專利名稱：用于測量鏡子形狀或鏡表面形狀的設備和方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于測量鏡子形狀或鏡表面(反射表面)形狀的設備。本發(fā)明更具體地針對不是平面而是展現出拱曲形狀的表面，所述拱曲形狀的凹進關于一個方向(后文稱為“主要方向”)強烈顯現，而在垂直于主要方向的方向(稱為“次要方向”)上明顯較弱顯現。更準確而言，“凹進的方向”被這樣理解、并如圖1a和Ib所示:當將表面A以拱曲部分面向平面支撐件的方式定位到水平的平面支撐件B上時，在一個平面方向上的參照支撐件平面的凹進程度相對于其在另一個平面方向上的參照所述平面的對照凹進程度被發(fā)現是不同的，其中所述平面方向對應于二維正交參考坐標系中的X軸和Y軸。相對于其它凹進而言，最顯著的凹進是最不平行于平面支撐件的凹進。以圖1a和Ib為例，凹進相對于X軸比相對于Y軸更顯著，因此X軸稱為主要方向，Y軸稱為次要方向。此外，表述“測量形狀”應理解成為，沿著對應于拱曲的主要方向和次要方向的兩個測量方向，參照參考表面估算待測量表面的眾多點的斜率和高度。本發(fā)明將更具體地參照拱曲的玻璃制品來描述，然而并非限制于此。所述設備也應用于由層合玻璃或鋼化玻璃制成的非常輕微變形的平面。所述設備的另一有用的應用方式涉及拋物線形太陽能反射鏡的形狀測量，其表面凹進更加突出。
背景技術：
根據不同應用，測量鏡表面形狀確實是適宜的，例如以便檢測在汽車玻璃外表面這一層次上的玻璃缺陷。對所述缺陷進行檢測和測量使得可以提供美學再現，如果從其所關聯的機動車輛外面通過反射來觀察汽車玻璃。此外，在為構建用作風擋的層合玻璃而組裝了玻璃板之后，某些缺陷可能變得非常麻煩，因為所述缺陷將引起光學畸變現象，該現象由于與第二塊玻璃板的組裝而變得明顯。因此，實踐中期望在上游階段在玻璃制造廠內充分檢測所述缺陷，以在缺陷過于明顯的情況下丟棄和報廢這些玻璃表面。確定玻璃的形狀以知曉其周緣是否完美地匹配其所針對的車身也是很明智的。在拋物線形鏡子的應用中，通常優(yōu)選在鏡子剛完成制造之后，就通過將所述鏡子與參考鏡子的完美形狀相比較來確定所述鏡子的形狀。確實，鏡子的能效取決于所述鏡子對光線的良好聚焦?，F在，聚焦直接與鏡子凹進的合適輪廓有關，所述輪廓通過測量表面眾多點的斜率和高度來準確評估。多種形狀測量技術已被熟知，諸如基于探針的方法、攝影測量法、偏轉測量法、抑或激光掃描法?；谔结樀姆椒ㄔ谟?在機械臂的端部安裝探針，所述探針在多個點(對于1500x1500mm的玻璃而言一般有規(guī)律地分布有1000個點)處接觸玻璃表面。這種測量設備可以直接得到每個點的高度。然后，基于所述高度通過數值微分計算出局部斜率。獲取及處理過程的持續(xù)時間大約100分鐘。攝影測量法在于:將量規(guī)附著在待測量的整個表面上，所述量規(guī)包括描繪有大量準確定位的黑點的白板。從多個角度(一般是八個角度)為這個量規(guī)拍攝數張照片，而后這些照片被適宜軟件處理以重建所述表面兩維的形狀，并因此提供高度的繪圖?；谒龈叨韧ㄟ^微分計算出局部斜率。獲取及處理信息過程的持續(xù)時間大約120分鐘。然而，前述兩種技術所展現出的缺點在于:當需要將這兩種技術應用到其速度要求每20秒到30秒通過一個物體(volume)的工業(yè)生產線時,處理時間過長。另一方面，偏轉測量技術則快速很多，大約5分鐘。偏轉測量法在于:分析量規(guī)在待測量表面上反射之后的變形。通過確認未變形的量規(guī)的狀態(tài)，并且以已知方式基于光線跟蹤，可以計算出在這個表面的任意點處的局部表面斜率。在連續(xù)點處的局部斜率的數學積分得出這多個點的高度。同樣更快速的激光掃描技術在于:用沿兩個垂直的方向中每一個精確對準的激光來沿著所述兩個方向掃描待分析的表面。相機觀察光束在位于所述表面的聚焦平面中的目標上反射之后的照射點(point of impact),并驗證光束照射點在這個目標上的集中質量。對于具有1500x1500mm區(qū)域的表面來說，測量的持續(xù)時間一般是5分鐘。然而，偏轉測量法和激光掃描技術難于在工業(yè)生產線上實施，因為當需要測量新的表面時，需要對測量系統進行極其精細的調整、定位或校準。特別地，激光的對準或傾斜誤差，例如I毫弧度，即在Im的距離上誤差為1mm，將完全錯誤地得出測量和估算結果。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種用于測量鏡表面形狀的設備，所述鏡表面與諸如玻璃制品或鏡子的物體(volume)相關聯，這種設備不會展現出前述缺點，并且將在實施時間以及數據獲取和處理的時間二者上的性能與在工業(yè)生產線上測量的可重復性結合起來。根據本發(fā)明，用于測量鏡子形狀或鏡表面形狀的設備包括:第一單向圖案平面量規(guī)，其與待測量表面有一定距離；相機，用于拍攝將被在鏡表面中反射出的像；處理裝置，用于處理由相機記錄下的信息；第一照明裝置，用于照明整個量規(guī)，其特征在于，所述設備還包括附加照明裝置，其布置成緊密靠近且平行于量規(guī)的平面或布置在量規(guī)的實際平面中，并面向待測量表面，第一照明裝置和附加照明裝置交替地照明，以分別僅觀察第一量規(guī)抑或僅觀察第二單向圖案量規(guī)，所述第二量規(guī)基于附加照明裝置形成。附加照明裝置通過其布置而將在量規(guī)的平面中朝著待測量表面的方向照明。因此，基于兩個不同的量規(guī)，所述設備使得可能的是，在同一時間提供了在引起最高準確度和分辨率的主要方向(即變形較大的方向)上的測量以及在垂直于主要方向的次要方向上的測量。因此，交替照明要么顯現出第一單向圖案量規(guī)，其確保在主要方向上的形狀測量，要么顯現出第二量規(guī)，其具有單向圖案且垂直于第一量規(guī)的圖案，以在其次要方向上測量表面變形。這種設備避免使用具有雙向圖案的量規(guī)，諸如呈棋盤形式的量規(guī)，所述量規(guī)難于處理且展現出很低的空間分辨率。因此，通過使兩個不同的量規(guī)共存于支撐第一量規(guī)的同一表面上，其中所述兩個不同的量規(guī)僅根據照明條件的適當實施而變得可見，本發(fā)明的設備從而規(guī)避了這些困難。 根據一個特性，第一照明裝置和附加照明裝置各自的照明時間持續(xù)相機拍攝相應的整個表面所需的時間。因此，根據至多20秒的信息獲取和處理的時間，所述設備允許極其快速地測量表面形狀，這特別適用于工業(yè)生產線。根據另一特性，第一量規(guī)包括交替的寬度相同的暗平行線條和亮平行線條，所述寬度為例如10mm。線條的“寬度”理解成線條的最小尺寸。優(yōu)選地，由附加照明裝置形成的第二量規(guī)包括發(fā)光二極管或光纖終端類型的多個點光源，所述多個點光源依照與第一量規(guī)的線條平行的線而有規(guī)律地隔開。更特別地，點光源以在至少一根暗線條的寬度內居中的方式對齊。根據另一特性，所述設備包括攜載第一量規(guī)的面板，所述面板包括容納相機的物鏡的中央孔口，優(yōu)選地，孔口定尺寸成所述孔口的面積與量規(guī)的總面積的比率小于1/1000。第一量規(guī)與待測量表面之間的距離以及量規(guī)的尺寸如此構造，使得整個量規(guī)在整個待測量表面上被反射，并且相機的物鏡構造成將整個待測量表面記錄在單一照片中。所述設備有利地與攜載待測量表面的平面支撐件相關聯，所述支撐件平行于第一量規(guī)延伸，并且待測量表面以參照相機物鏡光軸對中的方式布置。待測量表面的垂直于主要方向的相反邊緣放置成基本距支撐件的相同距離，以使得在主要方向上的彎曲關于由相機軸線構成的光軸基本對稱。為了確保依照拱曲表面的主要方向和次要方向的測量，所述表面的凹進必須指向量規(guī)，并且所述表面被這樣布置在所述支撐件上，使得第一量規(guī)的單向圖案定向成垂直于拱曲的主要方向。表面如此放置在支撐件上，使得相機能在單一照片中拍攝整個表面，但無需表面的準確對中，也無需任何校準或者基準測試步驟，由此非常有利地使得在工業(yè)生產線上節(jié)省時間成為可能。


現在，將借助于僅為說明性且完全非限制性的本發(fā)明范圍的實施例、以及基于附圖來描述本發(fā)明，其中:-圖1a和Ib示意性地示出了拱曲表面分別關于兩個垂直方向的輪廓；-圖2表示了本發(fā)明的測量設備的示意性剖視圖，其中所述測量設備與攜載著待測量表面的支撐件相關聯；-圖3是圖2的支撐件的透視圖；-圖4是本發(fā)明設備所使用的第一單向圖案量規(guī)的實施例的正視圖；-圖5是本發(fā)明所使用的第二量規(guī)的實施例的局部正視圖。
具體實施例方式圖2示意性示出了用于估量鏡表面2形狀的本發(fā)明測量設備1，所述鏡表面2諸如是玻璃制品的主要表面的其中之一，所述玻璃制品具有主要關于兩個方向而展現出不同曲率的拱曲的形狀，拱曲在其中一個方向上更為明顯。所述設備包括:支撐件3，其上放置玻璃制品，并且其更詳細的視圖示出在圖3中；單向圖案量規(guī)(gauge)4，其更特別參照圖4示出，其中玻璃制品的表面2面向量規(guī)；相機5 ;處理裝置6，其鏈接到相機，并能夠處理由相機記錄下的照片；照明量規(guī)的第一照明裝置7 ；和在第一照明裝置關閉時實施的附加照明裝置8。附加照明裝置8配置和設計成通過形成第二量規(guī)9而在量規(guī)的平面中朝著待測量表面2的方向照明，所述第二量規(guī)具有與第一量規(guī)的圖案相垂直的單向圖案。本發(fā)明的設備使得可能的是，憑借第一量規(guī)4以高分辨率在表面中生成像，并且借由起初在附加照明裝置關閉時隱蔽的第二量規(guī)來產生低分辨率的像，但是所述低分辨率的像就測量結果足以滿足要求。照明條件和相機捕捉照片的改變確保了從一個量規(guī)到另一個量規(guī)的準瞬時切換以及確保了連續(xù)拍攝兩張照片，其中每個量規(guī)的像由一張照片反射出?？紤]到拱曲程度最大的形狀肯定是以相比拱曲程度最小的形狀高的精度被測量的，抑或考慮到已知在次要方向上的形狀可忽略或者所述形狀在所述方向上是平坦的，測量因此關于兩個垂直的方向完成。參照圖3和4的支撐件3形成桌臺，所述桌臺具有平坦表面并且在所述桌臺上布置有多個支承墊30 (此處透過表面可見且數量為四個)、以及側向抵接件31和32。拱曲玻璃制品以與待測量表面2相反的其中一個主要面20放置在支撐件3上，其中玻璃制品的凸部21翻轉朝向支撐件3。因此，玻璃制品通過其面20而擱置在支承墊30上，所述支承墊30合適地隔開以使玻璃制品的重量適宜地分布，從而將玻璃制品保持在穩(wěn)定平衡狀態(tài)中。側向抵接件31和32使得可能的是，通過玻璃制品的側向邊緣20和22楔緊所述玻璃制品。墊30和抵接件31和32還用于相對于量規(guī)4正確地定位玻璃制品、從而正確地定位表面2，所述量規(guī)4將在所述表面中被反射。玻璃制品在測量支撐件上的定位可以通過機械手完成。這也可以更簡單地通過兩個操作員完成。更普遍地，在生產線上輸送玻璃制品時，玻璃制品在量規(guī)下方的定位如此完成:使玻璃制品?？吭诹恳?guī)下方，接著借由擔當抵接件31和32的可移除滑枕而將玻璃制品對正(使玻璃制品對中)，所述可移除滑枕與升舉系統相關聯，所述升舉系統確保豎直的上下平移并且位于玻璃窗下方代替支承墊30，以將玻璃制品帶至距量規(guī)的正確距離。在拍攝照片之后，玻璃制品被重新放置到輸送器上，并在隨后的玻璃制品到達之前移出。然而，所述定位不必極其精確，只要量規(guī)的像在整個表面上被反射出，并且相機能通過單次拍照捕捉到整個表面即可。圖4所示的第一量規(guī)4是形成規(guī)則的周期信號的具有單向圖案的量規(guī)。量規(guī)包括規(guī)則交替的暗線條或暗虛線40以及亮線條或亮虛線41，并優(yōu)選為黑色線條和白色線條，以提供強烈的相互對比。每根線條的寬度是恒定的、例如10mm。每根線條構成一個光學意義上的物體。每根線條展現出上游邊緣和下游邊緣，在處理裝置6中它們的定位被作為參照。相機5將拍攝量規(guī)在表面上的反射像，從而拍攝線條的上游邊緣和下游邊緣各自的像；已知每根線條的光學放大率，處理裝置將在像和參照之間對每根線條的邊緣的定位進行比較。這種處理方法將在后文中更詳細看到。量規(guī)4面向待測量表面2,并布置成以一定距離隔開。量規(guī)4依照正方形表面或矩形表面延伸。量規(guī)的尺寸及其與表面2的分隔距離配置成使得整個量規(guī)能在表面2中被反射出，這些量還取決于配置給相機的物鏡類型(照片的拍攝角度)。例如，對于尺寸為1700x1600mm的玻璃制品的形狀測量而言，量規(guī)與表面之間的距離是2500mm，量規(guī)的尺寸是 3600x1800mm。相機5的物鏡50 (圖2)位于與量規(guī)4所在平面相同的平面上，并指向表面2的方向。物鏡的類型以及物鏡到表面的距離允許全場(full-field)測量，即通過單次拍照對整個表面上進行測量。量規(guī)4例如由白色PVC剛性面板42支撐，在所述面板42上絲網印刷有寬度相同、規(guī)律隔開的黑色線條。面板42在其中央包括容納相機物鏡的孔口 43。所述孔口應盡可能小，因為不可能測量表面2的面向該孔口的那一部分。實踐中，為了把在這個觀察區(qū)域的層次上的測量損失視作可忽略不計，將采取措施使孔口面積與量規(guī)面積的比率小于1/1000。然而，可能的是，通過適當的技術而人為地重建量規(guī)對應于所述孔口的缺失部分，以便不影響在這個區(qū)域內的測量結果。量規(guī)經由(面向表面的2)前面借助于諸如幻燈器(projector)的第一照明裝置7被照明。照明裝置的數目和布置適合于均勻地照明整個量規(guī)。當量規(guī)4被第一照明裝置7照明時，在鏡表面2中反射出的整個量規(guī)4的像將在相機的單次拍攝中被拍成照片，所述相機通過其物鏡覆蓋玻璃制品的整個面積。相機5例如是已知類型的矩陣相機，其包括分解成1700列乘1200行的方形像素。每個像素都與用于參照的量規(guī)的像的精確區(qū)域相關聯，由此可以參照量規(guī)的線條的每個邊緣的位置。每個像素還對應于待測量表面的區(qū)域(點)。把在完美玻璃制品或平面玻璃制品上、且在與待測量玻璃制品相同的測量幾何條件下所獲得的量規(guī)像，與在待測量玻璃制品上反射出的量規(guī)像進行比較，所述比較使得可能的是，推算出每根線條在每個像素的層次上的光學放大率，因而推算出其在表面2每個點的層次上的光學放大率。憑借處理裝置6，每個點處的斜率以及高度將從測出的光學放大率中推算出，以最終建立表面的輪廓(表面的形狀)。根據本發(fā)明，為了具有測量與最顯著凹進(主要方向)相對應的形狀的最佳分辨率，玻璃制品應該相對于量規(guī)定向成量規(guī)的線條布置得垂直于主要方向。因此，根據圖3，如果最顯著的凹進具有主要方向X，那么與表面2相對布置的量規(guī)4將使得線條40和41垂直于軸線X并平行于正交軸線Y。這種具有平行線條圖案的量規(guī)的使用，對應于測量相對于每根線條的寬度所觀察到的變形，由此確保測量分辨率比用另一類型的量規(guī)(其圖案將會進一步描述)高，并且因此適合于最顯著凹進的輪廓。量規(guī)像的照片拍攝及其處理以依照拱曲主要方向推算表面2的形狀是在非常短的時間內完成的，大約10s。根據本發(fā)明，所述設備還使得可能的是，在不移動玻璃制品的情況下極其快速地測量出對應于拱曲次要方向的形狀。根據本發(fā)明，第二量規(guī)因此依照垂直于第一量規(guī)圖案的單向圖案而形成，第一量規(guī)此時好像被“擦除”(不再顯現)了，以單獨拍攝第二量規(guī)在表面2上的反射像。為了不再顯現第一量規(guī)并且形成第二量規(guī)，附加照明裝置8被提供并且被控制裝置80設置進入工作狀態(tài)，同時第一照明裝置7被控制裝置70操縱以關閉?？刂蒲b置70和80以通常的方式驅動以確保亮起和同時熄滅。特別地，還可能的是，使相機的曝光時間適應第二量規(guī)的光強，所述第二量規(guī)明顯比不再被照明的第一量規(guī)亮，以更有效地“擦除”所述第一量規(guī)。附加照明裝置8在量規(guī)平面的層次上布置，具體布置在量規(guī)的正面平面中或布置成緊密靠近所述正面平面。此外，這個照明裝置位于第一單向量規(guī)4的暗線條的空間中。例如，根據圖5，附加照明裝置8包括沿量規(guī)4的每根暗線條41有規(guī)律隔開的多個發(fā)光點，所述多個發(fā)光點形成第二量規(guī)9。這些附加照明裝置例如包括多個點光源90，諸如發(fā)光二極管或光纖終端。由此形成的第二量規(guī)的圖案生成了眾多物體，所述眾多物體從光學意義來說通過每根線條上的兩個連續(xù)發(fā)光點之間的間隔寬度形成。所述第二量規(guī)一旦在表面2中被反射，就會反饋出影像，在平行于次要方向的方向上針對所述影像測量出發(fā)光點彼此的間隔距離的可能有的變形(光學放大率)。這種量規(guī)9使得沿拱曲的次要方向(即Y方向)測量形狀成為可能。由于其分辨率比第一量規(guī)的圖案的低，所以這種量規(guī)的圖案確實用于拱曲程度最小的表面輪廓。在測量方法中，一旦相機5拍攝完被照明的第一量規(guī)4的照片，第一照明裝置7就關閉，同時附加照明裝置8開啟。然后，相機再拍攝第二單向量規(guī)9在其中被反射時的該表面2的另一張照片，確保沿拱曲次要方向的形狀測量。處理和計算裝置6連接于相機5，以執(zhí)行在兩次照片拍攝之后的數學處理操作和分析。本處理方法在于:基于在表面一點(對應于相機的像素i)處測得的光學放大率Y 1、并且已知量規(guī)到待測量表面的距離dsm，計算出等效球面鏡的焦距f/，所述等效球面鏡具有量規(guī)在距離Clsni處的放大率Y i。以下數學關系提供在與像素i相關聯的點處的焦距f/的計算公式:對于反射像，f/= Y i*dsm/ (1-Yi)0應該注意到，僅涉及能夠容易測出的表面到量規(guī)的距離dsm的這種關系使得能夠直接獲得在與相機的每個像素相關聯的鏡子任意點處的焦距。這種測量方案因此是絕對的，即不需要任何預先校準，也不涉及任何相機感光系數。僅需要確定光學裝置的幾何條件，這不成問題。這種測量方案為所述設備確保了非常高的工業(yè)穩(wěn)定性。基于在每個點所計算出的焦距，可能的是，以已知方式推算出(在每個點處的)局部曲率,并且通過將局部曲率一次積分,局部斜率自此推算出，由此在又一次數學積分之后，可以獲得表面每個點的高度，以及因此獲得所述表面的形狀。因此，本發(fā)明的設備借由兩個快速交替可視化的單向量規(guī)、僅兩個像的拍攝、以及容易的計算方案就提供極其快速、可重復的測量系統，當玻璃制品沿工業(yè)生產線前進時，所述測量系統僅需要玻璃制品?？恳欢味虝旱臅r間(至多10秒)，?？恳院蠼又M行至多10秒的測量處理。
權利要求
1.一種用于測量鏡子形狀或鏡表面(2)形狀的設備(1)，包括:第一單向圖案平面量規(guī)(4)，其將與待測量表面相距一定距離；相機(5)，用于拍攝將在鏡表面中反射出的像；處理裝置(6)，用于處理由相機記錄下的信息；第一照明裝置(7)，用于照明整個量規(guī)，其特征在于，所述設備(I)還包括附加照明裝置(8)，其布置成緊密靠近且平行于量規(guī)的平面或布置在量規(guī)的實際平面中，并面向待測量表面，第一照明裝置(7)和附加照明裝置(8)交替地照明，以分別僅觀察第一量規(guī)(4)或僅觀察第二單向圖案量規(guī)(9)，所述第二單向圖案量規(guī)基于附加照明裝置(8)形成。
2.如權利要求1所述的設備，其特征在于，第一照明裝置(7)和附加照明裝置(8)各自的照明時間持續(xù)相機(5)拍攝相應的整個表面(2)所需的時間。
3.如權利要求1或2所述的設備，其特征在于，第一量規(guī)(4)包括交替的寬度相同的暗平行線條(40)和売平行線條(41),所述寬度為例如10mm。
4.如權利要求3所述的設備，其特征在于，由附加照明裝置形成的第二量規(guī)(9)包括發(fā)光二極管或光纖終端類型的多個點光源(90)，所述多個點光源依照與第一量規(guī)的線條平行的線而有規(guī)律地隔開。
5.如權利要求4所述的設備，其特征在于，點光源(90)以在至少一根暗線條的寬度內居中的方式對齊。
6.如前述權利要求任一所述的設備，其特征在于，所述設備包括攜載第一量規(guī)(4)的面板(42 )，所述面板包括容納相機(5 )的物鏡(50 )的中央孔口( 43 )，優(yōu)選地，孔口定尺寸成所述孔口的面積與量規(guī)的總面積的比率小于I/1000。
7.如前述權利要求任一所述的設備，其特征在于，第一量規(guī)(4)與待測量表面(2)之間的距離以及量規(guī)的尺寸構造成使得整個量規(guī)在整個待測量表面上被反射出，并且其中，相機的物鏡(50)構造成將整個待測量表面記錄在單一照片中。
8.如前述權利要求任一所述的設備，其特征在于，所述設備與攜載待測量表面(2)的平面支撐件(3)相關聯，支撐件平行于第一量規(guī)(4)延伸，并且待測量表面(2)將以關于相機的物鏡(50)的光軸對中的方式布置。
9.如權利要求8所述的設備，其特征在于，當待測量表面(2)是拱曲的時，表面的凹進指向量規(guī)(4)，并且表面將被這樣布置在支撐件(3)上，使得第一量規(guī)的單向圖案定位成垂直于拱曲的主要方向。
10.如前述權利要求任一所述的設備，其特征在于，所述設備應用于包括彎曲表面的玻璃的形狀測量，或者拋物形太陽能鏡子的形狀測量。
11.一種用于測量鏡子形狀或鏡表面形狀的方法，所述鏡子或鏡表面具有關于主要方向明顯突顯、而關于垂直于所述主要方向的次要方向明顯較少突顯的凹進，所述方法包括交替照明，所述交替照明交替地顯現出: -第一量規(guī)，其具有垂直于主要方向的單向圖案，并用于借由第一照明裝置沿所述主要方向測量形狀， -第二量規(guī)，其具有垂直于所述第一量規(guī)的圖案的單向圖案，并用于借由第二照明裝置沿所述次要方向測量形狀，其中所述第一照明裝置關閉， 其中，附加照明裝置經過所述第一量規(guī)的暗區(qū)域來照明并因此形成所述第二量規(guī)的圖案。
12.如權利要求11所述的方法，其中，當所述第一照明裝置開啟且所述第二照明裝置關閉時，所述第二量規(guī)隱蔽在所述第一量規(guī)中。
13.如權利要求11或12所述的方法，其中，所述第一照明裝置照明所述第一量規(guī)的前面，所述第二照明裝置從所述第一量規(guī)的后面經過所述第一量規(guī)來照明。
14.如權 利要求11至13任一所述的方法，其中，所述第二量規(guī)的圖案包括布置在垂直于所述次要方向的行中的發(fā)光點，所述第一量規(guī)的圖案包括交替的暗線條和亮線條，并且所述第二量規(guī)的點狀圖案出現在暗線條中。
15.如權利要求11至14任一所述的方法，其中，在所述第一量規(guī)和所述第二量規(guī)的相應曝光過程中，所述第二量規(guī)的光強顯著大于所述第一量規(guī)的光強。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于測量表面形狀的設備。所述設備包括具有單向設計的第一測試圖案(4)，所述第一測試圖案被第一照明裝置(7)照明，這使得形狀能夠沿第一方向被測量；以及第二測試圖案(9)，其具有垂直于第一測試圖案的設計的單向設計，這使得形狀能夠沿垂直于第一方向的第二方向被測量。第二測試圖案在與第一測試圖案相同的平面上由附加照明裝置(8)形成，所述第二測試圖案僅在第一照明裝置關閉時被照明。
文檔編號G01B11/25GK103189714SQ201180044143
公開日2013年7月3日 申請日期2011年9月14日 優(yōu)先權日2010年9月17日
發(fā)明者M·皮雄, R·艾蒂安, A·馬利耶 申請人:法國圣-戈班玻璃公司