專利名稱：能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電子元件測(cè)試機(jī)具，尤指一種可調(diào)整該電性測(cè)試模塊的水平度與θ角度，而使該電性測(cè)試模塊其所有探針都能穩(wěn)固準(zhǔn)確接觸待測(cè)的電子元件，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升測(cè)試合格率與效率的功效。
背景技術(shù)：
一般的電子元件測(cè)試機(jī)具，如中國臺(tái)灣專利公報(bào)第1258590號(hào)「量產(chǎn)式發(fā)光二極管測(cè)試裝置」，請(qǐng)參閱圖1所示，其包含控制模塊10與至少一積分球測(cè)試模塊20及至少一測(cè)試板15，該積分球測(cè)試模塊20與該控制模塊10電性連接，又該積分球測(cè)試模塊20設(shè)有電性輸出21與光輸出22，該積分球測(cè)試模塊20設(shè)有光輸入口 23與數(shù)個(gè)探針，另該測(cè)試板 15對(duì)應(yīng)于該積分球測(cè)試模塊20設(shè)置，該測(cè)試板15上放置有數(shù)個(gè)發(fā)光二極管16，憑借該積分球測(cè)試模塊20設(shè)有光輸入口 23與數(shù)個(gè)探針，而使該電子元件測(cè)試機(jī)具可以測(cè)試該發(fā)光二極管16的電特性與光特性，進(jìn)而使該電子元件測(cè)試機(jī)具達(dá)到可同時(shí)測(cè)試電子元件的電特性與光特性的目的。該現(xiàn)有的電子元件測(cè)試機(jī)具，雖可達(dá)到同時(shí)測(cè)試電子元件的電特性與光特性的目的，但該電子元件測(cè)試機(jī)具并無調(diào)整該積分球測(cè)試模塊20其水平度或θ角度的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)， 因此該測(cè)試板15其發(fā)光二極管16與積分球測(cè)試模塊20其探針，兩者之間常會(huì)因?yàn)楣财矫嫘?coplanarity)不佳或θ角度偏差，而使部分探針無法穩(wěn)固準(zhǔn)確地接觸到待測(cè)的發(fā)光二極管16，致使測(cè)試的準(zhǔn)確性與效率降低，進(jìn)而導(dǎo)致該電子元件測(cè)試機(jī)具的測(cè)試合格率與產(chǎn)能降低，又，該測(cè)試板15與積分球測(cè)試模塊20之間也無自動(dòng)對(duì)位的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，因此操作者須手動(dòng)控制調(diào)整該測(cè)試板15的位置，如此將導(dǎo)致測(cè)試更為費(fèi)時(shí)，進(jìn)而造成使用上的不便。因此，如何將上述等缺失加以摒除，即為本案實(shí)用新型設(shè)計(jì)人所欲解決的技術(shù)困難點(diǎn)的所在。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于現(xiàn)有的電子元件測(cè)試機(jī)具，因其積分球測(cè)試模塊無調(diào)整水平度或θ角度的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，因此該測(cè)試板其發(fā)光二極管與積分球測(cè)試模塊其探針之間容易因共平面性不佳或θ角度偏差，而使部分探針無法穩(wěn)固準(zhǔn)確地接觸到待測(cè)的發(fā)光二極管，致使測(cè)試的準(zhǔn)確性與效率降低，進(jìn)而導(dǎo)致該電子元件測(cè)試機(jī)具的測(cè)試合格率與產(chǎn)能降低，因此本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，憑借本實(shí)用新型其測(cè)試裝置設(shè)有水平調(diào)整裝置與旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置，而可調(diào)整該電性測(cè)試模塊的水平度與θ 角度，而使該電性測(cè)試模塊其所有探針都能穩(wěn)固準(zhǔn)確接觸待測(cè)的電子元件，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升測(cè)試合格率與效率的功效。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是—種能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于，包含一機(jī)體；[0009]一進(jìn)出片裝置，該進(jìn)出片裝置設(shè)于機(jī)體內(nèi)，該進(jìn)出片裝置設(shè)有第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該進(jìn)出片裝置設(shè)有測(cè)試平臺(tái)，該測(cè)試平臺(tái)固設(shè)于第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上方；一測(cè)試裝置，該測(cè)試裝置設(shè)于機(jī)體上，該測(cè)試裝置設(shè)有第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)有光特性測(cè)試模塊，該測(cè)試裝置設(shè)有電性測(cè)試模塊，該測(cè)試裝置設(shè)有至少三個(gè)水平調(diào)整裝置，該水平該測(cè)試裝置設(shè)有至少二個(gè)旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置。其中該測(cè)試裝置設(shè)有底座。其中該測(cè)試裝置設(shè)有探針座。其中該水平調(diào)整裝置設(shè)有第一穿孔與第一固定件，該第一固定件與第一穿孔相穿設(shè)。其中該旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置設(shè)有抵部。其中該旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置設(shè)有被抵部。其中該機(jī)體內(nèi)設(shè)有控制器。其中該機(jī)體內(nèi)設(shè)有馬達(dá)。其中該光特性測(cè)試模塊為積分球。其中該電性測(cè)試模塊為探針卡。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，采用上述技術(shù)方案的本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)在于憑借本實(shí)用新型其測(cè)試裝置設(shè)有水平調(diào)整裝置與旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置，而可調(diào)整該電性測(cè)試模塊的水平度與θ角度，而使該電性測(cè)試模塊其所有探針都能穩(wěn)固準(zhǔn)確接觸待測(cè)的電子元件，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升測(cè)試合格率與效率的功效。

圖1是現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是本實(shí)用新型的立體組合示意圖；圖3是本實(shí)用新型其進(jìn)出片裝置的示意圖；圖4是本實(shí)用新型其測(cè)試裝置的示意圖；圖5是本實(shí)用新型其測(cè)試裝置的部分示意圖；圖6是本實(shí)用新型其水平調(diào)整裝置的動(dòng)作前示意圖；圖7是本實(shí)用新型其水平調(diào)整裝置的動(dòng)作后示意圖；圖8是本實(shí)用新型其旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置的動(dòng)作前示意圖；圖9是本實(shí)用新型其旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置的動(dòng)作后示意圖。附圖標(biāo)記說明10-控制模塊；15-測(cè)試板；16-發(fā)光二極管；20-積分球測(cè)試模塊； 21-電性輸出；22-光輸出；23-光輸入口 ；3-機(jī)體；31-控制器；32-馬達(dá)；33-輸入裝置； 4-進(jìn)出片裝置；41-第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；42-測(cè)試平臺(tái)；5-測(cè)試裝置；51-底座；52-CXD對(duì)位模塊；53-第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；54-光特性測(cè)試模塊；55-探針座；551-水平調(diào)整裝置；552-第一穿孔；553-第一固定件；554-旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置；555-被抵部；556-抵部；557-第二穿孔； 558-第二固定件；56-電性測(cè)試裝置；561-探針；6-晶圓片；61-電子元件。
具體實(shí)施方式
為使貴審查員方便簡捷了解本實(shí)用新型的其他特征內(nèi)容與優(yōu)點(diǎn)及其所達(dá)成的功效能夠更為顯現(xiàn)，茲將本實(shí)用新型配合附圖，詳細(xì)說明如下請(qǐng)參閱圖2所示，本實(shí)用新型提供一種能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其包含一機(jī)體3，該機(jī)體3內(nèi)設(shè)有控制器31，該機(jī)體3內(nèi)設(shè)有馬達(dá)32，該馬達(dá)32與控制器 31電性連接，該機(jī)體3設(shè)有輸入裝置33，該輸入裝置33與控制器31電性連接，該輸入裝置 33可為鍵盤；一進(jìn)出片裝置4，該進(jìn)出片裝置4設(shè)于機(jī)體3內(nèi)，該進(jìn)出片裝置4與機(jī)體3其馬達(dá) 32電性連接，請(qǐng)配合參閱圖3所示，該進(jìn)出片裝置4設(shè)有第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)41，該進(jìn)出片裝置4 設(shè)有測(cè)試平臺(tái)42，該測(cè)試平臺(tái)42固設(shè)于第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)41上方；一測(cè)試裝置5，該測(cè)試裝置5設(shè)于機(jī)體3上，請(qǐng)配合參閱圖4所示，該測(cè)試裝置5設(shè)有底座51，該測(cè)試裝置5設(shè)有CCD (Charge Coupled Device，電荷耦合裝置)對(duì)位模塊52， 該CCD對(duì)位模塊52設(shè)于該底座51上，該測(cè)試裝置5設(shè)有第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)53，該第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 53設(shè)于該底座51上，該第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)53與機(jī)體3其馬達(dá)32電性連接，該第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)53 一側(cè)設(shè)有光特性測(cè)試模塊M，又該光特性測(cè)試模塊M可為積分球，該測(cè)試裝置5設(shè)有探針座55，請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D5所示，該探針座55設(shè)于該底座51上，該測(cè)試裝置5設(shè)有至少三個(gè)水平調(diào)整裝置551，該水平調(diào)整裝置551設(shè)于該探針座55上，該水平調(diào)整裝置551設(shè)有第一穿孔552，該水平調(diào)整裝置551設(shè)有第一固定件553，該第一固定件553與第一穿孔552相穿設(shè)，又該第一固定件553可為螺絲，該測(cè)試裝置5設(shè)有至少二個(gè)旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置554，該旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置5M設(shè)有被抵部555，該被抵部555與探針座55相固設(shè)，該旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置 554設(shè)有抵部556，該抵部556與底座51相固設(shè)，該抵部556設(shè)有第二穿孔557，該抵部556 設(shè)有第二固定件558，該第二固定件558與第二穿孔557相穿設(shè)，又該第二固定件558可為螺絲，該測(cè)試裝置5設(shè)有電性測(cè)試模塊56，該電性測(cè)試模塊56設(shè)于該探針座55上，該電性測(cè)試模塊56設(shè)有數(shù)個(gè)探針561，又該電性測(cè)試模塊56可為探針卡(probe card)，另該底座 51可設(shè)有顯示裝置57 ；請(qǐng)參閱圖2、圖7所示，當(dāng)操作者將待測(cè)的晶圓片6放置于進(jìn)出片裝置4其測(cè)試平臺(tái)42上時(shí)，該操作者可通過輸入裝置33輸入啟動(dòng)命令，該控制器31即可令馬達(dá)32轉(zhuǎn)動(dòng)， 而使該馬達(dá)32可帶動(dòng)進(jìn)出片裝置4其第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)41移位，該第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)41即可帶動(dòng)該測(cè)試平臺(tái)42與晶圓片6移位至該CCD對(duì)位模塊52下方進(jìn)行自動(dòng)對(duì)位動(dòng)作，完成對(duì)位后該第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)41則可將測(cè)試平臺(tái)42與晶圓片6移位至該測(cè)試裝置5其探針座55下方， 而該馬達(dá)32可將該測(cè)試平臺(tái)42升起，而使該晶圓片6其電子元件61可接觸該電性測(cè)試模塊56的探針561，而使該電性測(cè)試模塊56可對(duì)該電子元件61進(jìn)行電性測(cè)試，同時(shí)該第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)53也可帶動(dòng)該光特性測(cè)試模塊M移位至該探針座55上方，而使該光特性測(cè)試模塊 54可對(duì)該電子元件61進(jìn)行光特性測(cè)試，測(cè)試完成后該馬達(dá)32可將測(cè)試平臺(tái)42降下，再依與前述相同的動(dòng)作原理，依序?qū)υ摼A片6其他待測(cè)試的電子元件61進(jìn)行測(cè)試，而可完成該晶圓片6所有電子元件61的測(cè)試，該第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)41可帶動(dòng)測(cè)試平臺(tái)42與晶圓片6回到初始位置，該操作者即可更換下一片待測(cè)試的晶圓片6，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到同時(shí)測(cè)試電子元件61其電子性能與光特性的目的。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D6、圖7所示，當(dāng)該探針座55與電性測(cè)試裝置56其水平度偏差，或該電性測(cè)試裝置56與該晶圓片6兩者未達(dá)平行時(shí)，憑借本實(shí)用新型其測(cè)試裝置5設(shè)有水平調(diào)整裝置551，而可調(diào)整該探針座55與電特性測(cè)試裝置56的水平度，而可使該電性測(cè)試裝置56 其所有探針561都能與晶圓片6其電子元件61穩(wěn)固接觸，而可排除現(xiàn)有該測(cè)試板15其發(fā)光二極管16與積分球測(cè)試模塊20其探針，兩者常因共平面性不佳而使部分探針無法穩(wěn)固接觸該發(fā)光二極管16，導(dǎo)致測(cè)試合格率降低的缺失，而使本實(shí)用新型可提升測(cè)試準(zhǔn)確性與效率；又，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D8、圖9所示，當(dāng)該探針座55與電特性測(cè)試裝置56其θ角度有偏差時(shí)，該電特性測(cè)試裝置56其探針561的位置將無法準(zhǔn)確與晶圓片6其電子元件61相對(duì)應(yīng)， 憑借本實(shí)用新型其測(cè)試裝置5設(shè)有旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置554，而可調(diào)整該探針座55與電性測(cè)試裝置56的θ角度，而使該電性測(cè)試裝置56其所有探針561都能準(zhǔn)確對(duì)應(yīng)到該晶圓片6其電子元件61的位置，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升測(cè)試合格率與效率的功效。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D2所示，憑借本實(shí)用新型其測(cè)試裝置5設(shè)有CCD對(duì)位模塊52，而可自動(dòng)對(duì)位，而使操作者無需手動(dòng)控制調(diào)整該測(cè)試平臺(tái)42的位置，而可縮短測(cè)試的操作時(shí)間，進(jìn)而使本實(shí)用新型可兼具達(dá)到更佳測(cè)試效率的功效。為使本實(shí)用新型更加顯現(xiàn)出其進(jìn)步性與實(shí)用性，茲與現(xiàn)有作一比較分析如下現(xiàn)有技術(shù)1、測(cè)試模塊無水平或旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置，使探針因角度或位置偏差無法穩(wěn)固準(zhǔn)確接觸待測(cè)的電子元件，導(dǎo)致測(cè)試合格率降低。2、無法自動(dòng)對(duì)位，測(cè)試的操作時(shí)間較長。本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)1、測(cè)試裝置具水平與旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置，使探針可穩(wěn)固準(zhǔn)確接觸待測(cè)的電子元件， 可使測(cè)試合格率提高。2、可自動(dòng)對(duì)位，測(cè)試的操作時(shí)間較短。以上說明對(duì)本實(shí)用新型而言只是說明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可作出許多修改、變化或等效，但都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于，包含一機(jī)體；一進(jìn)出片裝置，該進(jìn)出片裝置設(shè)于機(jī)體內(nèi)，該進(jìn)出片裝置設(shè)有第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該進(jìn)出片裝置設(shè)有測(cè)試平臺(tái)，該測(cè)試平臺(tái)固設(shè)于第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上方；一測(cè)試裝置，該測(cè)試裝置設(shè)于機(jī)體上，該測(cè)試裝置設(shè)有第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)有光特性測(cè)試模塊，該測(cè)試裝置設(shè)有電性測(cè)試模塊，該測(cè)試裝置設(shè)有至少三個(gè)水平調(diào)整裝置，該水平該測(cè)試裝置設(shè)有至少二個(gè)旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該測(cè)試裝置設(shè)有底座。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該測(cè)試裝置設(shè)有探針座。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該水平調(diào)整裝置設(shè)有第一穿孔與第一固定件，該第一固定件與第一穿孔相穿設(shè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置設(shè)有抵部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置設(shè)有被抵部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該機(jī)體內(nèi)設(shè)有控制器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該機(jī)體內(nèi)設(shè)有馬達(dá)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該光特性測(cè)試模塊為積分球。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，其特征在于該電性測(cè)試模塊為探針卡。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種能夠測(cè)試電子性能與光特性的電子元件測(cè)試機(jī)具，進(jìn)出片裝置設(shè)于機(jī)體內(nèi)，該進(jìn)出片裝置設(shè)有第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該進(jìn)出片裝置設(shè)有測(cè)試平臺(tái)，該測(cè)試平臺(tái)固設(shè)于第一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上方；一測(cè)試裝置，該測(cè)試裝置設(shè)于機(jī)體上，該測(cè)試裝置設(shè)有第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第二傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)有光特性測(cè)試模塊，該測(cè)試裝置設(shè)有電性測(cè)試模塊，該測(cè)試裝置設(shè)有至少三個(gè)水平調(diào)整裝置，該水平該測(cè)試裝置設(shè)有至少二個(gè)旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置；憑借本實(shí)用新型其測(cè)試裝置設(shè)有水平調(diào)整裝置與旋轉(zhuǎn)角調(diào)整裝置，而可調(diào)整該電性測(cè)試模塊的水平度與θ角度，而使該電性測(cè)試模塊其所有探針都能穩(wěn)固準(zhǔn)確接觸待測(cè)的電子元件，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升測(cè)試合格率與效率的功效。
文檔編號(hào)G01R31/00GK202093103SQ20112012545
公開日2011年12月28日 申請(qǐng)日期2011年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月26日
發(fā)明者林源記, 謝志宏, 陳圣杰 申請(qǐng)人:亞克先進(jìn)科技股份有限公司