專利名稱：用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明提供了一種用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法， 屬于太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
氮化硅膜具有良好的絕緣性、致密性、穩(wěn)定性和對雜質(zhì)離子掩蔽能力，氮化硅膜作 為太陽能電池的減反射膜，可顯著地提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率，現(xiàn)在行業(yè)上做硅太陽能 電池片不管單晶還是多晶都用到氮化硅膜做減反射膜。用于測試氮化硅膜致密性現(xiàn)在有幾 種化學(xué)方法1、磷酸，需要加熱160度以上，在蝕刻中磷酸作為催化劑不參加反應(yīng)，磷酸并 消耗，真正與Si3N4起反應(yīng)的是H20。其反應(yīng)方程式如下
權(quán)利要求
1.一種用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液，其特征在于由如下體積比的組分配制而成的氫氟酸溶液，氫氟酸水=廣20 1(Γ100。
2.如權(quán)利要求1所述的用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液，其特征在于 所述氫氟酸與水之間的體積比為廣8:8(Γ100。
3.—種如權(quán)利要求1所述用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液的使用方法， 其特征在于包括如下步驟在常溫常壓下，將鍍過氮化硅膜的硅片放在混合均勻的氫氟酸溶液中浸泡，其浸泡時間為10秒-10分鐘。
4.如權(quán)利要求3所述的用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液的使用方法，其特征在于所述浸泡時間為2分鐘-10分鐘。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法，屬于太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，由如下體積比的組分配制而成的氫氟酸溶液，氫氟酸水=1~20:10~100。本發(fā)明操作簡單、可隨時取出查看腐蝕情況，并檢測膜厚，易于生產(chǎn)及實驗室用，效率高，使用周期長，對硅片無腐蝕性等特點，能適用于不同尺寸單晶硅或多晶硅太陽能電池片氮化硅膜致密性的測試，適用于大規(guī)模生產(chǎn)中也適用于小批量的生產(chǎn)。用本發(fā)明測試氮化硅膜致密性可以清楚的知道哪個爐管的鍍膜效果比較好，可用于檢測各爐管的鍍膜效果。
文檔編號G01N17/00GK102346127SQ20111026500
公開日2012年2月8日 申請日期2011年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月8日
發(fā)明者黃燕 申請人:浙江向日葵光能科技股份有限公司