專利名稱：相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學(xué)測(cè)試技術(shù)，涉及先進(jìn)光學(xué)儀器制造，具體是涉及相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量方法及裝置。
背景技術(shù)：
光學(xué)干涉檢測(cè)分為一般意義上的干涉(如等傾干涉和等厚干涉)，外差干涉和準(zhǔn)外差干涉。一般干涉由于精度不高，穩(wěn)定性差，很難用于光學(xué)表面檢測(cè)。外差干涉需要頻差穩(wěn)定度高的光源，處理測(cè)量數(shù)據(jù)量很大，缺乏全場(chǎng)測(cè)量能力，多用于高精度點(diǎn)信息測(cè)量。準(zhǔn)外差干涉又稱為相移干涉，它通過步進(jìn)或者連續(xù)相移，在抑制環(huán)境干擾的同時(shí)也降低了對(duì)光源的要求，隨著光電子技術(shù)和集成電路技術(shù)的發(fā)展，高精度全場(chǎng)相移干涉測(cè)量得以實(shí)現(xiàn)。 相移方式包括壓電晶體法，光電晶體法，偏振相移法，多普勒頻移法，磁光法，液晶法和旋轉(zhuǎn)平晶法等，但都存在滯后，非線性和機(jī)械振動(dòng)等缺點(diǎn)。激光器內(nèi)調(diào)制相移技術(shù)克服了上述缺點(diǎn)，得到廣泛應(yīng)用。它利用激光器的輸出光頻變化的特性進(jìn)行相應(yīng)相位調(diào)節(jié)，具有方法簡(jiǎn)單，對(duì)振動(dòng)不敏感，降低環(huán)境要求等優(yōu)點(diǎn)，但也存在頻率漂移，輸出光強(qiáng)變化等缺點(diǎn)。步進(jìn)相移由來已久，通過最小二乘法求解相位方法直觀，但對(duì)相移誤差敏感，其測(cè)量精度主要由相移器決定。連續(xù)相位調(diào)節(jié)為克服頻譜泄漏和光強(qiáng)變化，以正弦相位調(diào)制為主，同時(shí)也派生出各種算法。Osami Sasaki等人在1986年提出正弦相位調(diào)制同步積分算法 (integrating-bucket method)并應(yīng)用于干涉測(cè)量[1]。通過壓電陶瓷正弦相位調(diào)制和CCD 相機(jī)同步積分，控制系統(tǒng)參數(shù)，得到物體表面的相位分布圖，精度達(dá)到1. 0-1. 5nm。Arnaud Dubois在2001年提出4步同步積分算法[2]，將一個(gè)周期等分為四段，在四段內(nèi)分別對(duì)光強(qiáng)進(jìn)行積分，同時(shí)分析了散粒噪聲和量化噪聲對(duì)測(cè)量精度的影響，通過優(yōu)化，精度達(dá)到了 lnm。Takamasa Suzuki等在2002年使用雙波長(zhǎng)激光器配合同步積分算法測(cè)臺(tái)階的高度，相對(duì)測(cè)量精度優(yōu)于1.5%。Yu-LimgLo等在2006年將同步積分算法應(yīng)用到全場(chǎng)外差式偏光鏡系統(tǒng)中對(duì)主軸和相位延遲進(jìn)行測(cè)量W]，他們采用鋸齒波代替了正弦波作為調(diào)制信號(hào)，由此提出了 3步同步積分算法，僅需要積分三次即可得到相位的正切值，條紋穩(wěn)定度和測(cè)量精度都接近4步同步積分算法，減少了計(jì)算量。Yuankai K. Tao等在2008年采用N 步同步積分算法[5]并在積分限中加入了 C⑶相機(jī)的延遲時(shí)間。2010年，Dongmei Guo將同步積分算法應(yīng)用到自混合干涉儀中W]，使用4步同步積分算法，加入閉環(huán)相位控制，精度達(dá)到了 0. 15nm。上述結(jié)果表明正弦相位調(diào)制連續(xù)相移法抗干擾性能強(qiáng)，能實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)量，精度達(dá)到亞納米級(jí)，但是在相位調(diào)制度的測(cè)量和穩(wěn)定上少有研究，而這正是正弦相位調(diào)制的關(guān)鍵。[1]Osami Sasaki， Hirokazu Okazaki， Makoto Sakai，“Sinusoidal phase modulating interferometer using the integrating-bucket method”， APPLIED OPTIC， 1987，Vol. 26，No. 6 :1089-1093[2]Arnaud Dubois，“Phase—map measurements by interferometry withsinusoidal phase modulation and four integrating buckets", J. Opt. Soc. . Am. A, 2001, Vol. 18，No. 8 :1972-1979.[3]Takamasa Suzuki,Takayuki Yazawa,Osami Sasaki, "Two-wavelength laser diode interferometer with time-sharing sinusoidal phase modulation，，， APPLIED OPTICS, 2002, Vol. 41, No. 10 :1972-1976.[4]Yu-Lung Lo, Hung-Wei Chih, Cheng-Yen Yeh, Tsung-Chih Yu, "Full-field heterodyne polariscope with an image signal processing method for principal axis and phase retardation measurements，，，APPLIED OPTICS, 2006, Vol. 45, No. 31 8006-8012.[5]Yuankai K. Tao, Mingtao Zhao, Joseph A. Izatt. "High-speed complex conjugate resolved retinal spectral domain optical coherence tomography using sinusoidal phase modulation”，OPTICS LETTERS，2009，Vol. 32，No. 20 :2918-2920.[6] Dongme i Guo, Ming Wang, "Self-mixing inter f erometry based on sinusoidal phase modulation and integrating-bucket method，，，Optics Communications,2010，283 :2186-2192.

發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，在傳統(tǒng)相移干涉技術(shù)的基礎(chǔ)上，發(fā)展新的相移干涉測(cè)量技術(shù)。把相位調(diào)制度測(cè)量控制技術(shù)引入正弦相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量技術(shù)中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制相位調(diào)制度，實(shí)現(xiàn)帶調(diào)制度反饋的正弦相位調(diào)制同步積分算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)透鏡表面形貌，光學(xué)透鏡波像差，光學(xué)傳遞函數(shù)等的高精度動(dòng)態(tài)測(cè)量。為達(dá)上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案是，相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量方法，包括下列步驟采用激光器驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)激光器產(chǎn)生激光，依次經(jīng)過聚焦透鏡、半透半反鏡、擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡、小半透半反鏡、參考鏡到達(dá)測(cè)量鏡，小半透半反鏡反射信號(hào)送入光電探測(cè)器PD，半透半反鏡反射信號(hào)進(jìn)入攝像機(jī)后最終送計(jì)算機(jī)處理；根據(jù)相位信息只是與CCD相機(jī)測(cè)量信號(hào)，相位調(diào)制度z，CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)之間的相差θ，功率調(diào)制系數(shù)m有關(guān)的如下公式α = arctg(Μ Σ S_N Σ C)/(P Σ C-Q Σ s)，由上述公式，進(jìn)行相位調(diào)制度的測(cè)量和穩(wěn)定、相差θ的同步控制；進(jìn)行相位調(diào)制度的測(cè)量和穩(wěn)定具體為干涉信號(hào)如下S (t) = A + Bcos [zcos ( ω t+ θ ) + α ] = A + Bcos ( α ) [J0 (ζ) -2 J2 (ζ) cos(2cot+2 θ )+...]-Bsin ( α ) [2^ (ζ) cos (ω t+ θ ) -2J3 (ζ) cos (3 ω t+3 θ ) · ·.]將S (t)通過中心頻率為ω的帶通濾波器后，與幅值為G1的信號(hào)G1 cos (cot+θ )) 相乘，經(jīng)低通濾波，得到V1 = -BG1Sin(Q)J1(Z)；將S(t)通過中心頻率為2ω的帶通濾波器后，與幅值為(}2的信號(hào) G2Cos (2 ω t+2 θ )相乘，經(jīng)低通濾波，得到 V2 = -BG2Cos ( α ) J2 (ζ)；將S(t)通過中心頻率為3ω的帶通濾波器后，與幅值為的信號(hào) G3Cos (3 ω t+3 θ )相乘，經(jīng)低通濾波，得到 V3 = BQsin ( α ) J3 (z)；JAz) KG3由于GnG2^3為常數(shù)，由V1J2和V3得=
J3 ⑴ K3Cz1進(jìn)而迭代尋優(yōu)求出相位調(diào)制度ζ值，同時(shí)通過觀察V2實(shí)現(xiàn)對(duì)信號(hào)量大小的監(jiān)測(cè)；相差θ的同步控制具體為通過CPU控制單元產(chǎn)生控制信號(hào)，控制直接數(shù)字頻率合成器DDS輸出可變頻率的方波和正弦波，分別用于CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)，使得二者精確同步，同時(shí)通過寄存器設(shè)置，控制CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)之間的相位差。進(jìn)行相位調(diào)制度的測(cè)量和穩(wěn)定具體為通過引入頻率為Coci且遠(yuǎn)小于ω的正弦信號(hào)一起調(diào)制激光器，則干涉信號(hào)為S (t) = A+Bcos [ζ cos (ω t+ θ ) +α +hcos ( ω 0t+ θ )]由于短期內(nèi)α +hcos( 0t+ θ )可以看作穩(wěn)定的直流信號(hào)H，S (t) = A+Bcos (H) [J0 (ζ) _2J2 (ζ) cos (2 ω t+2 θ ) +· ·.]-Bsin (H) [2^ (ζ) cos (ω t+ θ ) -2J3 (ζ) cos (3 ω t+3 θ ) · ·.]S (t)通過中心頻率為ω的帶通濾波器后，與幅值為G1的信號(hào)G1 cos ( ω t+ θ ))相乘，經(jīng)低通濾波，得到V1 = -BG1Sin(H)J1 (z),S(t)通過中心頻率為2 ω的帶通濾波器后，與幅值為&的信號(hào)hcos (2 ω t+2 θ )相乘，經(jīng)低通濾波，得到V2 = -BG2Cos (H) J2 (ζ)，由V^ V2 得到
BG1J1(Z) BG2J2(Z)此式為橢圓方程，通過橢圓擬合，求解橢圓參數(shù)，令BG1J1 (ζ) = a, BG2J2 (z) = b，
J1 (ζ) aG7yH = TTT進(jìn)而迭代尋優(yōu)求出相位調(diào)制度ζ值。相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量裝置，結(jié)構(gòu)為激光器驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)激光器產(chǎn)生激光依次經(jīng)聚焦透鏡、半透半反鏡、擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡、小半透半反鏡、參考鏡到達(dá)測(cè)量鏡，小半透半反鏡反射信號(hào)送入光電探測(cè)器PD，半透半反鏡反射信號(hào)進(jìn)入攝像機(jī)后最終送計(jì)算機(jī)處理；光電探測(cè)器PD輸出到步進(jìn)相移量測(cè)量電路；步進(jìn)相移量測(cè)量電路包括三條通道，三條通道為依次相連的中心頻率為ω的帶通濾波器后、乘法器、低通濾波；依次相連的中心頻率為2 ω的帶通濾波器后、乘法器、低通濾波；依次相連的中心頻率為3 ω的帶通濾波器后、乘法器、低通濾波；還包括CPU控制單元，用于產(chǎn)生控制信號(hào)，控制直接數(shù)字頻率合成器DDS輸出可變頻率的方波和正弦波；直接數(shù)字頻率合成器DDS，用于輸出可變頻率的方波和正弦波，分別用于CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)，使得二者精確同步；寄存器，通過寄存器設(shè)置，控制C⑶相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)之間的相位差。本發(fā)明具有以下技術(shù)效果本發(fā)明提供了正弦相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量新的改進(jìn)方法，針對(duì)正弦相位調(diào)制積分算法中相位調(diào)制度和CCD相機(jī)采集信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)相位差不能精確測(cè)量和控制的問題，引入相位調(diào)制度測(cè)量和控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了相位調(diào)制度的動(dòng)態(tài)鎖定，通過CCD相機(jī)采集信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)相位差同步控制技術(shù)穩(wěn)定相差，為實(shí)現(xiàn)高精度的正弦相位調(diào)制算法提供了保證。由于系統(tǒng)采用閉環(huán)結(jié)構(gòu)，抗干擾能力強(qiáng)，避免了普通干涉儀對(duì)環(huán)境干擾敏感的缺點(diǎn)，可用于現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量與校正。同時(shí)系統(tǒng)具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與監(jiān)控能力。因此本系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)透鏡表面形貌，波像差，光學(xué)傳遞函數(shù)等的動(dòng)態(tài)高精密測(cè)量。


圖1示出本發(fā)明的基于交流小相位調(diào)制相位控制的相移干涉測(cè)量方法方法系統(tǒng)框圖。圖1中1為激光器驅(qū)動(dòng)器；2為激光器；3為聚焦透鏡；4半透半反鏡；5為擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡；6為小半透半反鏡；7為參考鏡；8為測(cè)量鏡；9為光電探測(cè)器；10為步進(jìn)相移量測(cè)量電路；11為步進(jìn)相移量穩(wěn)定控制電路；12為CCD相機(jī)；13為計(jì)算機(jī)測(cè)量軟件。圖2示在相位調(diào)制度為0. 15rad時(shí)的測(cè)量信號(hào)。 圖3通過C⑶相機(jī)同步采集四幅圖像的信號(hào)。
具體實(shí)施例方式采用非平衡干涉儀結(jié)構(gòu)，通過激光器內(nèi)調(diào)制，使得激光器輸出波長(zhǎng)呈正弦變化，從而實(shí)現(xiàn)正弦相位調(diào)制，同時(shí)利用CCD相機(jī)在一個(gè)調(diào)制周期內(nèi)同步積分，獲得多幅圖像。理論分析表明，相位調(diào)制度控制到某個(gè)定值時(shí)，可獲得相當(dāng)高的相移干涉測(cè)量精度。對(duì)相位調(diào)制度，CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)之間的相位差進(jìn)行精確測(cè)量控制，由CCD相機(jī)圖像信號(hào)直接求解光學(xué)零件表面相位的方法即為正弦相位調(diào)制同步積分相移。在同步積分算法中，由引文[1][2]分析，相位調(diào)制度誤差，CCD相機(jī)采集信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)相位差的誤差是測(cè)量精度提高的主要障礙，當(dāng)相位調(diào)制度誤差和相位差誤差均小于0. Olrad時(shí)，相位測(cè)量精度超過λ/500。本發(fā)明針對(duì)同步積分算法的特點(diǎn)，將相位調(diào)制度反饋技術(shù)引入正弦相位調(diào)制干涉儀中，通過高精度同步和相差控制，實(shí)現(xiàn)對(duì)相位的高精度測(cè)量。下面結(jié)合附圖和實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明。測(cè)量原理描述 如圖1，采用斐索干涉儀結(jié)構(gòu)，7和8反射的光形成干涉由CCD相機(jī)和PD分別接收， PD中的信號(hào)用來實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)相位調(diào)制度測(cè)量與控制，CCD相機(jī)測(cè)量信號(hào)通過同步積分算法實(shí)現(xiàn)光學(xué)零件表面相位的測(cè)量。CXD相機(jī)采集的干涉信號(hào)為s (t) = [1-mcos (ω t+ θ ) ] {A+Bcos [zcos (ω t+ θ ) + α ]}(式 1)其中m功率調(diào)制系數(shù)，w調(diào)制角頻率，CCD相機(jī)同步采集信號(hào)和調(diào)制信號(hào)相位延遲為θ，A和B是干涉儀的背景光強(qiáng)系數(shù)和對(duì)比度系數(shù)，Z為相位調(diào)制度系數(shù)，ad(x,y,t)為待測(cè)面引起的相位變化，α = 4π l/X+ad(x，y，t)(式 2)其中1為參考鏡和待測(cè)鏡的光程差，λ為激光器輸出光波長(zhǎng)，(X，y)為待測(cè)面上點(diǎn)的坐標(biāo)值，t為時(shí)間。
待測(cè)面高度變化d(x, y, t)=入。a d (x, y，t) /4 Ji (式 3)令(
權(quán)利要求
1.一種相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量方法，其特征是，包括以下步驟采用激光器驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)激光器產(chǎn)生激光，依次經(jīng)過聚焦透鏡、半透半反鏡、擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡、小半透半反鏡、參考鏡到達(dá)測(cè)量鏡，小半透半反鏡反射信號(hào)送入光電探測(cè)器PD，半透半反鏡反射信號(hào)進(jìn)入攝像機(jī)后最終送計(jì)算機(jī)處理；根據(jù)相位信息只是與CCD相機(jī)測(cè)量信號(hào)，相位調(diào)制度z，CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)之間的相差θ，功率調(diào)制系數(shù)m有關(guān)的如下公式α = arctg(M Σ S_N Σ0)/(ΡΣ C-Q Σ s)，由上述公式，進(jìn)行相位調(diào)制度的測(cè)量和穩(wěn)定、 相差θ的同步控制；進(jìn)行相位調(diào)制度的測(cè)量和穩(wěn)定具體為干涉信號(hào)如下S (t) = A+Bcos [zcos (ω t+ θ ) + α ] = A+Bcos ( α ) [J0 (ζ) -2J2 (ζ) cos (2 ω t+2 θ ) +...] -Bsin ( α ) [2^ (ζ) cos (ω t+ θ ) -2J3 (ζ) cos (3 ω t+3 θ )...]將S(t)通過中心頻率為ω的帶通濾波器后，與幅值為G1的信號(hào)G1 cos (on+θ ))相乘，經(jīng)低通濾波，得到V1 = -BG1Sin (Q)J1(Z)；將S (t)通過中心頻率為2 ω的帶通濾波器后，與幅值為(；2的信號(hào)&COS (2 ω t+2 θ )相乘，經(jīng)低通濾波，得到V2 = -BG2Cos ( α ) J2 (ζ)；將S (t)通過中心頻率為3 ω的帶通濾波器后，與幅值為( 的信號(hào)&COS (3 ω t+3 θ )相乘，經(jīng)低通濾波，得到V3 = BG3sin(a)J3(z)；JAz) F1G3由于G1, G2, G3為常數(shù)，由力、V2和V3得= SJ3 ⑴ K3Cz1進(jìn)而迭代尋優(yōu)求出相位調(diào)制度Z值，同時(shí)通過觀察V2實(shí)現(xiàn)對(duì)信號(hào)量大小的監(jiān)測(cè)； 相差θ的同步控制具體為通過CPU控制單元產(chǎn)生控制信號(hào)，控制直接數(shù)字頻率合成器DDS輸出可變頻率的方波和正弦波，分別用于CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)，使得二者精確同步，同時(shí)通過寄存器設(shè)置，控制CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)之間的相位差。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征是，進(jìn)行相位調(diào)制度的測(cè)量和穩(wěn)定具體為 通過引入頻率為Qci且遠(yuǎn)小于ω的正弦信號(hào)一起調(diào)制激光器，則干涉信號(hào)為 S(t) = A+Bcos [ζ cos (ω t+ θ ) + α +hcos (ω 0t+ θ )]由于短期內(nèi)a^cos(coQt+e)可以看作穩(wěn)定的直流信號(hào)H， S (t) = A+Bcos (H) [J0 (ζ) -2J2 (ζ) cos (2 ω t+2 θ ) +· ·.] -Bsin (H) [2Ji (ζ) cos (ω t+ θ ) -2J3 (ζ) cos (3 ω t+3 θ ) ··.]S(t)通過中心頻率為ω的帶通濾波器后，與幅值為G1的信號(hào)G1 cos (on+θ ))相乘， 經(jīng)低通濾波，得到V1 = -BG1Sin(H)J1 (z), S(t)通過中心頻率為2 ω的帶通濾波器后，與幅值為&的信號(hào)Gcos (2 ω t+2 θ )相乘，經(jīng)低通濾波，得到V2 = -BG2Cos (H) J2 (ζ)，由V1J2得到(―^~)2+(~^~)2=1 BG1J1(Z)' yBG2J2(Z)'此式為橢圓方程，通過橢圓擬合，求解橢圓參數(shù)，令BG1J1 (ζ) = a, BG2J2 (z) = b， J1(Z) = aG2進(jìn)而迭代尋優(yōu)求出相位調(diào)制度ζ值。
3. 一種相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量裝置，其特征是，結(jié)構(gòu)為激光器驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)激光器產(chǎn)生激光依次經(jīng)聚焦透鏡、半透半反鏡、擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡、小半透半反鏡、參考鏡到達(dá)測(cè)量鏡，小半透半反鏡反射信號(hào)送入光電探測(cè)器PD，半透半反鏡反射信號(hào)進(jìn)入攝像機(jī)后最終送計(jì)算機(jī)處理；光電探測(cè)器PD輸出到步進(jìn)相移量測(cè)量電路；步進(jìn)相移量測(cè)量電路包括三條通道，三條通道為依次相連的中心頻率為ω的帶通濾波器后、乘法器、低通濾波；依次相連的中心頻率為2 ω的帶通濾波器后、乘法器、低通濾波；依次相連的中心頻率為3 ω的帶通濾波器后、乘法器、低通濾波； 還包括CPU控制單元，用于產(chǎn)生控制信號(hào)，控制直接數(shù)字頻率合成器DDS輸出可變頻率的方波和正弦波；直接數(shù)字頻率合成器DDS，用于輸出可變頻率的方波和正弦波，分別用于CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)，使得二者精確同步；寄存器，通過寄存器設(shè)置，控制CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)之間的相位差。
全文摘要
本發(fā)明屬于光學(xué)測(cè)試技術(shù)。為實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和控制相位調(diào)制度，實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)透鏡表面形貌、光學(xué)透鏡波像差，光學(xué)傳遞函數(shù)等的高精度動(dòng)態(tài)測(cè)量，本發(fā)明采取的技術(shù)方案是，相位調(diào)制同步積分相移干涉測(cè)量方法及裝置，包括下列步驟采用激光器驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)激光器產(chǎn)生激光，依次經(jīng)過聚焦透鏡、半透半反鏡、擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡、小半透半反鏡、參考鏡到達(dá)測(cè)量鏡，小半透半反鏡反射信號(hào)送入光電探測(cè)器PD，半透半反鏡反射信號(hào)進(jìn)入攝像機(jī)后最終送計(jì)算機(jī)處理；根據(jù)相位信息只是與CCD相機(jī)測(cè)量信號(hào)，相位調(diào)制度z，CCD相機(jī)曝光信號(hào)和相位調(diào)制信號(hào)之間的相差θ，功率調(diào)制系數(shù)m有關(guān)的公式，進(jìn)行相位調(diào)制度的測(cè)量和穩(wěn)定、相差θ的同步控制。本發(fā)明主要應(yīng)用于光學(xué)測(cè)試。
文檔編號(hào)G01B11/24GK102353341SQ20111015761
公開日2012年2月15日 申請(qǐng)日期2011年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月13日
發(fā)明者何智剛, 呂昌榮, 張超, 段發(fā)階, 胡博 申請(qǐng)人:天津大學(xué)