專(zhuān)利名稱(chēng)：微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基于MEMS技術(shù)的矢量傳感器，特別涉及一種用于檢測(cè)風(fēng)速、風(fēng)向的矢量傳感器，具體為一種微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器。
背景技術(shù)：
目前，常用的測(cè)風(fēng)儀器大多為機(jī)械旋轉(zhuǎn)式測(cè)風(fēng)傳感器，這種類(lèi)型的傳感器在進(jìn)行測(cè)量時(shí)，風(fēng)向量即風(fēng)速和風(fēng)向是分別測(cè)量的，在時(shí)間和空間上都不同步，測(cè)量結(jié)果與實(shí)際的風(fēng)矢量之間有較大的誤差，尤其是在風(fēng)向和風(fēng)速傳感器的起動(dòng)風(fēng)速不同時(shí)，可能造成完全錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果，另外，由于旋轉(zhuǎn)式測(cè)風(fēng)傳感器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，它存在轉(zhuǎn)動(dòng)慣性，難以測(cè)到風(fēng)的瞬時(shí)變化值，其在一些應(yīng)用環(huán)境較惡劣的場(chǎng)合使用和維護(hù)都不方便。
現(xiàn)在，利用MEMS技術(shù)結(jié)合壓阻原理研制的矢量水聽(tīng)器已被廣泛使用，它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)水下聲壓信號(hào)的探測(cè)，其中，矢量水聽(tīng)器中的核心部件是二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)，二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)包括十字形懸臂梁結(jié)構(gòu)，固定于十字形懸臂梁結(jié)構(gòu)中央的微型柱狀體以及設(shè)于十字形懸臂梁結(jié)構(gòu)四梁端部的硅微壓敏電阻，當(dāng)水中的聲壓對(duì)微型柱狀體產(chǎn)生壓力時(shí)，微型柱狀體就會(huì)產(chǎn)生偏移，從而對(duì)二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的十字形懸臂梁結(jié)構(gòu)產(chǎn)生力矩導(dǎo)致梁彎曲，梁上的硅微壓敏電阻就會(huì)感應(yīng)到梁的應(yīng)變，通過(guò)測(cè)量硅微壓敏電阻的變化就可以測(cè)到聲壓信號(hào)的方位和大小。例如專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枮?00910073993. 4的中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)了一種“微機(jī)電矢量水聽(tīng)器”，該微機(jī)電矢量水聽(tīng)器的核心部件就是利用MEMS技術(shù)結(jié)合壓阻原研制成的二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)(如圖7所示)，該二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)具有靈敏度高、測(cè)量精度準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn)。
空氣中的風(fēng)壓信號(hào)和水中的聲壓信號(hào)具有相同之處，都屬于低頻信號(hào)，同時(shí)水和空氣都是流體介質(zhì)，風(fēng)壓信號(hào)是由于空氣各處氣壓不同產(chǎn)生的，而水中的聲壓信號(hào)在水中傳播也就是水在聲源的作用下使各處水壓不同而使水從高壓流向低壓的過(guò)程，這兩種信號(hào)的傳播都是流體在信號(hào)源推動(dòng)下的流動(dòng)，這種流動(dòng)是在風(fēng)壓或聲壓的作用下產(chǎn)生的，都是一種壓力的傳遞，而敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的微型柱狀體感受的就是壓力信號(hào)。由此可見(jiàn)，空氣中的風(fēng)壓和水下的聲壓在本質(zhì)上是極其相似的，那么是否可以將矢量水聽(tīng)器中的敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)用于測(cè)量空氣中的風(fēng)壓，對(duì)于這個(gè)問(wèn)題的研究就顯得十分必要了。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有測(cè)風(fēng)儀器存在檢測(cè)結(jié)果不準(zhǔn)確、維護(hù)不方便、不便用于環(huán)境較惡劣的場(chǎng)合等缺點(diǎn)，而提供一種新型的微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器。本發(fā)明的納測(cè)風(fēng)矢量傳感器的核心部件是采用現(xiàn)有矢量水聽(tīng)器中的二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)，通過(guò)二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)風(fēng)速和風(fēng)壓的測(cè)量。
本發(fā)明是用過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器，包括用于放置二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的中間支撐體，連接在中間支撐體頂部的上蓋和連接在中間支撐體底部的底座；其中，所述的中間支撐體設(shè)有內(nèi)3腔，內(nèi)腔中安置有內(nèi)部支撐體，內(nèi)部支撐體在其中軸線位置開(kāi)設(shè)有對(duì)穿的引線通孔，內(nèi)部支撐體的上表面中央位置設(shè)有微結(jié)構(gòu)安裝槽，微結(jié)構(gòu)安裝槽內(nèi)卡接有二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)并使二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的微型柱狀體伸出中間支撐體的上表面，中間支撐體的上表面中心處開(kāi)設(shè)有與中間支撐體內(nèi)腔相通且用于插接微結(jié)構(gòu)安裝槽的插孔，中間支撐體的底面中央位置設(shè)有連接凸塊，連接凸塊上開(kāi)設(shè)有與中間支撐體內(nèi)腔相通的中心通孔，中心通孔通過(guò)螺紋與內(nèi)部支撐體的底部連接；所述上蓋的底面上對(duì)稱(chēng)均布有2-4個(gè)由中心向邊緣呈輻射狀排布的條形卡棱，所有條形卡棱位于中心的一端之間留有間隙，中間支撐體上表面通過(guò)螺釘與各條形卡棱固定(以此實(shí)現(xiàn)上蓋與中間支撐體的連接)；所述底座的內(nèi)部設(shè)有電路板安裝槽，電路板安裝槽的槽口開(kāi)于底座的底面上且槽口上蓋接有固定PCB電路板的底蓋， 底座的上表面中央位置設(shè)有與中間支撐體底面連接凸塊相配合的連接凹槽，且連接凹槽和連接凸塊之間為螺紋連接(以此實(shí)現(xiàn)底座與中間支撐體的連接)，連接凹槽的底部開(kāi)設(shè)有與電路板安裝槽相通的導(dǎo)線孔，底座的底部側(cè)壁上還固接有連接法蘭，連接法蘭的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有與電路板安裝槽相通的電纜輸出孔；二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)連接有導(dǎo)線，導(dǎo)線依次穿過(guò)內(nèi)部支撐體的引線通孔、底座連接凹槽內(nèi)的導(dǎo)線孔后與PCB電路板連接，PCB電路板上還連接有輸出電纜且輸出電纜通過(guò)電纜輸出孔引出。
工作時(shí)，二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的微型柱狀體穿過(guò)中間支撐體上表面的插孔后置于上蓋底面各條形卡棱位于中心的一端的間隙間，而上蓋底面上的各條形卡棱與中間支撐體上表面之間形成了用于通風(fēng)的全方位測(cè)風(fēng)風(fēng)道，風(fēng)進(jìn)入到風(fēng)道后會(huì)吹到二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的微型柱狀體上，使得微型柱狀體發(fā)生偏移，從而對(duì)二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的十字形懸臂梁結(jié)構(gòu)產(chǎn)生力矩導(dǎo)致梁彎曲，梁上的硅微壓敏電阻就會(huì)感應(yīng)到梁的應(yīng)變而發(fā)生變化，硅微壓敏電阻的變化會(huì)依次通過(guò)導(dǎo)線、PCB電路板、輸出電纜后，輸入到外界信號(hào)處理系統(tǒng)中，外界信號(hào)處理系統(tǒng)即可解算出空氣中風(fēng)的風(fēng)速和風(fēng)向。
進(jìn)一步地，所述中間支撐體上表面的外邊緣部分和上蓋底面的外邊緣部分都為弧形凹面設(shè)置(中間支撐體上表面和上蓋底面的中間部分都為平面設(shè)計(jì)，在靠近外邊緣的位置開(kāi)始變?yōu)槠骄彽南蛳禄蛳蛏系幕∶嬖O(shè)計(jì)，弧面延至中間支撐體和上蓋的側(cè)壁，該部分向下或向上的弧面即為所述的弧形凹面)，且中間支撐體上的弧形凹面和上蓋上的弧形凹面的弧度相同且為對(duì)稱(chēng)設(shè)置，即中間支撐體的上表面和上蓋的底面之間呈喇叭口狀；上蓋底面上的各條形卡棱的下表面與中間支撐體上表面吻合設(shè)置。中間支撐體上表面的外邊緣部分和上蓋底面的外邊緣部分都為弧形凹面設(shè)置，這樣就使中間支撐體上表面和上蓋底面之間形成了一個(gè)喇叭口狀，擴(kuò)大了各風(fēng)道的口徑，使各風(fēng)道由邊緣到中心形成了 360度全向測(cè)風(fēng)的收斂型擴(kuò)風(fēng)速風(fēng)道，并且根據(jù)流體連續(xù)方程和伯努利方程的計(jì)算，風(fēng)通過(guò)風(fēng)道后，風(fēng)速可以擴(kuò)大為原始風(fēng)速的六倍，這樣就進(jìn)一步增加了二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的靈敏度，提高了二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的測(cè)量準(zhǔn)度。
在所述的中間支撐體上表面的弧形凹面和插孔之間還對(duì)稱(chēng)均布有與上蓋底面上條形卡棱相配合的條形卡槽。條形卡棱卡在條形卡槽內(nèi)，可以進(jìn)一步增強(qiáng)上蓋與中間支撐體之間的穩(wěn)定性。
所述的上蓋和中間支撐體是采用303 不銹鋼材料加工而成。該型號(hào)不銹鋼材料不但具有良好的耐腐蝕、易切削特點(diǎn)，而且表面光浩度高，有助于減小氣流通過(guò)風(fēng)道時(shí)產(chǎn)生的附面層效應(yīng)。
所述微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器中的二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)采用現(xiàn)有公知技術(shù)-專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枮?00910073993. 4的中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)“微機(jī)電矢量水聽(tīng)器”中的二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)，或其他同類(lèi)型的二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器的有益效果有(1)、本發(fā)明測(cè)風(fēng)傳感器是將矢量水聽(tīng)器中的二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)運(yùn)用到測(cè)風(fēng)領(lǐng)域中， 因此極具新穎性和開(kāi)拓性，又由于該二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)是一種二維結(jié)構(gòu)，所以又可以在得到風(fēng)速的同時(shí)得出風(fēng)向，這樣就能同步得到出風(fēng)矢量的全部信息風(fēng)速和風(fēng)壓，解決了現(xiàn)有測(cè)風(fēng)儀器不能同步測(cè)量風(fēng)速和風(fēng)壓的弊端，從而極大的提高了測(cè)風(fēng)傳感器的測(cè)量準(zhǔn)度。 另外，由于該二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)在測(cè)風(fēng)時(shí)不存在轉(zhuǎn)動(dòng)慣性，因此本發(fā)明測(cè)風(fēng)傳感器還能準(zhǔn)確的測(cè)出風(fēng)的瞬時(shí)變化值。
(2)、本發(fā)明測(cè)風(fēng)傳感器中，封裝在二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)外部的中間支撐體、上蓋、 底座等結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、易于組裝、維護(hù)方便，一方面可以保護(hù)二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)，使本測(cè)風(fēng)傳感器可以用于環(huán)境較惡劣的場(chǎng)合；另一方面，這些結(jié)構(gòu)的合理設(shè)計(jì)(如上蓋和中間支撐體之間組成的360度全向測(cè)風(fēng)收斂型擴(kuò)風(fēng)速風(fēng)道)，也大大增強(qiáng)二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的靈敏度，從此提高了本發(fā)明測(cè)風(fēng)傳感器的測(cè)量準(zhǔn)度。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉且易于加工制作，適合批量生產(chǎn)。
(3)、本發(fā)明測(cè)風(fēng)傳感器加工成本低，易于制作，適合批量生產(chǎn)，且用途廣泛，如用于煤礦井巷、氣象、軍事等領(lǐng)域的測(cè)風(fēng)工作。


圖1為本發(fā)明的外部結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為圖1的俯視圖。
圖3為圖2中的A-A剖視圖。
圖4為圖2中的B-B剖視圖。
圖5為本發(fā)明各部件分解正面示意圖。
圖6為本發(fā)明各部件分解反面示意圖。
圖7為二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中1-中間支撐體、1-1-插孔、1-2-連接凸塊、1-3-中心通孔、1-4-條形卡槽、 2-上蓋、2-1-條形卡棱、3-底座、3-1-電路板安裝槽、3-2-底蓋、3_3_連接凹槽、3_4_導(dǎo)線孔、3-5-連接法蘭、3-6-電纜輸出孔、4-內(nèi)部支撐體、4-1-引線通孔、4-2-微結(jié)構(gòu)安裝槽、 5- 二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)、6-PCB電路板、7-導(dǎo)線、8-輸出電纜、9-弧形凹面。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述如圖1-6所示，一種微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器，包括用于放置二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)5的中間支撐體1，連接在中間支撐體1頂部的上蓋2和連接在中間支撐體1底部的底座3 ；其中，所述的中間支撐體1設(shè)有內(nèi)腔，內(nèi)腔中安置有內(nèi)部支撐體4，內(nèi)部支撐體4在其中軸線位置開(kāi)設(shè)有對(duì)穿的引線通孔4-1，內(nèi)部支撐體4的上表面中央位置設(shè)有微結(jié)構(gòu)安裝槽4-2，微結(jié)構(gòu)安裝槽4-2內(nèi)卡接有二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)5，中間支撐體1的上表面中心處開(kāi)設(shè)有與中間支撐體1內(nèi)腔相通且用于插接微結(jié)構(gòu)安裝槽4-2的插孔1-1，中間支撐體1的底面中央位置設(shè)有連接凸塊1-2，連接凸塊1-2上開(kāi)設(shè)有與中間支撐體1內(nèi)腔相通的中心通孔1-3，中心通孔1-3通過(guò)螺紋與內(nèi)部支撐體4的底部連接；所述上蓋2的底面上對(duì)稱(chēng)均布有2-4個(gè)由中心向邊緣呈輻射狀排布的條形卡棱2-1，所有條形卡棱2-1位于中心的一端之間留有間隙， 中間支撐體1上表面通過(guò)螺釘與各條形卡棱2-1固定；所述底座3的內(nèi)部設(shè)有電路板安裝槽3-1，電路板安裝槽3-1的槽口開(kāi)設(shè)于底座3的底面且槽口上蓋接有固定PCB電路板6的底蓋3-2，底座1的上表面中央位置設(shè)有與中間支撐體1底面連接凸塊1-2相配合的連接凹槽3-3，且連接凹槽3-3和連接凸塊1-2之間為螺紋連接，連接凹槽3-3的底部開(kāi)設(shè)有與電路板安裝槽3-1相通的導(dǎo)線孔3-4，底座3的底部側(cè)壁上還固接有連接法蘭3-5，連接法蘭 3-5的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有與電路板安裝槽3-1相通的電纜輸出孔3-6 ；二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)5連接有導(dǎo)線7，導(dǎo)線7依次穿過(guò)內(nèi)部支撐體4的引線通孔4-1、底座3連接凹槽3-3內(nèi)的導(dǎo)線孔3-4后與PCB電路板6連接，PCB電路板6上還連接有輸出電纜8且輸出電纜8通過(guò)電纜輸出孔3-6引出。
具體實(shí)施時(shí)，設(shè)于上蓋底2面上的條形卡棱2-1的個(gè)數(shù)為2-4個(gè)，若布置2個(gè)條形卡棱，則會(huì)形成2個(gè)測(cè)風(fēng)風(fēng)道，若布置3個(gè)條形卡棱，則會(huì)形成3個(gè)測(cè)風(fēng)風(fēng)道，若布置4個(gè)條形卡棱，則會(huì)形成4個(gè)測(cè)風(fēng)風(fēng)道，所以條形卡棱的布置個(gè)數(shù)可根據(jù)實(shí)際需要測(cè)量情況而定。
上蓋2和中間支撐體1可采用耐腐蝕、易切削、表面光浩度高的303 不銹鋼材料加工而成，以減小氣流通過(guò)風(fēng)道時(shí)產(chǎn)生的附面層效應(yīng)。其他結(jié)構(gòu)可采用價(jià)格低廉的普通不銹鋼加工而成，以降低成本。
權(quán)利要求
1.一種微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器，其特征在于包括用于放置二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)(5)的中間支撐體(1)，連接在中間支撐體(1)頂部的上蓋(2)和連接在中間支撐體(1)底部的底座(3)；其中，所述的中間支撐體(1)設(shè)有內(nèi)腔，內(nèi)腔中安置有內(nèi)部支撐體(4)，內(nèi)部支撐體 (4)在其中軸線位置開(kāi)設(shè)有對(duì)穿的引線通孔(4-1)，內(nèi)部支撐體(4)的上表面中央位置設(shè)有微結(jié)構(gòu)安裝槽(4-2 )，微結(jié)構(gòu)安裝槽(4-2 )內(nèi)卡接有二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)(5 )并使二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)(5)的微型柱狀體伸出中間支撐體(1)的上表面，中間支撐體(1)的上表面中心處開(kāi)設(shè)有與中間支撐體(1)內(nèi)腔相通且用于插接微結(jié)構(gòu)安裝槽(4-2)的插孔(1-1)，中間支撐體(1)的底面中央位置設(shè)有連接凸塊(1-2)，連接凸塊(1-2)上開(kāi)設(shè)有與中間支撐體(1) 內(nèi)腔相通的中心通孔(1-3)，中心通孔(1-3)通過(guò)螺紋與內(nèi)部支撐體(4)的底部連接；所述上蓋(2)的底面上對(duì)稱(chēng)均布有2-4個(gè)由中心向邊緣呈輻射狀排布的條形卡棱(2-1)，所有條形卡棱(2-1)位于中心的一端之間留有間隙，中間支撐體(1)上表面通過(guò)螺釘與各條形卡棱(2-1)固定；所述底座(3)的內(nèi)部設(shè)有電路板安裝槽(3-1)，電路板安裝槽(3-1)的槽口開(kāi)于底座(3)的底面上且槽口上蓋接有固定PCB電路板(6)的底蓋(3-2)，底座(3)的上表面中央位置設(shè)有與中間支撐體(1)底面連接凸塊(1-2)相配合的連接凹槽(3-3)，且連接凹槽(3-3)和連接凸塊(1-2)之間為螺紋連接，連接凹槽(3-3)的底部開(kāi)設(shè)有與電路板安裝槽(3-1)相通的導(dǎo)線孔(3-4)，底座(3)的底部側(cè)壁上還固接有連接法蘭(3-5)，連接法蘭 (3-5 )的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有與電路板安裝槽(3-1)相通的電纜輸出孔(3-6 ) ；二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)(5)連接有導(dǎo)線(7)，導(dǎo)線(7)依次穿過(guò)內(nèi)部支撐體(4)的引線通孔(4-1)、底座(3)連接凹槽(3-3)內(nèi)的導(dǎo)線孔(3-4)后與PCB電路板(6)連接，PCB電路板(6)上還連接有輸出電纜(8)且輸出電纜(8)通過(guò)電纜輸出孔(3-6)引出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器，其特征在于所述中間支撐體(1)上表面的外邊緣部分和上蓋(2)底面的外邊緣部分都為弧形凹面(9)設(shè)置，且中間支撐體(1)上的弧形凹面(9)和上蓋(2)上的弧形凹面(9)的弧度相同且為對(duì)稱(chēng)設(shè)置，即中間支撐體(1) 的上表面和上蓋(2)的底面之間呈喇叭口狀；上蓋(2)底面上的各條形卡棱(2-1)的下表面與中間支撐體(1)上表面吻合設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器，其特征在于在所述的中間支撐體(1) 上表面的弧形凹面(9)和插孔(1-1)之間部分還對(duì)稱(chēng)均布有與上蓋(2)底面上條形卡棱 (2-1)相配合的條形卡槽(1-4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器，其特征在于所述的上蓋(2) 和中間支撐體(1)是采用303 不銹鋼材料加工而成。
全文摘要
本發(fā)明為一種微納測(cè)風(fēng)矢量傳感器，解決了現(xiàn)有測(cè)風(fēng)儀器存在檢測(cè)不準(zhǔn)、維護(hù)不便等缺點(diǎn)。本發(fā)明包括上蓋、中間支撐體和底座，上蓋的底面上設(shè)有條形卡棱，條形卡棱與中間支撐體上表面形成風(fēng)道；中間支撐體內(nèi)部設(shè)有內(nèi)部支撐體，內(nèi)部支撐體頂部安置二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)，二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)的微型柱狀體穿過(guò)中間支撐體上表面后置于條形卡棱所形成的風(fēng)道中，底座內(nèi)設(shè)有與二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)連接的PCB電路板。檢測(cè)時(shí)，當(dāng)風(fēng)進(jìn)入風(fēng)道后，二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)就可以檢測(cè)到從風(fēng)道進(jìn)來(lái)的風(fēng)。本發(fā)明開(kāi)創(chuàng)性的采用二維敏感轉(zhuǎn)換微結(jié)構(gòu)對(duì)風(fēng)進(jìn)行測(cè)量，可實(shí)現(xiàn)對(duì)風(fēng)速和風(fēng)壓的同步測(cè)量，檢測(cè)靈敏度和準(zhǔn)度都得到了較大的提高，而且還能準(zhǔn)確的測(cè)出風(fēng)的瞬時(shí)變化值。
文檔編號(hào)G01P5/04GK102539824SQ20111043366
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月22日
發(fā)明者何常德, 劉林仙, 張國(guó)軍, 張文棟, 李振, 熊繼軍, 薛晨陽(yáng) 申請(qǐng)人:中北大學(xué)