一個(gè)實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式除其它情況之外，本發(fā)明者認(rèn)識到一種微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器，其被配置為利用中心固定的單質(zhì)量塊檢測三軸加速度和三軸角速率。另外，本發(fā)明者認(rèn)識到一種微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器，其被配置為將響應(yīng)模式解耦到每個(gè)軸上以使跨軸干擾最小化。在一個(gè)實(shí)施例中，所述微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器可包括分割的質(zhì)量塊和柔性軸承結(jié)構(gòu)，所述柔性軸承結(jié)構(gòu)被配置為允許利用單驅(qū)動模式振動(對于所有軸僅需一個(gè)驅(qū)動控制環(huán)路)進(jìn)行三軸的角速率檢測。因此，與使用三個(gè)分立的驅(qū)動控制環(huán)路的現(xiàn)有多軸陀螺儀相比，本申請所描述的微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器的控制電子器件的復(fù)雜度及成本顯著降低。在一個(gè)實(shí)施例中，通過允許加速計(jì)和陀螺儀在單質(zhì)量塊慣性傳感器中的同時(shí)運(yùn)作(如角速率和線性加速度檢測)，柔性軸承結(jié)構(gòu)能夠提供用于加速度響應(yīng)和角速率響應(yīng)的不同的動作模式。裝置結(jié)構(gòu)圖1大體示出了六自由度(6-D0F)慣性測量單元(IMU) 100的橫斷面示意圖，所述六自由度(6-D0F)慣性測量單元(MU) 100由芯片級封裝而成，所述芯片級封裝包括帽晶片101、包含微機(jī)械結(jié)構(gòu)(如微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器)的裝置層105、和通孔晶片103。在一個(gè)實(shí)施例中，裝置層105可夾在帽晶片101和通孔晶片103之間，且裝置層105和帽晶片101之間的腔體可在真空下被晶圓級密封。在一個(gè)實(shí)施例中，帽晶片101能夠粘合到裝置層105上，例如使用金屬粘合劑102。金屬粘合劑102可包括熱熔粘合劑(例如非高溫?zé)崛壅澈蟿?以使得吸氣劑能夠保持長期的真空狀態(tài)，且使得防摩擦涂層的施用能夠防止在低重力加速度的加速度傳感器中出現(xiàn)的摩擦。在一個(gè)實(shí)施例中，在六自由度慣性測量單元100工作期間，金屬粘合劑102能夠在帽晶片101和裝置層105之間產(chǎn)生熱應(yīng)力。在一個(gè)實(shí)施例中，能夠在裝置層105上增加一個(gè)或多個(gè)特性，以使裝置層105中的所述微機(jī)械結(jié)構(gòu)隔離于熱應(yīng)力(如形成于微機(jī)械結(jié)構(gòu)邊界周圍的一個(gè)或多個(gè)應(yīng)力降低槽)。在一個(gè)實(shí)施例中，通孔晶片103可粘合到裝置層105上，如熱熔粘合(如硅-硅熱熔粘合等)，以消除在通孔晶片103和裝置層105之間的熱應(yīng)力。在一個(gè)實(shí)施例中，利用一個(gè)或者多個(gè)硅通孔(TSVs)(例如，通過介電材料109與通孔晶片103相隔離的第一硅通孔108)，通孔晶片103可包括一個(gè)或多個(gè)獨(dú)立區(qū)域(例如，第一獨(dú)立區(qū)域107)，所述獨(dú)立區(qū)域隔離于通孔晶片103的一個(gè)或多個(gè)其他區(qū)域。在某些實(shí)施例中，所述一個(gè)或多個(gè)獨(dú)立區(qū)域可作為電極使用，以感應(yīng)或驅(qū)動所述六軸慣性傳感器的面外工作模式，且所述一個(gè)或多個(gè)硅通孔可被配置為提供所述裝置層105到六自由度慣性測量單元100外的電連接。此外，六自由度慣性測量單元100可包括諸如第一觸點(diǎn)110的一個(gè)或多個(gè)觸點(diǎn)，所述一個(gè)或多個(gè)觸點(diǎn)通過介電層104選擇性地隔離于通孔晶片103的一個(gè)或多個(gè)部分，且被配置為將通孔晶片103的一個(gè)或多個(gè)獨(dú)立區(qū)域或硅通孔之間的電連接提供給一個(gè)或多個(gè)外部元件(例如，專用集成電路ASIC晶片)，例如通過沖擊、絲焊或一個(gè)或多個(gè)其他電連接提供給所述一個(gè)或多個(gè)外部元件。在某些實(shí)施例中，裝置層105中的所述微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器能夠通過將裝置層105粘合到通孔晶片103的凸出部分(如支架106)進(jìn)而支撐或固定在通孔晶片103上。在一個(gè)實(shí)施例中，支架106可大體上設(shè)置于通孔晶片103的中心，且裝置層105可熱熔粘合在支架106上，這樣可消除與金屬疲勞相關(guān)的問題。圖2大體示出了六軸慣性傳感器200 (如微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器)的一個(gè)實(shí)施例，例如六軸慣性傳感器200形成于六自由度慣性測量單元100的裝置層105的單一面上。在一個(gè)實(shí)施例中，六軸慣性傳感器200的結(jié)構(gòu)可關(guān)于如圖2所不的X軸和y軸對稱，并且z軸概念性地從圖中延伸出來。圖2中對六軸慣性傳感器200 —個(gè)部分的結(jié)構(gòu)及特征進(jìn)行了附圖標(biāo)記。但在某些實(shí)施例中，這樣的附圖標(biāo)記及描述能夠適用于六軸慣性傳感器200中未標(biāo)記的類似部分。 在一個(gè)實(shí)施例中，六軸慣性傳感器200可包括提供三軸陀螺儀和三軸加速計(jì)工作模式的單質(zhì)量塊設(shè)計(jì)，其中所述三軸陀螺儀和三軸加速計(jì)工作模式在六自由度慣性測量單元100的裝置層105中給出，如圖1的實(shí)施例中所示。在一個(gè)實(shí)施例中，所述單質(zhì)量塊可通過單中心支架(如支架106)和中心懸架111在所述單質(zhì)量塊的中心懸置，其中所述中心懸架111包括中心對稱的柔性軸承(flexures)，如在Acar等人于2011年9月16日遞交的PCT專利申請序號為US2011052006且題為“FLEXURE BEARING TO REDUCE QUADRATURE FOR RESONATING MICROMACHINEDDEVICES”的相關(guān)專利文件中公開的柔性軸承，這里將該專利文件作為本發(fā)明的參考內(nèi)容。所述中心懸架111能夠使得所述單質(zhì)量塊圍繞X軸、y軸及z軸進(jìn)行扭轉(zhuǎn)地振動，由此提供了三個(gè)陀螺儀工作模式，包括:(I)圍繞Z軸的扭轉(zhuǎn)的面內(nèi)驅(qū)動動作(如圖3所示)；(2)圍繞X軸的扭轉(zhuǎn)的面外y軸陀螺儀感應(yīng)動作(如圖4所示)；以及(3)圍繞y軸的扭轉(zhuǎn)的面外X軸陀螺儀感應(yīng)動作(如圖5所示)。此外，所述單質(zhì)量塊設(shè)計(jì)可由多個(gè)部件組成,例如包括主質(zhì)量塊部件115、關(guān)于y軸對稱的X軸質(zhì)量塊部件116、117以及關(guān)于X軸對稱的y軸質(zhì)量塊部件118、119。在圖2的實(shí)施例中，主質(zhì)量塊部件115包括第一主體部分，所述第一主體部分包含中心懸架111,其中,所述中心懸架111的主臂放射狀地從主質(zhì)量塊部件115的中心延伸至各自的驅(qū)動電極123，所述驅(qū)動電極123位于所述六軸慣性傳感器200的拐角處。在一個(gè)實(shí)施例中，中心懸架111和驅(qū)動電極123的結(jié)合可被配置以提供圍繞z軸的扭轉(zhuǎn)的面內(nèi)驅(qū)動動作，這就允許對圍繞X軸和I軸的角運(yùn)動的檢測。在一個(gè)實(shí)施例中，X軸質(zhì)量塊部件116、117可通過多功能柔性軸承120連接到主質(zhì)量塊部件115上，且可通過z軸陀螺儀反相柔性軸承121彼此連接。在一個(gè)實(shí)施例中，所述多功能柔性軸承120可使得X軸質(zhì)量塊部件116、117以下述方式振動:(I)在X方向線性反相振動作為z軸陀螺儀感應(yīng)動作(如圖6所示)；(2)在X方向線性同相振動作為X軸加速計(jì)感應(yīng)動作(如圖7所示)；以及(3)圍繞y軸扭轉(zhuǎn)的面外振動作為z軸加速計(jì)感應(yīng)動作(如圖9所示)。在一個(gè)實(shí)施例中，反相柔性軸承121限定為鋸齒形。在一個(gè)實(shí)施例中，y軸質(zhì)量塊部件118、119可通過y軸柔性軸承122連接到主質(zhì)量塊部件115上，所述y軸柔性軸承122能夠使得I軸質(zhì)量塊部件118、119在y方向進(jìn)行線性面內(nèi)振動作為x軸加速計(jì)感應(yīng)動作。此外，六軸慣性傳感器200可包括X軸加速計(jì)傳感電極125和z軸陀螺儀傳感電極127、129，其中，所述X軸加速計(jì)傳感電極125被配置為檢測一個(gè)或多個(gè)質(zhì)量塊部件沿X軸的同相面內(nèi)動作，所述z軸陀螺儀傳感電極127、129被配置為檢測一個(gè)或多個(gè)質(zhì)量塊部件沿X軸的反相面內(nèi)動作。在某些實(shí)施例中，X軸加速計(jì)傳感電極125和z軸陀螺儀傳感電極127、129可結(jié)合為單組的傳感電極。在一個(gè)實(shí)施例中，I軸加速計(jì)傳感電極131被配置為檢測一個(gè)或多個(gè)質(zhì)量塊部件沿y軸進(jìn)行同相的面內(nèi)動作。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動電極123、X軸加速計(jì)傳感電極125、z軸陀螺儀傳感電極127、129以及y軸加速計(jì)傳感電極131中的每一個(gè)可包括連接到一個(gè)或多個(gè)質(zhì)量塊部件上的移動棘爪，所述一個(gè)或多個(gè)質(zhì)量塊部件通過各自的支架(如支架124、126、128、130、132)與一組固定在適當(dāng)位置的固定棘爪相互交錯(cuò)(如固定在通孔晶片103)。陀螺儀工作模式圖3大體示出了六軸慣性傳感器300在驅(qū)動動作中的一個(gè)實(shí)施例。在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動電極123可包括連接到主質(zhì)量塊部件115上的一組移動移動棘爪，所述主質(zhì)量塊部件115通過第一驅(qū)動支架124(如通孔晶片103的凸起的絕緣部分)與固定在適當(dāng)位置的一組固定棘爪相互交錯(cuò)。在一個(gè)實(shí)施例中，所述固定棘爪可被配置為通過第一驅(qū)動支架124接收能量，且驅(qū)動電極123的相互交錯(cuò)的移動棘爪和固定棘爪之間的相互作用可被配置為向單質(zhì)量塊提供圍繞z軸的轉(zhuǎn)矩。
在圖3的一個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)中心懸架111為固定的支架106提供回復(fù)轉(zhuǎn)矩使得所述單質(zhì)量塊圍繞z軸以振動頻率進(jìn)行扭轉(zhuǎn)地面內(nèi)振動的時(shí)候，驅(qū)動電極123被驅(qū)動以圍繞z軸轉(zhuǎn)動單質(zhì)量塊，其中所述驅(qū)動頻率取決于施加到驅(qū)動電極123上的能量。在某些實(shí)施例中，能夠利用驅(qū)動電極123檢測單質(zhì)量塊的驅(qū)動動作。X軸諫率響應(yīng)圖4大體示出了六軸慣性傳感器400的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器400包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于圍繞X軸旋轉(zhuǎn)的單質(zhì)量塊，所述單質(zhì)量塊包括主質(zhì)量塊部件115、X軸質(zhì)量塊部件116、117、y軸質(zhì)量塊部件118、119以及中心懸架111。在圍繞X軸的角速率及圖3的實(shí)施例中所述的六軸慣性傳感器400的驅(qū)動動作同時(shí)出現(xiàn)的情況下，在X軸質(zhì)量塊部件116、117上會引起沿Z軸相反方向的科氏力，這是由于其速度向量沿y軸的相反方向。這樣，通過彎曲中心懸架111，可使單質(zhì)量塊圍繞y軸扭轉(zhuǎn)地振動。感應(yīng)響應(yīng)可通過面外X軸陀螺儀傳感電極(如通孔晶片103中形成的傳感電極)并通過X軸質(zhì)量塊部件116、117與通孔晶片103的電容性耦合來檢測。Y軸諫率響應(yīng)圖5大體示出了六軸慣性傳感器500的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器500包括在感應(yīng)動作中響·應(yīng)于圍繞y軸旋轉(zhuǎn)的單質(zhì)量塊，所述單質(zhì)量塊包括主質(zhì)量塊部件115、X軸質(zhì)量塊部件116、117、y軸質(zhì)量塊部件118、119以及中心懸架111。在圍繞y軸的角速率及圖3的實(shí)施例中所述的六軸慣性傳感器400的驅(qū)動動作同時(shí)出現(xiàn)的情況下，在y軸質(zhì)量塊部件118、119上會引起沿z軸相反方向的科氏力，這是由于其速度向量沿X軸的相反方向。這樣，通過彎曲中心懸架111，可使單質(zhì)量塊圍繞y軸扭轉(zhuǎn)地振動。感應(yīng)響應(yīng)可通過面外I軸陀螺儀傳感電極(如通孔晶片103中形成的傳感電極)且通過y軸質(zhì)量塊部件118、119與通孔晶片103的電容性耦合來檢測。Z軸諫率響應(yīng)圖6大體不出了六軸慣性傳感器600的一個(gè)實(shí)施例,所述六軸慣性傳感器600包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于圍繞z軸旋轉(zhuǎn)的單質(zhì)量塊，所述單質(zhì)量塊包括主質(zhì)量塊部件、X軸質(zhì)量塊部件116、117、y軸質(zhì)量塊部件、中心懸架、多功能柔性軸承120以及z軸陀螺儀反相柔性軸承121。在圍繞z軸的角速率及圖3的實(shí)施例中所述的六軸慣性傳感器400的驅(qū)動動作同時(shí)出現(xiàn)的情況下，在X軸質(zhì)量塊部件116、117會引起沿X軸相反方向的科氏力，這是由于速度向量沿I軸的相反方向。這樣，通過在X方向上彎曲多功能柔性軸承120可使X軸質(zhì)量塊部件116、117沿X軸相反方向線性地振動。此外，z軸陀螺儀反相柔性軸承121可用于提供X軸質(zhì)量塊部件116、117的線性反相共振模式，該線性反相共振模式直接由反相的科氏力驅(qū)動。感應(yīng)響應(yīng)可通過面內(nèi)的平行板傳感電極(如形成于裝置層105中的z軸陀螺儀傳感電極127、129)來檢測。加速計(jì)工作模式在一個(gè)實(shí)施例中，加速計(jì)響應(yīng)模式可主要通過多功能柔性軸承120和γ軸加速計(jì)柔性軸承122來實(shí)現(xiàn)。多功能柔性軸承120可使得X軸質(zhì)量塊部件116、117響應(yīng)于x軸與z軸的加速度以及陀螺儀動作,且I軸加速計(jì)柔性軸承122可使得y軸質(zhì)量塊部件118、119響應(yīng)于y軸的加速度。
X軸加速計(jì)響應(yīng)圖7大體示出了六軸慣性傳感器700的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器700包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于圍繞X軸的加速度的單質(zhì)量塊，所述單質(zhì)量塊包括主質(zhì)量塊部件、X軸質(zhì)量塊部件116、117、y軸質(zhì)量塊部件、中心懸架、多功能柔性軸承120以及z軸陀螺儀反相柔性軸承121。在存在X軸加速度的情況下，X軸質(zhì)量塊部件116、117會沿X方向同相偏斜。多功能柔性軸承120可使得X軸質(zhì)量塊部件116、117在X方向一致地移動。在該動作期間，x軸質(zhì)量塊部件116、117之間的z軸陀螺儀反相柔性軸承121可能不偏斜，導(dǎo)致低于z軸陀螺儀感應(yīng)頻率的頻率。感應(yīng)響應(yīng)可通過面內(nèi)平行板傳感電極(如形成于裝置層105中的X軸加速計(jì)傳感電極125)來檢測。Y軸加速計(jì)響應(yīng)圖8大體示出了六軸慣性傳感器800的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器800包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于圍繞I軸的加速度的單質(zhì)量塊，所述單質(zhì)量塊包括主質(zhì)量塊部件、X軸質(zhì)量塊部件、y軸質(zhì)量塊部件118、119、中心懸架、多功能柔性軸承、Z軸陀螺儀反相柔性軸承以及I軸加速計(jì)柔性軸承122。在存在y軸加速度的情況下，y軸質(zhì)量塊部件118、119會沿y方向同相偏斜。y軸加速計(jì)柔性軸承122可使得y軸質(zhì)量塊部件118、119與所述主質(zhì)量塊部件一致地移動。感應(yīng)響應(yīng)可通過面內(nèi)平行板傳感電極(如形成于裝置層105中的y軸加速計(jì)傳感電極131)來檢測。Z軸加速計(jì)響應(yīng)圖9大體示出了六軸慣性傳感器900的一個(gè)實(shí)施例，所述六軸慣性傳感器900包括在感應(yīng)動作中響應(yīng)于圍繞Z軸的加速度的單質(zhì)量塊,所述單質(zhì)量塊包括主質(zhì)量塊部件、X軸質(zhì)量塊部件116、117、y軸質(zhì)量塊部件、中心懸架、多功能柔性軸承120以及z軸陀螺儀反相柔性軸承121。在存在z軸加速度的情況下，X軸質(zhì)量塊部件116、117會在面外沿相反方向扭轉(zhuǎn)地偏斜。多功能柔性軸承120能夠起到扭轉(zhuǎn)鉸鏈的作用，且可使得X軸質(zhì)量塊部件116、117能夠圍繞位于多功能柔性軸承120中心的軸進(jìn)行移動。由于位于多功能柔性軸承120相對側(cè)的區(qū)域沿相反方向移動，因而僅利用安置于通孔晶片103上的一層面外電極可得到完全不同的檢測方案。面外電極安置圖10大體示出了包含通孔晶片103電極安置的系統(tǒng)1000的一個(gè)實(shí)施例。在某些實(shí)施例中，通孔晶片103的一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)電部分(如電極、單獨(dú)的導(dǎo)電區(qū)等)可用于檢測所述六軸慣性傳感器和通孔晶片103之間的電容性耦合，以及依次利用X軸陀螺儀傳感電極140檢測X軸角速率、利用I軸陀螺儀傳感電極141檢測y軸角速度及利用z軸加速計(jì)傳感電極142檢測z軸加速度。驅(qū)動頻率與檢測頻率在一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動模式和三個(gè)陀螺儀感應(yīng)模式可設(shè)置在20kHz范圍內(nèi)。對于開環(huán)操作，驅(qū)動模式可通過模式間隔(如IOOHz到500Hz)與感應(yīng)模式分開，所述模式間隔可決定陀螺儀的機(jī)械靈敏度。為了提高靈敏度，在實(shí)際應(yīng)用的振動規(guī)格允許的條件下可降低陀螺儀操作共振頻率。若執(zhí)行閉環(huán)感應(yīng)操作，可減小模式間隔以進(jìn)一步提高機(jī)械靈敏度。加速計(jì)感應(yīng)模式共振頻率可大體上設(shè)置為低于陀螺儀工作模式，如5kHz到IOkHz的范圍內(nèi)。這樣，陀螺儀和加速計(jì)的信號也可在頻域內(nèi)分開。而且，較低的共振頻率可用來提高靈敏度。弧形的面內(nèi)平行板電極圖11大體示出了包含單質(zhì)量塊的六軸慣性傳感器1100的一個(gè)實(shí)施例，所述單質(zhì)量塊包括主質(zhì)量塊部件115、x軸質(zhì)量塊部件116、117和y軸質(zhì)量塊部件118、119。在一個(gè)實(shí)施例中，一個(gè)或多個(gè)X軸加速計(jì)傳感電極125、z軸陀螺儀傳感電極127或y軸加速計(jì)傳感電極131可包括弧形的面內(nèi)平行板電極，在某些實(shí)施例中，所述弧形的面內(nèi)平行板電極呈弧形排列并垂直于扭轉(zhuǎn)的驅(qū)動動作的方向，以降低陀螺儀驅(qū)動動作中電極電容檢測的靈敏度。由于驅(qū)動動作圍繞z軸旋轉(zhuǎn)，因此垂直于驅(qū)動動作的弧形電極陣列(其中心位于芯片中心)會減少由陀螺儀驅(qū)動動作導(dǎo)致的間隙變化或重疊面積變化。[H交誤差的減小圖12大體示出了關(guān)于支架106固定的中心懸架111的一個(gè)實(shí)施例，所述中心懸架111包括對稱的“C形梁柱”(c-beams)，所述C形梁柱被配置為在局部上消除正交誤差。微機(jī)械陀螺儀的正交誤差主要源于深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)側(cè)壁角度誤差，所述DRIE側(cè)壁角度誤差導(dǎo)致刻蝕斷面偏離于直側(cè)壁。如果側(cè)壁具有角度誤差，則當(dāng)斜軸沿梁柱長度時(shí)面內(nèi)驅(qū)動動作還會導(dǎo)致面外動作。因此，當(dāng)偏斜的柔性梁柱位于所述驅(qū)動動作的相對一側(cè)時(shí)，所導(dǎo)致的面外偏移引起正交誤差。圖13大體示出了中心懸架111的一部分在驅(qū)動動作中的一個(gè)實(shí)施例。所述中心懸架111使用位于支架106每一側(cè)的對稱的“C形梁柱”。由一側(cè)的每個(gè)C形梁柱導(dǎo)致的面外動作被與其對稱的對應(yīng)部分抵消。這樣，在每個(gè)梁柱上引起的正交誤差可在局部上被消除。跨軸靈敏度陀螺儀功能和加速計(jì)功能的工作模式可通過懸置系統(tǒng)極佳地解耦，所述懸置系統(tǒng)包括中心懸架111和多功能柔性軸承120，且該懸置系統(tǒng)有效地維持所述工作模式的正交性。這樣，每個(gè)軸的傳感電極對于其他軸中的響應(yīng)動作保持靜止。此外，如上所述，陀螺儀和加速計(jì)的響應(yīng)信號在頻域內(nèi)分開。
_0] 補(bǔ)充注釋及實(shí)施例在實(shí)施例1中，六自由度出-DOF)慣性測量系統(tǒng)包括裝置層，其中所述裝置層包括在χ-y面中形成的單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器，所述單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器包括主質(zhì)量塊部件、中心懸置系統(tǒng)和驅(qū)動電極。其中，所述主質(zhì)量塊部件懸置于單中心支架上，且所述主質(zhì)量塊部件包括向外朝所述六軸慣性傳感器邊緣延伸的放射狀部分，所述中心懸置系統(tǒng)被配置為在所述單中心支架上懸置所述六軸慣性傳感器，所述驅(qū)動電極包括移動部分和固定部分，所述移動部分連接到所述放射狀部分上，其中所述驅(qū)動電極和所述中心懸置系統(tǒng)被配置為使所述六軸慣性傳感器圍繞z軸(垂直于χ-y面)以驅(qū)動頻率振動。所述單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器可選地包括粘合到所述裝置層第一面上的帽晶片和粘合到所述裝置層第二面上的通孔晶片，其中，所述帽晶片和所述通孔晶片被配置為封裝所述單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器。
在實(shí)施例2中，實(shí)施例1中的所述單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器可選地包括第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件，所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和所述第二 X軸質(zhì)量塊部件通過多功能柔性軸承連接到所述主質(zhì)量塊部件上。在實(shí)施例3中，實(shí)施例1至2中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述多功能柔性軸承可選地被配置為使得所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠沿X軸同相或反相移動。在實(shí)施例4中，實(shí)施例1至3中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述多功能柔性軸承可選地被配置為使得所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠響應(yīng)于X軸加速度而沿X軸同相移動。在實(shí)施例5中，實(shí)施例1至4中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述多功能柔性軸承可選地被配置為使得所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠響應(yīng)于Z軸旋轉(zhuǎn)而沿X軸反相移動。在實(shí)施例6中，實(shí)施例1至5中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的多功能柔性軸承可選地被配置為使得所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠響應(yīng)于Z軸加速度而圍繞y軸旋轉(zhuǎn)。在實(shí)施例7中，實(shí)施例1至6中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述多功能柔性軸承中的至少一個(gè)可選地為細(xì)長的并在所述主質(zhì)量塊部件與所述第一 X軸質(zhì)量塊部件之間沿y軸延伸。在實(shí)施例8中，實(shí)施例1至7中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述至少一個(gè)多功能柔性軸承可選地被配置為在扭矩作用下圍繞平行于y軸的軸彎曲。在實(shí)施例9中，四個(gè)多功能柔性軸承可選地被配置為將所述單質(zhì)量塊連接到所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件上，其中，對于每個(gè)多功能軸承，存在關(guān)于X-Z面成鏡像關(guān)系的相對立的多功能柔性軸承并存在關(guān)于y-z面成鏡像關(guān)系的另一多功能軸承。在實(shí)施例10中，實(shí)施例1至9中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件可選地由沿y軸延伸的細(xì)長的反相柔性軸承所連接。在實(shí)施例11中，實(shí)施例1至10中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的兩個(gè)反相柔性軸承可選地在X-Z面的相對兩側(cè)將所述第一 X軸質(zhì)量塊部件連接到第二 X軸質(zhì)量塊部件上。在實(shí)施例12中，實(shí)施例1至11中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述兩個(gè)反相柔性軸承的每一個(gè)在所述第一 X軸質(zhì)量塊和第二 X軸質(zhì)量塊之間沿X軸以Z字形延伸。在實(shí)施例13中，實(shí)施例1至12中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述單質(zhì)量塊可選地呈四邊形，其中，所述單中心支架位于所述四邊形的中心，且其中，所述主質(zhì)量塊部件包括四個(gè)放射狀部分，所述四個(gè)放射狀部分向外朝所述六軸慣性傳感器的四個(gè)角延伸。在實(shí)施例14中，實(shí)施例1至13中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述驅(qū)動電極可選地包括與多個(gè)固定棘爪相互交錯(cuò)的多個(gè)移動的棘爪，其中所述固定棘爪固定在所述通孔晶片上。在實(shí)施例15中，實(shí)施例1至12中的任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例可選地包括第一電極和第二電極，所述第一電極位于所述裝置層面內(nèi)且被配置為檢測Z軸角旋轉(zhuǎn)、X軸加速度和y軸加速度，所述第二電極位于所述裝置層面外且被配置為檢測z軸加速度、X軸角旋轉(zhuǎn)和y軸角旋轉(zhuǎn)。在實(shí)施例16中，實(shí)施例1至15中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述通孔晶片可選地包括第二電極，所述第二電極可選地被電容性地連接到所述裝置層上。在實(shí)施例17中，單質(zhì)量塊的微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器裝置包括主質(zhì)量塊部件、一對X軸質(zhì)量塊部件、一對I軸質(zhì)量塊部件、中心懸置系統(tǒng)和驅(qū)動電極。所述主質(zhì)量塊部件懸置于單中心支架上，且所述主質(zhì)量塊部件包括向外朝所述六軸慣性傳感器的邊緣延伸的放射狀部分；所述X軸質(zhì)量塊部件通過多功能柔性軸承連接到所述主質(zhì)量塊部件上，且通過反相柔性軸承相互連接；所述y軸質(zhì)量塊部件通過延長的柔性軸承連接到所述主質(zhì)量塊部件的多個(gè)放射狀部分上；所述中心懸置系統(tǒng)被配置為在所述單中心支架上懸置所述六軸慣性傳感器；所述驅(qū)動電極包括移動部分和固定部分，所述移動部分連接到所述放射狀部分上，其中所述驅(qū)動電極和所述中心懸置系統(tǒng)被配置為使所述六軸慣性傳感器圍繞垂直于x-y面的z軸以驅(qū)動頻率振動。在實(shí)施例18中，實(shí)施例1至17中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述多功能柔性軸承可選地被配置為使得所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠沿X軸同相或反相移動。在實(shí)施例19中，實(shí)施例1至18中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述多功能柔性軸承可選地被配置為使得所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠響應(yīng)于X軸加速度而沿X軸同相移動且能夠響應(yīng)于Z軸旋轉(zhuǎn)而沿X軸反相移動。在實(shí)施例20中，實(shí)施例1至19中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的所述多功能柔性軸承可選地被配置為使得所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件中的每一個(gè)能夠響應(yīng)于Z軸加速度而圍繞I軸旋轉(zhuǎn)。在實(shí)施例21中，一種方法，包括在單中心支架上懸置六軸慣性傳感器的單質(zhì)量塊，其中，所述單中心支架通過中心懸架連接到固定層上，所述主質(zhì)量塊部件包括向外朝所述六軸慣性傳感器的邊緣延伸的放射狀部分；所述方法還包括通過多功能柔性軸承在所述主質(zhì)量塊部件上懸置第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件，將固定的驅(qū)動電極固定在固定層上，將可移動電極連接到固定電極上，以及通過所述固定的驅(qū)動電極、所述可移動電極和所述中心懸架使所述單質(zhì)量塊以驅(qū)動頻率振動。在實(shí)施例22中，一個(gè)系統(tǒng)或裝置可包括或可選地與實(shí)施例1至21中任何一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的任何部分或任何部分的組合相結(jié)合，以包括機(jī)器可讀介質(zhì)或用于執(zhí)行實(shí)施例1至21中任何一種或多種所述功能的方法，其中，所述機(jī)器可讀介質(zhì)包括指令，當(dāng)由機(jī)器執(zhí)行時(shí)，所述指令使得所述機(jī)器執(zhí)行實(shí)施例1至21中任何一個(gè)或多個(gè)所述功能。上述具體實(shí)施方式
包括對附圖的參考，附圖形成具體實(shí)施方式
的一部分。附圖以舉例說明的方式示出了本發(fā)明能夠用以實(shí)踐的具體實(shí)施例。于此，這些實(shí)施例也稱為“示例”。本申請所涉及到的所有出版物、專利以及專利文件全部作為本發(fā)明的參考內(nèi)容，盡管它們是分別加以參考的。如果本申請與參考文件之間存在使用差別，則參考文件的使用應(yīng)視為本申請使用的補(bǔ)充；若二者之間存在不可調(diào)和的差異，則以本申請的使用為準(zhǔn)。在本申請中，與專利文件通常使用的一樣，術(shù)語“一”或“某一”表示包括一個(gè)或兩個(gè)以上，不同于“至少一個(gè)”或“一個(gè)或更多”的其它例子或用法。在本申請中，除非另外指明，否則使用術(shù)語“或”指無排他性的或者是，“A或B”包括:“A但不是B”、“B但不是A”以及“A和B”。在所附的權(quán)利要求中，術(shù)語“包含”和“在其中”等同于各個(gè)術(shù)語“包括”和“其中”的通俗英語而使用。而且，在下述權(quán)利要求中，術(shù)語“包含”和“包括”是開放性的，即，包括除了權(quán)利要求中這樣的術(shù)語之后所列出的那些要素以外的要素的系統(tǒng)、裝置、物品或步驟，依然視為落在該項(xiàng)權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。而且，在下述權(quán)利要求中，術(shù)語“第一”、“第
二”和“第三”等僅僅用作標(biāo)識，并非對其對象有數(shù)量要求。以上實(shí)施方式旨在解釋說明而非限制。在其它實(shí)施例中，以上實(shí)施方式的示例(或其一個(gè)或多個(gè)方面)可以相互結(jié)合使用。例如，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員通過回顧以上實(shí)施方式可以使用其他實(shí)施例·。摘要被提供以符合37C.F.R.§ 1.72(b)，從而使得讀者能夠快速確定技術(shù)發(fā)明的類型。應(yīng)當(dāng)理解的是，該摘要將不用于解釋或限制權(quán)利要求的范圍或意義。而且，在以上的具體實(shí)施方式
中，各種特征可組合在一起以簡化本發(fā)明。這不應(yīng)理解為未要求的公開特征對任何權(quán)利要求來說是必不可少的。相反，創(chuàng)造性的主題可以以比特定公開實(shí)施例的所有特征更少的特征而存在。因而，下述的權(quán)利要求以每個(gè)權(quán)利要求作為單獨(dú)實(shí)施例的方式并入具體實(shí)施方式
中。本發(fā)明的范圍應(yīng)當(dāng)參照所附的權(quán)利要求以及與這些權(quán)利要求的所屬相當(dāng)?shù)恼麄€(gè)范圍來確定。
權(quán)利要求
1.一種六自由度出-DOF)慣性測量系統(tǒng)，包括裝置層、粘合到所述裝置層的第一面上的帽晶片、和粘合到所述裝置層的第二面上的通孔晶片， 其中所述裝置層包括在χ-y面中形成的單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器，所述單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器包括: 主質(zhì)量塊部件，懸置在單中心支架上，所述主質(zhì)量塊部件包括向外朝所述六軸慣性傳感器的邊緣延伸的放射狀部分； 中心懸置系統(tǒng)，被配置為在所述單中心支架上懸置所述六軸慣性傳感器；和 驅(qū)動電極，包括移動部分和固定部分，所述移動部分連接到所述放射狀部分上，其中，所述驅(qū)動電極和所述中心懸置系統(tǒng)被配置為使所述六軸慣性傳感器圍繞垂直于χ-y面的z軸以驅(qū)動頻率振動； 其中所述帽晶片和所述通孔晶片被配置為封裝所述單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器包括第一X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件，所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和所述第二 X軸質(zhì)量塊部件通過多功能柔性軸承連接到所述主質(zhì)量塊部件上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述多功能柔性軸承被配置為使得所述第一X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠沿X軸同相或反相移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，所述多功能柔性軸承被配置為使得所述第一X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠響應(yīng)于X軸加速度而沿X軸同相移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，所述多功能柔性軸承被配置為使得所述第一X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠響應(yīng)于Z軸旋轉(zhuǎn)而沿X軸反相移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述多功能柔性軸承被配置為使得所述第一X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件中的每一個(gè)能夠響應(yīng)于z軸加速度而圍繞y軸旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述多功能柔性軸承中的至少一個(gè)為細(xì)長的并在所述主質(zhì)量塊部件與所述第一 X軸質(zhì)量塊部件之間沿I軸延伸。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)多功能柔性軸承被配置為在扭矩作用下圍繞一平行于I軸的軸彎曲。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中，四個(gè)多功能柔性軸承將所述單質(zhì)量塊連接到所述第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件上，其中，對于每個(gè)多功能柔性軸承，存在關(guān)于X-Z面成鏡像關(guān)系的相對立的多功能軸承并存在關(guān)于y-z面成鏡像關(guān)系的另一多功能軸承。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述第一X軸質(zhì)量塊部件和所述第二 X軸質(zhì)量塊部件由沿y軸延伸的細(xì)長的反相柔性軸承所連接。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，兩個(gè)反相柔性軸承在χ-ζ面的相對側(cè)將所述第一 X軸質(zhì)量塊部件連接到所述第二 X軸質(zhì)量塊部件上。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中，所述兩個(gè)反相柔性軸承中的每一個(gè)在所述第一 X軸質(zhì)量塊和所述第二 X軸質(zhì)量塊之間沿X軸以Z字形延伸。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述單質(zhì)量塊呈四邊形，其中，所述單中心支架位于所述四邊形的中心，且其中， 所述主質(zhì)量塊部件包括四個(gè)放射狀部分，所述四個(gè)放射狀部分向外朝所述六軸慣性傳感器的四個(gè)角延伸。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述驅(qū)動電極包括與多個(gè)固定棘爪相互交錯(cuò)的多個(gè)移動的棘爪，其中，所述固定棘爪固定在所述通孔晶片上。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，包括: 第一電極，位于所述裝置層面內(nèi)且被配置為檢測z軸角旋轉(zhuǎn)、X軸加速度和y軸加速度；以及 第二電極，位于所述裝置層面外且被配置為檢測z軸加速度、X軸角旋轉(zhuǎn)和y軸角旋轉(zhuǎn)。
16.一種單質(zhì)量塊的微機(jī)械整體式六軸慣性傳感器裝置，包括: 主質(zhì)量塊部件，懸 置在單中心支架上，所述主質(zhì)量塊部件包括向外朝所述六軸慣性傳感器的邊緣延伸的放射狀部分； 一對X軸質(zhì)量塊部件，通過多功能柔性軸承連接到所述主質(zhì)量塊部件上且通過反相柔性軸承相互連接； 一對y軸質(zhì)量塊部件，通過延長的柔性軸承連接到所述主質(zhì)量塊部件的多個(gè)放射狀部分上； 中心懸置系統(tǒng)，被配置為在所述單中心支架上懸置所述六軸慣性傳感器；以及驅(qū)動電極，包括移動部分和固定部分，所述移動部分連接到所述放射狀部分上，其中所述驅(qū)動電極和所述中心懸置系統(tǒng)被配置為使所述六軸慣性傳感器圍繞垂直于χ-y面的z軸以驅(qū)動頻率振動。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其中，所述多功能柔性軸承被配置為使得所述第一X軸質(zhì)量塊部件和所述第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠沿X軸同相或反相移動。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝置，其中，所述多功能柔性軸承被配置為使得所述第一X軸質(zhì)量塊部件和所述第二 X軸質(zhì)量塊部件能夠響應(yīng)于X軸加速度而沿X軸同相移動且能夠響應(yīng)于Z軸旋轉(zhuǎn)而沿X軸反相移動。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其中，所述多功能柔性軸承被配置為使得所述第一X軸質(zhì)量塊部件和所述第二 X軸質(zhì)量塊部件中的每一個(gè)能夠響應(yīng)于z軸加速度而圍繞y軸旋轉(zhuǎn)。
20.—種方法,包括: 在單中心支架上懸置六軸慣性傳感器的單質(zhì)量塊，其中，所述單中心支架通過中心懸架連接到固定層上，所述主質(zhì)量塊部件包括向外朝所述六軸慣性傳感器的邊緣延伸的放射狀部分； 通過多功能柔性軸承在所述主質(zhì)量塊部件上懸置第一 X軸質(zhì)量塊部件和第二 X軸質(zhì)量塊部件； 將固定的驅(qū)動電極固定在所述固定層上； 將可移動電極連接到所述固定電極上； 通過所述固定的驅(qū)動電極、所述可移動電極和所述中心懸架使所述單質(zhì)量塊以驅(qū)動頻率振動。
全文摘要
一種六自由度(6-DOF)慣性測量系統(tǒng)的裝置層可包括位于x-y面的單質(zhì)量塊六軸慣性傳感器，所述慣性傳感器包括主質(zhì)量塊部件、中心懸置系統(tǒng)和驅(qū)動電極，其中，所述主質(zhì)量塊部件懸置于單中心支架上，其所述主質(zhì)量塊部件包括向外朝所述六軸慣性傳感器的邊緣延伸的放射狀部分；所述中心懸置系統(tǒng)被配置為在所述單中心支架上懸置所述六軸慣性傳感器；所述驅(qū)動電極包括移動部分和固定部分，所述移動部分連接到所述放射狀部分上，其中，所述驅(qū)動電極和所述中心懸置系統(tǒng)被配置為使所述六軸慣性傳感器圍繞垂直于x-y面的z軸以驅(qū)動頻率振動。
文檔編號G01P15/18GK103221779SQ201180055823
公開日2013年7月24日 申請日期2011年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月18日
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