專利名稱：探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)和檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使探針卡與晶片等的被檢查體電接觸、進(jìn)行被檢查體的電特性檢查時，能夠調(diào)整探針卡與載置臺上的被檢查體的平行度的探針卡平行調(diào)整機(jī)構(gòu)和檢查裝置。
背景技術(shù)：
專利文獻(xiàn)1所述的探針裝置是現(xiàn)有的該種檢查裝置。參照圖4、圖5概要說明該探針裝置。該探針裝置具備搬送被檢查體(例如，晶片)的裝載室；與裝載室鄰接并且對從裝載室接受的晶片進(jìn)行電特性檢查的探針室。如圖4所示，探針室具備載置被檢查體(晶片)W并且能夠在X、Y、Z方向移動的載置臺(晶片夾具)1 ；配置在晶片夾具1的上方并具有探針2A的探針卡2 ；通過卡夾3將探針卡2以能夠安裝拆卸的方式保持的卡夾緊機(jī)構(gòu)4 ； 通過卡夾緊機(jī)構(gòu)4支承探針卡2的插入環(huán)5 ；支承插入環(huán)5的頂板6，使測試頭(未圖示) 向頂板6側(cè)旋轉(zhuǎn)，通過連結(jié)環(huán)R使測試頭與探針卡2電連結(jié)。近年來，探針卡2的開發(fā)不斷進(jìn)展，能夠同時檢查多個設(shè)備。特別是，探針卡2和晶片W的全部設(shè)備同時一起接觸進(jìn)行檢查的情況下，在探針卡2的整個面形成的多個探針 2A與在晶片W的整個面形成的全部的設(shè)備接觸，因此，探針卡2與晶片W的平行度成為問題。如果這些兩者之間的平行度差，探針卡2的全部探針2A與晶片W不能以均勻針壓的方式接觸，產(chǎn)生接觸負(fù)荷過多或不足，有損于檢查的可靠性，有時，有可能損壞探針卡2或晶片W等。因此，圖4所示的檢查裝置，具備調(diào)整探針卡2與晶片W的平行度的平行調(diào)整機(jī)構(gòu) 7。如圖4、圖5所示，該平行調(diào)整機(jī)構(gòu)7在至少3個位置支承插入環(huán)5，在2個位置向上下方向移動，由此調(diào)整探針卡2的平行度。該平行調(diào)整機(jī)構(gòu)7，如同圖所示具備在一個位置支承插入環(huán)5的第一支承機(jī)構(gòu)7A ；從第一支承機(jī)構(gòu)7A分別在周方向相互離開一定間隔配置的、在其他兩個位置支承插入環(huán)5的2個第二支承機(jī)構(gòu)7B，第一、第二支承機(jī)構(gòu)7A、7B配置在包圍探針卡2的插入環(huán)5的中央孔上形成的臺階部上。第一支承機(jī)構(gòu)7A構(gòu)成為支承插入環(huán)5的支承點，其他的第二支承機(jī)構(gòu)7B構(gòu)成為分別使得插入環(huán)5升降的升降機(jī)構(gòu)。支承插入環(huán)5的頂板6，如圖4所示，四個角由支承柱8水平支承。即，配置測試頭的頂板，分割為支承探針卡2的插入環(huán)5和由支承柱8支承的頂板6。本來從強(qiáng)度上來講， 優(yōu)選一體形成頂板6。但是，為了使用平行調(diào)整機(jī)構(gòu)7來使探針卡2成為可動的結(jié)構(gòu)，才從頂板6中將插入環(huán)5分離出來。專利文獻(xiàn)1特開2006-317302號公報

發(fā)明內(nèi)容
但是，專利文獻(xiàn)1所述的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)7，插入環(huán)5被從頂板6分割，插入環(huán)5由在頂板6的內(nèi)端面形成的矩形狀的臺階部支承，因此，加上頂板的分割結(jié)構(gòu)，插入環(huán)5比頂板6薄，作為測試頭的支承結(jié)構(gòu)存在剛性下降的問題。由于支承結(jié)構(gòu)的剛性下降，來自配置在插入環(huán)5上的測試頭的大的負(fù)荷或者檢查時的探針卡2與晶片W的大的接觸負(fù)荷等造成插入環(huán)5彎曲，多個探針的針頭位置在上下方向發(fā)生變位。其結(jié)果，難以得到正確的過驅(qū)動量，此外，難以得到穩(wěn)定的觀察檢查時的接觸狀況用的探針痕(probe mark)。再者，平行調(diào)整機(jī)構(gòu)7，第一、第二支承機(jī)構(gòu)7A、7B如圖5所示，在探針卡2附近配置，因此，為了在插入環(huán) 5和頂板6之間安裝第一、第二支承機(jī)構(gòu)7A、7B，在插入環(huán)5和頂板6上需要獨立的支承機(jī)構(gòu)等，存在無法使用通用的頂板6的問題。本發(fā)明是為了解決上述課題而提出的，其目的在于提供一種探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)和檢查裝置，能夠得到適當(dāng)?shù)倪^驅(qū)動量和穩(wěn)定的探針痕、能夠使用通用的頂板并且平行度的調(diào)整有充裕。本發(fā)明的第一方面所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，將裝載有探針卡的頂板在四角支承的4個位置的支承柱中的至少三個位置使上述頂板升降，上述探針卡與配置在其下方的載置臺上的被檢查體的平行度進(jìn)行調(diào)整，其特征在于，具備在上述至少三個位置的支承柱和上述頂板之間存在的升降機(jī)構(gòu)，上述升降機(jī)構(gòu)具有沿著上述支承柱的上表面能夠移動而配置的具有傾斜面的移動體；與上述頂板連結(jié)并且沿著上述移動體的傾斜面能夠升降而配置的升降體；和使得上述移動體沿著上述支承柱的上面移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明的第二方面所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，在第一方面所述的發(fā)明中，上述驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有與上述移動體螺合的滾珠絲桿；對上述滾珠絲桿進(jìn)行驅(qū)動的電動機(jī)。此外，本發(fā)明的第三方面所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，在第一方面或第二方面所述的發(fā)明中，在上述支承柱與上述移動體的邊界、上述移動體的傾斜面與上述升降體的傾斜面的邊界，分別介設(shè)有移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明的第四方面所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，在第三方面所述的發(fā)明中，上述移動弓I導(dǎo)機(jī)構(gòu)具有交叉滾子軸承。此外，本發(fā)明第五方面所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，在第一方面 第四方面中的任一方面所述的發(fā)明中，設(shè)置對上述升降體進(jìn)行升降引導(dǎo)的升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明第六方面所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，在第一方面 第五方面中任一方面所述的發(fā)明中，相互結(jié)合的上述移動體和上述升降體，在各自的傾斜面結(jié)合，形成為矩形狀的塊體。此外，本發(fā)明第七方面所述的檢查裝置具備載置被檢查體的載置臺；配置在上述載置臺的上方的探針卡；裝載上述探針卡的頂板；在四角支承上述頂板的4個位置的支承柱；在上述4個位置的支承柱中的至少三個位置使上述頂板升降、調(diào)整上述探針卡和其下方配置的載置臺上的被檢查體的平行度的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，上述平行調(diào)整機(jī)構(gòu)具備在上述至少三個位置的支承柱與上述頂板之間介設(shè)的升降機(jī)構(gòu)，上述升降機(jī)構(gòu)具有 沿著上述支承柱的上表面能夠移動而配置的具有傾斜面的移動體；與上述頂板連結(jié)、沿著上述移動體的傾斜面能夠升降配置的升降體；沿著上述支承柱的上表面使上述移動體移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明第八方面所述的檢查裝置，其特征在于，在第七方面所述的發(fā)明中， 上述驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有與上述移動體螺合的滾珠絲桿和驅(qū)動上述滾珠絲桿的電動機(jī)。此外，本發(fā)明第九方面所述的檢查裝置，其特征在于，在第七方面或第八方面所述的發(fā)明中，上述支承柱與上述移動體的邊界，以及上述移動體的傾斜面與上述升降體的傾斜面的邊界分別介設(shè)有移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明第十方面所述的檢查裝置，其特征在于，在第九方面所述的發(fā)明中， 上述移動弓I導(dǎo)機(jī)構(gòu)具有交叉滾子軸承。此外，本發(fā)明第十一方面所述的檢查裝置，其特征在于，在第七方面 第十方面中任一方面所述的發(fā)明中，設(shè)置對上述升降體進(jìn)行升降引導(dǎo)的升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明第十二方面所述的檢查裝置，其特征在于，在第七方面 第十一方面中任一方面所述的發(fā)明中，相互結(jié)合的上述移動體和上述升降體，在各自的傾斜面結(jié)合，形成為矩形狀的塊體。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)和檢查裝置，能夠得到適當(dāng)?shù)倪^驅(qū)動量和穩(wěn)定的探針痕，能夠使用通用的頂板，并且能夠在平行度的調(diào)整時有余地。


圖1為表示本發(fā)明的檢查裝置的一個實施方式的關(guān)鍵部分的側(cè)面圖。圖2為圖1所示的檢查裝置的俯視圖。圖3(a)、(b)分別為表示圖1所示的檢查裝置的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)的圖，(a)為其截面圖，(b)為表示(a)所示的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)中使用的移動機(jī)構(gòu)的一例的截面圖。圖4為表示現(xiàn)有的檢查裝置的關(guān)鍵部分的側(cè)面圖。
圖5為圖4所示的檢查裝置的俯視圖。
符號說明
10檢查裝置
11晶片夾具(載置臺)
12探針卡
12A探針
14卡夾緊機(jī)構(gòu)
15頂板
16支承柱
17平行調(diào)整機(jī)構(gòu)
17A升降機(jī)構(gòu)
17C移動體
17E升降體
17F驅(qū)動機(jī)構(gòu)
171第一移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)
17J第二移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)
17K升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)
W晶片(被檢查體)
具體實施例方式以下，基于圖1 圖3所示的實施方式說明本發(fā)明。例如如圖1、圖2所示，本實施方式的檢查裝置10具備載置晶片W的能夠移動的載置臺(晶片夾具)11 ；配置在晶片夾具11的上方的探針卡12 ；通過卡夾13固定探針卡12 的卡夾緊機(jī)構(gòu)14 ；在下面固定卡夾緊機(jī)構(gòu)14的頂板15 ；在四角支承頂板15的支承柱16 ； 調(diào)整晶片夾具11上的晶片W與探針卡12的平行度的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)17，探針卡12通過連接環(huán)R與測試頭(未圖示)連接后，在控制裝置的控制下進(jìn)行晶片W的電特性檢查。此外，探針卡12，裝載在設(shè)置在頂板15的下表面的卡夾緊機(jī)構(gòu)14上。由于頂板 15不像現(xiàn)有技術(shù)那樣被分割，頂板15具備原有的高剛性。結(jié)果，在頂板15的上表面配置測試頭(未圖示)，此外，探針卡12和晶片W之間即使作用大的接觸負(fù)荷，頂板15也難以向上下方向彎曲，探針卡12的多個探針12A的針頭位置穩(wěn)定，能夠維持一定的高度，通常能夠得到適當(dāng)?shù)倪^驅(qū)動量，并且能夠得到穩(wěn)定的探針痕，能夠進(jìn)行可靠性高的穩(wěn)定的檢查。如圖1、圖2所示，平行調(diào)整機(jī)構(gòu)17，由在頂板15的四角與4個位置的支承柱16 之間分別存在的4個位置的升降機(jī)構(gòu)17A構(gòu)成，使用4個位置的升降機(jī)構(gòu)17A，調(diào)整探針卡 12與晶片夾具11上的晶片W的平行度。此時，探針卡12與晶片W的平行度，使用容量傳感器或激光測長器等的測定儀器進(jìn)行測定。如圖2所示，本實施方式中，升降機(jī)構(gòu)17A配置在4個位置，但是只要升降機(jī)構(gòu)17A 配置在4個支承柱16的至少三個位置就可以。升降機(jī)構(gòu)17A配置在三個位置的情況下，例如剩下的一個支承柱16上，在一定高度能夠傾斜的支承頂板15即可。只要升降機(jī)構(gòu)17A 配置在至少3個位置，各升降機(jī)構(gòu)17A被分別控制，相比2個位置的情況，頂板15的傾斜角更大，探針卡12和晶片夾具11上的晶片W的調(diào)整角度能夠充裕進(jìn)行。如圖1 圖3所示，4個位置的升降機(jī)構(gòu)17A，均作為整體形成為大致矩形狀的塊狀，各升降機(jī)構(gòu)17A，在各自的下表面，固定在4個位置的支承柱16的上表面，并且在各自的上表面，分別與頂板15的四角連結(jié)。如圖1 圖3所示，升降機(jī)構(gòu)17A具備固定在支承柱16的上表面的基體17B ；沿著基體17B的上表面能夠移動而配置的具有傾斜面的移動體17C ；具有通過緊固部件17D 與頂板15連結(jié)并且沿著移動體17C的傾斜面能夠升降而配置的傾斜件的升降體17E ；沿著支承柱16的上表面使移動體17C移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)17F，驅(qū)動機(jī)構(gòu)17F在控制裝置的控制下驅(qū)動，使移動體17C向著前后方向(圖1 圖3為左右方向)僅移動規(guī)定的尺寸，由此，升降體17E通過移動體17C的傾斜面僅升降規(guī)定尺寸?？刂蒲b置，基于測定機(jī)器的測定結(jié)果， 控制驅(qū)動機(jī)構(gòu)17F。如圖1、圖3所示，移動體17C和升降體17E，側(cè)面形狀均為大致的梯形，各自的傾斜面相互結(jié)合，形成為收納于支承柱16上的矩形狀的塊體，各自相互相對的前后左右的平行面與支承柱16的側(cè)面實質(zhì)上一致，上下兩面固定在支承柱16的上表面和頂板15。位于檢查裝置10的后方(圖1為右側(cè))的移動體17C，上端部向檢查裝置10的正面?zhèn)?圖1為左側(cè))延設(shè)，具有檐狀部分。如圖3(a)所示，移動移動體17C的驅(qū)動機(jī)構(gòu)17F具有在移動體17C的前后方向形成的與陰螺紋螺合的滾珠絲桿17G ；和驅(qū)動滾珠絲桿17G的電動機(jī)17H，使移動體17C沿著基體17B的上表面向前后方向移動。在基體17B和移動體17C之間設(shè)置第一移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)171，通過該移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)171，移動體17C在基體17B上向前后方向順暢地移動。此外，在移動體17C的傾斜面與升降體17E的傾斜面之間設(shè)置第二移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)17J，通過該移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)17J，升降體17E沿著移動體17C的傾斜面向前后方向移動，滑動升降。如圖3 (b)所示，這些移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)171、17J均至少具有2列交叉滾子軸承，沿著各自的線性導(dǎo)引移動。第一、第二移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)17I、17J，各自至少具有2個交叉滾子軸承，因此，耐負(fù)荷性優(yōu)異，在高負(fù)荷下也能夠順暢地進(jìn)行移動引導(dǎo)。此外，基體17B，如圖3(a)所示，從支承柱16的側(cè)面突出，在突出部設(shè)置電動機(jī) 17H。在該基體17B的突出部設(shè)有對升降體17E進(jìn)行升降引導(dǎo)的升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)17K，使其位于電動機(jī)17H與支承柱16的側(cè)面之間。該升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)17K具有立設(shè)在基體17B上的線性導(dǎo)引17L;和至少通過2列的交叉滾子軸承(參照圖3(b))與線性導(dǎo)引17L結(jié)合的、隨著線性導(dǎo)引17L對升降體17E進(jìn)行升降引導(dǎo)的結(jié)合體17M。因此，升降體17E，通過驅(qū)動機(jī)構(gòu) 17F使移動體17C在前后移動，通過具有至少2列的交叉滾子軸承的升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)17K能夠升降。接著，說明動作。首先，為了進(jìn)行晶片W的檢查，將探針卡12裝載在卡夾緊機(jī)構(gòu)14 上。在裝載探針卡12的狀態(tài)下，探針卡12與晶片夾具11上的晶片W并不一定平行。因此， 使用測定機(jī)器測定探針卡12與晶片W的平行度。即，使用該測定機(jī)器，在多個位置測定探針卡12與晶片W之間的距離，測定相對于晶片夾具11上的晶片W的探針卡12的傾斜度。 將測定機(jī)器的測定結(jié)構(gòu)輸送到控制裝置。控制裝置，基于測定結(jié)果，分別將固有的測定信號輸送到平行調(diào)整機(jī)構(gòu)17的4個位置的驅(qū)動機(jī)構(gòu)17F，分別控制驅(qū)動機(jī)構(gòu)17F。各驅(qū)動機(jī)構(gòu)17F驅(qū)動，各個移動體17C通過第一移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)171，僅移動規(guī)定的尺寸。伴隨之，各升降體17E通過第二移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu) 17J各自分別僅升降規(guī)定的尺寸，各升降體17E將頂板15的四角僅升降規(guī)定的尺寸，調(diào)整頂板15的傾斜程度，使得探針卡12與晶片夾具11上的晶片W平行。以上說明的本實施方式，探針卡12設(shè)置于頂板15，并且構(gòu)成平行調(diào)整機(jī)構(gòu)17的升降機(jī)構(gòu)17A設(shè)置在頂板15與4個位置的支承柱16之間，因此，由于頂板15的剛性被強(qiáng)化， 能夠得到適宜的過驅(qū)動量和穩(wěn)定的探針痕，能夠使用通用的頂板，而且通過在頂板15的四角調(diào)整頂板15的平行度，能夠使頂板15與晶片W的平行度調(diào)整有余地。此外，構(gòu)成平行調(diào)整機(jī)構(gòu)17的升降機(jī)構(gòu)17A設(shè)置在頂板15和4個位置的支承柱 16之間，因此安裝平行調(diào)整機(jī)構(gòu)17不需要特別的支承機(jī)構(gòu)，能夠以低成本安裝在各種檢查
1 ο此外，本發(fā)明不限于上述實施方式，根據(jù)需要能夠適宜地設(shè)計變更各種構(gòu)成要素。
權(quán)利要求
1.一種探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其于在四角支承裝載有探針卡的頂板的4個位置的支承柱中的至少三個位置使所述頂板升降，對所述探針卡與配置在其下方的載置臺上的被檢查體的平行度進(jìn)行調(diào)整，該探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)的特征在于包括介設(shè)在所述至少三個位置的支承柱與所述頂板之間的升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)具有以沿著所述支承柱的上表面能夠移動的方式配置的具有傾斜面的移動體；與所述頂板連結(jié)并且以沿著所述移動體的傾斜面能夠升降的方式配置的升降體； 和使所述移動體沿著所述支承柱的上表面移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括與所述移動體螺合的滾珠絲桿；和使所述滾珠絲桿驅(qū)動的電動機(jī)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于在所述支承柱與所述移動體的邊界、和所述移動體的傾斜面與所述升降體的傾斜面的邊界，分別介設(shè)有移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于 所述移動弓I導(dǎo)機(jī)構(gòu)具有交叉滾子軸承。
5.如權(quán)利要求1 4中的任一項所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于 設(shè)置有對所述升降體進(jìn)行升降引導(dǎo)的升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1 4中任一項所述的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于相互結(jié)合的所述移動體與所述升降體，分別在各自的傾斜面結(jié)合而形成為矩形狀的塊體。
7.—種檢查裝置，其具有探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)包括 載置被檢查體的載置臺；配置在所述載置臺上方的探針卡；裝載有所述探針卡的頂板；在四角支承所述頂板的4個位置的支承柱；和在所述4個位置的支承柱中的至少三個位置使所述頂板升降、來對所述探針卡與配置在其下方的載置臺上的被檢查體的平行度進(jìn)行調(diào)整的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)，該檢查裝置的特征在于所述平行調(diào)整機(jī)構(gòu)包括介設(shè)于所述至少三個位置的支承柱與所述頂板之間的升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)具有以沿著所述支承柱的上表面能夠移動的方式配置的具有傾斜面的移動體；與所述頂板連結(jié)、并以沿著所述移動體的傾斜面能夠升降的方式配置的升降體； 和使所述移動體沿著所述支承柱的上表面移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求7所述的檢查裝置，其特征在于所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括與所述移動體螺合的滾珠絲桿；和驅(qū)動所述滾珠絲桿的電動機(jī)。
9.如權(quán)利要求7或8所述的檢查裝置，其特征在于在所述支承柱與所述移動體的邊界，以及所述移動體的傾斜面與所述升降體的傾斜面的邊界，分別介設(shè)有移動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
10.如權(quán)利要求9所述的檢查裝置，其特征在于 所述移動弓I導(dǎo)機(jī)構(gòu)具有交叉滾子軸承。
11.如權(quán)利要求7 10中任一項所述的檢查裝置，其特征在于 設(shè)置有對所述升降體進(jìn)行升降引導(dǎo)的升降引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
12.如權(quán)利要求7 10中任一項所述的檢查裝置，其特征在于相互結(jié)合的所述移動體和所述升降體，分別在各自的傾斜面結(jié)合而形成為矩形狀的塊體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠得到適當(dāng)?shù)倪^驅(qū)動量和穩(wěn)定的探針痕、能夠使用通用的頂板的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的探針卡的平行調(diào)整機(jī)構(gòu)是在四角支承頂板(15)的四個位置的支承柱(16)中的4個位置使頂板(15)升降，調(diào)整探針卡(12)與在其下方配置的晶片夾具(11)上的晶片W的平行度的機(jī)構(gòu)，包括介設(shè)在4個位置的支承柱16與頂板(15)之間的升降機(jī)構(gòu)(17A)，升降機(jī)構(gòu)(17A)具有以沿著支承柱(16)的上表面能夠移動的方式配置的具有傾斜面的移動體(17C)；與頂板(15)連結(jié)并且以沿著移動體(17C)的傾斜面能夠升降的方式配置的升降體(17E)；和沿著支承柱(16)的上表面使移動體(17C)移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)(17F)。
文檔編號G01R1/067GK102298079SQ201110179929
公開日2011年12月28日 申請日期2011年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月25日
發(fā)明者秋山收司, 野口政幸 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社