專利名稱：電子部件檢查裝置及電子部件搬送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)被封裝成在兩面設(shè)有電極的半導(dǎo)體芯片等電子部件進(jìn)行電氣檢查的電子部件試驗(yàn)裝置、以及在該電子部件試驗(yàn)裝置中采用的電子部件搬送方法。
背景技術(shù)：
這種電子部件檢查裝置一般按照如下的順序進(jìn)行作為對(duì)象的電子部件的供給、檢查和排出。即，(a)將盛在托盤中而從電子部件檢查裝置的外部供給的檢查前的電子部件， 通過(guò)基于把持部的把持搬送，向檢查用頭供給。(b)由檢查用頭將該供給來(lái)的電子部件配置到檢查用插槽上。(c)在基于該檢查用插槽進(jìn)行檢查后，由檢查用頭對(duì)被配置在該檢查用插槽的電子部件進(jìn)行回收。(d)通過(guò)把持部將回收的電子部件，按照檢查結(jié)果的好壞分配到各個(gè)對(duì)應(yīng)的托盤中，然后與這些托盤一同排出到電子部件檢查裝置的外部。根據(jù)這些步驟可知，在這樣的電子部件檢查裝置中，除了維持精確的檢查之外，通過(guò)上述檢查用頭將電子部件以規(guī)定的精度準(zhǔn)確地配置在檢查用插槽上、即將電子部件的各電極與在檢查用插槽中設(shè)置的檢查端子正確連接至為重要。近年來(lái)，作為小型化、高度集成化的電子部件，大多使采用了如上述那樣在上面和下面的兩面分別設(shè)有電極，并且層疊在其上面的其他電子部件與成為基座的部件的上面的電極連接的構(gòu)造(POP:層疊封裝構(gòu)造)的電子部件，作為檢查對(duì)象。以往，一般在對(duì)具有這樣的層疊封裝構(gòu)造的電子部件進(jìn)行檢查的檢查裝置中，設(shè)有在將把持部所把持的電子部件配置到檢查用插槽時(shí)，與電子部件的上面電極接觸的接觸端子；和將該接觸端子與配置有檢查用插槽的檢查基板的電極連接的連接端子。由此，對(duì)于電子部件的上面電極，通過(guò)使其經(jīng)由上述接觸端子及連接端子與檢查基板的電極連接，能夠與被配置在檢查用插槽上并同樣與檢查基板連接的該電子部件的下面電極一同，進(jìn)行經(jīng)由這些上面及下面電極的電氣檢查。另一方面，為了與通過(guò)電子部件的小型化、高度集成化而被微細(xì)化的電子部件的電極間隔對(duì)應(yīng)，還提出了各種能夠?qū)⒕哂羞@些微細(xì)間隔的電子部件的電極與檢查用插槽的接觸端子準(zhǔn)確連接的技術(shù)，專利文獻(xiàn)1中記載了其中一個(gè)例子。在專利文獻(xiàn)1所記載的檢查裝置中，把持電子部件的把持側(cè)臂上具有約束/非約束切換結(jié)構(gòu)，從下部對(duì)所把持的電子部件進(jìn)行攝像。而且，利用由與把持側(cè)臂不同的組件構(gòu)成的位置修正單元，基于該攝像結(jié)果進(jìn)行電子部件的位置修正，利用約束/非約束切換機(jī)構(gòu)將電子部件相對(duì)把持側(cè)臂而固定在修正后的位置。然后，使被如此被固定了位置的電子部件的電極與檢查用插槽的接觸端子接觸。由此，可高度維持檢查用頭與電子部件之間的位置關(guān)系的精度，從而能夠高度維持通過(guò)檢查用頭使電子部件向檢查用插槽的配置精度。[專利文獻(xiàn)1]再公表專利W02003/075023號(hào)公報(bào)根據(jù)上述專利文獻(xiàn)1所記載的檢查裝置，通過(guò)將電子部件相對(duì)檢查用頭的姿勢(shì)維持成規(guī)定的姿勢(shì)，能夠以規(guī)定的精度維持電子部件的下面電極與檢查用插槽的接觸端子的連接。但在專利文獻(xiàn)1所記載的裝置中，由于作為其檢查對(duì)象而沒(méi)有考慮上述的層疊封裝構(gòu)造的電子部件，所以，不能將其簡(jiǎn)單地應(yīng)用到將層疊封裝構(gòu)造的電子部件作為檢查對(duì)象的檢查裝置。即，如果在將層疊封裝構(gòu)造的電子部件作為檢查對(duì)象的檢查裝置中組合了專利文獻(xiàn)1所記載的裝置，則存在著如何處理與上述接觸端子、連接端子的關(guān)系等問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于這樣的問(wèn)題而提出，其目的在于，提供一種能夠高精度地對(duì)在上面和下面這兩面具有電極的電子部件進(jìn)行電氣檢查的電子部件檢查裝置、以及在該電子部件檢查裝置中采用的電子部件搬送方法。本發(fā)明的電子部件檢查裝置具備電子部件，其在第1面和上述第1面的相反側(cè)的第2面上設(shè)有電極；檢查用插槽，其在進(jìn)行上述電子部件的電氣檢查時(shí)被配置上述電子部件；檢查用頭，其用于將上述電子部件搬送配置到上述檢查用插槽，具有把持上述電子部件的把持部、調(diào)整上述把持部的位置的位置調(diào)整部、和設(shè)置于上述把持部并能夠與由上述把持部把持的電子部件的第1面電極接觸的接觸端子；第1攝像裝置，其拍攝被上述把持部把持前的電子部件的第1面電極；第2攝像裝置，其拍攝設(shè)置于上述檢查用頭的接觸端子；第 3攝像裝置，其拍攝由上述把持部把持的電子部件的第2面電極；第4攝像裝置，其拍攝上述檢查用插槽；和控制裝置，其通過(guò)使上述檢查用頭的位置調(diào)整部調(diào)整上述把持部的位置， 來(lái)根據(jù)由上述第1和第2攝像裝置拍攝到的圖像，控制上述把持部把持上述電子部件時(shí)的把持姿勢(shì)，并根據(jù)由上述第3和第4攝像裝置拍攝到的圖像，控制把持了上述電子部件的把持部相對(duì)上述檢查用插槽的把持姿勢(shì)。通過(guò)將能夠與電子部件的第1面電極接觸的接觸端子直接設(shè)置于把持部，使把持部正確地把持電子部件，由此，該被把持的電子部件的第1面電極與上述接觸端子的位置關(guān)系被維持成自動(dòng)對(duì)應(yīng)的關(guān)系。而且，通過(guò)在檢查用頭上設(shè)置用于調(diào)整該把持部的位置的位置調(diào)整部，能夠準(zhǔn)確確保、維持通過(guò)控制裝置的上述姿勢(shì)控制使把持部把持電子部件時(shí)的把持姿勢(shì)、和把持了電子部件的把持部相對(duì)上述檢查用插槽的把持姿勢(shì)。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠可靠保證電子部件的第1面電極及第2面電極與接觸端子及檢查用插槽的電導(dǎo)通。該電子部件檢查裝置在比配置于上述檢查用插槽的上述電子部件的外周靠外側(cè)， 設(shè)有對(duì)與上述電子部件的第1面電極的電導(dǎo)通進(jìn)行確保的連接電極，在上述把持部上設(shè)有能夠與上述連接電極接觸的連接端子。在該電子部件檢查裝置中，上述第1攝像裝置和上述第4攝像裝置中的至少一方被設(shè)于上述檢查用頭。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于隨著按壓裝置的移動(dòng)而移動(dòng)的第1攝像裝置、第4攝像裝置的視野也移動(dòng)，所以結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便利性提高。在該電子部件檢查裝置中，上述第1攝像裝置和上述第4攝像裝置是被共用的1 個(gè)攝像裝置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于第1攝像裝置和第4攝像裝置被共用，所以可減少攝像裝置的數(shù)量，削減部件個(gè)數(shù)。在該電子部件檢查裝置中，上述第2攝像裝置和上述第3攝像裝置是被共用的1 個(gè)攝像裝置。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于第2攝像裝置和第3攝像裝置被共用，所以可減少攝像裝置的數(shù)量，削減部件個(gè)數(shù)。在該電子部件檢查裝置中，上述把持部以將上述接觸端子與上述電子部件的第1 面電極保持為非接觸的狀態(tài)，來(lái)把持上述電子部件，上述檢查用頭在將被上述把持部把持的電子部件按壓到上述檢查用插槽時(shí)，使上述電子部件的第2面電極與上述檢查用插槽的接觸端子接觸，然后使上述被保持為非接觸的上述把持部的接觸端子與上述電子部件的第 1面電極接觸。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于把持部的接觸端子和電子部件的第1面電極已被保持為非接觸的狀態(tài)被向檢查用插槽按壓，所以可保持把持部對(duì)電子部件的把持力的穩(wěn)定。而且，通過(guò)按壓裝置的按壓力的施加，該非接觸狀態(tài)被解除，即電子部件的第1面電極與把持部的接觸端子接觸，構(gòu)成電連接。本發(fā)明的電子部件搬送方法，是利用具有對(duì)在第1面和上述第1面的相反側(cè)的第 2面設(shè)有電極的電子部件進(jìn)行把持的把持部、調(diào)整上述把持部的位置的位置調(diào)整部、和設(shè)于上述把持部并能夠與由上述把持部把持的電子部件的第1面電極接觸的接觸端子的檢查用頭，將上述電子部件搬送配置到用于進(jìn)行上述電子部件的電氣檢查的檢查用插槽的電子部件搬送方法，包括對(duì)上述把持部把持前的電子部件的第1面電極進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第1面電極的位置的第1步驟；對(duì)設(shè)于上述檢查用頭的接觸端子進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述接觸端子的位置的第2步驟；通過(guò)上述檢查用頭的位置調(diào)整部對(duì)上述把持部的姿勢(shì)進(jìn)行調(diào)整，以使在上述第2步驟中識(shí)別出的上述接觸端子的位置、與在上述第1 步驟中識(shí)別出的電子部件的第1面電極的位置相符合，然后，由調(diào)整了該姿勢(shì)的把持部把持上述電子部件的第3步驟；對(duì)上述檢查用插槽的位置進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述檢查用插槽的位置的第4步驟；對(duì)在上述第3步驟中由上述把持部把持的電子部件的第2面電極進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第2面電極的位置的第5步驟；和通過(guò)上述檢查用頭的位置調(diào)整部對(duì)上述把持部的姿勢(shì)進(jìn)行調(diào)整，以使在上述第5步驟中識(shí)別出的上述電子部件的第2面電極的位置、與在上述第4步驟中識(shí)別出的上述檢查用插槽的位置相符合，然后，維持該調(diào)整后的把持部的姿勢(shì)，將上述電子部件配置到上述檢查用插槽的第6步驟。通過(guò)使設(shè)有能夠與電子部件的第1面電極接觸的接觸端子的把持部正確地把持電子部件，被把持的電子部件的第1面電極與上述接觸端子的位置關(guān)系被維持成自動(dòng)對(duì)應(yīng)的關(guān)系。而且，檢查用頭通過(guò)將把持部的位置相對(duì)檢查用插槽調(diào)整平行方向的移動(dòng)位置、旋轉(zhuǎn)位置等的位置調(diào)整部，恰當(dāng)?shù)卮_保、維持通過(guò)控制裝置的上述姿勢(shì)控制使把持部把持電子部件時(shí)的把持姿勢(shì)、和把持了電子部件的把持部相對(duì)上述檢查用插槽的把持姿勢(shì)。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，還能夠可靠保證電子部件的第ι面電極及第2面電極與接觸端子及檢查用插槽的電導(dǎo)通。該電子部件搬送方法在比配置于上述檢查用插槽的上述電子部件的外周靠外側(cè)， 設(shè)置對(duì)與上述電子部件的第1面電極的電導(dǎo)通進(jìn)行確保的連接電極，在上述把持部上設(shè)置能夠與上述連接電極接觸的連接端子，在上述第6步驟中進(jìn)行對(duì)上述檢查用插槽配置上述電子部件的同時(shí)，進(jìn)行上述檢查用插槽的連接端子相對(duì)上述連接電極的定位。根據(jù)這樣的方法，由于通過(guò)電子部件對(duì)檢查用插槽的配置而與電子部件的第1面電極電連接的把持部的連接端子，和比電子部件的外周靠外側(cè)的連接電極對(duì)位，所以對(duì)于具有通常的層疊封裝構(gòu)造的電子部件，能夠通過(guò)其第1面電極和第2面電極進(jìn)行電氣檢查。
該電子部件搬送方法在上述第1步驟中，對(duì)預(yù)先設(shè)置在相對(duì)上述電子部件的載置位置的規(guī)定位置上的第1基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第1面電極相對(duì)上述第1基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，在上述第2步驟中，對(duì)上述第1基準(zhǔn)標(biāo)記和作為規(guī)定的相對(duì)位置的標(biāo)記而預(yù)先設(shè)于上述檢查用頭的第2基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述接觸端子相對(duì)上述第2基準(zhǔn)標(biāo)記的位置。通過(guò)采用這樣的基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠使電子部件的第1面電極的位置與檢查用頭的位置分別借助第1基準(zhǔn)標(biāo)記和第2基準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)位，從而能夠更容易實(shí)現(xiàn)第3步驟中的把持部的姿勢(shì)調(diào)整。該電子部件搬送方法在上述第4步驟中，對(duì)預(yù)先設(shè)置在相對(duì)上述檢查用插槽的規(guī)定位置上的第3基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述檢查用插槽相對(duì)上述第3基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，在上述第5步驟中，對(duì)上述第3基準(zhǔn)標(biāo)記和作為規(guī)定的相對(duì)位置的標(biāo)記而預(yù)先設(shè)于上述檢查用頭的第4基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第2面電極相對(duì)上述第 4基準(zhǔn)標(biāo)記的位置。通過(guò)采用這樣的基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠使檢查用插槽的位置與被檢查用頭把持的電子部件的第2面電極的位置分別借助第3基準(zhǔn)標(biāo)記和第4基準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)位，從而能夠更容易實(shí)現(xiàn)第6步驟中的把持部的姿勢(shì)調(diào)整。該電子部件搬送方法在上述第1步驟中，對(duì)預(yù)先設(shè)置在相對(duì)上述電子部件的載置位置的規(guī)定位置上的第1基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第1面電極相對(duì)上述第1基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，在上述第2步驟中，對(duì)上述第1基準(zhǔn)標(biāo)記和作為規(guī)定的相對(duì)位置的標(biāo)記而預(yù)先設(shè)于上述檢查用頭的第2基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述接觸端子相對(duì)上述第2基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，在上述第4步驟中，對(duì)預(yù)先設(shè)置在相對(duì)上述檢查用插槽的規(guī)定位置上的第3基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述檢查用插槽相對(duì)上述第3基準(zhǔn)標(biāo)記的位置， 在上述第5步驟中，對(duì)上述第3基準(zhǔn)標(biāo)記和作為規(guī)定的相對(duì)位置的標(biāo)記而預(yù)先設(shè)于上述檢查用頭的第4基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第2面電極相對(duì)上述第4基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，上述第2步驟中使用的上述第2基準(zhǔn)標(biāo)記、和上述第5步驟中使用的上述第 4基準(zhǔn)標(biāo)記共用同一個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記。通過(guò)采用這樣的基準(zhǔn)標(biāo)記，在第3步驟中，電子部件的第1面電極的位置與檢查用頭的位置可分別借助第1基準(zhǔn)標(biāo)記和第2基準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)位，在第6步驟中，檢查用插槽的位置與被檢查用頭把持的電子部件的第2面電極的位置可分別借助第3基準(zhǔn)標(biāo)記和第4基準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)位。由此，能夠更容易地實(shí)現(xiàn)第3步驟及第6步驟中的把持部的姿勢(shì)調(diào)整。另外，通過(guò)第2基準(zhǔn)標(biāo)記和第4基準(zhǔn)標(biāo)記的共用，削減了部件數(shù)目，進(jìn)一步提高了便利性。該電子部件搬送方法在上述第6步驟中的對(duì)上述檢查用插槽配置上述電子部件時(shí)，以保持上述接觸端子與由上述把持部把持的電子部件的第1面電極非接觸的狀態(tài)，將上述電子部件按壓到上述檢查用插槽上，在通過(guò)上述按壓使上述電子部件的第2面電極與上述檢查用插槽的接觸端子接觸后，使上述保持為非接觸的該檢查用頭的接觸端子與上述電子部件的第1面電極接觸。根據(jù)這樣的方法，由于把持部的接觸端子和電子部件的第1面電極在保持為非接觸的狀態(tài)被向檢查用插槽按壓，所以可保持把持部對(duì)電子部件的把持力的穩(wěn)定。而且，通過(guò)按壓裝置的按壓力的施加，該非接觸狀態(tài)被解除，即電子部件的第1面電極與把持部的接
8觸端子接觸，構(gòu)成電連接。


圖1是對(duì)于將本發(fā)明涉及的電子部件檢查裝置具體化后的第1實(shí)施方式，表示其整體構(gòu)造的俯視圖。圖2是示意表示在該實(shí)施方式中被檢查的電子部件的圖，(a)是表示下面構(gòu)造的立體圖，(b)是表示上面構(gòu)造的立體圖，(c)是表示側(cè)面構(gòu)造的側(cè)視圖。圖3是表示向該實(shí)施方式的檢查用插槽搬送電子部件的結(jié)構(gòu)的平面構(gòu)造的示意圖。圖4是表示在該實(shí)施方式中搬送電子部件的梭車(shuttle)的正面構(gòu)造的主視圖。圖5是表示在該實(shí)施方式中搬送電子部件的檢查用頭的正面構(gòu)造的主視圖。圖6是表示該實(shí)施方式的梭車和檢查用頭的協(xié)動(dòng)關(guān)系的狀態(tài)圖。圖7(a) (b) (c) (d)是表示該實(shí)施方式的檢查用頭和檢查用插槽的協(xié)動(dòng)關(guān)系的剖面圖。圖8是表示對(duì)該實(shí)施方式的頭基準(zhǔn)標(biāo)記與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行檢測(cè)的狀態(tài)的示意圖，(a)是表示側(cè)面狀態(tài)的側(cè)視圖，(b)是表示標(biāo)記的平面狀態(tài)的俯視圖。圖9是表示對(duì)該實(shí)施方式的頭基準(zhǔn)標(biāo)記與梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行檢測(cè)的狀態(tài)的示意圖，(a)是表示側(cè)面狀態(tài)的側(cè)視圖，(b)是表示標(biāo)記的平面狀態(tài)的俯視圖。圖10是利用功能框圖來(lái)表示該實(shí)施方式的電子部件檢查裝置的電氣結(jié)構(gòu)的框圖。圖11是對(duì)于該實(shí)施方式的檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別處理所涉及的形態(tài)，表示其平面構(gòu)造的俯視圖。圖12是對(duì)于該實(shí)施方式的檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別處理所涉及的形態(tài)，示意表示其正面構(gòu)造的主視圖。圖13是示意表示在該實(shí)施方式的檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別處理中使用的圖像的示意圖。圖14是對(duì)于該實(shí)施方式的被載置在梭車的交換盤(change kit)上的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理的形態(tài)，表示其平面構(gòu)造的俯視圖。圖15(a) (b)是對(duì)于該實(shí)施方式的被載置在梭車的交換盤上的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理的形態(tài)，示意表示其正面構(gòu)造的主視圖。圖16是示意表示該實(shí)施方式的被載置在梭車的交換盤上的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理所使用的圖像的示意圖。圖17是對(duì)于該實(shí)施方式的檢查用頭的姿勢(shì)識(shí)別處理所涉及的形態(tài)，示意表示其正面構(gòu)造的主視圖。圖18是示意表示該實(shí)施方式的檢查用頭的姿勢(shì)識(shí)別處理所使用的圖像的示意圖。圖19是對(duì)于該實(shí)施方式的被把持在檢查用頭中的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理的形態(tài)，示意表示其正面構(gòu)造的主視圖。
圖20是示意表示該實(shí)施方式的被把持在檢查用頭中的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理所使用的圖像的示意圖。圖21是表示在該實(shí)施方式中檢查用頭向檢查用插槽搬送配置電子部件的步驟的概略流程圖。圖22是表示對(duì)本發(fā)明涉及的電子部件檢查裝置所使用的標(biāo)記構(gòu)造進(jìn)行了具體化后的其他實(shí)施方式的圖，(a)是側(cè)視圖，(b)是俯視圖。圖中10-電子部件檢查裝置；11-基座(base) ； 12-安全罩；13-高溫腔；14-供給機(jī)械手；15-回收機(jī)械手；16-第1梭車；16A-基座部件；16D-第1梭車驅(qū)動(dòng)電路；17-第 2梭車；17A-基座部件；17D-第2梭車驅(qū)動(dòng)電路；18-托盤；20-供給側(cè)機(jī)械手單元；21-回收側(cè)機(jī)械手單元；22-檢查用頭；23-檢查部；24-檢查用插槽；24A-收納部；24B-上面部； 25-測(cè)試器；26-框架；27-頭單元；30A-第1導(dǎo)軌；30B-第2導(dǎo)軌；31-供給交換盤；31A-部件載置位置；32-盛放部(pocket) ；34-回收交換盤；37-作為第2及第3攝像裝置的第1 梭車攝像裝置；37D-第1梭車攝像電路；38-作為第2及第3攝像裝置的第2梭車攝像裝置；38D-第2梭車攝像電路；39A-第1上方攝像裝置；39B-第2上方攝像裝置；40A、40B_相機(jī)；41A、41B-反射鏡；42A、42B-照明裝置；44A-第1上方攝像裝置；44B-第2上方攝像裝置；45A、45B-相機(jī)；46A、46B-反射鏡；47A、47B_照明裝置；50-作為第1及第4攝像裝置的第1下方攝像裝置；50A-第1水平驅(qū)動(dòng)裝置；50D-下方攝像裝置驅(qū)動(dòng)電路；51、56_相機(jī)； 51D-下方攝像電路；52、57_反射鏡；55-作為第1及第4攝像裝置的第2下方攝像裝置； 55A-第2水平驅(qū)動(dòng)裝置；60-按壓裝置；61-基部；62-位置調(diào)整部；63-把持部；64-管嘴； 64B-吸附用閥、64D-閥驅(qū)動(dòng)電路；65-把持側(cè)電路裝置；66-彈性體；68-支承體；69-標(biāo)記體；70-控制裝置；71-圖像處理部；75-輸入輸出裝置；80-標(biāo)記體；81-設(shè)置體；82-頭基準(zhǔn)標(biāo)記；83-標(biāo)記；Ba-作為第2面電極的下面電極；Bb-作為第1面電極的上面電極；Cl C6-傳送裝置(conveyor) ；Gl G4-圖像(攝像圖像)；EMSl-第1梭車編碼器；EMS2-第2 梭車編碼器；EMY-Y軸馬達(dá)編碼器；EMZ-Z軸馬達(dá)編碼器；FX-X軸框架；FYl-第IY軸框架； FY2-第2Y軸框架；HMl HM8-作為第2及第4基準(zhǔn)標(biāo)記的頭基準(zhǔn)標(biāo)記；KMll KM18-作為第3基準(zhǔn)標(biāo)記的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記；T-電子部件；Ta-作為第2面的下面；Tb-作為第1面的上面；Tc-半導(dǎo)體芯片；MSl-第1梭車馬達(dá)；MS2-第2梭車馬達(dá)；MY-Y軸馬達(dá)；MYD-Y軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路；MZ-Z軸馬達(dá)；MZD-Z軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路；Pl-接觸端子；P2-接觸端子；P3-連接端子；P4-電路布線；P5-連接電極；SMll SM18、SM21 SM28-作為第1基準(zhǔn)標(biāo)記的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記。
具體實(shí)施例方式下面，結(jié)合附圖，對(duì)將本發(fā)明涉及的電子部件檢查裝置具體化后的第1實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是對(duì)于電子部件檢查裝置10，概略表示了其平面構(gòu)造的圖。圖2(a) (c) 是示意表示由電子部件檢查裝置10檢查的電子部件的外形形狀的圖。圖3是示意表示電子部件檢查裝置10將電子部件向檢查用插槽搬送的機(jī)構(gòu)的圖。電子部件檢查裝置10具備基座11、安全罩12、高溫腔13、供給機(jī)械手14、回收機(jī)械手15、第1梭車16、第2梭車17和多個(gè)傳送裝置Cl C6?；?1在其上面搭載有上述各要素。安全罩12覆蓋基座11的大部分區(qū)域，在其內(nèi)部收納了供給機(jī)械手14、回收機(jī)械手15、第1梭車16及第2梭車17。多個(gè)傳送裝置Cl C6被設(shè)置在基座11上，其一端部側(cè)位于安全罩12的外側(cè)，另一端部位于安全罩12的內(nèi)側(cè)。各個(gè)傳送裝置Cl C6將收納了多個(gè)電子部件等電子部件 T的作為搬送托盤的托盤18，從安全罩12的外側(cè)向安全罩12的內(nèi)側(cè)搬送，或相反地將托盤 18從安全罩12的內(nèi)側(cè)向安全罩12的外側(cè)搬送。其中，在本實(shí)施方式中，電子部件T如圖2所示那樣，在其下面Ta設(shè)有多個(gè)具有導(dǎo)電性的下面電極Ba，并且在其上面Tb同樣設(shè)有多個(gè)具有導(dǎo)電性的上面電極恥。而且，由于電子部件T在其上面Tb的中央設(shè)有半導(dǎo)體芯片Tc，所以該上面Tb的上面電極恥被設(shè)在半導(dǎo)體芯片Tc的周圍。例如，電子部件T是近年來(lái)小型化、高度集成化得以發(fā)展的電子部件，具有在上面層疊了其他電子部件，并且該被層疊的其他電子部件與上面電極恥連接的構(gòu)造(POP:層疊封裝構(gòu)造)。另外，作為半導(dǎo)體芯片Tc，對(duì)其種類沒(méi)有特別的限制，可以是硅芯片或樹(shù)脂封裝芯片等。而且，對(duì)于半導(dǎo)體芯片Tc的尺寸也沒(méi)有特別的限制，可以是近年來(lái)與小型化相伴的例如一邊為2mm的芯片、厚度為0. 3(mm)的芯片、也可以是更大或更厚形狀的芯片、或者更小或更薄形狀的芯片。作為小型、薄型的IC芯片的一例，可舉出 WLCSP (Wafer Level ChipSize lockage)等。另外，作為具有這樣小型化的半導(dǎo)體芯片iTc 的電子部件T，其外形的小型化、下面電極Ba和上面電極恥等的端子間隔的微細(xì)化也得以發(fā)展。供給機(jī)械手14由X軸框架FX、第IY軸框架FYl及供給側(cè)機(jī)械手單元20構(gòu)成?；厥諜C(jī)械手15由上述X軸框架FX、第2Y軸框架FY2及回收側(cè)機(jī)械手單元21構(gòu)成。X軸框架 FX被配置在X方向(在圖1中是橫方向，與X方向箭頭的朝向平行的方向與多個(gè)傳送裝置Cl C6的長(zhǎng)度方向正交的方向)。第IY軸框架FYl及第2Y軸框架FY2被配置成沿著 Y方向(在圖1中為縱方向，與Y方向箭頭的朝向平行的方向與多個(gè)傳送裝置Cl C6的長(zhǎng)度方向平行的方向)相互平行，相對(duì)于上述X軸框架FX，被支承為能夠沿X方向移動(dòng)。而且，第IY軸框架FYl在被設(shè)于X軸框架FX的馬達(dá)(未圖示)的驅(qū)動(dòng)下，沿著該X軸框架FX 在X方向上往復(fù)移動(dòng)，并且，第2Y軸框架FY2在被設(shè)于X軸框架FX的馬達(dá)(未圖示)的驅(qū)動(dòng)下，沿著該X軸框架FX在X軸方向上往復(fù)移動(dòng)。在第IY軸框架FYl的下側(cè)，供給側(cè)機(jī)械手單元20被支承為能夠沿Y方向移動(dòng)，并且該供給側(cè)機(jī)械手單元20在被設(shè)于第IY軸框架FYl的馬達(dá)(未圖示)的驅(qū)動(dòng)下，沿著該第IY軸框架FYl在Y方向上往復(fù)移動(dòng)。由此，供給側(cè)機(jī)械手單元20例如在被移動(dòng)到傳送裝置Cl的托盤18上的電子部件 T的上方后，吸附被收納在該托盤18中的檢查前的電子部件T而對(duì)其進(jìn)行把持。而且，在吸附把持電子部件T的同時(shí)移動(dòng)到第1梭車16上的交換盤的上方后，松開(kāi)該被把持的電子部件T，將其向第1梭車16供給。在第2Y軸框架FY2的下側(cè)，回收側(cè)機(jī)械手單元21被支承為能夠沿Y方向移動(dòng)，并且該回收側(cè)機(jī)械手單元21在被設(shè)于第2Y軸框架FY2的馬達(dá)(未圖示)的驅(qū)動(dòng)下，沿著該第2Y軸框架FY2在Y方向上往復(fù)移動(dòng)。由此，回收側(cè)機(jī)械手單元21例如在被移動(dòng)到第1梭車16上的檢查完畢的電子部件τ的上方后，吸附被收納在該第1梭車16上的該電子部件T而對(duì)其進(jìn)行把持。而且，在吸附把持電子部件T的同時(shí)被移動(dòng)到傳送裝置C6的托盤C18上的盛放部上方后，松開(kāi)該被把持的電子部件T，將其載置到傳送裝置C6的托盤18上。在基座11的上面的供給機(jī)械手14與回收機(jī)械手15之間，平行于X方向分別配置有第1導(dǎo)軌30A及第2導(dǎo)軌30B。在第1導(dǎo)軌30A上，可在X方向上往復(fù)移動(dòng)地設(shè)有第1梭車16。而且，在第2導(dǎo)軌30B上，可在X方向上往復(fù)移動(dòng)地設(shè)有第2梭車17。第1梭車16具備在X方向上延長(zhǎng)的近似板狀的底板部件16A，通過(guò)其底面的未圖示的導(dǎo)軌槽，與第1導(dǎo)軌30A滑動(dòng)接觸。而且，在設(shè)置于第1梭車16的第1梭車馬達(dá)MSl (參照?qǐng)D10)的驅(qū)動(dòng)下，沿著第1導(dǎo)軌30A往復(fù)移動(dòng)。在底板部件16A的上面的供給機(jī)械手14側(cè)固定有供給交換盤31，在回收機(jī)械手15側(cè)固定有回收交換盤34，而且，這些交換盤分別可通過(guò)螺釘?shù)冗M(jìn)行更換。另外，第2梭車17具備在X方向上延長(zhǎng)的近似板狀的底板部件17A， 通過(guò)其底面的未圖示的導(dǎo)軌槽，與第2導(dǎo)軌30B滑動(dòng)接觸。而且，在設(shè)置于第2梭車17的第2梭車馬達(dá)MS2(參照?qǐng)D10)的驅(qū)動(dòng)下，沿著第2導(dǎo)軌30B往復(fù)移動(dòng)。在底板部件17A的上面的供給機(jī)械手14側(cè)固定有供給交換盤31，在回收機(jī)械手15側(cè)固定有回收交換盤34， 而且，這些交換盤分別可通過(guò)螺釘?shù)冗M(jìn)行更換。即，伴隨著第1梭車16及第2梭車17的各往復(fù)移動(dòng)，各供給交換盤31在從供給機(jī)械手14供給電子部件T的部件供給位置SP1、與高溫腔13內(nèi)的部件把持位置SP2之間往復(fù)移動(dòng)。另外，回收交換盤34在部件把持位置SP2 與由回收機(jī)械手15回收電子部件T的部件回收位置SP3之間往復(fù)移動(dòng)。在供給交換盤31中，如圖3所示，在預(yù)先決定的多個(gè)部件載置位置31A分別載置有未檢查的電子部件T。而且，在回收交換盤34中，設(shè)有多個(gè)收納檢查完畢的電子部件T的盛放部32，電子部件T被保持于這些盛放部32。由此，電子部件T從供給機(jī)械手14的供給側(cè)機(jī)械手單元20被搬入到供給交換盤31的各部件載置位置31A，另一方面，電子部件T從回收交換盤；34的盛放部32被回收機(jī)械手15的回收側(cè)機(jī)械手單元21搬出。另外，本實(shí)施方式在供給交換盤31的上面的供給機(jī)械手14側(cè)，沿Y方向排成2列地突出設(shè)有具有規(guī)定的標(biāo)記直徑的圓筒形狀的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMll SM18。各梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMll SM18每2個(gè)成為一對(duì)，即2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM11、SM12、2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM13、 SM14、2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM15、SM16、2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM17、SM18分別成為一對(duì)。并且， 構(gòu)成每對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMl 1、SM12(或SM13、SM14或SM15、SM16或 SM17、SM18)的間隔被設(shè)定為在Y方向上為規(guī)定距離的標(biāo)記間距離。而且，這些梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMll SM18的各對(duì)分別與附近的部件載置位置31A相對(duì)應(yīng)。同樣，在第2梭車17的供給交換盤31的上面，也突出設(shè)有具有與上述同樣的標(biāo)記直徑的圓筒形狀的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM21 SIC8。各梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM21 SIC8每2個(gè)成為一對(duì)，即2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM21、SM22、2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM23、SM24.2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記 SM25.SM26.2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM27、SiC8分別成為一對(duì)。并且，構(gòu)成每對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的2 個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的間隔，也被設(shè)定為在Y方向上與上述的標(biāo)記間距離相同距離的標(biāo)記間距離。而且，這些梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM21 SiCS的各對(duì)分別與附近的部件載置位置31A相對(duì)應(yīng)。在第1梭車16的底板部件16A上設(shè)有第1梭車攝像裝置37。對(duì)第1梭車攝像裝置37而言，在底板部件16A的底面上沿Y方向并列設(shè)有第1上方攝像裝置39A和第2上方攝像裝置39B。第1上方攝像裝置39A由視線朝向第1梭車16的移動(dòng)方向(X方向)的相機(jī)40A、和使相機(jī)40A的視線向上方折曲的反射鏡41A構(gòu)成。另外，第2上方攝像裝置39B 也如圖4所示那樣，由視線朝向第1梭車16的移動(dòng)方向(X方向)的相機(jī)40B、和使相機(jī)40B的視線向上方折曲的反射鏡41B構(gòu)成。反射鏡41A和反射鏡41B分別被設(shè)在底板部件16A的X方向的大致中央部分，并且，在底板部件16A的該大致中央部分別形成有為了不遮擋被各反射鏡41A、41B折曲的各相機(jī)40A、40B的各視線的透孔。而且，在該各透孔的周圍，分別配置有用于對(duì)各視線前方的攝像對(duì)象進(jìn)行照明的矩形框狀照明裝置42A、42B。在第2梭車17的底板部件17A上設(shè)有與上述第1梭車攝像裝置37相同結(jié)構(gòu)的第 2梭車攝像裝置38。對(duì)第2梭車攝像裝置38而言，在底板部件17A的底面上，沿Y方向并列設(shè)有第1上方攝像裝置44A和第2上方攝像裝置44B。即，第1上方攝像裝置44A由視線朝向第2梭車17的移動(dòng)方向(X方向)的相機(jī)45A、和使相機(jī)45A的視線向上方折曲的反射鏡46A構(gòu)成。另外，第2上方攝像裝置44B也如圖4所示那樣，由視線朝向第2梭車17的移動(dòng)方向(X方向)的相機(jī)45B、和使相機(jī)45B的視線向上方折曲的反射鏡46B構(gòu)成。反射鏡46A和反射鏡46B分別被設(shè)在底板部件17A的X方向的大致中央部分，并且，在底板部件17A的該大致中央部分別形成有為了不遮擋被各反射鏡46A、46B折曲的各相機(jī)45A、45B的各視線的透孔。而且，在該各透孔的周圍，分別配置有用于對(duì)各視線前方的攝像對(duì)象進(jìn)行照明的矩形框狀照明裝置47A、47B。如圖3所示，在基座11的上面的第1及第2梭車16、17之間設(shè)有檢查部23。在檢查部23中設(shè)有4個(gè)用于配置檢查對(duì)象的電子部件T的檢查用插槽M。檢查用插槽M是用于配置檢查對(duì)象的電子部件T的插槽(socket)，在各檢查用插槽M上分別配置被載置于上述各梭車16、17的各部件載置位置31A的各電子部件T。另外，在檢查部23的上面，突出設(shè)有具有與上述梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMll SM18同樣的規(guī)定標(biāo)記直徑的圓筒形狀的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KMll KM18。各插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KMll KM18 每2個(gè)成為一對(duì)，即2個(gè)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM11、KM12、2個(gè)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM13、KM14、2個(gè)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM15、KM16、2個(gè)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM17、KM18分別成為一對(duì)。而且，構(gòu)成各對(duì)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的2個(gè)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM11、KMl2 (或KM13、KM14或KM15、KM16或KM17、KM18)的間隔，被設(shè)定為在Y方向上與上述的標(biāo)記間距離同樣的距離。而且，這些插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的各對(duì)分別與附近的檢查用插槽M相對(duì)應(yīng)。如圖7所示，在檢查用插槽M上設(shè)有上面部MB、和為了收納電子部件T而對(duì)上面部MB凹設(shè)的收納部24A。在收納部24A的底面，以與電子部件T的下面電極Ba的配置對(duì)應(yīng)的配置，設(shè)有具有導(dǎo)電性的多個(gè)接觸端子Pl。接觸端子Pl通過(guò)與電子部件T的對(duì)應(yīng)的下面電極Ba抵接，使該下面電極Ba與經(jīng)由檢查部23的電路和該檢查部23連接的測(cè)試器25 連接。由于接觸端子Pl能夠相對(duì)收納部24A的底面上下運(yùn)動(dòng)，并且被彈簧等以規(guī)定的壓力向上方施力，所以具有當(dāng)其前端被以規(guī)定的壓力以上按壓時(shí)長(zhǎng)度收縮，當(dāng)其前端的壓力為規(guī)定的壓力以下時(shí)長(zhǎng)度還原的公知伸縮構(gòu)造。由此，接觸端子Pl可以調(diào)整與電子部件T的下面電極Ba之間的距離，并且能夠以規(guī)定的壓力與下面電極Ba抵接。在檢查用插槽M的上面部24B設(shè)有連接電極P5。對(duì)連接電極P5而言，其基端與檢查部23的電路電連接，并且其前端部露出在上面部24B的上面。如圖1所示，在高溫腔13內(nèi)側(cè)設(shè)有跨越第1及第2梭車16、17以及檢查部23的上方，沿Y方向設(shè)置的未圖示的導(dǎo)軌。在導(dǎo)軌的下部，支承有能夠沿Y方向往復(fù)移動(dòng)的檢查用頭22，并且該檢查用頭22在被設(shè)于導(dǎo)軌的Y軸馬達(dá)MY (參照?qǐng)D10)的驅(qū)動(dòng)下，在各梭車16、17之間沿Y方向往復(fù)移動(dòng)。由此，檢查用頭22沿著導(dǎo)軌移動(dòng)，在各梭車16、17與檢查部23之間相互搬送電子部件 T。檢查用頭22如圖5所示，具有可移動(dòng)地與導(dǎo)軌連接的框架沈、和設(shè)在該框架沈的下部的頭單元27。頭單元27中設(shè)有在X方向上排成2列、在Y方向上排成2列合計(jì)4個(gè) (在圖5中只圖示了 X方向上排列的2個(gè))按壓裝置60。由此，頭單元27在第1梭車16 與檢查部23之間搬送電子部件T、或在第2梭車17與檢查部23之間搬送電子部件T。另外，檢查用頭22中也可以設(shè)置多個(gè)頭單元27。按壓裝置60中具有與框架沈的下部連結(jié)的基部61、設(shè)在該基部61的下部的位置調(diào)整部62、和與該位置調(diào)整部62的下部連結(jié)的把持部63。由于位置調(diào)整部62在內(nèi)部具有使與其下部連結(jié)的把持部63相對(duì)基部61水平旋轉(zhuǎn)(以Z方向?yàn)橹行妮S的旋轉(zhuǎn))以及水平移動(dòng)(向XY方向移動(dòng))的位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，所以，把持部63通過(guò)位置調(diào)整部62的調(diào)整，相對(duì)基部61水平旋轉(zhuǎn)以及水平移動(dòng)。把持部63上設(shè)有從其下部向下方突出的管嘴64。管嘴 64的前端(吸附面)被提供負(fù)壓或大氣壓，并且與其前端(吸附面)抵接的電子部件T基于負(fù)壓被吸附保持。由此，管嘴64基于吸附面被供給的負(fù)壓而吸附把持電子部件T，并且基于吸附面被供給的大氣壓，松開(kāi)吸附面所把持的電子部件T。由此，當(dāng)各按壓裝置60如圖6所示，被配置在部件把持位置SP2處所配置的各梭車16、17的供給交換盤31的上方時(shí)，各管嘴64與對(duì)應(yīng)的部件載置位置31A(電子部件T) 對(duì)置。而且，通過(guò)各按壓裝置60向供給交換盤31移動(dòng)(下降)，各管嘴64分別與被配置在各部件載置位置31A的檢查前電子部件T的半導(dǎo)體芯片Tc抵接，并且通過(guò)這些管嘴64來(lái)吸附把持電子部件T。另外，在本實(shí)施方式中，管嘴64如圖7(a) (d)所示，通過(guò)設(shè)在其與把持部63之間的彈性體66對(duì)把持部63向下方施力。由此，如圖7(c)所示，管嘴64按照其前端受到的來(lái)自下方的比彈性體66的施力大的按壓力而向上移動(dòng)，被收納在把持部63內(nèi)。而且，如圖7所示，把持部63在其下部具備把持側(cè)電路裝置65。把持側(cè)電路裝置 65用于在電子部件T被按壓到檢查用插槽M時(shí)，使電子部件T的上面電極恥與該檢查用插槽M的連接電極P5電連接。在把持側(cè)電路裝置65中，中央部被管嘴64插通，在該插通的管嘴64的周圍，分別向下方突出設(shè)置具有導(dǎo)電性的多個(gè)接觸端子P2及多個(gè)連接端子P3。 對(duì)多個(gè)接觸端子P2而言，由于使其前端與電子部件T的上面Tb的上面電極恥抵接，和該電子部件T的上面電極恥電連接，所以以與電子部件T的上面電極恥對(duì)應(yīng)的配置，被設(shè)置在把持部63的下部。各接觸端子P2具有當(dāng)其前端被以規(guī)定壓力以上按壓時(shí)長(zhǎng)度收縮，當(dāng)其前端的壓力為規(guī)定的壓力以下時(shí)長(zhǎng)度伸長(zhǎng)的公知伸縮構(gòu)造。由此，接觸端子P2自如地調(diào)整與電子部件T的上面電極恥之間的距離，并且以規(guī)定的壓力與電子部件T的上面電極恥抵接。各接觸端子P2通過(guò)把持側(cè)電路裝置65內(nèi)的電路布線P4分別與對(duì)應(yīng)的連接端子P3 電連接。各連接端子P3由于具有與上述接觸端子P2同樣的構(gòu)造，通過(guò)使其前端與檢查用插槽M的連接電極P5抵接而與檢查用插槽M的連接電極P5電連接，所以，以與檢查用插槽M的連接電極P5對(duì)應(yīng)的配置，被設(shè)在把持側(cè)電路裝置65的下部。其中，連接端子P3向把持側(cè)電路裝置65的下方突出的長(zhǎng)度比接觸端子P2突出的長(zhǎng)度短。由此，在按壓裝置60將把持電子部件T的管嘴64配置到檢查部23的檢查用插槽24的上方時(shí)，如圖7 (a)所示，被管嘴64把持的電子部件T與對(duì)應(yīng)的檢查用插槽M對(duì)置。 此時(shí)，從把持側(cè)電路裝置65突出的接觸端子P2與電子部件T的上面電極恥保持為非接觸。 然后，當(dāng)按壓裝置60向檢查部23移動(dòng)(下降)時(shí)，如圖7(b)所示，由管嘴64把持的電子部件T被配置到對(duì)應(yīng)的檢查用插槽24，并且，該電子部件T的下面電極Ba與檢查用插槽M 的接觸端子Pl連接。當(dāng)按壓裝置60進(jìn)一步下降時(shí)，如圖7(c)所示，由于被施加了比來(lái)自彈性體66的施力更大的向上方的力，所以管嘴64相對(duì)把持部63向上方移動(dòng)，被其把持的電子部件T的上面電極恥接近把持側(cè)電路裝置65。由此，電子部件T的上面電極恥與從把持側(cè)電路裝置65突出的接觸端子P2抵接，另一方面，從把持側(cè)電路裝置65突出的連接端子P3與在檢查用插槽M的上面部24B上露出的連接電極P5的前端抵接。然后，當(dāng)各按壓裝置60進(jìn)一步下降時(shí)，如圖7 (d)所示，通過(guò)電子部件T按下檢查用插槽M的各接觸端子P1，按照各下面電極Ba以規(guī)定的壓力與對(duì)應(yīng)的各接觸端子Pl抵接的狀態(tài)，將該電子部件 T安裝到檢查用插槽M上。由此，電子部件T的下面電極Ba通過(guò)檢查用插槽M的接觸端子Pl及檢查部23 的電路(未圖示)與測(cè)試器25連接，并且，電子部件T的上面電極恥通過(guò)接觸端子P2、電路布線P4、連接端子P3、連接電極P5及檢查部23的電路(未圖示)與測(cè)試器25連接。這樣，通過(guò)電子部件T的下面電極Ba及上面電極恥與測(cè)試器25連接，可利用測(cè)試器25實(shí)施電子部件T經(jīng)由下面電極Ba及上面電極恥的電氣檢查。由此，作為檢查用頭22，通過(guò)頭單元27取得多個(gè)由各梭車16、17的供給交換盤31 供給的電子部件T，并且將多個(gè)電子部件T配置到檢查部23的各檢查用插槽M的正上方位置。然后，檢查用頭22使取得的多個(gè)電子部件T向下方移動(dòng)，讓各電子部件T的各下面電極Ba從上方與對(duì)應(yīng)的檢查用插槽M的各接觸端子Pl抵接。由此，被檢查用插槽M支承下面Ta的各電子部件T，通過(guò)使其各上面電極恥與對(duì)應(yīng)的把持側(cè)電路裝置65的各接觸端子P2抵接，將該各接觸端子P2向上方推壓，而被正確地配置到各把持側(cè)電路裝置65上。 與此同時(shí)，通過(guò)各電子部件T的各下面電極Ba將被向上方施力的接觸端子Pl向下方按壓， 各電子部件T被安裝到檢查用插槽M上。并且，當(dāng)被安裝于檢查用插槽M的電子部件T 的電氣檢查結(jié)束時(shí)，檢查用頭22拔出各檢查用插槽M上安裝的電子部件T，將其配置到對(duì)應(yīng)的回收交換盤；34的正上方位置。然后，檢查用頭22在對(duì)應(yīng)的回收交換盤34的正上方位置使電子部件T向下方移動(dòng)，將其收納到該對(duì)應(yīng)的回收交換盤34的規(guī)定的盛放部32。如圖5所示，在各按壓裝置60中，沿著其X方向側(cè)面的與其他按壓裝置60不相鄰的側(cè)面，配置有2個(gè)棒狀的支承體68，該支承體68在Y方向以規(guī)定的間隔排列，并從基部 61向下方延伸，并且這些支承體68的前端被配置在把持部63附近。在2個(gè)支承體68的前端，沿著Y方向水平支承有1個(gè)標(biāo)記體69。由于標(biāo)記體69用于通過(guò)比較其與把持部63之間的水平方向(XY方向)距離，來(lái)檢測(cè)出把持部63相對(duì)基部61的相對(duì)位置，所以，該標(biāo)記體69和支承其的各支承體68被設(shè)置成與把持部63維持非接觸。這樣，在頭單元27中，對(duì)應(yīng)各按壓裝置60設(shè)有合計(jì)4個(gè)標(biāo)記體69。各標(biāo)記體69上分別設(shè)有2個(gè)頭基準(zhǔn)標(biāo)記。另外，由于各標(biāo)記體69具有完全相同的構(gòu)造，所以這里對(duì)圖5中位于右側(cè)位置、即與被配置在檢查用頭22的回收機(jī)械手15側(cè)且為第2梭車17側(cè)的按壓裝置60對(duì)應(yīng)的標(biāo)記體69進(jìn)行說(shuō)明，為了避免重復(fù)的說(shuō)明，省略了對(duì)其他標(biāo)記體69的說(shuō)明。如圖8 (b)所示，在標(biāo)記體69中，分別在Y方向上設(shè)有圓筒形狀的2個(gè)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8，該頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8具有比梭車基準(zhǔn)標(biāo)記及插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的標(biāo)記直徑大的內(nèi)徑，并且二者相距與梭車基準(zhǔn)標(biāo)記及插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的標(biāo)記間距離同樣的距離、即標(biāo)記間距離而設(shè)置。由此，當(dāng)按壓裝置60位于檢查用插槽M上時(shí)，按壓裝置60的標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8,與檢查部23的一對(duì)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM17、KM18對(duì)應(yīng)。另外，當(dāng)按壓裝置60 位于第1梭車16的部件載置位置31A上時(shí)，標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8與供給交換盤31的一對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM17、SM18對(duì)應(yīng)。并且，當(dāng)按壓裝置60位于第2梭車17的部件載置位置31A上時(shí)，標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8與供給交換盤31的一對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記 SM27、SM28 對(duì)應(yīng)。這樣，各標(biāo)記體69分別與檢查部23的各對(duì)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)應(yīng)，并且分別與第1梭車16的各對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記或第2梭車17的各對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)應(yīng)。由此，如圖8(a)所示，當(dāng)被配置在檢查部23的上部的頭單元27向檢查用插槽M 移動(dòng)(下降)時(shí)，各按壓裝置60的標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記(HM4、HM8)被插通于檢查部23 的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記(KM14、KM18)。此時(shí)，例如圖8(b)所示，在標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7中插通檢查部23的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM17，并且在標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM8中插通檢查部23 的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM18。如圖1所示，檢查用頭22在供給機(jī)械手14側(cè)設(shè)有第1下方攝像裝置50，在回收機(jī)械手15側(cè)設(shè)有第2下方攝像裝置55。第1及第2下方攝像裝置50、55分別通過(guò)未圖示的攝像裝置框架被支承于檢查用頭22，能夠相對(duì)檢查用頭22向X方向及Y方向移動(dòng)。由此， 第1及第2下方攝像裝置50、55分別如圖3所示，在設(shè)置于該攝像裝置框架的第1或第2 水平驅(qū)動(dòng)裝置(參照?qǐng)D10)的控制下，沿X方向及Y方向移動(dòng)。第1下方攝像裝置50如圖8所示，由被設(shè)置成將與X方向平行的視線朝向按壓裝置60的方向的相機(jī)51、和使該相機(jī)51的視線向作為基座11上面的下方折曲的反射鏡52 構(gòu)成。另外，第2下方攝像裝置55也同樣由被設(shè)置成將與X方向平行的視線朝向按壓裝置 60的方向的相機(jī)56、和使該相機(jī)56的視線向作為基座11上面的下方折曲的反射鏡57構(gòu)成。由于反射鏡52和反射鏡57分別相對(duì)于各相機(jī)51、56的相對(duì)位置固定，所以各相機(jī)51、 56的視線總是朝向基座11上面。由此，各下方攝像裝置50、55通過(guò)相對(duì)攝像裝置框架的向X方向及Y方向的移動(dòng)、 以及設(shè)置于該攝像裝置框架的檢查用頭22向Y方向的移動(dòng)，而移動(dòng)到檢查部23的上方、各梭車16、17的供給交換盤31的上方。由此，各下方攝像裝置50、55能夠?qū)z查部23的檢查用插槽對(duì)、供給交換盤31的電子部件T(部件載置位置31A)等進(jìn)行攝像。其中，對(duì)于檢查部23的4個(gè)檢查用插槽M中的供給機(jī)械手14側(cè)的2個(gè)檢查用插槽24，分別設(shè)定不同的第1下方攝像裝置50的攝像范圍，對(duì)于回收機(jī)械手15側(cè)的2個(gè)檢查用插槽M分別設(shè)定不同的第2下方攝像裝置55的攝像范圍。而且，對(duì)于各梭車16、17的供給交換盤31的4個(gè)電子部件T (部件載置位置31A)，根據(jù)各梭車16、17的移動(dòng)，按不同的電子部件T (部件載置位置31A)設(shè)定第1及第2下方攝像裝置50、55的至少任意一個(gè)攝像范圍。并且，本實(shí)施方式在各下方攝像裝置50、55的攝像范圍內(nèi)，可同時(shí)拍攝到1個(gè)檢查用插槽M和與該檢查用插槽M對(duì)應(yīng)的2個(gè)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記，并且可同時(shí)拍攝到1個(gè)電子部件T (部件載置位置31A) 和與該部件載置位置31A對(duì)應(yīng)的2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記。即，插槽基準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)于對(duì)應(yīng)的檢查用插槽M被配置在同時(shí)包含于各下方攝像裝置50、55的攝像范圍的位置，梭車記住標(biāo)記相對(duì)于對(duì)應(yīng)的電子部件T (部件載置位置31A)被配置在同時(shí)包含于各下方攝像裝置50、55的攝像范圍的位置。這樣，通過(guò)利用第1或第2下方攝像裝置50、55對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記組合的狀態(tài)(參照?qǐng)D8(b))的圖像進(jìn)行拍攝，并對(duì)該圖像進(jìn)行圖像處理，可計(jì)算出頭基準(zhǔn)標(biāo)記與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系。例如如圖8(b)所示，使第2下方攝像裝置55拍攝頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM17、KM18組合的狀態(tài)，取得其圖像。然后，通過(guò)對(duì)該拍攝得到的圖像進(jìn)行圖像處理，求出2個(gè)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8各自的中心坐標(biāo)、和2個(gè)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM17、KM18各自的中心坐標(biāo)。由此，通過(guò)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM17的比較，計(jì)算出它們之間的水平方向的偏移量，而且，通過(guò)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM8與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM18 的比較，計(jì)算出它們之間的水平方向(XY方向)的偏移量。然后，根據(jù)該計(jì)算出的2個(gè)偏移量，求出2個(gè)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KM17、KM18之間所產(chǎn)生的水平方向(XY 方向)的偏移量和向以與水平面(XY平面)垂直的軸為旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)方向的偏移角度 (計(jì)算出插槽基準(zhǔn)標(biāo)記位置)。根據(jù)如此求出的偏移量和偏移角度，利用位置調(diào)整部62等對(duì)電子部件T、把持部63被定位的位置進(jìn)行修正。由此，能夠良好地維持在具有頭基準(zhǔn)標(biāo)記的按壓裝置60的把持部63、被其把持的電子部件T與具有插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的檢查部23的檢查用插槽M之間進(jìn)行的定位精度。另外，當(dāng)如圖9 (a)所示，在第1梭車16或第2梭車17的上部配置的頭單元27向供給交換盤31移動(dòng)(下降)時(shí)，各按壓裝置60的標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記(HM4、HM8)被插通于供給交換盤31的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記(SM14、SM18等)。此時(shí)，例如如圖9(b)所示，在標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7中插通供給交換盤31的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM17 (SM27)，同時(shí)在標(biāo)記體 69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM8中插通供給交換盤31的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SM18(SiC8)。這樣，通過(guò)利用第1或第2下方攝像裝置50、55對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記組合的狀態(tài)(參照?qǐng)D9(b))的圖像進(jìn)行拍攝，并對(duì)該圖像進(jìn)行圖像處理，可計(jì)算出頭基準(zhǔn)標(biāo)記與插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系。例如如圖9(b)所示，通過(guò)使第2下方攝像裝置55拍攝頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8與梭車基準(zhǔn)標(biāo)記KM17、KM18組合的狀態(tài)，取得其圖像。然后，通過(guò)對(duì)該拍攝得到的圖像進(jìn)行圖像處理，求出2個(gè)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8各自的中心坐標(biāo)、和2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記KM17、KM18各自的中心坐標(biāo)。由此，通過(guò)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7與梭車基準(zhǔn)標(biāo)記KM17 的比較，計(jì)算出它們之間的水平方向(XY方向)的偏移量，而且，通過(guò)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM8與梭車基準(zhǔn)標(biāo)記KM18的比較，計(jì)算出它們之間的水平方向(XY方向)的偏移量。然后，根據(jù)該計(jì)算出的2個(gè)偏移量，求出2個(gè)頭基準(zhǔn)標(biāo)記HM7、HM8與2個(gè)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記KM17、KM18之間所產(chǎn)生的水平方向(XY方向)的偏移量和向以與水平面(XY平面)垂直的軸為旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)方向的偏移角度(計(jì)算梭車基準(zhǔn)標(biāo)記位置)。通過(guò)根據(jù)如此求出的偏移量和偏移角度， 利用位置調(diào)整部62等對(duì)把持部63被定位的位置進(jìn)行修正，能夠良好地維持在具有頭基準(zhǔn)標(biāo)記的按壓裝置60的把持部63、和具有梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的供給交換盤31的各電子部件T (部件載置位置31A)之間進(jìn)行的定位精度。下面，參照?qǐng)D10，對(duì)電子部件檢查裝置10用于將電子部件T搬送到檢查用插槽M 的電氣結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。電子部件檢查裝置10中具有控制裝置70?？刂蒲b置70以具有中央運(yùn)算處理裝置 (CPU)、和存儲(chǔ)裝置(非易失性存儲(chǔ)器ROM、易失性存儲(chǔ)器RAM等)的微機(jī)為中心構(gòu)成，根據(jù)
17存儲(chǔ)器中儲(chǔ)存的各種數(shù)據(jù)和程序，為了對(duì)電子部件T等器件進(jìn)行搬送的處理而執(zhí)行各種控制。在本實(shí)施方式中，控制裝置70執(zhí)行計(jì)算、設(shè)定構(gòu)成電子部件檢查裝置10的各種要素間的相對(duì)位置的處理、和這些各種要素與電子部件T之間的定位處理等。另外，在非易失性存儲(chǔ)器ROM中，預(yù)先儲(chǔ)存有相對(duì)位置信息的設(shè)定處理、按壓裝置60的移動(dòng)控制等所必要的各種參數(shù)等。在控制裝置70中設(shè)有對(duì)由各相機(jī)40A、40B、45A、45B、51、56拍攝的圖像進(jìn)行圖像處理，計(jì)算出例如電子部件T的姿勢(shì)、各確認(rèn)標(biāo)記的中心位置等的圖像處理部71。圖像處理部71存儲(chǔ)有用于計(jì)算出上述的姿勢(shì)和中心位置等的程序，并且，根據(jù)該程序等的執(zhí)行，計(jì)算出通過(guò)對(duì)從相機(jī)輸入的拍攝圖像進(jìn)行圖像處理而識(shí)別出的電子部件T的姿勢(shì)和各個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記的中心位置等，并將其保存到控制裝置70的規(guī)定存儲(chǔ)器等中。而且，在本實(shí)施方式中，圖像處理部71分別進(jìn)行下面詳細(xì)說(shuō)明的“把持部的姿勢(shì)識(shí)別處理”、“被把持的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”、“把持前的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”、以及“檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別處理”。由此，在控制裝置70中根據(jù)通過(guò)“把持部的姿勢(shì)識(shí)別處理”而掌握的把持部63 (管嘴64)的姿勢(shì)、和通過(guò)“把持前的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”而掌握的電子部件T的姿勢(shì)， 進(jìn)行該電子部件T的取得處理(把持前的電子部件取得處理)。另外，根據(jù)通過(guò)“被把持的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”而掌握的被管嘴64把持的電子部件T的姿勢(shì)、和通過(guò)“檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別處理”而掌握的檢查用插槽M的姿勢(shì)，執(zhí)行該電子部件T的配置處理(被把持的電子部件向檢查用插槽的配置處理)。另外，圖像處理部71在上述梭車基準(zhǔn)標(biāo)記位置計(jì)算中，如圖8(b)所示，通過(guò)對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記和插通在該頭基準(zhǔn)標(biāo)記中的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的拍攝圖像進(jìn)行圖像處理，計(jì)算出插槽基準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置。而且，通過(guò)對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記和插通在該頭基準(zhǔn)標(biāo)記中的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的拍攝圖像進(jìn)行圖像處理，計(jì)算出梭車基準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置。通過(guò)這些處理而求出的各相對(duì)位置被設(shè)定、存儲(chǔ)在控制裝置70的存儲(chǔ)裝置等中(梭車基準(zhǔn)標(biāo)記位置設(shè)定、插槽基準(zhǔn)標(biāo)記位置設(shè)定)，并且由中央運(yùn)算處理裝置等從進(jìn)行設(shè)定、存儲(chǔ)的存儲(chǔ)裝置中讀出?？刂蒲b置70與輸入輸出裝置75電連接。輸入輸出裝置75具有各種開(kāi)關(guān)和狀態(tài)顯示器，其將開(kāi)始執(zhí)行上述各處理的指令信號(hào)、用于執(zhí)行各處理的初始值數(shù)據(jù)等輸出到控制裝置70。而且，在本實(shí)施方式中，輸入輸出裝置75中還設(shè)定有與電子部件檢查裝置10的各種要素、各種電子部件的尺寸、形狀相關(guān)的信息、根據(jù)這些電子部件T的種類而設(shè)定的與檢查用頭22的移動(dòng)相關(guān)的信息等，這些信息被輸出到控制裝置70?？刂蒲b置70分別與Y軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路MYD、Z軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路MZD電連接。Y軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路MYD響應(yīng)從控制裝置70接收到的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，根據(jù)該驅(qū)動(dòng)信號(hào)運(yùn)算驅(qū)動(dòng)量，基于運(yùn)算出的驅(qū)動(dòng)量來(lái)驅(qū)動(dòng)控制Y軸馬達(dá)MY。而且，通過(guò)Y軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路MYD 對(duì)控制裝置70輸入由Y軸馬達(dá)編碼器EMY檢測(cè)出的Y軸馬達(dá)MY的轉(zhuǎn)速。由此，控制裝置 70可掌握檢查用頭22的Y方向的位置(Y坐標(biāo))。而且，求出該掌握的Y方向的位置(Y坐標(biāo))與第1或第2梭車16、17、檢查用插槽M的位置等目標(biāo)位置的Y方向的偏移，然后驅(qū)動(dòng)控制Y軸馬達(dá)MY，使檢查用頭22移動(dòng)到目標(biāo)位置。這樣，檢查用頭22的Y方向位置(Y坐標(biāo))可根據(jù)來(lái)自Y軸馬達(dá)編碼器EMY的信號(hào)計(jì)算出。Z軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路MZD響應(yīng)從控制裝置70接收到的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，根據(jù)該驅(qū)動(dòng)信號(hào)運(yùn)算出驅(qū)動(dòng)量，基于運(yùn)算出的驅(qū)動(dòng)量來(lái)驅(qū)動(dòng)控制Z軸馬達(dá)MZ。而且，通過(guò)Z軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路 MZD對(duì)控制裝置70輸入由Z軸馬達(dá)編碼器EMZ檢測(cè)出的Z軸馬達(dá)MZ的轉(zhuǎn)速。由此，控制裝置70可掌握檢查用頭22的各按壓裝置60的上下方向(Z方向)的位置(高度)，并且求出該高度位置與目標(biāo)高度位置(上下方向的位置)的偏移，然后驅(qū)動(dòng)控制Z軸馬達(dá)MZ，使該各按壓裝置60移動(dòng)到目標(biāo)的高度位置。由此，例如能夠使管嘴64移動(dòng)到對(duì)電子部件T進(jìn)行把持、配置的各規(guī)定的高度。控制裝置70與分別設(shè)置于各按壓裝置60的位置調(diào)整部62電連接。位置調(diào)整部 62響應(yīng)從控制裝置70接收到的控制信號(hào)，使設(shè)置于按壓裝置60的把持部63 (管嘴64)相對(duì)按壓裝置60的基部61沿X方向(左右方向)及Y方向(前后方向)移動(dòng)，并且使把持部63(管嘴64)相對(duì)XY平面(水平面)轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，對(duì)管嘴64、被該管嘴64把持的電子部件T相對(duì)把持部63的位置進(jìn)行修正。另外，在圖10中只圖示了 1個(gè)位置調(diào)整部62，為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，省略了其他位置調(diào)整部62的圖示?？刂蒲b置70與閥驅(qū)動(dòng)電路64D電連接。閥驅(qū)動(dòng)電路64D響應(yīng)從控制裝置70接收到的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)控制吸附用閥64B。另外，被控制裝置70驅(qū)動(dòng)控制的吸附用閥64B將向管嘴64供給的氣體切換成負(fù)壓的氣體、或大氣壓的氣體的任意一方。管嘴64在被供給了負(fù)壓的氣體時(shí)，吸附電子部件T，在被供給了大氣壓的氣體而破壞了真空時(shí)，松開(kāi)電子部件 T?？刂蒲b置70與第1梭車驅(qū)動(dòng)電路16D及第2梭車驅(qū)動(dòng)電路17D分別電連接。第1梭車驅(qū)動(dòng)電路16D響應(yīng)從控制裝置70接收到的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)控制第1梭車馬達(dá)MSl。而且，控制裝置70通過(guò)驅(qū)動(dòng)第1梭車馬達(dá)MSl，使第1梭車16沿著導(dǎo)軌30A移動(dòng)。另外，控制裝置70通過(guò)第1梭車驅(qū)動(dòng)電路16D被輸入由第1梭車編碼器EMSl檢測(cè)出的第1梭車馬達(dá)MSl的轉(zhuǎn)速，并且根據(jù)該轉(zhuǎn)速來(lái)掌握第1梭車16的位置。第2梭車驅(qū)動(dòng)電路17D響應(yīng)從控制裝置70接收到的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)控制第2梭車馬達(dá)MS2。而且，控制裝置70通過(guò)驅(qū)動(dòng)第2梭車馬達(dá)MS2，使第2梭車17沿著導(dǎo)軌30B移動(dòng)。另外，控制裝置70通過(guò)第2梭車驅(qū)動(dòng)電路17D被輸入由第2梭車編碼器EMS2檢測(cè)出的第2梭車馬達(dá)MS2的轉(zhuǎn)速，并且根據(jù)該轉(zhuǎn)速來(lái)掌握第2梭車17的位置?？刂蒲b置70分別與第1梭車攝像電路37D和第2梭車攝像電路38D電連接。第1梭車攝像電路37D響應(yīng)從控制裝置70接收到的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)控制各相機(jī) 40A、40B。同樣，第2梭車攝像電路38D響應(yīng)從控制裝置70接收到的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)控制各相機(jī)45A、45B。而且，控制裝置70取得由各相機(jī)40A、40B、45A、45B拍攝到的上方的圖像， 例如拍攝標(biāo)記體69 (頭基準(zhǔn)標(biāo)記)及把持部63而得到的圖像G3 (參照?qǐng)D18)、拍攝標(biāo)記體 69(頭基準(zhǔn)標(biāo)記)及被把持部63把持的電子部件T而得到的圖像G4(參照?qǐng)D20)等的圖像數(shù)據(jù)。在圖像G3中拍攝有把持部63的管嘴64、把持部63的把持側(cè)電路裝置65的接觸端子P2及連接端子P3、標(biāo)記體69和標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記。由此，通過(guò)對(duì)圖像G3進(jìn)行識(shí)別處理，可取得管嘴64的中心位置DC、接觸端子P2及連接端子P3各自的配置位置、頭基準(zhǔn)標(biāo)記的位置、以及它們相互間的相對(duì)位置關(guān)系等。另外，在圖像G4中拍攝有電子部件T、該電子部件T的下面電極Ba、把持部63的把持側(cè)電路裝置65的連接端子P3、標(biāo)記體69和標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記。由此，通過(guò)對(duì)圖像G4進(jìn)行識(shí)別處理，可取得電子部件T的位置、該電子部件T的下面電極Ba的配置位置、連接端子P3的配置位置、頭基準(zhǔn)標(biāo)記的位置以及它們相互間的相對(duì)位置關(guān)系等。S卩，通過(guò)圖像處理部71對(duì)標(biāo)記體69及把持部63的圖像G3進(jìn)行識(shí)別處理，可根據(jù)把持側(cè)電路裝置65的接觸端子P2的配置識(shí)別出把持部63相對(duì)標(biāo)記體69(頭基準(zhǔn)標(biāo)記) 的姿勢(shì)(“把持部的姿勢(shì)識(shí)別處理”)。而且，通過(guò)圖像處理部71對(duì)標(biāo)記體69及被把持部 63吸附的電子部件T的圖像G4進(jìn)行識(shí)別處理，可根據(jù)電子部件T的下面電極Ba的配置識(shí)別出被把持部63吸附的電子部件T相對(duì)標(biāo)記體69 (頭基準(zhǔn)標(biāo)記)的姿勢(shì)(“被把持的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”)。控制裝置70與下方攝像電路5ID電連接。下方攝像電路5ID響應(yīng)從控制裝置70 接收到的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)控制各相機(jī)51、56。而且，控制裝置70取得由各相機(jī)51、56拍攝到的下方圖像的圖像數(shù)據(jù)。圖像數(shù)據(jù)例如是梭車基準(zhǔn)標(biāo)記(SM13、SM14等)及部件載置位置31A處載置的電子部件T的上面Tb被拍攝的圖像G2 (參照?qǐng)D16)、插槽基準(zhǔn)標(biāo)記(KM13、 KM14等)及檢查用插槽24(頭基準(zhǔn)標(biāo)記)被拍攝的圖像Gl (參照?qǐng)D13)等。在圖像G2中拍攝有部件載置位置31A處載置的電子部件T、該電子部件T的上面電極恥、和與部件載置位置31A對(duì)應(yīng)的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記。由此，通過(guò)對(duì)圖像G2進(jìn)行識(shí)別處理，可取得在部件載置位置31A上載置的電子部件T的位置、電子部件T的上面電極恥的配置位置、梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的位置、以及它們相互間的相對(duì)位置關(guān)系等。另外，在圖像Gl中拍攝有檢查用插槽M的接觸端子P1、與該檢查用插槽M對(duì)應(yīng)的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記。由此，通過(guò)對(duì)圖像G2進(jìn)行識(shí)別處理， 可取得檢查用插槽M的接觸端子Pl的配置位置、梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的位置、以及它們相互間的相對(duì)位置關(guān)系等。S卩，通過(guò)圖像處理部71對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記以及電子部件T的圖像G2進(jìn)行識(shí)別處理， 可根據(jù)該電子部件T的上面電極恥識(shí)別出電子部件T相對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的姿勢(shì)(“把持前的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”)。而且，通過(guò)圖像處理部71對(duì)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記及檢查用插槽 24的圖像Gl進(jìn)行識(shí)別處理，可根據(jù)該檢查用插槽M的接觸端子Pl識(shí)別出檢查用插槽M 相對(duì)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的姿勢(shì)(“檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別處理”)。另外，控制裝置70取得通過(guò)各相機(jī)51、56例如對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記(HM7、HM8)及插槽基準(zhǔn)標(biāo)記(KM17、KM18)拍攝的圖像(相當(dāng)于圖8(b))、對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記(HM7、HM8)及梭車基準(zhǔn)標(biāo)記(KM17、KM18)拍攝的圖像(相當(dāng)于圖9(b))等的圖像數(shù)據(jù)。即，在各基準(zhǔn)標(biāo)記位置設(shè)定處理中，通過(guò)圖像處理部71對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記及插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的圖像(相當(dāng)于圖8(b))進(jìn)行識(shí)別處理，可計(jì)算出插槽基準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系作為規(guī)定的值。而且，通過(guò)圖像處理部71對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記及梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的圖像(相當(dāng)于圖9(b))進(jìn)行識(shí)別處理，可計(jì)算出梭車基準(zhǔn)標(biāo)記相對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系作為規(guī)定的值?？刂蒲b置70與下方攝像裝置驅(qū)動(dòng)電路50D電連接。下方攝像裝置驅(qū)動(dòng)電路50D 響應(yīng)從控制裝置70接收到的控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)控制第1或第2水平驅(qū)動(dòng)裝置50A、55A。而且， 控制裝置70通過(guò)驅(qū)動(dòng)第1水平驅(qū)動(dòng)裝置50A，使第1下方攝像裝置50相對(duì)檢查用頭22沿 XY方向移動(dòng)(水平移動(dòng))，另一方面，通過(guò)驅(qū)動(dòng)第2水平驅(qū)動(dòng)裝置55A，使第2下方攝像裝置 55相對(duì)檢查用頭22沿XY方向移動(dòng)(水平移動(dòng))。下面，分別對(duì)該電子部件檢查裝置10在電子部件T的搬送時(shí)執(zhí)行的各姿勢(shì)識(shí)別處理進(jìn)行說(shuō)明。[檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別處理]結(jié)合附圖，對(duì)檢查用插槽的姿勢(shì)的識(shí)別處理進(jìn)行說(shuō)明。圖11是表示對(duì)各檢查用插槽24、和與這些檢查用插槽M對(duì)應(yīng)的各插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KMll KM18進(jìn)行拍攝的平面形態(tài)的俯視圖。圖12是表示對(duì)各檢查用插槽M、和與這些檢查用插槽M對(duì)應(yīng)的各插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KMll KM18進(jìn)行拍攝的正面形態(tài)的主視圖。圖13是表示由下方攝像裝置拍攝到的檢查用插槽M及插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的圖像的一例的圖。如圖11所示，在檢查用插槽M的姿勢(shì)的識(shí)別處理中，第1及第2下方攝像裝置 50、55通過(guò)它們自身的XY方向移動(dòng)(水平移動(dòng))、以及檢查用頭22的Y方向移動(dòng)及Z方向移動(dòng)，被依次配置到各檢查用插槽M的上方。即，如圖12所示，第1下方攝像裝置50被依次配置到供給機(jī)械手14側(cè)(左側(cè))的2個(gè)檢查用插槽M的上方，并且，在被配置的各個(gè)位置，同時(shí)拍攝對(duì)置的檢查用插槽對(duì)、和與該檢查用插槽M對(duì)應(yīng)的一對(duì)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記(例如 KMl3, KM14)。而且，同樣如圖12所示，第2下方攝像裝置55被依次配置到回收機(jī)械手15 側(cè)(右側(cè))的2個(gè)檢查用插槽M的上方，并且，在被配置的各個(gè)位置，同時(shí)拍攝對(duì)置的檢查用插槽M和與該檢查用插槽M對(duì)應(yīng)的一對(duì)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記(例如KM17、KM18)。由此，如圖13所示，取得了針對(duì)各檢查用插槽M的各個(gè)攝像圖像(例如G1)。然后，根據(jù)攝像圖像 (Gl)，在控制裝置70中進(jìn)行“檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別處理”，根據(jù)該檢查用插槽M的接觸端子Pl的配置，計(jì)算出以插槽基準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)的檢查用插槽M的姿勢(shì)。該計(jì)算出的檢查用插槽24的姿勢(shì)、即接觸端子Pl的配置，被用于對(duì)配置于該檢查用插槽M的電子部件T的姿勢(shì)調(diào)整。[梭車的交換盤中配置的電子部件的姿勢(shì)的識(shí)別處理]結(jié)合附圖，對(duì)梭車的交換盤中配置的電子部件的姿勢(shì)的識(shí)別處理進(jìn)行說(shuō)明。圖14 是表示對(duì)被載置在部件載置位置31A的電子部件T的上面電極恥、和與這些部件載置位置 31A對(duì)應(yīng)的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMll SM18進(jìn)行拍攝的平面形態(tài)的俯視圖。圖15是表示對(duì)被載置在部件載置位置31A的電子部件T的上面電極恥、和與這些部件載置位置31A對(duì)應(yīng)的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMll SM18進(jìn)行拍攝的正面形態(tài)的主視圖。圖16是表示由下方攝像裝置拍攝到的被載置在部件載置位置31A的電子部件T的上面電極Bb、以及梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的圖像的一例的圖。如圖14所示，在被配置于部件載置位置31A的電子部件T的姿勢(shì)的識(shí)別處理中， 第1及第2下方攝像裝置50、55通過(guò)它們自身的XY方向移動(dòng)(水平移動(dòng))、檢查用頭22的 Y方向移動(dòng)及Z方向移動(dòng)、以及第1或第2梭車16、17的移動(dòng)，被配置在各梭車16、17的供給交換盤31的上方。例如如圖15(a)所示，第1下方攝像裝置50被依次配置到第1梭車 16的供給交換盤31的各部件載置位置31A的上方。而且，在被配置的各個(gè)位置，同時(shí)拍攝被配置于對(duì)置的部件載置位置31A的電子部件T、和與該部件載置位置31A對(duì)應(yīng)的一對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記(例如SM13、SM14)。而且，如圖15(b)所示，第2下方攝像裝置55被依次配置到第2梭車17的供給交換盤31的上方，并且，在被配置的各個(gè)位置，同時(shí)拍攝被配置于對(duì)置的部件載置位置31A的電子部件T和與該部件載置位置31A對(duì)應(yīng)的一對(duì)梭車基準(zhǔn)標(biāo)記(例如SM23、SMM)。由此，如圖16所示，取得了針對(duì)各部件載置位置31A的各個(gè)攝像圖像(例如G2)。然后，根據(jù)攝像圖像(G2)，在控制裝置70中進(jìn)行“把持前的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”，根據(jù)該電子部件T的上面電極恥的配置，計(jì)算出以梭車基準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)的被載置于部件載置位置31A的電子部件T的姿勢(shì)。該計(jì)算出的電子部件T的姿勢(shì)、即電子部件T的上面電極恥的配置，被用于把持部63的姿勢(shì)調(diào)整。這樣，在本實(shí)施方式中，第1及第2下方攝像裝置50、55在“檢查用插槽的姿勢(shì)的識(shí)別處理”和“梭車交換盤中配置的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”中被共用。[把持部的姿勢(shì)的識(shí)別處理]結(jié)合附圖，對(duì)把持部的姿勢(shì)的識(shí)別處理進(jìn)行說(shuō)明。圖17是表示對(duì)與標(biāo)記體69 (頭基準(zhǔn)標(biāo)記)對(duì)應(yīng)的把持部63進(jìn)行拍攝的形態(tài)的主視圖，圖18是表示由第2上方攝像裝置 39B(44B)拍攝到的標(biāo)記體69(頭基準(zhǔn)標(biāo)記)及把持部63(把持側(cè)電路裝置6 的圖像的一例的圖。如圖17所示，在把持部63的姿勢(shì)的識(shí)別處理中，通過(guò)檢查用頭22的Y方向移動(dòng)、 和第1或第2梭車16、17的移動(dòng)，使各把持部63被配置到第1或第2梭車攝像裝置37、38 的上方。例如，檢查用頭22的手單元上設(shè)置的4個(gè)按壓裝置60中的沿Y方向排列的2個(gè)把持部63，被分別配置在第1梭車攝像裝置37的第1及第2上方攝像裝置39A、39B的上方。由此，第1及第2上方攝像裝置39A、39B同時(shí)對(duì)把持部63的把持側(cè)電路裝置65的接觸端子P2和連接端子P3、以及與該把持部63對(duì)應(yīng)的一對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記(例如HM7、HM8)進(jìn)行拍攝。對(duì)應(yīng)沿X方向排列的按壓裝置60的數(shù)量進(jìn)行該拍攝，即進(jìn)行2次拍攝。由此，如圖18所示，取得了對(duì)各把持部63(把持側(cè)電路裝置)的各個(gè)拍攝圖像(例如G3)。然后，根據(jù)攝像圖像(G3)，在控制裝置70中進(jìn)行“把持部的姿勢(shì)識(shí)別處理”，根據(jù)該把持側(cè)電路裝置 65的接觸端子P2的配置，計(jì)算出以頭基準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)的把持側(cè)電路裝置65的姿勢(shì)。根據(jù)該計(jì)算出的把持側(cè)電路裝置65的姿勢(shì)、即接觸端子P2的配置，調(diào)整把持部63的姿勢(shì)。[被把持部把持的電子部件的姿勢(shì)的識(shí)別處理]結(jié)合附圖，對(duì)被把持部把持的電子部件的姿勢(shì)的識(shí)別處理進(jìn)行說(shuō)明。圖19是表示對(duì)被與標(biāo)記體69 (頭基準(zhǔn)標(biāo)記)對(duì)應(yīng)的把持部63把持的電子部件T進(jìn)行拍攝的形態(tài)的主視圖，圖20是表示由第2上方攝像裝置39B(44B)拍攝到的標(biāo)記體69 (頭基準(zhǔn)標(biāo)記)以及由把持部63取得的電子部件T的圖像的一例的圖。即，標(biāo)記體69 (頭基準(zhǔn)標(biāo)記)在“把持部的姿勢(shì)的識(shí)別處理”和“被把持部把持的電子部件的姿勢(shì)的識(shí)別處理”中共用。如圖19所示，在被把持部63把持的電子部件T的姿勢(shì)的識(shí)別處理中，通過(guò)檢查用頭22的Y方向移動(dòng)、及第1或第2梭車16、17的移動(dòng)，使各把持部63以該把持部63把持了電子部件T的狀態(tài)，被配置到第1或第2梭車攝像裝置37、38的上方。例如，通過(guò)檢查用頭22的手單元上設(shè)置的4個(gè)按壓裝置60中的沿Y方向排列的2個(gè)把持部63，被分別配置到第1梭車攝像裝置37的第1及第2上方攝像裝置39A、39B的上方，來(lái)同時(shí)拍攝被把持部 63把持的電子部件T和與該把持部63對(duì)應(yīng)的一對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記(例如HM7、HM8)。對(duì)應(yīng)沿X 方向排列的按壓裝置60的數(shù)量進(jìn)行該拍攝，即進(jìn)行2次拍攝。由此，如圖20所示，取得了與被各把持部63把持的電子部件T對(duì)應(yīng)的各個(gè)拍攝圖像(例如G4)。然后，根據(jù)攝像圖像 (G4)，在控制裝置70中進(jìn)行“被把持的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別處理”，根據(jù)該電子部件T的下面電極恥的配置，計(jì)算出以頭基準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)的被把持部63把持的電子部件T的姿勢(shì)。根據(jù)該計(jì)算出的電子部件T的姿勢(shì)、即下面電極恥的配置，調(diào)整把持部63的姿勢(shì)。這樣，在本實(shí)施方式中，第1或第2梭車攝像裝置37、38在“把持部的姿勢(shì)的識(shí)別處理”和“被把持部把持的電子部件的姿勢(shì)的識(shí)別處理”中共用。[電子部件向檢查用插槽的搬送步驟]下面，結(jié)合附圖，對(duì)該電子部件檢查裝置10利用檢查用頭22將電子部件T向檢查用插槽M搬送的步驟進(jìn)行說(shuō)明。圖21是表示向檢查用插槽M搬送電子部件T的步驟的流程圖。如圖21所示，控制裝置70執(zhí)行作為第1步驟的對(duì)把持前的電子部件T的姿勢(shì)進(jìn)行識(shí)別的步驟(圖21的步驟S10)、和作為第2步驟的對(duì)把持部63的姿勢(shì)進(jìn)行識(shí)別的步驟 (圖21的步驟Sll)。而且，控制裝置70執(zhí)行作為第3步驟的使把持部63的姿勢(shì)適合電子部件T的姿勢(shì)，取得該電子部件T的步驟(圖21的步驟Si》。并且，控制裝置70執(zhí)行作為第4步驟的對(duì)檢查用插槽M的姿勢(shì)進(jìn)行識(shí)別的步驟(圖21的步驟Si； )、和作為第5步驟的對(duì)被把持部63把持的電子部件T的姿勢(shì)進(jìn)行識(shí)別的步驟(圖21的步驟S14)。另外，控制裝置70還執(zhí)行作為第6步驟的使被把持部63把持的電子部件T的姿勢(shì)適合檢查用插槽 24的姿勢(shì)，將該電子部件T配置到檢查用插槽M上的步驟(圖21的步驟S15)。在對(duì)電子部件T的姿勢(shì)進(jìn)行識(shí)別的步驟(圖21的步驟S10)中，控制裝置70通過(guò)上述的“梭車的交換盤中配置的電子部件T的姿勢(shì)識(shí)別處理”，根據(jù)電子部件T的上面電極 Bb的配置，識(shí)別該電子部件T的姿勢(shì)。在對(duì)把持部63的姿勢(shì)進(jìn)行識(shí)別的步驟(圖21的步驟Sll)中，控制裝置70通過(guò)上述的“把持部的姿勢(shì)識(shí)別處理”，根據(jù)設(shè)置于把持部63 (把持側(cè)電路裝置6 的接觸端子 P2的配置，識(shí)別該把持部63的姿勢(shì)。 在使把持部63的姿勢(shì)適合電子部件T的姿勢(shì)，并且由該把持部63取得電子部件T 的步驟(圖21的步驟Si》中，控制裝置70使把持部63移動(dòng)到電子部件T的正上方。然后，基于通過(guò)“梭車基準(zhǔn)標(biāo)記位置設(shè)定”而使相對(duì)位置關(guān)系被設(shè)定為規(guī)定值的標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記與梭車16(17)的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系、在步驟SlO中求出的電子部件 T的姿勢(shì)、和在步驟S12中求出的把持部63的姿勢(shì)，將把持部63定位到電子部件T上。由此，由于把持部63的姿勢(shì)與電子部件T的姿勢(shì)成為電子部件T的上面電極恥與把持側(cè)電路裝置65的接觸端子P2相對(duì)置(適合)的位置關(guān)系，所以，當(dāng)電子部件T被向把持側(cè)電路裝置65側(cè)按壓時(shí)，上面電極恥與對(duì)置的接觸端子P2抵接。S卩，由于把持部63 (把持側(cè)電路裝置65)的姿勢(shì)通過(guò)接觸端子P2被識(shí)別，并且電子部件T的姿勢(shì)通過(guò)上面電極恥被識(shí)別，所以能夠使接觸端子P2與上面電極恥對(duì)位。然后，通過(guò)讓按壓裝置60從電子部件T的上方下降，相對(duì)電子部件T的姿勢(shì)而被定位的把持部63使其管嘴64與電子部件T抵接，對(duì)該電子部件T進(jìn)行把持。由此，電子部件T被把持部63把持成電子部件T的上面電極恥與其把持側(cè)電路裝置65的接觸端子P2 對(duì)置。另外，被管嘴64吸附把持的電子部件T的姿勢(shì)只要不從該管嘴64脫離即可，相對(duì)該管嘴64不發(fā)生變化。在對(duì)檢查用插槽M的姿勢(shì)進(jìn)行識(shí)別的步驟(圖21的步驟Si； )中，控制裝置70 通過(guò)上述的“檢查用插槽的姿勢(shì)的識(shí)別處理”，根據(jù)檢查用插槽M的接觸端子Pi的配置，識(shí)別檢查用插槽對(duì)的姿勢(shì)。在對(duì)被把持部63把持的電子部件T的姿勢(shì)進(jìn)行識(shí)別的步驟(圖21的步驟S14) 中，控制裝置70通過(guò)上述的“被把持部把持的電子部件的姿勢(shì)的識(shí)別處理”，根據(jù)電子部件
23T的下面電極Ba的配置，識(shí)別被把持部63把持的電子部件T的姿勢(shì)。在使被把持部63把持的電子部件T的姿勢(shì)適合檢查用插槽M的姿勢(shì)，并且將被該把持部63把持的電子部件T配置到檢查用插槽M上的步驟(圖21的步驟SM)中，控制裝置70將把持部63所把持的電子部件T移動(dòng)到檢查用插槽M的正上方。然后，控制裝置70根據(jù)在步驟S13中求出的檢查用插槽M的姿勢(shì)、和在步驟S14中求出的被把持的電子部件T的姿勢(shì)，改變把持部63的姿勢(shì)，將電子部件T的姿勢(shì)定位到檢查用插槽M上。此時(shí)，控制裝置70基于通過(guò)“插槽基準(zhǔn)標(biāo)記位置設(shè)定”將相對(duì)位置關(guān)系設(shè)定為規(guī)定值的標(biāo)記體69的頭基準(zhǔn)標(biāo)記、與檢查部23的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置關(guān)系，對(duì)要定位的位置進(jìn)行修正。由此，由于檢查用插槽M的姿勢(shì)與電子部件T的姿勢(shì)成為檢查用插槽M的接觸端子 Pl與電子部件T的下面電極Ba相對(duì)置(適合)的位置關(guān)系，所以，當(dāng)電子部件T被下降按壓到檢查用插槽M上時(shí)，下面電極Ba與對(duì)置的接觸端子Pl抵接。由于把持部63的姿勢(shì)通過(guò)電子部件T的下面電極Ba被識(shí)別，并且檢查用插槽M的姿勢(shì)通過(guò)接觸端子Pl被識(shí)別， 所以能夠使下面電極Ba與接觸端子Pl對(duì)位。然后，通過(guò)使按壓裝置60整體下降，將相對(duì)檢查用插槽對(duì)被定位的所把持的電子部件T與檢查用插槽M抵接配置。由此，被把持部63把持的電子部件T其下面電極Ba與檢查用插槽M的接觸端子Pl連接。而且，此時(shí)隨著電子部件T被向檢查用插槽M按壓，經(jīng)由電子部件T對(duì)管嘴64施加向上方的反力。而且，對(duì)管嘴64施加的向上方的反力克服對(duì)該管嘴64向下方施力的彈性體66的作用力，使管嘴64向上方移動(dòng)，同時(shí)電子部件T也向把持側(cè)電路裝置65側(cè)移動(dòng)， 使其上面電極恥與對(duì)置的接觸端子P2接觸。并且，此時(shí)相對(duì)檢查用插槽M上方的接觸端子Pl被設(shè)定在規(guī)定位置的連接電極 P5的露出部、與相對(duì)把持側(cè)電路裝置65的接觸端子P2被設(shè)定在規(guī)定位置的連接電極P3的前端抵接。由此，電子部件T的上面電極恥通過(guò)接觸端子P2、連接端子P3、連接電極P5及檢查部23的電路與測(cè)試器25連接。如以上說(shuō)明那樣，根據(jù)本實(shí)施方式的電子部件檢查裝置，可獲得如下所述的效果。(1)通過(guò)將能夠與電子部件T的上面電極恥接觸的接觸端子P2設(shè)置于把持部63， 把持部63能夠恰當(dāng)?shù)匕殉蛛娮硬考，使該被把持的電子部件T的上面電極恥與接觸端子 P2的位置關(guān)系維持自動(dòng)對(duì)應(yīng)的關(guān)系。而且，在檢查用頭22中設(shè)置了用于相對(duì)該把持部63 的位置、即檢查用插槽對(duì)，調(diào)整平行方向(水平方向、XY方向)的移動(dòng)位置和以Z方向?yàn)橹行妮S的旋轉(zhuǎn)位置等的位置調(diào)整部62。由此，通過(guò)控制裝置70進(jìn)行的上述姿勢(shì)控制，可恰當(dāng)?shù)乇ＷC、維持把持部63把持電子部件T時(shí)的把持姿勢(shì)、以及把持了電子部件T的把持部63 相對(duì)上述檢查用插槽M的把持姿勢(shì)。(2)關(guān)于把持部63把持電子部件T時(shí)的把持姿勢(shì)，可參照由下方攝像裝置50、55 拍攝到的電子部件T的上面電極恥的圖像數(shù)據(jù)、以及由第1或第2梭車攝像裝置37、38拍攝到的把持部63的接觸端子P2的圖像數(shù)據(jù)。另外，關(guān)于把持了電子部件T的把持部63相對(duì)檢查用插槽M的把持姿勢(shì)，可參照由第1或第2梭車攝像裝置37、38拍攝到的被把持部 63把持的電子部件T的下面電極Ba的圖像數(shù)據(jù)、以及由下方攝像裝置50、55拍攝到的檢查用插槽M的接觸端子Pl的圖像數(shù)據(jù)?；谶@樣的結(jié)構(gòu)，能夠可靠實(shí)現(xiàn)電子部件T的上面電極恥及下面電極Ba與接觸端子Pl、P2以及檢查用插槽M的電導(dǎo)通。
(3)對(duì)于具有通常的層疊封裝構(gòu)造的電子部件T，通過(guò)電子部件T相對(duì)檢查用插槽 24的配置而與電子部件T的上面電極恥電連接的把持部63的連接端子P3，與被設(shè)在比電子部件T的外周靠外側(cè)的檢查用插槽M的連接電極P5對(duì)位。由此，可通過(guò)上面電極恥及下面電極Ba進(jìn)行電子部件T的電氣檢查。(4)由于隨著按壓裝置60的移動(dòng)而移動(dòng)的下方攝像裝置50、55的視野移動(dòng)，所以結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便利性提高。(5)由于在對(duì)把持前的電子部件T的上面電極恥的圖像的攝像、和檢查用插槽對(duì)的圖像的攝像中，共用下方攝像裝置50、55，所以可減少攝像裝置的數(shù)量，削減部件個(gè)數(shù)。(6)由于在設(shè)置于檢查用頭22 (把持部63)的接觸端子P2或連接端子P3的圖像拍攝、和被把持部63把持的電子部件T的下面電極Ba(第2面電極)的圖像拍攝中，共用第1或第2梭車攝像裝置37、38，所以，可減少攝像裝置的數(shù)量，削減部件個(gè)數(shù)。(7)由于把持部63的接觸端子P2與電子部件T的上面電極恥以被保持為非接觸的狀態(tài)向檢查用插槽M按壓，所以可確保把持部63對(duì)電子部件T的把持力的穩(wěn)定。而且， 通過(guò)按壓裝置60施加的按壓力，該非接觸狀態(tài)被解除，即電子部件T的上面電極恥與把持部63的接觸端子P2接觸，構(gòu)成電連接。(8)將梭車16(17)的部件載置位置31A(載置位置)與預(yù)先設(shè)置在規(guī)定位置的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記一同進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出電子部件T的上面電極恥相對(duì)該梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的姿勢(shì)。而且，將把持部63的接觸端子P2與預(yù)先設(shè)置于檢查用頭22的頭基準(zhǔn)標(biāo)記一同進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出接觸端子P2相對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記的位置。通過(guò)采用這樣的頭基準(zhǔn)標(biāo)記、梭車基準(zhǔn)標(biāo)記，可分別借助梭車基準(zhǔn)標(biāo)記和頭基準(zhǔn)標(biāo)記，使電子部件T的上面電極恥的位置與檢查用頭22的位置對(duì)位，能夠更容易地實(shí)現(xiàn)把持部63的姿勢(shì)調(diào)整。(9)將檢查用插槽M與預(yù)先設(shè)置在規(guī)定位置的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記一同進(jìn)行圖像識(shí)別， 識(shí)別出檢查用插槽M相對(duì)插槽基準(zhǔn)標(biāo)記的姿勢(shì)。而且，將被把持部63把持的電子部件T 與預(yù)先設(shè)置于檢查用頭的頭基準(zhǔn)標(biāo)記一同進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出電子部件T的下面電極Ba 相對(duì)頭基準(zhǔn)標(biāo)記的姿勢(shì)。通過(guò)采用這樣的梭車基準(zhǔn)標(biāo)記、頭基準(zhǔn)標(biāo)記，也能夠分別借助梭車基準(zhǔn)標(biāo)記和頭基準(zhǔn)標(biāo)記，使檢查用插槽M的位置與被檢查用頭22把持的電子部件T的下面電極Ba的位置對(duì)位，能夠更容易地實(shí)現(xiàn)把持部63的姿勢(shì)調(diào)整。(10)通過(guò)一并采用梭車基準(zhǔn)標(biāo)記、頭基準(zhǔn)標(biāo)記和插槽基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠更容易地實(shí)現(xiàn)把持部63的姿勢(shì)調(diào)整。而且，通過(guò)在把持部63的姿勢(shì)識(shí)別和電子部件T的下面電極Ba 的姿勢(shì)識(shí)別中共用頭基準(zhǔn)標(biāo)記，可進(jìn)一步提高便利性。(11)將在供給交換盤31的部件載置位置31A載置的電子部件T與梭車基準(zhǔn)標(biāo)記一同進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出電子部件T的上面電極恥相對(duì)該梭車基準(zhǔn)標(biāo)記的姿勢(shì)。由此， 由于在供給交換盤31中沒(méi)有設(shè)置保持電子部件T的盛放部等情況下，也能夠識(shí)別出被載置于供給交換盤31的電子部件T的位置和姿勢(shì)，所以，通過(guò)檢查用頭22的把持部63的姿勢(shì)調(diào)整，能夠使該把持部63恰當(dāng)?shù)匕殉蛛娮硬考。另外，上述實(shí)施方式還能夠通過(guò)例如以下的方式實(shí)施。在上述實(shí)施方式中，以圖像處理部71進(jìn)行各姿勢(shì)識(shí)別處理的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不限于此，也可以由控制裝置進(jìn)行圖像處理部所進(jìn)行的處理的一部分或全部的處理，相反，還可以由圖像處理裝置進(jìn)行控制裝置所進(jìn)行的處理的一部分。由此，可提高電子部件檢查裝置的構(gòu)成的自由度。在上述實(shí)施方式中，根據(jù)接觸端子P2的配置來(lái)識(shí)別把持部63的姿勢(shì)，但并不限于此，也可以根據(jù)接觸端子的排列和連接端子的排列，來(lái)識(shí)別把持部的姿勢(shì)，或者只根據(jù)連接端子的排列進(jìn)行識(shí)別。由此，可提高電子部件檢查裝置進(jìn)行的姿勢(shì)識(shí)別處理的處理方式的
自由度。在上述實(shí)施方式中，以插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KMll KM18被突出設(shè)置于檢查部23，而且梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMll SM18(SM21 SM28)被突出設(shè)置于供給交換盤31的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明。但并不限于此，插槽基準(zhǔn)標(biāo)記和梭車基準(zhǔn)標(biāo)記只要能夠從相機(jī)所拍攝的圖像中識(shí)別即可，也可以是凹設(shè)的標(biāo)記、印刷的標(biāo)記、嵌入的標(biāo)記、或發(fā)光那樣的標(biāo)記。由此，可根據(jù)設(shè)置環(huán)境來(lái)設(shè)定各基準(zhǔn)標(biāo)記的識(shí)別性和環(huán)境耐性，使電子部件檢查裝置的適用環(huán)境擴(kuò)大，提高其可采用范圍。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在頭基準(zhǔn)標(biāo)記HMl HM8中能夠插通對(duì)應(yīng)的插槽基準(zhǔn)標(biāo)記KMll KM18、梭車基準(zhǔn)標(biāo)記SMll SM18(SM21 SI\C8)的情況。但并不限于此，只要能夠正確取得各基準(zhǔn)標(biāo)記之間的相對(duì)位置關(guān)系即可，插槽基準(zhǔn)標(biāo)記、梭車基準(zhǔn)標(biāo)記也可以不插通于頭基準(zhǔn)標(biāo)記，例如可以在頭基準(zhǔn)標(biāo)記的旁邊排列等。另外，例如也可以如圖 22(a) (b)所示，在檢查用頭中，對(duì)由具有透光性的玻璃等形成的標(biāo)記體80設(shè)置頭基準(zhǔn)標(biāo)記 82，對(duì)交換盤31、檢查部23上安裝的設(shè)置體81設(shè)置插槽基準(zhǔn)標(biāo)記或梭車基準(zhǔn)標(biāo)記作為平面的標(biāo)記83。由此，可提高電子部件檢查裝置中設(shè)置的基準(zhǔn)標(biāo)記的形態(tài)的自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在供給機(jī)械手14側(cè)設(shè)置1臺(tái)下方攝像裝置50，在回收機(jī)械手15側(cè)設(shè)置1臺(tái)下方攝像裝置55的情況。但并不限于此，也可以在供給機(jī)械手側(cè)設(shè)置多臺(tái)下方攝像裝置，而且也可以在回收機(jī)械手側(cè)設(shè)置多臺(tái)下方攝像裝置。例如，在設(shè)置了與插槽數(shù)量相同的下方攝像裝置的情況下，能夠由下方攝像裝置一次拍攝多個(gè)插槽的圖像。由此，縮短了下方攝像裝置拍攝圖像所需要的時(shí)間，從而可縮短姿勢(shì)識(shí)別處理的時(shí)間。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在檢查用頭22中安裝各下方攝像裝置50、55的情況。但并不限于此，下方攝像裝置也可以與檢查用頭分開(kāi)設(shè)置，并且可以移動(dòng)到梭車、檢查部的上方。由此，提高了下方攝像裝置的配置自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了各相機(jī)40A、40B、45A、45B、51、56的視線被各反射鏡41A、41B、46A、46B、52、57折曲的情況。但并不限于此，也可以使各相機(jī)的視線直接捕捉攝像對(duì)象。由此，提高了各相機(jī)的設(shè)置自由度，具有這些相機(jī)的各攝像裝置的結(jié)構(gòu)也提高了自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了各相機(jī)40A、40B、45A、45B被設(shè)置在梭車16、17的下面的情況。但并不限于此，各相機(jī)只要能夠拍攝把持部即可，也可以設(shè)在梭車的上面或側(cè)面。由此，可提高作為電子部件檢查裝置的構(gòu)成的自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了第1及第2梭車攝像裝置37、38被設(shè)在各梭車16、 17的情況，但并不限于此，各相機(jī)只要能夠拍攝把持部即可，也可以設(shè)置在基座或檢查部等。由此，也可提高作為電子部件檢查裝置的構(gòu)成的自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在供給交換盤31上設(shè)定了部件載置位置31A的情況。但并不限于此，也可以在供給交換盤上設(shè)置用于載置電子部件的盛放部。由此，可提高該電子部件檢查裝置的適用范圍。
在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在頭單元27上設(shè)置了 4個(gè)按壓裝置60的情況。但并不限于此，在頭單元上也可以設(shè)置3臺(tái)以下的按壓裝置，或設(shè)置5臺(tái)以上的按壓裝置。由此，可提高作為電子部件檢查裝置的構(gòu)成的自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了連接電極P5設(shè)置于檢查用插槽M的情況。但并不限于此，連接電極只要在能夠與把持側(cè)電路裝置對(duì)置的范圍即可，不限于在檢查用插槽中， 也可以設(shè)置在檢查用插槽周圍，例如安裝了檢查部、檢查用插槽的基板等上。該情況下，只要對(duì)應(yīng)連接電極的配置來(lái)配置把持側(cè)電路裝置的連接端子即可，能夠維持電子部件的上面電極與測(cè)試器的電連接。由此，與把持側(cè)電路裝置及檢查部(檢查用插槽)的構(gòu)造無(wú)關(guān)，提高了能夠在層疊封裝電子部件的檢查裝置中應(yīng)用該電子部件檢查裝置的可能性。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了連接端子P3向下方突出的長(zhǎng)度比接觸端子P2短的情況，但并不限于此，連接端子的長(zhǎng)度也可以是與抵接的電子部件的上面電極的高度、或連接電極的高度對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度。而且，關(guān)于把持側(cè)電路裝置的形狀，也可以將其形狀變形為與檢查部或檢查用插槽對(duì)應(yīng)的適當(dāng)形狀。由此，能夠?qū)?yīng)多種檢查部、檢查用插槽。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了把持前的電子部件T的上面電極恥的圖像和檢查用插槽M的圖像都利用下方攝像裝置50(55)進(jìn)行拍攝的情況。但并不限于此，也可以分別用不同的攝像裝置拍攝保持前的電子部件的上面電極、和檢查用插槽的圖像。由此，可提高攝像裝置的配置自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了設(shè)置于檢查用頭22 (把持部63)的接觸端子P2或連接端子P3的圖像、和被把持部63把持的電子部件T的下面電極Ba(第2面電極)的圖像都由第1梭車攝像裝置37或第2梭車攝像裝置38拍攝的情況。但并不限于此，也可以分別利用不同的攝像裝置對(duì)設(shè)置于檢查用頭(把持部)的接觸端子或連接端子的圖像、和被把持部把持的電子部件的下面電極的圖像進(jìn)行拍攝。由此，可提高攝像裝置的配置自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在把持前的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別步驟(步驟S10) 之后，進(jìn)行把持部的姿勢(shì)識(shí)別步驟(步驟S11)的情況，但并不限于此，也可以在把持前的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別步驟之前進(jìn)行把持部的姿勢(shì)識(shí)別步驟。通過(guò)如此提高各姿勢(shì)識(shí)別步驟的處理順序的自由度，還會(huì)提高電子部件搬送步驟的自由度。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了每一次都進(jìn)行把持部的姿勢(shì)識(shí)別步驟(步驟Sll) 的情況，但并不限于此，只要能夠維持把持部的姿勢(shì)精度，便可以不進(jìn)行把持部的姿勢(shì)識(shí)別步驟。該情況下，可以每隔規(guī)定的時(shí)間、或按每個(gè)規(guī)定條件等在任意的定時(shí)進(jìn)行。通過(guò)如此提高姿勢(shì)識(shí)別步驟的執(zhí)行定時(shí)的自由度，電子部件搬送步驟的自由度也提高。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別步驟(步驟SB)之后進(jìn)行被把持的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別步驟(步驟S14)的情況，但并不限于此，也可以在檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別步驟之前進(jìn)行被把持的電子部件的姿勢(shì)識(shí)別步驟。通過(guò)如此提高各姿勢(shì)識(shí)別步驟的處理順序的自由度，電子部件搬送步驟的自由度也提高。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了每一次都進(jìn)行檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別步驟的情況，但并不限于此，只要能夠維持檢查用插槽的姿勢(shì)精度，便沒(méi)必要進(jìn)行檢查用插槽的姿勢(shì)識(shí)別步驟。該情況下，可以每隔規(guī)定的時(shí)間、或按每個(gè)規(guī)定的條件等在任意的定時(shí)進(jìn)行。通過(guò)如此提高姿勢(shì)識(shí)別步驟的執(zhí)行定時(shí)的自由度，電子部件搬送步驟的自由度也提高。
上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在把持前的電子部件取得步驟(步驟SU)中，使把持部63移動(dòng)到電子部件T的上方后，對(duì)應(yīng)電子部件T的姿勢(shì)來(lái)調(diào)整把持部63的姿勢(shì)的情況。但并不限于此，也可以在被移動(dòng)到電子部件的上方之前或移動(dòng)的途中，對(duì)應(yīng)電子部件的姿勢(shì)來(lái)調(diào)整把持部的姿勢(shì)。由此，增加了進(jìn)行把持部的姿勢(shì)調(diào)整的方式，電子部件搬送步驟的自由度也提高。上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了在向檢查用插槽的配置電子部件的步驟(步驟S15) 中，使把持部63移動(dòng)到檢查用插槽M的上方后，對(duì)應(yīng)檢查用插槽M的姿勢(shì)來(lái)調(diào)整被把持部63把持的電子部件T的姿勢(shì)的情況。但并不限于此，也可以在移動(dòng)到電子部件的上方之前或移動(dòng)的途中，對(duì)應(yīng)檢查用插槽的姿勢(shì)調(diào)整被把持部把持的電子部件的姿勢(shì)。由此，增加了被把持部把持的電子部件進(jìn)行姿勢(shì)調(diào)整的方式，電子部件搬送步驟的自由度也提高。在上述實(shí)施方式中，舉例說(shuō)明了預(yù)先進(jìn)行插槽基準(zhǔn)標(biāo)記位置設(shè)定、梭車基準(zhǔn)標(biāo)記位置設(shè)定的情況。但并不限于此，也可以在電子部件向檢查用插槽搬送的步驟之中適當(dāng)進(jìn)行。由此，可提高電子部件的配置精度或確保精度。
權(quán)利要求
1.一種電子部件檢查裝置，其特征在于，具有電子部件，其在第ι面和上述第1面的相反側(cè)的第2面上設(shè)有電極； 檢查用插槽，其在進(jìn)行上述電子部件的電氣檢查時(shí)被配置上述電子部件； 檢查用頭，其用于將上述電子部件搬送配置到上述檢查用插槽，具有把持上述電子部件的把持部、調(diào)整上述把持部的位置的位置調(diào)整部、和設(shè)置于上述把持部并能夠與由上述把持部把持的電子部件的第1面電極接觸的接觸端子；第1攝像裝置，其拍攝被上述把持部把持前的電子部件的第1面電極； 第2攝像裝置，其拍攝設(shè)置于上述檢查用頭的接觸端子； 第3攝像裝置，其拍攝由上述把持部把持的電子部件的第2面電極； 第4攝像裝置，其拍攝上述檢查用插槽；和控制裝置，其通過(guò)使上述檢查用頭的位置調(diào)整部調(diào)整上述把持部的位置，來(lái)根據(jù)由上述第1和第2攝像裝置拍攝到的圖像，控制上述把持部把持上述電子部件時(shí)的把持姿勢(shì)，并根據(jù)由上述第3和第4攝像裝置拍攝到的圖像，控制把持了上述電子部件的把持部相對(duì)上述檢查用插槽的把持姿勢(shì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子部件檢查裝置，其特征在于，在比配置于上述檢查用插槽的上述電子部件的外周靠外側(cè)，設(shè)有對(duì)與上述電子部件的第1面電極的電導(dǎo)通進(jìn)行確保的連接電極，在上述把持部上設(shè)有能夠與上述連接電極接觸的連接端子。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子部件檢查裝置，其特征在于，上述第1攝像裝置和上述第4攝像裝置中的至少一方被設(shè)于上述檢查用頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的電子部件檢查裝置，其特征在于， 上述第1攝像裝置和上述第4攝像裝置是被共用的1個(gè)攝像裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的電子部件檢查裝置，其特征在于， 上述第2攝像裝置和上述第3攝像裝置是被共用的1個(gè)攝像裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的電子部件檢查裝置，其特征在于，上述把持部以將上述接觸端子與上述電子部件的第1面電極保持為非接觸的狀態(tài)，來(lái)把持上述電子部件，上述檢查用頭在將被上述把持部把持的電子部件按壓到上述檢查用插槽時(shí)，使上述電子部件的第2面電極與上述檢查用插槽的接觸端子接觸，然后使上述被保持為非接觸的上述把持部的接觸端子與上述電子部件的第1面電極接觸。
7.一種電子部件搬送方法，其特征在于，是利用具有對(duì)在第1面和上述第1面的相反側(cè)的第2面設(shè)有電極的電子部件進(jìn)行把持的把持部、調(diào)整上述把持部的位置的位置調(diào)整部、 和設(shè)于上述把持部并能夠與由上述把持部把持的電子部件的第1面電極接觸的接觸端子的檢查用頭，將上述電子部件搬送配置到用于進(jìn)行上述電子部件的電氣檢查的檢查用插槽的電子部件搬送方法，包括對(duì)上述把持部把持前的電子部件的第1面電極進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第1面電極的位置的第1步驟；對(duì)設(shè)于上述檢查用頭的接觸端子進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述接觸端子的位置的第2步驟；通過(guò)上述檢查用頭的位置調(diào)整部對(duì)上述把持部的姿勢(shì)進(jìn)行調(diào)整，以使在上述第2步驟中識(shí)別出的上述接觸端子的位置、與在上述第1步驟中識(shí)別出的電子部件的第1面電極的位置相符合，然后，由調(diào)整了該姿勢(shì)的把持部把持上述電子部件的第3步驟；對(duì)上述檢查用插槽的位置進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述檢查用插槽的位置的第4步驟； 對(duì)在上述第3步驟中由上述把持部把持的電子部件的第2面電極進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第2面電極的位置的第5步驟；和通過(guò)上述檢查用頭的位置調(diào)整部對(duì)上述把持部的姿勢(shì)進(jìn)行調(diào)整，以使在上述第5步驟中識(shí)別出的上述電子部件的第2面電極的位置、與在上述第4步驟中識(shí)別出的上述檢查用插槽的位置相符合，然后，維持該調(diào)整后的把持部的姿勢(shì)，將上述電子部件配置到上述檢查用插槽的第6步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子部件搬送方法，其特征在于，在比配置于上述檢查用插槽的上述電子部件的外周靠外側(cè)，設(shè)置對(duì)與上述電子部件的第1面電極的電導(dǎo)通進(jìn)行確保的連接電極，在上述把持部上設(shè)置能夠與上述連接電極接觸的連接端子，在上述第6步驟中進(jìn)行對(duì)上述檢查用插槽配置上述電子部件的同時(shí)，進(jìn)行上述檢查用插槽的連接端子相對(duì)上述連接電極的定位。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的電子部件搬送方法，其特征在于，在上述第1步驟中，對(duì)預(yù)先設(shè)置在相對(duì)上述電子部件的載置位置的規(guī)定位置上的第1 基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第1面電極相對(duì)上述第1基準(zhǔn)標(biāo)記的位置， 在上述第2步驟中，對(duì)上述第1基準(zhǔn)標(biāo)記和作為規(guī)定的相對(duì)位置的標(biāo)記而預(yù)先設(shè)于上述檢查用頭的第2基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述接觸端子相對(duì)上述第2基準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求7 9中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬送方法，其特征在于，在上述第4步驟中，對(duì)預(yù)先設(shè)置在相對(duì)上述檢查用插槽的規(guī)定位置上的第3基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述檢查用插槽相對(duì)上述第3基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，在上述第5步驟中，對(duì)上述第3基準(zhǔn)標(biāo)記和作為規(guī)定的相對(duì)位置的標(biāo)記而預(yù)先設(shè)于上述檢查用頭的第4基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第2面電極相對(duì)上述第 4基準(zhǔn)標(biāo)記的位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的電子部件搬送方法，其特征在于，在上述第1步驟中，對(duì)預(yù)先設(shè)置在相對(duì)上述電子部件的載置位置的規(guī)定位置上的第1 基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第1面電極相對(duì)上述第1基準(zhǔn)標(biāo)記的位置， 在上述第2步驟中，對(duì)上述第1基準(zhǔn)標(biāo)記和作為規(guī)定的相對(duì)位置的標(biāo)記而預(yù)先設(shè)于上述檢查用頭的第2基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述接觸端子相對(duì)上述第2基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，在上述第4步驟中，對(duì)預(yù)先設(shè)置在相對(duì)上述檢查用插槽的規(guī)定位置上的第3基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述檢查用插槽相對(duì)上述第3基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，在上述第5步驟中，對(duì)上述第3基準(zhǔn)標(biāo)記和作為規(guī)定的相對(duì)位置的標(biāo)記而預(yù)先設(shè)于上述檢查用頭的第4基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行圖像識(shí)別，識(shí)別出上述電子部件的第2面電極相對(duì)上述第 4基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，上述第2步驟中使用的上述第2基準(zhǔn)標(biāo)記、和上述第5步驟中使用的上述第4基準(zhǔn)標(biāo)記共用同一個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記。
12.根據(jù)權(quán)利要求7 11中任意一項(xiàng)所述的電子部件搬送方法，其特征在于， 在上述第6步驟中的對(duì)上述檢查用插槽配置上述電子部件時(shí)，以保持上述接觸端子與由上述把持部把持的電子部件的第1面電極非接觸的狀態(tài)，將上述電子部件按壓到上述檢查用插槽上，在通過(guò)上述按壓使上述電子部件的第2面電極與上述檢查用插槽的接觸端子接觸后，使上述保持為非接觸的該檢查用頭的接觸端子與上述電子部件的第1面電極接觸。
全文摘要
本發(fā)明涉及電子部件檢查裝置及電子部件搬送方法。電子部件檢查裝置中設(shè)有拍攝被把持部把持前的電子部件的上面電極的第1攝像裝置、拍攝設(shè)置于檢查用頭的接觸端子的第2攝像裝置、拍攝被把持部把持的電子部件的下面電極的第3攝像裝置、和拍攝檢查用插槽的第4攝像裝置。而且設(shè)有控制裝置，其通過(guò)使檢查用頭的位置調(diào)整部調(diào)整把持部的位置，來(lái)根據(jù)由第1和第2攝像裝置拍攝到的圖像，控制把持部把持電子部件時(shí)的把持姿勢(shì)，并根據(jù)由第3和第4攝像裝置拍攝到的圖像，控制把持了電子部件的把持部相對(duì)檢查用插槽的把持姿勢(shì)。
文檔編號(hào)G01R1/02GK102288887SQ201110126539
公開(kāi)日2011年12月21日 申請(qǐng)日期2011年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月14日
發(fā)明者塩澤雅邦 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社