專利名稱：具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種綜合檢測適用于液晶顯示裝置(LCD)的基板的邊緣缺陷、脫色(discolor)、顏色變化、基板表面的污點以及劃痕狀態(tài)和是否存在雜質(zhì)、并且是否發(fā)生波浪現(xiàn)象的基板的質(zhì)量檢測裝置，尤其涉及一種構(gòu)成多級基板投入門，另外在以多層結(jié)構(gòu)構(gòu)成的各個門之間的內(nèi)部空間朝與基板的前進(jìn)方向相同的方向沿著水平布置作為檢測部件的相機(jī)和透鏡以及照明燈，由此能夠大量進(jìn)行對基板的質(zhì)量檢測的具有多級(multistage)基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置。
背景技術(shù)：
液晶顯示裝置主要由形成薄膜晶體管的下部基板和形成彩色濾光片的上部基板以及注入于下部基板和上部基板之間的液晶構(gòu)成。對于這種用于形成薄膜晶體管和彩色濾光片的基板而言，當(dāng)其表面上存在污點和劃痕以及雜質(zhì)或者顏色變化，并且產(chǎn)生厚度不一致的波浪現(xiàn)象時，會損壞進(jìn)行工藝的工藝室內(nèi)的電極等，或者因破碎的基板的碎片飛散而會污染工藝室內(nèi)部，同時無法在基板上均勻地沉積或者蝕刻薄膜等，從而導(dǎo)致液晶顯示裝置的液晶所顯示的顏色發(fā)生異常，即只能形成產(chǎn)生脫色的不合格的產(chǎn)品。為此，在以往，在將基板放入工藝室內(nèi)而進(jìn)行沉積或蝕刻、濺鍍等利用等離子體的工藝之前，對基板整體進(jìn)行質(zhì)量檢測。然而，現(xiàn)有的針對基板的質(zhì)量檢測裝置與液晶顯示裝置的制造工藝中所使用的裝置分開布置，因此當(dāng)通過反復(fù)多個工藝來完成薄膜晶體管液晶顯示裝置時，只能在每個工藝結(jié)束時對基板單獨進(jìn)行各種質(zhì)量檢測，據(jù)此在以往會導(dǎo)致對基板的質(zhì)量檢測所需的時間較多的不經(jīng)濟(jì)的問題。并且，在以往，在檢測基板表面上的污點或劃痕、脫色以及波浪現(xiàn)象或者邊緣部分的裂紋時，由于依據(jù)觀察者的主觀觀察結(jié)果不同等而導(dǎo)致無法進(jìn)行準(zhǔn)確的觀察。作為一例，當(dāng)觀察基板的邊緣等處的破損(例如觀察發(fā)生裂紋的狀態(tài))時，存在檢測出在其次的清洗工藝中可被清洗而去除的、基板上的諸如顆粒等雜質(zhì)的過度檢測的問題；當(dāng)在基板的表面，基板碎片或者顆粒產(chǎn)生在外部或內(nèi)部而附著在基板上面時，基板碎片等會損壞在之后的后續(xù)工藝中所使用的設(shè)備等的問題。為此，在以往，需要開發(fā)可從多個角度接近基板的技術(shù)，以當(dāng)將基板投入到工藝之前或者投入到下一個工藝之前，能夠判斷在基板邊緣是否存在裂紋以及顆粒，且識別出這種裂紋以及顆粒。因此，本申請的申請人通過于2006年4月3日申請的專利(于2008年6月10日授權(quán)的授權(quán)專利第838656號，以下稱為現(xiàn)有技術(shù)I)和于2007年7月27日從所述現(xiàn)有技術(shù)I分案的申請(于2007年11月29日授權(quán)的授權(quán)專利第782424號，以下稱為現(xiàn)有技術(shù)2)，改進(jìn)了在現(xiàn)有的基板質(zhì)量檢測裝置中所存在的問題，而本發(fā)明解決了這種現(xiàn)有技術(shù)I和2。S卩，現(xiàn)有技術(shù)1、2通過諸如機(jī)器人的提取單元，依次提取基板之后，將該基板投入到設(shè)置有包含相機(jī)和透鏡以及照明燈的檢測單元的檢測框架的門內(nèi)，據(jù)此使所述檢測單元能夠檢測投入到檢測框架的門內(nèi)的基板的質(zhì)量狀態(tài)。然而，由于現(xiàn)有技術(shù)1、2在一個檢測框架中構(gòu)成有一個基板投入門和檢測單元，因此對等待投入到工藝的多個基板進(jìn)行質(zhì)量檢測時需要消耗相當(dāng)長的時間，為此本發(fā)明解決了這種現(xiàn)有技術(shù)1、2中所存在的問題。另外，作為與所述現(xiàn)有技術(shù)1、2不同的其他實施例，還存在在一個檢測框架中設(shè)置多級門的情況，此時在各個門與門之間需要安排富余的空間，用以排列布置作為檢測單元的相機(jī)和透鏡以及照明燈，據(jù)此會導(dǎo)致檢測框架的大小(高度)變大的缺點，因而門的多級構(gòu)成會受到限制。即，構(gòu)成一個門時，在門的內(nèi)部空間上側(cè)，在基板的上面相對于基板的前進(jìn)方向垂直地布置相機(jī)和透鏡；在門的內(nèi)部空間下側(cè)，在基板的底面相對于基板的前進(jìn)方向垂直地排列照明燈。因垂直排列的相機(jī)和透鏡的高度較高的關(guān)系，構(gòu)成多級門時，門和門之間的內(nèi)部設(shè)置空間因垂直排列的相機(jī)和透鏡而需要確保預(yù)定高度以上，因此檢測框架的整體高度隨著構(gòu)成多級門的數(shù)量而只能被擴(kuò)大。為此，在以往，為了改進(jìn)如上所述的構(gòu)成多級門時出現(xiàn)的問題，在門外部的基板入口側(cè)或者出口側(cè)分別排列包含于檢測單元的相機(jī)和透鏡，以避免擴(kuò)大檢測框架的高度，但是這會導(dǎo)致針對基板的質(zhì)量檢測不夠精確的問題。即，應(yīng)該在基板通過門時進(jìn)行質(zhì)量檢測，但是當(dāng)在門外部的入口側(cè)或者出口側(cè)設(shè)置檢測單元的相機(jī)和透鏡時，不僅會使包含在檢測單元的相機(jī)和透鏡暴露在外，而且與位于門的內(nèi)部空間下側(cè)的照明燈相錯位，由此導(dǎo)致發(fā)生通過相機(jī)拍攝的基板表面的圖像信息不佳或者歪曲等問題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于此，本發(fā)明是為了解決如上所述的現(xiàn)有問題而提出的，目的在于提供一種具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置，具有如下的優(yōu)點:本發(fā)明以多級結(jié)構(gòu)構(gòu)成檢測框架的基板投入門，另外在以多級結(jié)構(gòu)形成的各個門之間的內(nèi)部空間，沿著水平排列包含在檢測單元的相機(jī)和透鏡，以使相機(jī)和透鏡沿著門的寬度方向平臥，從而通過輸送機(jī)器人向多級基板投入門快速地輸送多個基板，以使針對多個基板的質(zhì)量檢測同時進(jìn)行等，據(jù)此縮短基板質(zhì)量檢測工藝的時間，尤其通過有效地布置包含在檢測單元的檢測部件，從而不會使具有多級基板投入門的檢測框架的布局相比現(xiàn)有結(jié)構(gòu)擴(kuò)大，據(jù)此能夠提高設(shè)置空間的有效性。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置，構(gòu)成檢測框架，該檢測框架形成用于投入由輸送機(jī)器人輸送的基板的門，所述檢測框架的門間隔預(yù)定距離構(gòu)成為多級結(jié)構(gòu)，以形成多層的內(nèi)部空間；在所述由多層構(gòu)成的內(nèi)部空間，在門的下部左右側(cè)分別布置照明燈；在所述由多層構(gòu)成的內(nèi)部空間，在門的上部左右側(cè)，分別在與照明燈相同豎直線的位置以預(yù)定傾斜角度設(shè)置反射鏡，以提供間接照明和呈現(xiàn)經(jīng)過門的基板的兩側(cè)側(cè)面部件的間接圖像；在所述由多層構(gòu)成的內(nèi)部空間，在門的上部沿著所述門的寬度方向并排水平排列透鏡和相機(jī)，以通過所述反射鏡提供的間接照明來拍攝照射在所述反射鏡上的基板的兩側(cè)側(cè)面部分的間接圖像。
并且，所述反射鏡設(shè)置為，相對于所述照明燈和所述透鏡以及相機(jī)形成45°的傾斜角度。如上所述，本發(fā)明以多級結(jié)構(gòu)構(gòu)成檢測框架的基板投入門，并在以多級結(jié)構(gòu)形成的各個門之間，沿著水平排列構(gòu)成檢測單元的相機(jī)和透鏡，以使相機(jī)和透鏡沿著門的寬度方向平臥，從而通過輸送機(jī)器人向多級基板投入門快速地輸送多個基板，以使針對多個基板的質(zhì)量檢測同時進(jìn)行等，據(jù)此縮短基板質(zhì)量檢測工藝的時間，尤其通過有效地布置包含在檢測單元的檢測部件，從而不會使具有多級基板投入門的檢測框架的大小相比現(xiàn)有結(jié)構(gòu)擴(kuò)大，據(jù)此能夠期待提高設(shè)置空間的有效性的效果。


圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置的整體概略圖；圖2是作為本發(fā)明的實施例的具有多級基板投入門的檢測框架的正面概略圖；圖3是作為本發(fā)明的實施例的具有多級基板投入門的檢測框架的側(cè)面概略圖。符號說明:10為照明燈，20為反射鏡，30為透鏡，40為相機(jī)，100為輸送機(jī)器人，200為檢測框架。
具體實施例方式以下，參照附圖來說明本發(fā)明的實施例。圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置的整體概略圖，圖2是作為本發(fā)明的實施例的具有多級基板投入門的檢測框架的正面概略圖，圖3是作為本發(fā)明的實施例的具有多級基板投入門的檢測框架的側(cè)面概略圖。參照圖1至圖3，根據(jù)本發(fā)明實施例的具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置，為了將由輸送機(jī)器人100輸送的基板S投入到檢測框架200的門，使所述檢查框架200的門Gl、G2、G3隔著預(yù)定距離而構(gòu)成，以形成多層內(nèi)部空間Ul、U2、U3、U4，在此狀態(tài)下，在所述門G1、G2、G3上分別排列布置照明燈10、反射鏡20以及透鏡30和相機(jī)40。S卩，所述照明燈10在以多層構(gòu)成的所述檢測框架200的內(nèi)部空間Ul、U2、U3、U4中，設(shè)置在形成于所述檢測框架200的多級門G1、G2、G3的下部左右側(cè)。所述反射鏡20在以多層構(gòu)成的所述檢測框架200的內(nèi)部空間Ul、U2、U3、U4中，設(shè)置在形成于所述檢測框架200的多級門G1、G2、G3的上部左右側(cè)。此時，所述反射鏡20位于與所述照明燈10同一豎直線上，且以預(yù)定傾斜角度(即，45°的傾斜角度)被設(shè)置，以向所述相機(jī)40提供間接照明和呈現(xiàn)通過所述門Gl、G2、G3的基板S的兩側(cè)側(cè)面部分的間接圖像。換句話說，所述反射鏡20設(shè)置為相對于所述照明燈10和所述透鏡30以及相機(jī)40形成45°的傾斜角度。所述透鏡30以及相機(jī)40在以多層構(gòu)成的所述檢測框架200的內(nèi)部空間Ul、U2、U3、U4中，在形成于所述檢測框架200的多級門G1、G2、G3的上部，沿著所述門G1、G2、G3的寬度方向并排排列，以通過由所述反射鏡20提供的間接照明來拍攝照射在所述反射鏡20的、基板的兩側(cè)側(cè)面部分的間接圖像。
在此，所述照明燈10和相機(jī)40的操作由控制單元來控制，而且對所述基板S的質(zhì)量檢測也通過所述控制單元的通常的質(zhì)量檢測程序來完成。S卩，如圖1至圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的實施例的具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置首先通過輸送機(jī)器人100，向形成于檢測框架200的多級門G1、G2、G3依次投入基板S0如果完成上述動作，則分別構(gòu)成在所述多級門Gl、G2、G3的檢測單元所包含的照明燈10受到控制單元的控制，提供用于檢測基板S的質(zhì)量的照明，此時所述提供的照明照射到以45°的傾斜角度設(shè)置的反射鏡20。此時，當(dāng)基板S被投入并經(jīng)過所述多級門G1、G2、G3時，所述反射鏡20中照射出所述基板S的兩側(cè)側(cè)面部分的圖像。并且，在所述多級門G1、G2、G3的上側(cè)，與透鏡30并排排列的相機(jī)40受到所述控制單元的控制而進(jìn)行操作，此時通過由所述反射鏡20提供的間接照明拍攝照射在所述反射鏡20的、基板S的兩側(cè)側(cè)面部分的間接圖像，然后將此傳送到所述控制單元。如果完成上述動作，則所述控制單元可通過從所述相機(jī)40傳送的拍攝的圖像信息，綜合檢測經(jīng)過所述多級門G1、G2、G3的基板S的質(zhì)量，即檢測所述基板S的邊緣缺陷、污點、劃痕、雜質(zhì)、脫色、顏色，并且是否產(chǎn)生波浪現(xiàn)象。本發(fā)明不限于上述的特定的優(yōu)選實施例，在不脫離權(quán)利要求書中要求保護(hù)的本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，只要是本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的具有普通知識的技術(shù)人員，均可以進(jìn)行各種變形實施，并且這種變更應(yīng)當(dāng)包含于權(quán)利要求書記載的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置，其特征在于， 構(gòu)成形成有用于投入由輸送機(jī)器人輸送的基板的基板投入門的檢測框架，所述檢測框架的所述基板投入門間隔預(yù)定距離構(gòu)成為多級結(jié)構(gòu)，以形成多層的內(nèi)部空間， 在由多層構(gòu)成的內(nèi)部空間，在所述基板投入門的下部左右側(cè)分別布置照明燈， 在由多層構(gòu)成的所述內(nèi)部空間，在所述基板投入門的上部左右側(cè)，分別在與所述照明燈相同豎直線的位置以預(yù)定傾斜角度設(shè)置反射鏡，以提供間接照明和呈現(xiàn)經(jīng)過所述基板投A門的基板的兩側(cè)側(cè)面部件的間接圖像， 在由多層構(gòu)成的所述內(nèi)部空間，在所述基板投入門的上部沿著所述基板投入門的寬度方向并排地水平排列透鏡和相機(jī)，以通過所述反射鏡提供的間接照明來拍攝照射在所述反射鏡上的基板的兩側(cè)側(cè)面部分的間接圖像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置，其特征在于，所述反射鏡設(shè)置為，相對于所述照明燈和所述透鏡以及相機(jī)形成45°的傾斜角度。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種具有多級基板投入門的基板質(zhì)量檢測裝置。本發(fā)明以多級結(jié)構(gòu)構(gòu)成檢測框架的基板投入門，并且在以多級結(jié)構(gòu)形成的各個門之間，沿著水平排列作為檢測單元的相機(jī)和透鏡，以使相機(jī)和透鏡沿著門的寬度方向平臥，從而通過輸送機(jī)器人向多級基板投入門快速地輸送多個基板，以使針對多個基板的質(zhì)量檢測同時進(jìn)行等，據(jù)此縮短基板質(zhì)量檢測工藝的時間，尤其通過有效地布置檢測部件，從而不會使具有多級基板投入門的檢測框架的布局相比現(xiàn)有結(jié)構(gòu)擴(kuò)大，據(jù)此能夠提高設(shè)置空間的有效性。
文檔編號G01N21/94GK103185722SQ20111046249
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者李淳鐘, 禹奉周, 樸炳澯, 裴晙基 申請人:塞米西斯科株式會社