專利名稱：：超聲波檢查裝置以及具備該裝置的紙張類處理裝置的制作方法
技術領域：
：典型實施例涉及一種超聲波檢查裝置、以及具備超聲波檢查裝置的紙張類處理裝置。
背景技術：
：以往，實用化了例如進行紙幣等紙張類的計數(shù)以及判別的紙張類處理裝置。紙張類處理裝置一張張地取入投入到投入部的紙張類，并輸送到紙張類的檢查裝置。檢查裝置對紙張類進行各種處理來判別紙張類的狀態(tài)。紙張類處理裝置根據(jù)檢查裝置的檢查結(jié)果來劃分紙張類并進行聚集。紙張類處理裝置例如檢測粘貼在紙張類的帶等異物。紙張類處理裝置將附著有異物的紙張類判定為不適于再流通的紙張類。例如，檢查裝置通過向紙張類照射超聲波并檢測透射波，來檢測有無粘貼在紙張類的帶等異物。照射超聲波的發(fā)送傳感器以及檢測透射波的接收傳感器，相對紙張類的尺寸具有充分的掃描范圍。在從發(fā)送傳感器輸出的超聲波中，存在在紙張類的端部衍射的超聲波。在紙張類的端部衍射的超聲波(衍射波)，有可能入射到與接收傳感器的紙張類重疊的位置。其結(jié)果是，存在紙張類的端部的檢測困難這樣的課題。另外，在使用了超聲波的檢測方法中，在要檢測被檢體的孔的情況下，直接透過孔過來的超聲波強度高且容易衍射。因此，不僅由位于孔的位置的接收傳感器檢測到透射波，而且鄰接的接收傳感器接收到衍射波中強度較高的波，從而導致錯誤地識別孔的大小。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的問題在于，提供一種能夠以更高的精度進行檢查的超聲波檢查裝置、以及具備超聲波檢查裝置的紙張類處理裝置。為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種超聲波檢測裝置，具備發(fā)送部，相對于輸送紙張類的輸送面以規(guī)定的角度設置，對所述輸送面發(fā)射超聲波；接收部，具備多個檢測超聲波的通道，檢測入射到通道的超聲波；以及分割構(gòu)件，對所述接收部屏蔽從所述發(fā)送部發(fā)射的超聲波的、在與所述紙張類的輸送方向正交的方向的所述紙張類的端部衍射的衍射波。另外，本發(fā)明還提供一種紙張類處理裝置，具備輸送部，輸送紙張類；發(fā)送部，相對通過所述輸送部輸送紙張類的輸送面以規(guī)定的角度設置，對所述輸送面發(fā)射超聲波；接收部，具備多個檢測超聲波的通道，檢測入射到通道的超聲波；分割構(gòu)件，對所述接收部屏蔽從所述發(fā)送部發(fā)射的超聲波的、在與所述紙張類的輸送方向正交的方向的所述紙張類的端部衍射的衍射波；判定部，根據(jù)所述接收部的檢測結(jié)果對所述紙張類進行判定；以及劃分處理部，根據(jù)所述判定部的判定結(jié)果來劃分所述紙張類。圖1是表示第1實施方式的紙張類處理裝置的外觀的立體圖。圖2是表示第1實施方式的紙張類處理裝置的結(jié)構(gòu)例的概要主視圖。圖3是表示第1實施方式的紙張類處理裝置的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的框圖。圖4是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的略圖。圖5是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。圖6是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。圖7是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。圖8是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。圖9是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的概要主視圖。圖10是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的概要截面圖。圖11是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的概要截面圖。圖12是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的概要主視圖。圖13是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的結(jié)構(gòu)例的概要截面圖。圖14是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的其它結(jié)構(gòu)例的略圖。圖15是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的其它結(jié)構(gòu)例的框圖。圖16是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的其它結(jié)構(gòu)例的略圖。圖17是用于說明第1實施方式的超聲波檢查裝置的其它結(jié)構(gòu)例的曲線。圖18是表示第1實施方式的超聲波檢查裝置的另外其它結(jié)構(gòu)例的略圖。圖19是表示第2實施方式的超聲波檢查裝置的框圖。圖20是表示第2實施方式的超聲波檢查裝置的發(fā)送部以及接收部與被檢體的配置的一個例子的圖。圖21是表示第2實施方式的超聲波檢查裝置的判定處理的流程圖。圖22是表示通過第2實施方式的超聲波檢查裝置所檢測的接收信號的一個例子的圖。圖23是表示通過第2實施方式的超聲波檢查裝置所檢測的接收信號的其它例子的圖。圖M是表示第2實施方式的第1變形例的超聲波檢查裝置的框圖。圖25是表示第2實施方式的第1變形例的超聲波檢查裝置的動作的流程圖。圖沈是表示第2實施方式的第2變形例的超聲波檢查裝置的框圖。圖27是表示第2實施方式的第2變形例的超聲波檢查裝置的動作的流程圖。圖28是表示第3實施方式的超聲波檢查裝置的框圖。圖四是表示第3實施方式的超聲波檢查裝置的發(fā)送部以及接收部與被檢體的配置例的圖。圖30A是第3實施方式的發(fā)送部的整體圖，圖30B是表示發(fā)送部以及接收部中的各元件的結(jié)構(gòu)例的圖。圖31A是在以往例子中所接收的超聲波的一個例子的圖，圖31B是表示在本實施方式的超聲波檢查裝置中所接收的超聲波的一個例子的圖。圖32是表示通過第3實施方式的超聲波檢查裝置所檢測的接收信號的其它例子的圖。具體實施例方式一般，根據(jù)一個實施方式，提供一種超聲波檢查裝置，包含發(fā)送部，相對于輸送紙張類的輸送面以規(guī)定的角度設置，對所述輸送面發(fā)射超聲波；接收部，具備多個檢測超聲波的通道，檢測入射到通道的超聲波；以及分割構(gòu)件，對所述接收部屏蔽從所述發(fā)送部發(fā)射的超聲波的、在與所述紙張類的輸送方向正交的方向的所述紙張類的端部衍射的衍射波。下面，參照附圖詳細地說明第1實施方式的超聲波檢查裝置、以及具備超聲波檢查裝置的紙張類處理裝置。圖1是用于說明第1實施方式的紙張類處理裝置100的外觀的說明圖。如圖1所示，紙張類處理裝置100在裝置外部具備投入部112、操作部136、操作顯示部137、門138、取出口139以及鍵盤140。投入部112是用于投入例如紙幣等紙張類7的結(jié)構(gòu)。投入部112匯總接受處于重疊狀態(tài)的紙張類7。操作部136接受操作者的各種操作輸入。操作顯示部137對操作者顯示各種操作引導以及處理結(jié)果等。此外，操作顯示部137也可以構(gòu)成為觸摸屏。在這種情況下，紙張類處理裝置100根據(jù)顯示在操作顯示部137上的按鈕、以及操作者對操作顯示部137的操作來檢測各種操作輸入。門138是用于開閉投入部112的投入口的門。取出口139是用于從堆積由紙張類處理裝置100判斷為不能再流通的紙張類7的聚集部取出紙張類7的結(jié)構(gòu)。鍵盤140作為接受操作者的各種操作輸入的輸入部而發(fā)揮功能。圖2是用于說明圖1所示的紙張類處理裝置100的結(jié)構(gòu)例的說明圖。紙張類處理裝置100在裝置內(nèi)部具備投入部112、取出部113、吸附輥114、輸送通路115、檢查部116、門120至125、排除輸送通路126、排除聚集部127、聚集/捆扎部1至131、裁斷部133以及堆棧134。另外，紙張類處理裝置100具備主控制部151。主控制部151總體地控制紙張類處理裝置100的各部分的動作。取出部113設于投入部的上部。取出部113具備吸附輥114。吸附輥114設置成使置于投入部112的紙張類7接觸到聚集方向的上端。即，吸附輥114通過旋轉(zhuǎn)而將置于投入部112的紙張類7從聚集方向的上端一張張地取入到裝置內(nèi)部。吸附輥114如下地發(fā)揮功能例如每旋轉(zhuǎn)1次取出一張紙張類7。由此，吸附輥114以固定的間隔取出紙張類7。由吸附輥114取入的紙張類7被導入到輸送通路115。輸送通路115是將紙張類7輸送到紙張類處理裝置100內(nèi)的各部分的輸送單元。輸送通路115具備未圖示的輸送帶以及驅(qū)動滑輪等。輸送通路115通過未圖示的驅(qū)動電機以及驅(qū)動滑輪來使輸送帶進行動作。輸送通路115通過輸送帶以固定速度輸送由吸附輥114取入的紙張類7。此外，設輸送通路115中的接近取出部113的一側(cè)為上游側(cè)、接近堆棧134的一側(cè)為下游側(cè)來進行說明。在從取出部113延伸的輸送通路115上設有檢查部116。檢查部116具備圖像讀取裝置117、圖像讀取裝置118、超聲波檢測裝置135以及厚度檢查部119。檢查部116檢測紙張類7的光學特征信息、機械特征以及磁特性信息。由此，紙張類處理裝置100檢測紙張類7的種類、污損度以及真?zhèn)蔚?。圖像讀取裝置117以及118分別設置成夾住輸送通路115而對置。圖像讀取裝置117以及118讀取在輸送通路115上輸送的紙張類7的兩面的圖像。圖像讀取裝置117以及118分別具備ChargeCoupledDevice(CCD)(電荷耦合器件)照相機。紙張類處理裝置100根據(jù)由圖像讀取裝置117以及118拍攝的圖像來獲取紙張類7的表面以及背面的圖案圖像。圖像讀取裝置117以及118將所讀取的圖像臨時地存儲到檢查部116內(nèi)的未圖示的存儲器。紙張類處理裝置100根據(jù)操作輸入將存儲在該存儲器中的圖像顯示到操作顯示部137。超聲波檢查裝置135對所輸送的紙張類7照射超聲波，檢測透過紙張類7的透射波。由此，超聲波檢查裝置135例如檢測紙張類7的形狀。另外，超聲波檢查裝置135例如將粘貼在紙張類7的帶等檢測為異物。厚度檢查部119檢查在輸送通路115上輸送的紙張類7的厚度。例如，在檢測出的厚度大于等于規(guī)定值的情況下，紙張類處理裝置100檢測取出了兩張紙張類7。另外，檢查部116具備未圖示的磁傳感器等。磁傳感器檢測紙張類7的磁特征信肩、ο主控制部151根據(jù)圖像讀取裝置117、118、超聲波檢查裝置135、厚度檢查部119以及磁傳感器等的檢測結(jié)果來進行各種判定。例如，主控制部151判定紙張類7的種類(category)。另外，主控制部151判定紙張類7的真?zhèn)?authentication)。S卩，主控制部151判定紙張類是合法票(legalsheet)還是非法票(illegalsheet)。另外，主控制部151檢測紙張類7的好壞(recirculatable/unrecirculatable)。即，主控制部151判定紙張類7是能夠再流通(recirculatable)的合格票(fitsheet)還是不能再流通(unrecirculatable)的破損票(unfitsheet)。并且，主控制部15判定紙張類7是否為排除票。S卩，主控制部151將判定為非法票的紙張類7、或者由厚度檢查部119檢測到重疊的紙張類7判定為排除票。即，排除票是不符合合格票以及破損票的紙張類7。紙張類處理裝置100將判定為合格票的紙張類7輸送到聚集/捆扎部1至131。另外，紙張類處理裝置100將判斷為破損票的紙張類7輸送到裁斷部133。裁斷部133裁斷所輸送的破損票。此外，紙張類處理裝置100也可以將破損票輸送并聚集到堆棧134。每當聚集的破損票例如到達100張時堆棧134進行包裝。紙張類處理裝置100將判斷為排除票的紙張類7輸送到排除聚集部127。排除票例如包含取出兩張票等輸送異常的票、存在折疊或者破損等的缺陷票、以及應用外票種或者非法票等不能判別的票。在檢查部116的下游側(cè)的輸送通路115上依次配設有門120至125。門120至125分別被主控制部151控制。主控制部151根據(jù)檢查部116的檢查的結(jié)果來控制各門120至125的動作。由此，主控制部151進行控制使得在輸送通路115上輸送的紙張類7輸送到規(guī)定的處理部。緊著在檢查部116后面配設的門120，將輸送通路115分支為排除輸送通路126。即，門120進行切換，以將檢查部116的檢查的結(jié)果判定為不是合法票的排除票、或者不能進行檢查部116的檢查的不能檢查票等輸送到排除輸送通路126。在排除輸送通路1的終端部設有排除聚集部(排除部)127。排除聚集部127保持由取出部113取出的姿勢不變地聚集如上述那樣的排除票以及不能檢查票。能夠從取出口139取出聚集到排除聚集部127的紙張類7。另外，在通過門121至IM分支的前端，分別設有聚集/捆扎部1至131(統(tǒng)稱為聚集捆扎部13。在聚集/捆扎部132中，針對每個種類以及表里來聚集判定為能夠再流通的紙張類7。聚集/捆扎部132將聚集的紙張類7以每規(guī)定張數(shù)進行捆扎并保存。在通過門125分支的前端，配設有裁斷部133。裁斷部133裁斷紙張類7并進行收納。輸送到門125的紙張類7是正規(guī)的紙張類7、且判定為不能再流通的紙張類7(破損苗、不Jο另外，在通過門125分支的其它輸送通路的前端，配設有堆棧134。在選擇了破損票裁斷模式的情況下，主控制部151控制門125使得紙張類7輸送到裁斷部133。另外，在沒有選擇破損票裁斷模式的情況下，主控制部151控制門125使得紙張類7輸送到堆棧134。此外，主控制部151逐次存儲聚集到聚集/捆扎部132的紙張類7的張數(shù)、以及由裁斷部133所裁斷的紙張類7的張數(shù)以及識別信息。圖3是用于說明圖1以及圖2所示的紙張類處理裝置100的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的框圖。紙張類處理裝置100具備主控制部151、檢查部116、輸送控制部152、聚集/捆扎控制部153、裁斷控制部156、操作顯示部137以及鍵盤140等。主控制部151進行紙張類處理裝置100的整體控制。主控制部151根據(jù)通過操作顯示部137所輸入的操作、以及檢查部116的檢查結(jié)果來控制輸送控制部152以及聚集/捆扎控制部153。例如，操作員通過操作顯示部137或者鍵盤140輸入對于進行處理的紙張類7的各種判定中的閾值、紙張類7的供給源的名稱以及處理方法等。檢查部116具備圖像讀取裝置117和118、厚度檢查部119、超聲波檢查裝置135、其它傳感器類154以及CPU155。圖像讀取裝置117以及118讀取在輸送通路115上輸送的紙張類7的雙面的圖像。圖像讀取裝置117以及118例如具備CXD等感光元件和光學系統(tǒng)。圖像讀取裝置117以及118對所輸送的紙張類7投射光，通過光學系來接受反射光或者透射光。圖像讀取裝置117以及118使通過光學系接受的光成像到(XD，獲取電信號(圖像)。主控制部151將成為紙張類7的基準的圖像(基準圖像)預先存儲到存儲部151a。主控制部151通過比較從紙張類7獲取的圖像、和存儲到存儲部151a的基準圖像，進行對于紙張類7的各種判定。如上述那樣，超聲波檢查裝置135對所輸送的紙張類7照射超聲波。超聲波檢查裝置135檢測透過紙張類7的超聲波。另外，存儲部151a預先存儲與超聲波檢查裝置135的檢測結(jié)果進行比較的閾值。主控制部151根據(jù)超聲波檢查裝置135的檢測結(jié)果和存儲到存儲部151a的閾值來進行對于紙張類7的各種判定。在紙張類7上附著有異物的情況下，透過紙張類7的超聲波(透射波)的強度衰減。例如，主控制部151根據(jù)超聲波檢查裝置135的檢測結(jié)果和存儲到存儲部151a的閾值來判定在紙張類7上是否附著有異物。厚度檢查部119檢查在輸送通路115上輸送的紙張類7的厚度。其它傳感器類154例如是磁傳感器等。磁傳感器從在輸送通路115上傳輸?shù)募垙堫?檢測磁特征信息。CPU155進行圖像讀取裝置117、118、厚度檢查部119、超聲波檢查裝置135以及其它傳感器類巧4等的動作控制。另外，CPU155與主控制部151進行數(shù)據(jù)的傳輸。即，CPU155能夠?qū)z查部116的各部分中的檢測結(jié)果傳輸給主控制部151。輸送控制部152根據(jù)主控制部151的控制來控制取出部113、輸送通路115、排除輸送通路126以及門120至125。由此，輸送控制部152控制紙張類7的取入以及輸送。另外，輸送控制部152進行針對所判定的紙張類7的每個種類而劃分的劃分處理。即，輸送控制部152作為劃分處理部而發(fā)揮功能。例如，在由超聲波檢查裝置135檢測出在紙張類7上附著有異物的情況下，輸送控制部152控制門120至125，使得將紙張類7輸送到排除聚集部127、裁斷部133或者堆棧134。聚集/捆扎控制部153根據(jù)主控制部151的控制來控制排除聚集部127以及聚集/接收部1至131。由此，聚集/捆扎控制部153進行紙張類7的聚集以及捆扎的控制。裁斷控制部156根據(jù)主控制部151的控制來控制裁斷部133的動作。由此，裁斷部133進行所輸送的紙張類7的裁斷。圖4是用于說明圖2以及圖3所示的超聲波檢查裝置135的結(jié)構(gòu)例的說明圖。另外，圖5是從某個角度看圖4所示的超聲波檢查裝置135的一部分的圖。超聲波檢查裝置135設置于例如紙張類處理裝置100的輸送通路115的附近。如圖4所示，超聲波檢查裝置135具備發(fā)送傳感器50、接收傳感器60、分割構(gòu)件70以及控制部80。此外，圖4所示的箭頭a表示紙張類7的輸送方向。另外，圖5所示的箭頭b表示發(fā)送傳感器50以及接收傳感器60的掃描方向。此外，輸送方向a和掃描方向b相互正交。另外，箭頭c表示與包含輸送方向a和掃描方向b的面(輸送面P)垂直的方向。發(fā)送傳感器50是對以固定的速度向輸送方向a輸送的紙張類7照射超聲波的發(fā)送部。發(fā)送傳感器50設置在夾住輸送通路115而與接收傳感器60相對置的位置。發(fā)送傳感器50具備壓電元件。壓電元件具有壓電體、以及設置成夾持壓電體的1對電極。發(fā)送傳感器50通過向壓電元件的電極施加電壓來改變壓電體的形狀。在向壓電元件的電極施加脈沖信號的情況下，發(fā)送傳感器50使壓電體振動。其結(jié)果是發(fā)送傳感器50能夠產(chǎn)生超聲波。此外，透過紙張類7的超聲波的透射率根據(jù)超聲波的入射角而變動。因此，以對于紙張類7的超聲波的入射角成為最佳的方式設置發(fā)送傳感器50。此外，最佳角度根據(jù)紙張類7的材質(zhì)以及結(jié)構(gòu)而不同。如圖4所示，發(fā)送傳感器50設置成所照射的超聲波的方向相對紙張類7的輸送方向a形成角度θ。此外，該角度θ是成為不包含90°的傾斜的角度。接收傳感器60是檢測從發(fā)送傳感器50發(fā)送并透過了紙張類7的透射波的接收部。接收傳感器60設置于夾住傳輸通路115而與發(fā)送傳感器50相對置的位置。接收傳感器60與發(fā)送傳感器50相同地具備壓電元件。接收傳感器60根據(jù)壓電體的形狀的變化而生成信號。在向接收傳感器60照射超聲波的情況下，壓電體的形狀根據(jù)超聲波的強度以及周期而變化。即，接收傳感器60生成與超聲波的強度以及周期相應的信號。由此，接收傳感器60檢測透過了紙張類7的透射波。此外，以相對于輸送方向a與發(fā)送傳感器50相同的角度來設置接收傳感器60。S卩，發(fā)送傳感器50以及接收傳感器60設在相對輸送方向a形成θ角度的軸S上。發(fā)送傳感器50輸出與軸S平行地傳播的超聲波。即，發(fā)送傳感器50設置成輸出超聲波的面(振動面)與軸S正交。另外，接收傳感器60設置成超聲波入射的面(振動面)與軸S正交。此外，如圖5所示，接收傳感器60具備切割壓電元件所形成的多個通道60a至60h。接收傳感器60針對每個通道檢測超聲波，生成與超聲波強度相應的信號。即，接收傳感器60的各通道能夠從分別不同的范圍檢測超聲波。此外，該通道數(shù)是一個例子，通道數(shù)以及各通道的大小是根據(jù)接收傳感器60的分辨率來決定的。發(fā)送傳感器50對上述的輸送面P上的規(guī)定的范圍(照射范圍)照射超聲波。此外，發(fā)送傳感器50構(gòu)成為在掃描方向b上形成至少包含輸送紙張類7的范圍的大小的照射范圍。另外，接收傳感器60的各通道從上述的輸送面P上的規(guī)定的范圍(檢測范圍)分別接收超聲波。接收傳感器60構(gòu)成為以在掃描方向b上至少包含輸送紙張類7的范圍的大小來形成組合了各通道的檢測范圍的檢測范圍。在檢測范圍中存在紙張類7的情況下，接收傳感器60的各通道檢測從發(fā)送傳感器50發(fā)射并透過了紙張類7的超聲波(透射波)。另外，在檢測范圍中不存在紙張類7的情況下，接收傳感器60的各通道檢測從發(fā)送傳感器50發(fā)射并直接入射到接收傳感器60的超聲波(直射波)。控制部80是進行超聲波檢查裝置135的整體控制的單元。控制部80具備CPU、緩沖存儲器、程序存儲器以及非易失性存儲器等。CPU進行各種運算處理。緩沖存儲器通過CPU臨時存儲運算結(jié)果。程序存儲器以及非易失性存儲器存儲CPU所執(zhí)行的各種程序以及控制數(shù)據(jù)等?？刂撇?0通過由CPU執(zhí)行存儲在程序存儲器中的程序，能夠進行各種處理。例如，控制部80控制發(fā)送傳感器50以及接收傳感器60的動作定時。另外，控制部80與圖3所示的檢查部116的CPU155以及主控制部151連接。例如，控制部80能夠?qū)⑻幚斫Y(jié)果傳輸給主控制部151或者CPU155。另外，能夠根據(jù)從主控制部151或者CPU155發(fā)送的控制信號來控制超聲波檢查裝置135的動作。例如，控制部80生成脈沖信號。控制部80將所生成的脈沖信號輸入到發(fā)送傳感器50。發(fā)送傳感器50根據(jù)所輸入的脈沖信號向壓電元件施加電壓。由此，發(fā)送傳感器50發(fā)射超聲波。接收傳感器60根據(jù)壓電元件的動作生成超聲波的檢測信號。如上所述，接收傳感器60具備多個通道60a至60h。接收傳感器60針對每個通道檢測超聲波，生成檢測信號。接收傳感器60將檢測信號傳輸給控制部80。控制部80讀取通過多個通道60a至60h所檢測的檢測信號。控制部80針對每規(guī)定間隔從接收傳感器60讀取所接收的檢測信號。由此，控制部80能夠從所輸送的紙張類7的整體獲取檢測信號。分割構(gòu)件70對接收傳感器60屏蔽從發(fā)送傳感器50輸出并在紙張類7的端部衍射的衍射波。分割構(gòu)件70具備支撐構(gòu)件71以及分割板72。支撐構(gòu)件71是用于支撐分割板72的構(gòu)件，不限于如圖5所示那樣的形狀。只要能夠保持接收傳感器60與分割板72的位置關系，則支撐構(gòu)件71也可以是任意形狀。圖6、圖7以及圖8是用于說明圖5所示的分割構(gòu)件70的結(jié)構(gòu)的說明圖。圖6是從某個角度看分割構(gòu)件70的透視圖。另外，圖7是從某個角度看除了支撐構(gòu)件71的分割構(gòu)件70的圖。另外，圖8是從其它角度看分割構(gòu)件70的圖。圖9是從掃描方向b看圖4所示的超聲波檢查裝置135的一部分的圖。圖10是表示圖9所示的超聲波檢查裝置135的線段X中的截面的圖。另外，圖11是表示與圖9所示的超聲波檢查裝置135的軸S平行的線段Y中的截面的圖。分割板72具備與包含輸送方向a和與輸送面P垂直的方向c的面平行的平面。分割板72例如由聚氯乙烯等構(gòu)成，但不限于該結(jié)構(gòu)。只要能夠至少屏蔽在紙張類7上衍射的衍射波，則分割板72也可以是任意的。根據(jù)物質(zhì)的厚度以及密度，聲波的傳播也會變化。因此，分割板72的材質(zhì)以及厚度等是能夠根據(jù)接收傳感器60的分辨率等而適當選擇的。如圖6至圖8所示，分割構(gòu)件70具備多個分割板72。如圖10所示，各分割板72在掃描方向b上隔著規(guī)定間隔設置。分割構(gòu)件70具備由多個分割板72分割的多個超聲波路徑。另外，如圖8所示，分割構(gòu)件70在與所輸送的紙張類7、即輸送面相對置的面(入射面)73上具備開口部。并且，如圖8以及圖9所示，分割構(gòu)件70在與接收傳感器60的振動面相對置的面(發(fā)射面)74上具備開口部。如圖7以及圖11所示，分割構(gòu)件70以及接收傳感器60設置成分割板72與接收傳感器60的各通道之間接觸。由此，入射到接收傳感器60的各通道的超聲波，在掃描方向b上通過各分割板72進行劃分。即，分割構(gòu)件70引導入射到入射面的超聲波，使得從分別與每個超聲波路徑相對應的發(fā)射面發(fā)射。另外，在紙張類7的端部進行衍射的衍射波，向掃描方向b衍射并傳輸。各分割板72具備與包含輸送方向a和與輸送面P垂直的方向c的面平行的平面。即，各分割板72具備與掃描方向b正交的面。因此，分割構(gòu)件70能夠防止衍射波在通過分割板72形成的超聲波路徑上傳輸、且能夠?qū)⑼高^紙張類7的透射波引導到接收傳感器60的振動面。由此，分割構(gòu)件70能夠?qū)⒃诟鞒暡窂缴蟼鞑サ某暡ㄒ龑У浇邮諅鞲衅?0的各通道。另外，如圖9所示，分割構(gòu)件70形成為與所輸送的紙張類7相對置的入射面73與包含紙張類7的輸送方向a和掃描方向b的輸送面P平行。即，各分割板72上的線段OQ與輸送方向a平行。并且，分割構(gòu)件70形成為與接收傳感器60的振動面相對置的發(fā)射面74變得平行。即，發(fā)射面74是與圖4所示的軸S正交的面。即，各分割板72上的線段RQ與軸S正、-父。另外，各分割板72需要至少在從接收傳感器60的檢測范圍到接收傳感器60的振11動面的區(qū)間中分割超聲波。因此，各分割板72上的線段OR形成為與線段OQ形成角度Θ。此外，如圖10所示，分割構(gòu)件70在分割構(gòu)件70的入射面73與輸送面P之間隔著規(guī)定的距離d地設置。該距離d是用于允許紙張類7的垂直方向的抖動的界限(margin)。在紙張類7上衍射的超聲波的影響根據(jù)紙張類7與分割構(gòu)件70的入射面的距離而變化。即，在紙張類7與分割構(gòu)件70的入射面73的距離變大的情況下，在紙張類7上衍射的超聲波的影響變大。因此，優(yōu)選分割構(gòu)件70的入射面73與輸送面P之間的距離d是允許紙張類7的抖動、且盡可能小的值。即，分割構(gòu)件70優(yōu)選設置于不與在輸送面P上輸送的紙張類7接觸、且盡可能地接近輸送面P的位置。如上述那樣，第1實施方式的超聲波檢查裝置135具備發(fā)送傳感器50、接收傳感器60以及分割構(gòu)件70。分割構(gòu)件70具備多個分割板72，該分割板72具有與包含與輸送紙張類7的輸送面P垂直的方向c和紙張類7的輸送方向a的面平行的面。另外，分割構(gòu)件70具備通過多個分割板72分割的多個超聲波路徑。另外，分割構(gòu)件70具備通過多個分割板72形成的入射面73和發(fā)射面74。入射面73與紙張類7的輸送面P平行地設置。另外，發(fā)射面74設在與接收傳感器的振動面接觸的位置。分割構(gòu)件70將入射到入射面73的超聲波引導到每個超聲波路徑，并從發(fā)射面74發(fā)射。由此，分割構(gòu)件70能夠?qū)⑷肷涞饺肷涿?3的超聲波引導到接收傳感器60的各通道。并且，分割構(gòu)件70能夠防止在紙張類7的端部衍射的超聲波入射到接收傳感器60的與紙張類7重疊的通道中。其結(jié)果是，能夠提供一種能夠以更高的精度進行檢查的超聲波檢查裝置以及具備超聲波檢查裝置的紙張類處理裝置。此外，在上述的第1實施方式中，以分割構(gòu)件70以及接收傳感器60各自分開設置的結(jié)構(gòu)進行了說明，但是不限于該結(jié)構(gòu)。也可以組合接收傳感器60和分割構(gòu)件70而構(gòu)成。圖12是用于說明圖4所示的接收傳感器60的結(jié)構(gòu)例的說明圖。接收傳感器60具備匹配層61、壓電元件62以及襯板(lacking)層63。匹配層61是用于在接收傳感器60和空氣之間有效地傳播超聲波的結(jié)構(gòu)。通常，壓電元件62的聲阻抗與空氣中的聲阻抗之差大。因此，在邊界面中進行反射的超聲波變多。匹配層61是具備壓電元件62的聲阻抗和空氣中的聲阻抗的中間聲阻抗的結(jié)構(gòu)。通過將匹配層61設在壓電元件62與空氣之間，接收傳感器60能夠有效地檢測在空氣中傳播的超聲波。此外，匹配層61與壓電元件62粘接。因此，匹配層61與壓電元件62聯(lián)動地振動。壓電元件62具備水晶或者陶瓷等壓電體、以及設在壓電體兩側(cè)的電極。當施加脈沖信號時，壓電體具有根據(jù)所施加的脈沖信號的周期以及強度進行振動的壓電效果。由此，壓電體將電信號轉(zhuǎn)換為超聲波。另外，壓電體將超聲波轉(zhuǎn)換為電信號。襯板層63從壓電元件62吸收放射到與匹配層61相反側(cè)(背面)的聲音能量(振動)。另外，襯板層63抑制壓電元件62的自由震動。如上述那樣，接收傳感器60具備通過切割(dicing)板65切割壓電元件而形成的多個通道。在制造接收傳感器60的情況下，對層疊有匹配層61、壓電元件62以及襯板層63的層疊體，從匹配層61側(cè)通過切割板65設置切口使得形成與紙張類7的輸送方向a平行12的槽。在這種情況下，至少以大于等于匹配層61以及壓電元件62的厚度的深度來設置切口。即，通過切割處理形成的槽至少到達襯板層為止。并且，如圖13所示，在通過切割處理形成的槽中嵌入分割板72。在這種情況下，通過嵌入到分割接收傳感器60的通道的槽中的多個分割板72構(gòu)成分割構(gòu)件70。嵌入的分割板72的露出的部分(露出部)具備與圖9所示的例子相同的形狀。即，分割板72的露出部具備與包含輸送方向a和與輸送面P垂直的方向c的面平行的平面。另外，分割板72的露出部具備在接收傳感器60設于軸S上時與輸送面P具有平行的關系的一個邊(第1邊)。并且，分割板72的露出部具備與第1邊形成角度θ的一個邊(第2邊)。通過該結(jié)構(gòu)，分割構(gòu)件70也能夠形成與輸送面P相對置的入射面73。另外，分割構(gòu)件70嵌入到用于分割接收傳感器60的通道的槽中。因此，通過多個分割板72，形成將入射到入射面73的超聲波引導到接收傳感器60的各通道的超聲波路徑。通過該結(jié)構(gòu)，分割構(gòu)件70也能夠防止在紙張類7的端部衍射的超聲波入射到接收傳感器60的與紙張類7重疊的通道。其結(jié)果，能夠提供一種能夠以更高的精度進行檢查的超聲波檢查裝置、以及具備超聲波檢查裝置的紙張類處理裝置。另外，通過控制檢測超聲波的定時，能夠抑制在紙張類7的端部衍射的衍射波的影響。圖14是用于說明第1實施方式的第1變形例的超聲波檢查裝置135的結(jié)構(gòu)的說明圖。此外，對于與圖4所示的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)附加相同的參照符號，省略其詳細的說明。如圖4所示，超聲波檢查裝置135的控制部80具備定時控制部81。定時控制部81是用于控制通過接收傳感器60檢測信號的定時的結(jié)構(gòu)。定時控制部81的結(jié)構(gòu)表示圖15中。定時控制部81具備開關82以及緩沖放大器83。另外，定時控制部81具備輸入端子和輸出端子。在輸入端子中輸入通過接收傳感器60所檢測的信號(輸入信號)。開關82根據(jù)由定時控制部81生成的定時信號來進行輸入到輸入端子的輸入信號的開關。由此，例如開關82在定時信號為ON時將輸入信號傳輸?shù)胶蠹夒娐?。此外，定時控制部81根據(jù)紙張類7的輸送位置、輸送速度以及氣溫等來判定進行檢測的檢測定時。由此，定時控制部81生成定時信號。通過開關82的信號通過緩沖放大器83，從輸出端子輸出為檢測信號。S卩，定時控制部81控制通過接收傳感器60來接收所檢測的信號的定時。由此，定時控制部81能夠控制檢測信號的定時。圖16是用于說明圖14所示的超聲波檢查裝置135的各部分的設置位置的說明圖。如圖16所示，接收傳感器60具備多個通道60a至60h。另外，將通道60a的端部設為點i、將通道60a與通道60b的邊界設為點j、將通道60b和通道60c的邊界設為點k。另外，進一步將紙張類7的某個端部設為m。另外，接收傳感器60和輸送紙張類7的輸送面P是隔著距離e而配置的。如圖16所示，在通道60a與發(fā)送傳感器50之間不存在紙張類7。S卩，通道60a不與紙張類7重疊。因此，從發(fā)送傳感器50發(fā)射的超聲波直接入射到通道60a的點i到點j的范圍。在這種情況下，通道60a檢測直射波。另外，如圖16所示，在通道60b與發(fā)送傳感器50之間存在紙張類7。S卩，通道60b與紙張類7重疊。因此，從發(fā)送傳感器50發(fā)射并透過紙張類7的透射波入射到通道60b的點j到點k的范圍。另外，從發(fā)送傳感器50發(fā)射并在紙張類7的端部m衍射的衍射波也入射到通道60b的點j到點k為的范圍。在這種情況下，通道60b檢測透射波和衍射波。但是，因為進行衍射，所以衍射波傳輸比透射波長的距離而入射到通道。透過紙張類7的透射波在距離e的空氣中傳輸并入射到接收傳感器60。與此相對，在紙張類7的端部m衍射的衍射波傳輸比透射波長的距離并入射到接收傳感器60。例如，設在紙張類7的端部m衍射并入射到接收傳感器60的衍射波的傳輸距離為Xo另外，設衍射波傳輸?shù)姆较蚝屯干洳▊鬏數(shù)姆较?圖4所示的軸S的方向)形成的角度為D。在這種情況下，χ=e/cosD的關系成立。S卩，透射波傳輸?shù)木嚯x為e，與此相對衍射波傳輸?shù)木嚯x為χ=e/cosD。因為cosDl彡1，所以χ>e的關系成立。設聲速為V。在相同條件下聲速ν是固定的。并且，當設透過紙張類7入射到接收傳感器60為止的時間為Tl時，Tl=e/v的關系成立。另外，當設在紙張類7的端部m衍射并入射到接收傳感器60為止的時間為T2時，T2=x/v=e/v·cosD的關系。S卩，衍射波與透射波相比延遲T2-T1=(e-ecosD)/v-cosD而到達接收傳感器60。圖17是用于說明通過接收傳感器60所檢測的信號的說明圖。圖17所示的曲線的橫軸表示時間。另外，縱軸表示所檢測的信號的強度(電平)。線160表示通過接收傳感器60的某個通道所檢測的超聲波的強度。如圖17所示，在時間Tl處通過接收傳感器60的通道而檢測透射波或者直射波。并且，在時間T2處通過接收傳感器60的通道來檢測衍射波。因此，定時控制部81在從透射波、或者直射波到達接收傳感器60的時間Tl到衍射波到達接收傳感器60的時間T2的期間進行信號的檢測。即，定時控制部81將從時間Tl到時間T2的期間判定為檢測定時。定時控制部81在從時間Tl到時間T2的期間對圖15所示的開關82輸出ON的定時信號。定時控制部81根據(jù)紙張類7的輸送位置、輸送速度以及氣溫等來計算時間Tl以及時間T2。此外，定時控制部81也可以是如下結(jié)構(gòu)將從檢測規(guī)定值的超聲波開始經(jīng)過預先設定的規(guī)定時間為止的時間判定為檢測定時。由此，超聲波檢查裝置135能夠抑制在紙張類7的端部衍射的衍射波的影響。其結(jié)果是，能夠提供以更高的精度進行檢查的超聲波檢查裝置、以及具備超聲波檢查裝置的紙張類處理裝置。并且，圖14所示的超聲波檢查裝置135也可以是還具備圖4所示的分割構(gòu)件70的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，超聲波檢查裝置135通過分割構(gòu)件70來屏蔽衍射波，還控制檢測定時。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，還能夠抑制衍射波的影響。另外，如上述那樣，說明了超聲波檢查裝置135通過使分割構(gòu)件70的入射面73和輸送面P靠近來抑制衍射波的影響，但是也可以是簡單地使接收傳感器60的振動面和輸送面P靠近的結(jié)構(gòu)。圖18是用于說明第1實施方式的超聲波檢查裝置135的第2變形例的說明圖。此外，對于與圖4所示的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)附加相同的參照符號，省略其詳細的說明。超聲波檢查裝置135具備發(fā)送傳感器50、接收傳感器60以及控制部80。接收傳感器60是檢測從發(fā)送傳感器50發(fā)送并透過紙張類7的透射波的接收部。接收傳感器60設置在夾持輸送通路115而與發(fā)送傳感器50相對置的位置。以振動面與輸送面P平行的角度來設置接收傳感器60。通過這樣設置接收傳感器60，能夠使輸送面P與接收傳感器的距離更接近。通過該結(jié)構(gòu)，超聲波檢查裝置135能夠抑制在紙張類7的端部衍射的衍射波的影響。其結(jié)果是，能夠提供一種能夠以更高的精度來進行檢查的超聲波檢查裝置、以及具備超聲波檢查裝置的紙張類處理裝置。接著，參照圖19說明第2實施方式的超聲波檢查裝置。第2實施方式的超聲波檢查裝置200包含發(fā)送控制部201、發(fā)送部202、接收部203、放大部204、A/D轉(zhuǎn)換部205、檢測部206以及缺損位置判斷部207。發(fā)送控制部201生成控制超聲波信號的發(fā)送定時等的控制信號。發(fā)送部202從發(fā)送控制部201接受控制信號，并發(fā)送超聲波信號。超聲波只要使用壓電轉(zhuǎn)換器、使用了MEMS(MicroElectroMechanicalSystem微機電系統(tǒng))的振動發(fā)生器等即可。在本實施方式中，作為壓電轉(zhuǎn)換器使用壓電體與樹脂的1-3型復合壓電體的厚度振動。通過使用厚度振動，能夠從發(fā)送部202整體向被檢體照射具有相同相位的平面波的超聲波信號。超聲波信號的發(fā)送間隔既可以是每固定間隔，也可以是針對后述的被檢體201的每個測量位置發(fā)送1次。接收部203設有1個以上，接收透過了被檢體210的超聲波信號，獲得接收信號。此外，作為接收部203只要使用與發(fā)送部202相同的轉(zhuǎn)換器或者將振動檢測為位移的使用干涉光的位移計等即可。放大部204例如是運算放大器，從接收部203接受接收信號并分別放大接收信號。A/D轉(zhuǎn)換部205從放大部204接受放大后的接收信號，對每個接收信號進行模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換而生成數(shù)字化的接收信號。檢查部206從A/D轉(zhuǎn)換部205接受數(shù)字化后的接收信號，測量數(shù)字化后的接收信號的峰值，檢測是否存在具有大于等于閾值的峰值的接收信號。此外，關于峰值，只要測量信號強度、電流值、電壓值以及功率值等的任意一個的峰值即可。缺損位置判定部207從檢測部206接受具有大于等于閾值的峰值的接收信號，將該接收信號判定為缺損候補信號。缺損候補信號是表示在接收部203所接受的接收信號透過被檢體的位置存在孔、破損等缺損的可能性的信號。在經(jīng)過規(guī)定期間后的缺損候補信號大于等于閾值的情況下，缺損位置判斷部207判定為是缺損信號。缺損信號是表示在缺損候補信號透過被檢體的位置存在缺損的信號。另外，缺損位置判定部207將缺損信號透過了被檢體的位置判定為缺損位置。被檢體210例如是紙幣或者卡等紙張類、設置在發(fā)送部202與接收部203之間，通過輸送輥、傳送帶等向同一方向輸送。接著，參照圖20說明發(fā)送部202以及接收部203與被檢體210的配置的一個例子。如圖20所示，在本實施方式的超聲波檢查裝置中，1個發(fā)送部202、和串聯(lián)排列了1個以上的比發(fā)送部202還小的接收部203的接收部陣列211相對置地配置。另外，被檢體210設置在發(fā)送部202與接收部陣列211之間。被檢體210的檢查是如下地進行的從發(fā)送部202照射超聲波信號，由接收部陣列211的各接收部203接收透過了被檢體210的透射波。此外，關于發(fā)送部202與接收部203之間的距離，只要是接收部203能夠接收來自發(fā)送部202的超聲波信號的距離、且能夠接收多重反射后的接收信號的距離即可。多重反射表示在通常的測量中接收信號在接收部203中反射、且在發(fā)送部202中被反射而再次被接收部203接收。這里，優(yōu)選設定超聲波信號的頻率或者信號強度、發(fā)送部202與接收部203的距離、發(fā)送部202與接收部203的大小，以使得通過其它物體多重反射后的接收信號不受影響。通過孔等直接接收的超聲波信號的信號強度變大，在透過了被檢體的超聲波信號中信號強度變?nèi)?。由此，如果信號強度比所接收的多個超聲波信號中的其它信號大，則成為透過孔等缺損部分的超聲波信號，從而能夠檢測被檢體存在缺損。另外，接收部203分別分配通道編號，能夠判定是由哪個接收部203所接收的信號。并且，如果知道接收部203的各自的位置，則因為接收信號和超聲波信號透過了被檢體的位置對應，所以能夠判定被檢體210的哪個位置存在缺損。接著，參照圖21的流程圖說明本實施方式的超聲波檢查裝置的判定處理。在步驟S301中，從發(fā)送部202發(fā)送超聲波信號。之后，檢測部206測量由各接收部203接收超聲波信號并經(jīng)由放大部204以及A/D轉(zhuǎn)換部205而接受的接收信號的峰值。峰值的測量是只要將接收部陣列211的全部的接收部203的接收信號的峰值經(jīng)由放大器臨時保存到保存部、并能夠從該保存部并行地進行讀取即可。在步驟S302中，檢測部206對每個接收信號檢測是否有峰值大于等于閾值的接收信號。在接收信號有大于等于1個的峰值大于等于閾值的接收信號的情況下，向步驟S303行進，在峰值大于等于閾值的接收信號一個都沒有的情況下，對后續(xù)采樣的接收信號重復相同的檢測處理。在步驟S303中，缺損位置判定部207將峰值大于等于閾值的接收信號判定為缺損候補信號。這是因為在峰值大于等于閾值的情況下，該接收信號不透過被檢體210而透過孔等直接被接收的可能性高，因此認為接收信號透過了被檢體210的位置產(chǎn)生了某些缺損。此外，關于閾值，例如預先測量透過了沒有缺損的被檢體的透射波，將接收了該透射波的接收信號的峰值的平均值設為閾值即可。在步驟S304中，檢查部206測量從接收了缺損候補信號的時刻起經(jīng)過了信號在發(fā)送部202與接收部203之間的距離往復的時間時的、進行多重反射后的接收信號的峰值。在步驟S305中，檢測部206對每個接收信號檢測在接收了缺損候補信號的接收部203中是否存在峰值大于等于閾值的多重反射后的接收信號。此外，產(chǎn)生多重反射的周期是固定的，以超聲波信號在發(fā)送部202與接收部203之間的距離往復的時間的整倍數(shù)產(chǎn)生。因而，在檢測多重反射后的信號的情況下，不限于反射1次后的接收信號，只要是超聲波信號在發(fā)送部202與接收部203之間的距離往復的時間的整倍數(shù)的定時、且缺損候補信號的峰值成為能夠與缺損候補信號以外的接收信號的峰值區(qū)別的大小的定時即可。另外，步驟S305中的閾值設定為比步驟S302中的閾值還小的值。在多重反射后的接收信號的峰值比閾值還小的情況下，向步驟S306行進，如果多重反射后的接收信號的峰值大于等于閾值，則向步驟S307行進。在步驟S306中，缺損位置判定部207判定接收信號為衍射波。在步驟S307中，缺損位置判定部207判定接收信號為缺損信號。在步驟S308中，缺損位置判定部207確定接收了缺損信號的接收部203的位置。由此，接收部203的位置與被檢體210中的缺損的位置相對應，因此能夠判定缺損的位置和大小。此外，也可以將缺損位置的坐標輸出到外部。通過以上步驟，結(jié)束超聲波檢查裝置200的判定處理。接著，參照圖22以及圖23說明通過本實施方式的超聲波檢查裝置200所檢測的接收信號的一個例子。此外，這里假定在由通道編號“2”和“3”的接收部203接收的超聲波信號所透過被檢體210的位置處產(chǎn)生有缺損。如圖22所示，對各接收部203賦予通道編號，這里示出由4個接收部203接收的接收信號。在信號401中看到大的振動，峰值變高。另外，由與通道編號“2”以及通道編號“3”的接收部203鄰接的通道編號“1”以及通道編號“4”的接收部203來接收的信號402與通常的透射波相比峰值也變高。這是因為通道編號“2”以及通道編號“3”的接收部203所接受的超聲波信號的衍射波也被鄰接的接收部203所接收的緣故。即，由于信號強度高的衍射波，在其它接收部203中也將接收透過了缺損部分的超聲波信號。因此，在圖23中表示還包含信號的多重反射而進行判定處理的情況。首先，在全部的接收部203中存在接收信號的峰值變大的部分，但這是檢測在發(fā)送部202中為了生成超聲波信號而加以施加電壓時的信號的部分。在全部的接收部203中檢測了施加電壓之后，接下來接收信號的峰值大的峰值501表示如下情況通道編號“2”以及通道編號“3”的接收部203接收透過了被檢體210的缺損部分的信號強度高的超聲波信號，鄰接的接收部203接受了該超聲波信號的衍射波。并且，峰值502表示進行多重反射后的超聲波信號，是經(jīng)過超聲波信號在發(fā)送部202與接收部203之間的距離往復的期間503而再次在接收部203中接收的接收信號。另外，進行多重反射時的衍射波小到不對透射波帶來影響的程度。由此，能夠區(qū)別透過了孔的接收信號和衍射波。即，在圖23的例子中，峰值502大于等于閾值的接收信號可以說是透過被檢體的缺損部分過來的缺損信號，因此缺損位置判定部207能夠判定為在通道編號“2”以及通道編號“3”的接收部203所接收的接收信號透過被檢體的位置處存在缺損。根據(jù)以上所示的第2實施方式的超聲波檢查裝置，通過使用衍射波影響少的多重反射后的接收信號來判定被檢體的狀態(tài)，能夠判定被檢體有無缺損、還能夠高精度地判定缺損的位置以及大小。(第2實施方式的第1變形例)在第2實施方式的超聲波檢查裝置中，通過多重反射后的接收信號的峰值來判定缺損信號，但是在第1變形例中，不同點在于通過計算接收信號的峰值的包絡線的衰減率來判定缺損信號。直接透過了孔的接收信號不受來自其它接收信號的衍射波的影響，因此，短時間內(nèi)減少率為固定，但是其它接收信號由于來自透過了孔的接收信號的衍射波的影響，在衰減率成為固定之前需要時間。由此，通過測量該時間能夠判定被檢體的缺損部分。參照圖M的框圖來說明第1變形例的超聲波檢查裝置。第1變形例的超聲波檢查裝置212包含發(fā)送控制部201、發(fā)送部202、接收部203、放大部204、A/D轉(zhuǎn)換部205、檢測部206、衰減率計算部213以及缺損位置判定部214。此外，關于發(fā)送控制部201、發(fā)送部202、接收部203、放大部204、A/D轉(zhuǎn)換部205以及檢測部206，進行與本實施方式的超聲波檢查裝置200相同的動作，因此省略這里的說明。衰減率計算部213從檢測部206接受缺損后部分信號，計算缺損候補信號的峰值的包絡線的衰減率，針對每個缺損候補信號測量該峰值的包絡線的衰減率到達規(guī)定的衰減率為止的衰減時間。缺損位置判定部214從衰減率計算部213接受衰減時間，判定衰減時間是否在閾值以內(nèi)。如果衰減時間在閾值以內(nèi)則判定為缺損信號，并將缺損信號透過被檢體的位置判定為缺損位置。接著，參照圖25的流程圖說明第1變形例的超聲波檢查裝置212的動作。此外，17步驟S301步驟S303、以及步驟S306步驟S308與圖21所示的第2實施方式的超聲波檢查裝置200相同，因此省略這里的說明。在步驟S701中，衰減率計算部213計算缺損候補信號中的峰值的包絡線的衰減率，測量到達規(guī)定的衰減率為止的衰減時間。在步驟S702中，缺損位置判定部213判定衰減時間是否在閾值以內(nèi)。在衰減時間比閾值還長的情況下，向步驟S306行進，并判定為衍射波。在衰減時間在閾值以內(nèi)的情況下，向步驟S307行進，判定為缺損信號。根據(jù)以上所述的第1變形例的超聲波檢查裝置212，根據(jù)缺損候補信號中的峰值的包絡線的衰減率判定缺損信號，從而能夠與本實施方式相同地判定被檢體有無缺損，還能夠高精度地判定缺損的位置以及大小。(第2實施方式的第2變形例)在第2變形例的超聲波檢查裝置中，不同點在于通過比較透過被檢體的缺損部分的接收信號的頻率特性、以及透過被檢體的缺損部分以外的位置的接收信號的頻率特性來判定缺損信號。參照圖沈的框圖來說明第2變形例的超聲波檢查裝置。第2變形例的超聲波檢查裝置215包含發(fā)送控制部201、發(fā)送部202、接收部203、放大部204、A/D轉(zhuǎn)換部205、檢測部206、頻率轉(zhuǎn)換部216以及缺損位置判定部217。此外，關于發(fā)送控制部201、發(fā)送部202、接收部203、放大部204、A/D轉(zhuǎn)換部205以及檢測部206，進行與第2實施方式的超聲波檢查裝置200相同地動作，因此省略這里的說明。頻率轉(zhuǎn)換部216從檢測部206接受缺損候補信號，針對每個缺損候補信號計算頻率特性。例如頻率特性只要通過高速傅里葉變換(FFT=FastFourierTransform)計算即可。另外，將不透過被檢體210時的超聲波信號的頻率特性計算為基準頻率特性。缺損位置判定部217從頻率轉(zhuǎn)換部216接受頻率特性和基準頻率特性，判定頻率特性與基準頻率特性的差分是否在閾值以內(nèi)。如果差分在閾值以內(nèi)則判定為缺損信號，并將缺損信號透過被檢體的位置判定為缺損位置。此外，基準頻率特性也可以是缺損位置判定部217預先具有的。接著，參照圖27的流程圖說明第2變形例的超聲波檢查裝置215的動作。此外，步驟S301步驟S303、以及步驟S306步驟S308與圖21所示的超聲波檢查裝置200相同，因此省略這里的說明。在步驟S901中，頻率轉(zhuǎn)換部216對缺損候補信號進行FFT處理來計算頻率特性以及基準頻率特性。在步驟S902中，缺損位置判定部217計算頻率特性與基準頻率特性的差分。在步驟S903中，缺損位置判定部217判定差分是否在閾值以內(nèi)。在差分比閾值還大的情況下，向步驟S306行進，并判定為衍射波。在差分在閾值以內(nèi)的情況下，認為是不透過被檢體210而直接接收的接收信號，因此向步驟S307行進，將缺損候補信號判定為缺損信號。根據(jù)以上所示的第2變形例的超聲波檢查裝置，根據(jù)超聲波信號的頻率特性進行判定，從而能夠與第2實施方式相同地判定被檢體有無缺損、還能夠高精度地判定缺損的位置以及大小。接著，參照圖觀的框圖說明第3實施方式的超聲波檢查裝置。第3實施方式的超聲波檢查裝置300包含發(fā)送控制部301、發(fā)送部302、接收部303、放大部304、A/D轉(zhuǎn)換部305、計算部306、判定部307。發(fā)送控制部301生成控制超聲波的發(fā)送定時等的控制信號。發(fā)送部302從發(fā)送控制部301接受控制信號，產(chǎn)生超聲波并向作為被檢體的紙幣310發(fā)射。在超聲波的產(chǎn)生中，只要使用壓電轉(zhuǎn)換器、使用了MEMS(Micrc)ElectroMechanicalSystem:微機電系統(tǒng))的振動發(fā)生器等即可。在本實施方式中，作為壓電轉(zhuǎn)換器使用壓電體與樹脂的1-3型符合壓電體的厚度振動。通過使用厚度振動，能夠從發(fā)送部302整體作為相同相位的平面波被檢體310發(fā)射超聲波，因此超聲波的定向性變高。超聲波的發(fā)射間隔既可以是每固定間隔，也可以是針對被檢體310的每個測量位置發(fā)射1次。接收部303包含多個接收元件，各接收元件接受從發(fā)送部302發(fā)射的超聲波，并轉(zhuǎn)換為電信號而分別獲得接收信號。此時，由接收部303所接收的超聲波包含作為透過了被檢體310的超聲波的透射波、作為不透過被檢體310的超聲波的直射波以及衍射波、或者重疊了這些的波。此外，作為接收部303，只要使用與發(fā)送部302相同的轉(zhuǎn)換器、或者將振動測量為位移的使用了干涉光的位移計等即可。放大部304例如是運算放大器，從各接收部303分別接受接收信號，分別放大接收信號。A/D轉(zhuǎn)換部305從放大部304接受放大后的接收信號，針對每個接收信號進行模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換而生成被數(shù)字化的接收信號。計算部306從Α/轉(zhuǎn)換部305接受被數(shù)字化后的接收信號，針對每個接收信號計算被數(shù)字化后的接收信號的信號強度。此外，關于信號強度，只要測量電流值、電壓值以及功率值等的任意值即可。判定部307從計算部306接受每個接收信號的信號強度，根據(jù)信號強度來判定被檢體的狀態(tài)。例如，判定部307比較預先確定的規(guī)定值和所接受的信號強度，判定所接受的信號強度是否比規(guī)定值還小。被檢體310是例如紙幣或者卡等紙張類，在發(fā)送部302和接收部303相對置而配置的區(qū)域中通過輸送輥、傳送帶等輸送部向同一方向進行輸送。這里，被檢體310的檢查是通過在被檢體310通過發(fā)送部302和接收部303之間的期間所發(fā)射的超聲波進行的。因而，發(fā)送部302與接收部303的距離只要是被檢體310能夠插入到發(fā)送部302與接收部303之間、且接收部303能夠接收透射波的距離即可。此外，與發(fā)送部302和接收部303配置在垂直于輸送被檢體310的面(下面還稱作輸送面)的方向相比，更優(yōu)選如圖洲所示那樣地相對輸送面傾斜地配置。由此，能夠提高接收部303中的接收信號的信號強度。接著，參照圖四說明發(fā)送部302以及接收部303與被檢體310的配置的一個例子，圖四是從被檢體的輸送方向看的圖。如圖四所示，考慮與輸送被檢體310時的輸送方向正交的方向的位置偏差，以在被檢體310的輸送面中與輸送方向正交的方向的長度比被檢體310的寬度還長的方式設計第3實施方式的發(fā)送部302和接收部303。另外，作為接收部303使用將接收元件311列狀地配置多個的接收陣列312。通過使用這樣的接收陣列312，在被檢體310的狀態(tài)判定時能夠?qū)⒏鹘邮赵?11視作各通道，能夠根據(jù)與接收元件311相對置的被檢體310的每個區(qū)域的信號強度來判定該區(qū)域的被檢體310的狀態(tài)。例如，信號強度低的接收信號表示被被檢體310吸收的超聲波的量多，因此能夠判定為與得到接收信號的接收元件311相對置的被檢體310的區(qū)域的厚度厚。另一方面，信號強度高的接收信號表示被被檢體310吸收的超聲波信號的量少，因此能夠判定為與該接收元件311相對置的被檢體310的區(qū)域的厚度薄。因此，例如在判定部307判定為接收信號的強度比規(guī)定值還小的情況下，意味著被檢體310的厚度比與規(guī)定值相對應的被檢體310的厚度還厚。這里，從被檢體的輸送方向看，第3實施方式的發(fā)送部302被分割為作為與被檢體19310的輸送方向正交的方向的中心部的Li、作為兩端部的L2以及L3的3個部分。發(fā)送部302的Ll的部分與相對置的接收部303的接收陣列312平行，從Ll的部分(還稱作第1部分)向與接收部303正交的方向發(fā)射超聲波。在從如圖四所示的輸送方向看發(fā)送部302的情況下，L2以及L3的部分設在發(fā)送部的兩端，越到端部越離開發(fā)送部303地傾斜設置。即，L2以及L3相對Ll傾斜了角度θ(θ為任意的正數(shù))地設置。因而，即使從L2以及L3發(fā)射的超聲波在被檢體310的端部進行衍射，蔓延到內(nèi)側(cè)的接收元件311的超聲波的量也會減少。Ll可靠地配置在被檢體310通過的位置且與接收部303相對置地配置，與接收部303的接收陣列312平行。L2以及L3是根據(jù)從輸送方向看時的被檢體310的端部所通過的位置中的處于發(fā)送部302的最中心側(cè)的位置、以及發(fā)送部302的端部來決定的。這是因為由于被檢體310取出時的搖晃等，被檢體310未必始終通過相同位置的緣故。在圖四的例子中，被檢體310的右端部靠近與發(fā)送部302或者接收部303的右端部相同的位置的情況下，被檢體310的搖晃最大，具有從此時的被檢體310的左端部所通過的位置到發(fā)送部302的端部為止的長度的部分為L2。同樣地，在被檢體310的左端部靠近與發(fā)送部302或者接收部303的左端部相同的位置的情況下，從被檢體310的右端部所通過的位置到發(fā)送部302的端部為止的長度的部分為L3。另外，在第3實施方式中，L2和L3配置成具有角度θ，以使得在從發(fā)送部302的中心側(cè)到發(fā)送部302的一端側(cè)從與接收部303的對置面遠離。通過這樣設定從與接收部303的對置面遠離的角度θ，不會對被檢體310的端部的透射波帶來很大的影響，能夠減少不需要的衍射波的蔓延。此外，角度θ優(yōu)選為約1度約2度，但只要小于等于5度左右即可。此外，在圖四的例子中，L2和L3是大概相同的長度，但是也可以是不同的長度，只要根據(jù)被檢體310的種類、檢查環(huán)境而適當設定即可。另外，從制造的容易度以及成本的觀點考慮，發(fā)送部302的Ll部分希望由一個元件來形成，但是也可以如接收陣列312那樣地由多個元件來形成。另外，發(fā)送部302的L2以及L3的部分也可以由一個元件來形成，但優(yōu)選如圖四所那樣地由多個元件來形成。通過由多個元件形成L2以及L3的部分，能夠根據(jù)被檢體310的大小變小的情況等停止從不需要的元件產(chǎn)生超聲波。由此，能夠抑制來自不需要的元件的衍射波、并且能夠檢查各種大小的被檢體。并且，在圖四的例子中，構(gòu)成為作為發(fā)送部302的兩端的L2以及L3的兩個部分具有角度，但是在構(gòu)成為被檢體310的端部必須通過發(fā)送部302的某一個的端部的情況下，也可以構(gòu)成為僅僅發(fā)送部302的一個端部具有角度。接著，參照圖30Α以及30Β說明具體的發(fā)送部302的制造方法的一個例子。圖30Α是發(fā)送部302以及接收部303的整體圖，圖30Β是發(fā)送部302以及接收部303的一個元件的放大圖。如圖30Β所示，使用導電性粘接劑等將預先形成了電配線用的配線圖案的軟性印刷機版(FPC)317的電極面粘接固定到形成在壓電振動器314的兩主面的電極上。并且，在FPC317上層疊聲音匹配層313而形成超聲波發(fā)射面。另一方面，將FPC317和襯板材料315順序地粘接固定到與超聲波發(fā)射面相反的面，并且將襯板材料315安裝到固定臺316。襯板材料315—般使用聲音衰減大的環(huán)氧、橡膠系列的樹脂，優(yōu)選具有一些柔軟性。最后，使用切割工具等來切削加工需要元件分割的部分，進行元件分離。也有時為了提高機械強度在切削槽中填充樹脂，但也可以不填充而使用。通常為了完全分離元件，因此，切削槽大多切入到襯板材料315為止。關于發(fā)送部302的兩端的L2以及L3的傾斜，通過將形成為角度θ的楔狀的樹脂插入到處于Ll的兩端的切削槽，能夠比較容易地施與傾斜。為了對L2以及L3的全部元件均等地施與角度θ，優(yōu)選填充變形少的樹脂等，以使得保持L2以及L3的元件間的切削槽間隔為固定?；蛘?，也可以在固定臺316與襯板材料315的粘接面上預先形成角度θ的傾斜。在這種情況下，當不粘接固定臺316而進行元件分割加工、最后將與元件粘接的每個襯板材料315加壓粘接到固定臺316時，襯板材料315變形而能夠形成角度θ。接著，參照圖31Α、31Β以及圖32說明發(fā)送部302的兩端的L2以及L3中有無角度所造成的接收部303中的超聲波的接收狀態(tài)的不同。圖31Α以及31Β表示發(fā)送部302以及接收部303與被檢體310的位置關系的一個例子。接收部303中的通道“Ch”分別與接收元件311相對應。圖31A作為比較例表示發(fā)送部302的兩端(L2以及L3)與Ll同一平面、即不具有角度θ時的超聲波的狀態(tài)。圖31Β為第3實施方式的超聲波檢測裝置300，表示出在發(fā)送部302的兩端部設有角度的情況。在圖31Α中，作為在接收部303中接收的超聲波，考慮透射波318、直射波319以及衍射波320。此時，“Ch.-1”的位置的接收元件311受到衍射波320的很大影響，所接收的信號強度變高。另一方面，在圖31B中也與圖31A相同，例如在“Ch.-l”中產(chǎn)生經(jīng)由被檢體310的端部的衍射波320’。但是，通過具有角度θ，發(fā)射不需要的直射波319’或者衍射波320’的元件難以被接收部303接收。由此，透射波318’以外的不需要的直射波319’或者衍射波320’的影響變少。因而，能夠在各接收部303中高精度地判定被檢體310的狀態(tài)。接著，參照圖32對在圖31Α以及31Β的結(jié)構(gòu)中測量被檢體310的端部附近所得到的接收強度的結(jié)果。橫軸是接收部303的接收元件311的位置，與上述的圖31Α以及31Β的“Ch”相對應?？v軸表示接收信號的接收強度。虛線321是圖31A的情況，實線322是圖31B的情況。這里，設角度θ為約1度，來自發(fā)送部302的第1部分Ll的超聲波的發(fā)射方向以及與接收部303的接收面正交的方向(圖觀的308)，從與被檢體310的輸送通路正交的方向(圖28的309)傾斜約46度地配置。如虛線321所示，可知當設發(fā)送部302中的接收部303的對置面為平面時，在"Ch.-1”中接收強度急劇變高，受到衍射波320的影響。另一方面，實線322的情況下，可知與虛線321相比在"Ch.0”和"Ch._1”中接收信號的信號強度變低，能夠降低衍射波320的影響。超聲波檢查裝置300也可以還具備存儲部，該存儲部存儲在判定部307進行判定時所使用的規(guī)定值。另外，輸送單元的前端的輸送方向也可以分支為2個。另外，超聲波檢查裝置300也可以還具備分類單元，所述分類單元能夠?qū)⑼ㄟ^判定部307判定為一部分厚度厚的被檢體310向所分支的一方向輸送，將其它被檢體310向所分支的其它一個方向輸送。根據(jù)以上所示的第3實施方式，在發(fā)送部中，通過使向被檢體的端部附近發(fā)射超聲波的部分具有如從與接收部的對置面遠離那樣的角度，能夠降低被檢體端部中的衍射波的影響，能夠高精度地判定被檢體的狀態(tài)。此外，在上述的各實施方式中說明的功能不局限于使用硬件來構(gòu)成，也能夠使用軟件將記載了各功能的程序讀入計算機而實現(xiàn)。另外，各功能也可以適當?shù)剡x擇軟件、硬件中的某一個來構(gòu)成。此外，本發(fā)明并不限于上述實施方式本身，在實施階段能夠在不超出其主旨的范圍內(nèi)使結(jié)構(gòu)要素變形并具體化。另外，通過上述實施方式所公開的多個結(jié)構(gòu)要素的適當?shù)慕M合能夠形成各種發(fā)明。例如，也可以從實施方式所示的全部結(jié)構(gòu)要素中刪除幾個結(jié)構(gòu)要素。并且，也可以適當?shù)亟M合不同實施方式的結(jié)構(gòu)要素。下面，解決本實施方式的問題的手段如下所述。[1]一種超聲波檢查裝置，其特征在于，該超聲波檢查裝置具備發(fā)送部，生成超聲波并發(fā)送超聲波信號；1個以上的接收部，接收透過了被檢體的所述超聲波信號而分別取得第1接收信號；檢測部，測量每個所述接收部的所述第1接收信號的第1峰值，檢測是否存在該第1峰值大于等于第1閾值的第1接收信號；以及判定部，在存在所述第1峰值大于等于所述第1閾值的第1接收信號的情況下，將該第1接收信號判定為有可能透過了所述被檢體的缺損部分的缺損候補信號，其中，在存在所述缺損候補信號的情況下，所述檢測部測量在接收了該缺損候補信號的接收部中從接收了該缺損候補信號的時間起經(jīng)過了規(guī)定時間的整數(shù)倍時所接收的第2接收信號的第2峰值，檢測是否存在該第2峰值大于等于第2閾值的第2接收信號，在存在所述第2峰值大于等于第2閾值的第2接收信號的情況下，所述判定部將該缺損候補信號判定為透過了所述被檢體的缺損部分的缺損信號。[2]根據(jù)[1]的超聲波檢查裝置，其特征在于，所述規(guī)定期間是所述超聲波信號在所述發(fā)送部與所述接收部之間的距離往復的時間。[3]根據(jù)[1]的超聲波檢查裝置，其特征在于，所述判定部判定為在所述缺損信號透過了所述被檢體的位置存在缺損。[4]根據(jù)[1]的超聲波檢查裝置，其特征在于，所述發(fā)送部以及所述接收部以所述被檢體能夠插入到該發(fā)送部和該接收部之間的間隔配置、且該接收部與能夠接收由所述發(fā)送部反射的所述接收信號的反射波的位置相對置地配置。[5]一種超聲波檢查裝置，其特征在于，該超聲波檢查裝置具備發(fā)送部，生成超聲波并發(fā)送超聲波信號；1個以上的接收部，接收透過了被檢體的所述超聲波信號而分別取得第1接收信號；檢測部，測量每個所述接收部的所述第1接收信號的峰值，檢測是否存在該峰值大于等于第1閾值的第1接收信號；判定部，在存在所述峰值大于等于所述第1閾值的第1接收信號的情況下，將該第1接收信號判定為有可能透過了所述被檢體的缺損部分的缺損候補信號；以及計算部，針對每個所述缺損候補信號計算該缺損候補信號的峰值的包絡線的衰減率，測量該衰減率達到規(guī)定的衰減率為止的衰減時間，其中，在所述衰減時間在第2閾值以內(nèi)的情況下，所述判定部將該缺損候補信號判定為透過了所述被檢體的缺損部分的缺損信號。[6]一種超聲波檢查裝置，其特征在于，該超聲波檢查裝置具備發(fā)送部，生成超聲波并發(fā)送超聲波信號；1個以上的接收部，接收透過了被檢體的所述超聲波信號而分別取得第1接收信號；檢測部，測量每個所述接收部的所述第1接收信號的峰值，檢測是否存在該峰值大于等于第1閾值的第1接收信號；判定部，在所述第1接收信號的所述峰值大于等于所述第1閾值的情況下，將該第1接收信號判定為有可能透過了所述被檢體的缺損部分的缺損候補信號；以及計算部，針對每個所述缺損候補信號計算表示該缺損候補信號的頻率特性的第1特性和表示透過所述被檢體之前的頻率特性的第2特性，其中，如果所述第1特性與所述第2特性的差分在第2閾值以內(nèi)，則所述判定部將該缺損候補信號判定為透過了所述被檢體的缺損部分的缺損信號。[7]一種超聲波檢查方法，其特征在于，該超聲波檢查方法具備如下步驟生成超聲波并發(fā)送超聲波信號；通過1個以上的接收部接收透過了被檢體的所述超聲波信號，分別取得第1接收信號；測量每個所述接收部的所述第1接收信號的第1峰值，檢測是否存在該第1峰值大于等于第1閾值的第1接收信號；在存在所述第1峰值大于等于所述第1閾值的第1接收信號的情況下，將該第1接收信號判定為有可能透過了所述被檢體的缺損部分的缺損候補信號；在存在所述缺損候補信號的情況下，測量在接收了該缺損候補信號的接收部中從接收了該缺損候補信號的時間起經(jīng)過了規(guī)定時間的大于等于1的整數(shù)倍時所接收的第2接收信號的第2峰值，檢測是否存在該第2峰值大于等于第2閾值的第2接收信號；以及在存在所述第2峰值大于等于第2閾值的第2接收信號的情況下，將該缺損候補信號判定為透過了所述被檢體的缺損部分的缺損信號。[8]一種超聲波檢查方法，其特征在于，該超聲波檢查方法具備如下步驟生成超聲波并發(fā)送超聲波信號；通過1個以上的接收部接收透過了被檢體的所述超聲波信號，分別取得第1接收信號；測量每個所述接收部的所述第1接收信號的峰值，檢測是否存在該峰值大于等于第1閾值的第1接收信號；在存在所述峰值大于等于所述第1閾值的第1接收信號的情況下，將該第1接收信號判定為有可能透過了所述被檢體的缺損部分的缺損候補信號；針對每個所述缺損候補信號計算該缺損候補信號的峰值的包絡線的衰減率，測量該衰減率達到規(guī)定的衰減率為止的衰減時間；以及在所述衰減時間在第2閾值以內(nèi)的情況下，將該缺損候補信號判定為透過了所述被檢體的缺損部分的缺損信號。[9]一種超聲波檢查方法，其特征在于，該超聲波檢查方法具備如下步驟生成超聲波并發(fā)送超聲波信號；23通過1個以上的接收部接收透過了被檢體的所述超聲波信號，分別取得第1接收信號；測量每個所述接收部的所述第1接收信號的峰值，檢測是否存在該峰值大于等于第1閾值的第1接收信號；在所述第1接收信號的所述峰值大于等于所述第1閾值的情況下，將該第1接收信號判定為有可能透過了所述被檢體的缺損部分的缺損候補信號；針對每個所述缺損候補信號計算表示該缺損候補信號的頻率特性的第1特性和表示透過所述被檢體之前的頻率特性的第2特性；以及如果所述第1特性與所述第2特性的差分在第2閾值以內(nèi)，則將該缺損候補信號判定為透過了所述被檢體的缺損部分的缺損信號。[10]一種超聲波檢查裝置，其特征在于，該超聲波檢查裝置具備發(fā)送部，向所輸送的被檢體發(fā)射超聲波；接收部，與所述發(fā)送部隔著被檢體的輸送通路而對置地配置，包含多個元件，在每個該元件中接收所述超聲波而取得接收信號；計算部，計算所述接收部的每個所述元件的接收信號的強度；以及判定部，判定所述強度是否比規(guī)定值小，其中，所述發(fā)送部具有第1部分，設置在與被檢體的輸送方向正交的方向的中央部，平行地形成與所述接收部的對置面；以及第2部分，沿著與被檢體的輸送方向正交的方向的至少一端設置，并且向越往端部離開所述接收部的方向傾斜地形成。[11]根據(jù)[10]的超聲波檢查裝置，其特征在于，所述發(fā)送部的所述第2部分從所述發(fā)送部的中心側(cè)向該發(fā)送部的一端側(cè)傾斜。[12]根據(jù)[10]或者[11]的超聲波檢查裝置，其特征在于，所述發(fā)送部在該發(fā)送部的兩端具有所述第2部分。[13]根據(jù)[11]或者[12]的超聲波檢查裝置，其特征在于，所述發(fā)送部設定成所述第2部分與第1部分之間的角度小于等于5度。[14]根據(jù)[10][13]中任意一項的超聲波檢查裝置，其特征在于，所述發(fā)送部的所述第2部分由多個元件形成。[15]根據(jù)[10][14]中任意一項的超聲波檢查裝置，其特征在于，來自所述發(fā)送部的第1部分的超聲波的發(fā)射方向以及與所述接收部的接收面垂直的方向分別相對于與所述輸送通路的面垂直的方向傾斜。[16]根據(jù)[10][15]中任意一項的超聲波檢查裝置，其特征在于，所述發(fā)送部以及所述接收部具有襯板材料、壓電振動器以及聲音匹配層，并且通過在該襯板材料與該壓電振動器之間、以及該壓電振動器與該聲音匹配層之間分別插入電布線用基板而形成。權利要求1.一種超聲波檢測裝置，具備發(fā)送部，相對于輸送紙張類的輸送面以規(guī)定的角度設置，對所述輸送面發(fā)射超聲波；接收部，具備多個檢測超聲波的通道，檢測入射到通道的超聲波；以及分割構(gòu)件，對所述接收部屏蔽從所述發(fā)送部發(fā)射的超聲波的、在與所述紙張類的輸送方向正交的方向的所述紙張類的端部衍射的衍射波。2.根據(jù)權利要求1所述的超聲波檢測裝置，所述分割構(gòu)件具備多個分割板，所述分割板具有與包含所述紙張類的輸送方向以及與所述輸送面垂直的方向的面平行的面。3.根據(jù)權利要求2所述的超聲波檢測裝置，所述分割構(gòu)件具備通過在所述接收部的掃描方向上隔著規(guī)定間隔設置的多個分割板而形成的多個超聲波路徑，所述多個超聲波路徑分別具備與所述輸送面相對置的入射面，將入射到所述入射面的超聲波分別引導到所述接收部的各通道。4.根據(jù)權利要求3所述的超聲波檢測裝置，所述接收部相對輸送紙張類的輸送面以與所述發(fā)送部相同的角度設置，所述入射面與所述輸送面平行地設置。5.根據(jù)權利要求4所述的超聲波檢測裝置，所述分割構(gòu)件的多個超聲波路徑分別具備發(fā)射入射到入射面的超聲波的發(fā)射面，所述發(fā)射面與所述接收部的各通道平行地設置。6.根據(jù)權利要求5所述的超聲波檢測裝置，所述發(fā)射面設置成分割板與所述接收部的各通道之間的位置接觸。7.根據(jù)權利要求4所述的超聲波檢測裝置，所述分割板是嵌入到形成在所述接收部的各通道間的槽中而形成的。8.根據(jù)權利要求1所述的超聲波檢測裝置，還具備定時控制部，所述定時控制部將從所述發(fā)送部發(fā)射并透過所述紙張類的透射波到達所述接收部的各通道起的規(guī)定時間設為檢測定時，控制通過所述接收部的各通道檢測超聲波的定時。9.一種紙張類處理裝置，具備輸送部，輸送紙張類；發(fā)送部，相對通過所述輸送部輸送紙張類的輸送面以規(guī)定的角度設置，對所述輸送面發(fā)射超聲波；接收部，具備多個檢測超聲波的通道，檢測入射到通道的超聲波；分割構(gòu)件，對所述接收部屏蔽從所述發(fā)送部發(fā)射的超聲波的、在與所述紙張類的輸送方向正交的方向的所述紙張類的端部衍射的衍射波；判定部，根據(jù)所述接收部的檢測結(jié)果對所述紙張類進行判定；以及劃分處理部，根據(jù)所述判定部的判定結(jié)果來劃分所述紙張類。10.根據(jù)權利要求9所述的紙張類處理裝置，所述分割構(gòu)件具備多個分割板，所述分割板具有與包含所述紙張類的輸送方向以及與所述輸送面垂直的方向的面平行的面。11.根據(jù)權利要求10所述的紙張類處理裝置，所述分割構(gòu)件具備通過在所述接收部的掃描方向上隔著規(guī)定間隔設置的多個分割板而形成的多個超聲波路徑，所述多個超聲波路徑分別具備與所述輸送面相對置的入射面，將入射到所述入射面的超聲波分別引導到所述接收部的各通道。12.根據(jù)權利要求11所述的紙張類處理裝置，所述接收部相對輸送紙張類的輸送面以與所述發(fā)送部相同的角度設置，所述入射面與所述輸送面平行地設置。13.根據(jù)權利要求12所述的紙張類處理裝置，所述分割構(gòu)件的多個超聲波路徑分別具備發(fā)射入射到入射面的超聲波的發(fā)射面，所述發(fā)射面與所述接收部的各通道平行地設置。14.根據(jù)權利要求13所述的紙張類處理裝置，所述發(fā)射面設置成分割板與所述接收部的各通道之間的位置接觸。15.根據(jù)權利要求12所述的紙張類處理裝置，所述分割板是嵌入到形成在所述接收部的各通道間的槽而形成的。16.根據(jù)權利要求9所述的紙張類處理裝置，還具備定時控制部，所述定時控制部將從所述發(fā)送部發(fā)射并透過所述紙張類的透射波到達所述接收部的各通道起的規(guī)定時間設為檢測定時，控制通過所述接收部的各通道檢測超聲波的定時。全文摘要根據(jù)一實施方式，提供一種超聲波檢測裝置，具備發(fā)送部，相對于輸送紙張類的輸送面以規(guī)定的角度設置，對所述輸送面發(fā)射超聲波；接收部，具備多個檢測超聲波的通道，檢測入射到通道的超聲波；以及分割構(gòu)件，對所述接收部屏蔽從所述發(fā)送部發(fā)射的超聲波的、在與所述紙張類的輸送方向正交的方向的所述紙張類的端部衍射的衍射波。文檔編號G01N29/11GK102401815SQ20111024434公開日2012年4月4日申請日期2011年8月25日優(yōu)先權日2010年9月10日發(fā)明者三木武郎,三浦淳二,大貫行雄,山本幸洋,弓削晶郎,根本伸樹,豬狩精司,逸見和弘申請人:株式會社東芝