專利名稱：用于工業(yè)設備的泄漏測試探針的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在低于大氣壓下操作的大型管道系統(tǒng)中的泄漏檢測，尤其涉及例如用于在工業(yè)設備(如發(fā)電廠系統(tǒng))中測試氣體泄漏的方法和裝置。
背景技術：
氦質(zhì)譜儀泄漏檢測是已知的泄漏檢測技術。氦被用作測試氣體，該測試氣體通過密封測試件中最小的泄漏處。在通過泄漏處之后，包含氦的測試樣品被吸入到泄漏檢測儀器中并被測量。在該儀器中，質(zhì)譜儀或其他檢測器檢測并測量氦。在一種方案中，用氦對測試件加壓。使得與泄漏檢測器的測試端口連接的泄漏檢測器探針或“嗅探器探針”圍繞測試件的外部移動。氦通過測試件中的泄漏處，被吸入探針中，并由泄漏檢測器測量。在另一方案中，測試件的內(nèi)部與泄漏檢測器的測試端口聯(lián)接，并被抽空。氦被噴出到測試件的外部， 通過泄漏處被吸入內(nèi)部，并由泄漏檢測器測量?，F(xiàn)有技術公開的泄漏檢測器包含耦合在待測試的體積與泄漏檢測器的測試端口之間的測試透氣性部件。測試透氣性部件允許測試氣體(諸如氦)通過并阻隔其他氣體、 液體和顆粒。透氣性部件可以是石英，其在受熱時可透過氦?，F(xiàn)有技術還公開了復合膜，所述復合膜順序地包括可以充當基材的多孔膜和半透膜。在現(xiàn)有技術中已知各種泄漏檢測器探針構造。常規(guī)的泄漏檢測器探針包括探針尖端，所述探針尖端具有已知尺寸的開孔，以控制去往泄漏檢測器的氣流。其他已知泄漏檢測器探針包括氣體管道和加熱元件。當氣體管道被加熱時，玻璃可透過氦氣。有時需要在濕的、多塵的和/或充滿流體的環(huán)境的真空應用(例如化學工廠、發(fā)電廠的冷凝器管或在用于渦輪的在線測試的蒸汽噴射器泵的排氣中)中執(zhí)行泄漏測試。發(fā)電廠渦輪由在鍋爐中生成的高壓蒸汽轉動。鍋爐加熱水，并將其轉化為蒸汽，所述蒸汽流過渦輪，以轉動渦輪并發(fā)電。在離開渦輪之后，蒸汽途徑在真空下操作的冷凝器， 所述冷凝器將蒸汽冷卻回水，然后水被放回到鍋爐，從而再次開始循環(huán)。系統(tǒng)的管子和凸緣中的泄漏可以導致超過每渦輪一兆瓦的功率損耗。但是，發(fā)電廠部件的泄漏測試引起一系列的挑戰(zhàn)性問題。通常，渦輪的高壓區(qū)域操作在約200巴 (2900PSIA)的壓力下，而低壓區(qū)域操作在50毫巴(38Torr)或更低的真空壓力下。由于空氣的漏入，真空水平可能劣化和降低系統(tǒng)效率。最被廣泛接受的用于確定空氣漏入的方法是使用測試氣體，諸如氦。但是，在工業(yè)中的已知問題是難以完成精確和可靠的泄漏測試。發(fā)電廠冷卻器系統(tǒng)極大，具有大量管子和凸緣，這些都可能泄漏。通常，沿著直徑外側用氦測試氣體噴灑發(fā)電廠管子和凸緣的多個部分。氦被吸入到泄漏處中，并且與管子內(nèi)的氣體流一起向下游流到泄漏檢測器的位置。由于大氣的空氣對流、風的作用等，僅僅少量的噴灑氦氣實際進入泄漏處，并且遮蔽大型發(fā)電廠的一部分以提供受控的氦氣氛是不現(xiàn)實的。實際進入給定泄漏處的氦氣的量通常很小并且十分不穩(wěn)定。此外，系統(tǒng)包含大量的水蒸汽和氨，這增加了測試難度。在泄漏檢測器的連接點和泄漏位置之間常常存在長的距離， 因此可靠和可重復的響應對于以時間和成本有效方式定位和維修泄漏是至關重要的。在發(fā)電廠冷凝器和其他工業(yè)設備中，與進入系統(tǒng)的少量測試氣體相比，氣體量非常大，因此難以檢測。多種方法已經(jīng)被嘗試以試圖提高泄漏測試可靠性，包括使用多個泵、取樣旁路、與測試管子并行的抽頭部件以及以粘性流循環(huán)載體氣體的供料部件。透氣性膜也已經(jīng)被用于現(xiàn)有技術的工業(yè)泄漏測試。但是，這些膜通常是夾在兩個凸緣之間并且安放在管子的直徑外側上的凸緣側端口上的平坦盤，遠離測試的管子的中心處的主氣流。在現(xiàn)有技術中還嘗試了多種透氣性部件，以試圖獲得可靠的結果。所有現(xiàn)有技術的方法導致了復雜和昂貴的系統(tǒng)，這些系統(tǒng)難以在大型、多層發(fā)電廠全套設備中到處移動，并且不能提供充分可靠的測試結果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供用于在濕的、多塵的和/或充滿流體的系統(tǒng)(諸如發(fā)電廠)中執(zhí)行精確的、可重復的泄漏測試測量而不需要特殊的取樣泵、載氣或分離器的方法和裝置。泄漏檢測器探針被直接安裝在管子或其他運輸待測試的氣流的部件中，并耦合到泄漏檢測器的出口，得到簡單、高度可靠和高效的泄漏測試方法。泄漏檢測器探針包括布置在待測試的氣流中的測試氣體透氣膜。測試氣體透氣膜可以例如布置在管子的朝向抽空泵的氣體流中的中心區(qū)域中。在一些實施方式中，管子或其他部件中泄漏檢測器探針的位置是可調(diào)節(jié)的。在正常工廠操作期間執(zhí)行泄漏測試的能力節(jié)省時間和金錢，并可以發(fā)現(xiàn)當系統(tǒng)在非操作壓力下被測試時可能不能發(fā)現(xiàn)的泄漏。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，泄漏檢測器探針組件包括泄漏檢測器探針，其包括具有構造用于將測試氣體運輸?shù)叫孤z測器的內(nèi)部通道的管子和可透過測試氣體的透氣元件， 所述透氣元件附裝到所述管子并布置在所述探針的外部和所述管子的所述內(nèi)部通道之間； 以及安裝機構，其構造用于將所述泄漏檢測器探針安裝到運輸待測試的氣體流的部件，使得所述透氣元件處于待測試的所述氣體流中期望的位置處。在一些實施方式中，透氣元件位于泄漏檢測器探針的探針尖端。透氣元件可以包括多孔結構元件和與所述結構元件串聯(lián)的測試氣體透氣膜。在一些實施方式中，盤狀的透氣元件可以密封所述管子中的內(nèi)部通道的內(nèi)徑。在其他實施方式中，透氣元件可以具有中空的圓柱結構，并且可以被密封到所述管子。保護機構可以被布置在透氣元件上。安裝機構可以被配置用于安裝泄漏檢測器探針，使得透氣元件位于運輸待測試的所述氣體流的管子的中心區(qū)域中。在一些實施方式中，安裝機構限定泄漏檢測器探針的固定位置。在其他實施方式中，安裝機構被配置用于可調(diào)節(jié)布置泄漏檢測器探針。安裝機構可以包括用于密封到運輸待測試的氣體流的部件中的開口的凸緣。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，用于泄漏檢測的方法包括將泄漏檢測器探針布置在待測試的氣體流中，所述泄漏檢測器探針包括具有內(nèi)部通道的管子和可透過測試氣體的透氣元件，所述透氣元件放置在所述氣體流中、所述探針的外部和所述管子的所述內(nèi)部通道之間；以及將通過所述透氣元件的測試氣體抽吸到泄漏檢測器中，以進行檢測。


為了更好地理解本發(fā)明，可以參考附圖，所述附圖通過引用被結合到本文中并且其中圖1是管子的示意性剖視圖，示出了在管子的中心區(qū)域中測試氣體的流動；圖2是現(xiàn)有技術的泄漏檢測器構造的示意性框圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明的實施方式的泄漏檢測器構造的示意性框圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明的實施方式的泄漏檢測器探針組件的示意圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明的實施方式的泄漏檢測器探針的探針尖端的放大剖視圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明的其他實施方式的泄漏檢測器探針的示意圖；以及圖7是根據(jù)本發(fā)明的其他實施方式的泄漏檢測器探針的探針尖端的放大剖視圖。
具體實施例方式本發(fā)明提供用于在濕的、多塵的和/或充滿流體的系統(tǒng)(諸如發(fā)電廠)中執(zhí)行精確可靠的泄漏測試測量的方法和設備。泄漏檢測器探針被直接安裝到運輸待測試的氣體流的管子或其它部件中，并且耦合到泄漏檢測器的入口，獲得簡單、高度可靠和高效的泄漏測試工藝。泄漏檢測器探針包括測試氣體透氣膜，所述測試氣體透氣膜被布置在待測試的氣體流中。測試氣體透氣膜可以例如被布置在管子的中心區(qū)域中、朝向抽空泵的氣體流中。在一些實施方式中，管子或其它部件中的泄漏檢測器探針的位置可以是可調(diào)節(jié)的。在正常工廠操作期間執(zhí)行泄漏測試的能力節(jié)省時間和錢，并且可能發(fā)現(xiàn)當系統(tǒng)在非操作壓力下被測試時可能不會被發(fā)現(xiàn)的泄漏。大型工業(yè)系統(tǒng)諸如發(fā)電廠中的氣體動力學對于泄漏測試帶來特殊問題。典型的發(fā)電廠管子的直徑可能是10到100厘米，而氦示蹤氣體的平均自由程(氣體分子在其碰撞另一氣體分子之前可以移動的距離)要小若干個數(shù)量級。氦的平均自由程可以利用如下的一般方程求得λ = 2· 33Χ1(Γ20(Τ)/(ζ2Ρ)其中，λ為平均自由程，單位厘米(cm) ；T是溫度，單位開爾文(K) ； ζ是氦原子的直徑，單位厘米(cm) ；P是氣體壓強，單位為托(Ton·)。在四漲和38托(50毫巴)的壓強下，氦的平均自由程為3.7X10_4Cm。在具有不同質(zhì)量的氣體混合物中，諸如在泄漏而來的水蒸氣和空氣中，氦的平均自由程將依賴于氣體的相對濃度和溫度而稍微改變，但是在所稱的工作壓強下仍然維持在IO-4Cm的范圍內(nèi)。如圖1所示，典型發(fā)電廠管子10的直徑較之氦的平均自由程大若干個數(shù)量級，使得氦測試氣體難以遷移到測試管子的直徑外側處的測試端口。通過管子10的氣體流包括大的分子12，諸如水蒸氣、氮氣和氧氣，以及小的氦原子14。平均自由程為E-4cm量級的氦原子由于與更大質(zhì)量和更大量的氣體分子的連續(xù)碰撞而被捕集在基本的粘性層流中。因此，氦原子14趨向于在管子10的中心軸線附近的區(qū)域16中流動。此外，在工程文獻中已知的是，在管子中的粘性層流中氣流速度在管子的中心軸線處最大，在管壁處為0?；練怏w流以及氦測試氣體流因此靠近管子的中心，遠離管子的直徑外側的測試端口?？紤]到在實際應用中(諸如在發(fā)電廠的冷凝器管線中)，實際進入泄漏處的氦氣的小濃度、氦測試氣體的極小的平均自由程以及僅僅在管子的中心附近的高氣體流量，通過泄漏處進入系統(tǒng)的任何氦測試氣體被捕集在管子的中心軸線附近的高流量區(qū)域中。由于小的平均自由程，所以氦原子不能側向遷移到處于管子的直徑外側處的泄漏測
6試端口。在圖2中示出了用于管子中的泄漏檢測的現(xiàn)有技術構造。管子30運輸氣體流32， 所述氣體流32具有流動曲線34，該曲線在管子30的中心軸線36處具有最大流量并且在管子30的壁處具有零流量。透氣膜40被安裝在側向測試端口 42的凸緣之間。如果有的話，進入側向測試端口 42的氦氣通過膜40到達泄漏檢測器46。由于與氣流體積相比氦氣的量很小并且由于在管子的壁處流量為零，所以非常少的氦氣進入測試端口 42。對于圖2的構造，通常直接在泄漏處上噴灑氦氣，并且通常在泄漏檢測器中根本觀察不到響應。在一定時間之后，管子內(nèi)的湍流可能使得氦測試氣體能夠側向遷移到管子側面中的測試端口，并且被檢測。但是，精確定點大系統(tǒng)中的小泄漏處或多個泄漏處可能是非常困難且耗時的問題。一種利用上述的氣體動力學的泄漏測試方案是將泄漏檢測器連接到用于維持冷凝器系統(tǒng)中的真空壓強的真空泵的排氣口。利用現(xiàn)有技術的泄漏檢測技術，泄漏檢測器必須由阱與待測試的系統(tǒng)分隔開，以在氣體進入泄漏檢測器之前去除水蒸汽和臟的顆粒。任何進入泄漏檢測器的水蒸氣將導致光譜儀或其他檢測裝置的污染，劣化泵潤滑和軸承，并且腐蝕泄漏檢測器部件。用于從氣體去除水蒸汽的阱將嚴重限制泄漏檢測器的靈敏度和限制，又導致困難的泄漏測試問題。在基于小孔的吸氣探針的情況下，抽吸管線將最終堵塞， 從而得到錯誤的測試結果。在圖3-5中示出了根據(jù)本發(fā)明的實施方式的泄漏檢測器探針組件和泄漏檢測器系統(tǒng)。如圖3所示，泄漏檢測器探針組件100包括泄漏檢測器探針102和安裝機構104。泄漏檢測器探針組件100被安裝在運輸待測試的氣體流112的管子110中。泄漏檢測器探針 102的探針尖端120由安裝機構104定位在管子110的氣體流112中。泄漏檢測器探針102 由軟管124與泄漏檢測器130連接。在本發(fā)明的實施方式中，泄漏檢測器探針102的探針尖端120包括測試氣體透氣膜，并且探針尖端120被定位在管子110的中心軸線132處或附近。如圖4和5中所示，泄漏檢測器探針102的實施方式包括具有內(nèi)部通道152的耐腐蝕管子150，并包括探針尖端120和連接器154。探針尖端120包括透氣元件160，該元件附裝到管子150上并且布置在探針尖端102的外部162與管子150的內(nèi)部通道152之間。 探針尖端120和連接器IM可以位于管子150的相反兩端。安裝機構104被構造來將管子 150安裝到管子、導管或運輸待測試的氣體流的其他部件上，其中，透氣元件160在待測試的氣體流中具有期望的位置。連接器巧4提供管子150和軟管IM之間的真空密封連接。管子150可以經(jīng)由軟管IM與任何類型的氦氣或氫氣泄漏檢測器的入口連接。泄漏檢測器真空泵在軟管IM和泄漏檢測器探針102內(nèi)部創(chuàng)建真空。安裝機構104可以是壓配型凸緣裝配件，其允許泄漏檢測器探針102以真空密封方式安裝在待測試的管子的端口中。在一些實施方式中，泄漏檢測器探針102的位置被相對于安裝機構104固定。在其他實施方式中，泄漏檢測器探針102的位置可相對于安裝機構104調(diào)節(jié)。通過松開壓配裝配件，泄漏檢測器探針102可以被布置在管子內(nèi)部，使得探針尖端120和透氣元件160被定位在管子110的中心軸線132處或附近，在中心軸線132處或附近氣體流量和氦氣濃度最大。將會理解的是，任何合適的安裝機構104可以被用于將
7泄漏檢測器探針102布置在待測試的氣體流中。安裝機構104可以將泄漏檢測器探針102 密封到其被安裝在其中的部件上。在一些實施方式中，透氣元件160可以包括多孔的結構部件180和測試氣體透氣膜182。透氣元件160被配置來使得測試氣體依次流過透氣膜182和結構部件180(或反之)，到達管子150的內(nèi)部通道152。在圖5的實施方式中，透氣元件160是盤狀的，其直徑允許管子150的內(nèi)部通道152中的密封。結構部件180和透氣部件182的材料被選擇為耐蒸汽、熱水、氨氣和可能在發(fā)電廠或其他工業(yè)設備的蒸汽系統(tǒng)中出現(xiàn)的其他化學物質(zhì)。例如，結構部件180可以是Vycor玻璃、氧化硅、氧化鈹或燒結金屬。根據(jù)成本、對于測試氣體的多孔性和材料強度來選擇結構材料。當探針將被安裝在冷凝器中的真空管線的側向端口中時，結構部件可以是小直徑的， 例如6到12毫米，或者如果探針將被安裝在真空泵的出口中，則結構部件可以是大直徑的， 例如2到6英寸。直徑越大，所提供的用于透氣的表面積越大，信號越高。結構部件的厚度隨直徑和材料強度變化，因為其必須經(jīng)受一個大氣壓差(內(nèi)側真空和外側大氣壓)的力。透氣膜182可以例如是CVD (化學氣相沉積)沉積的氧化硅，或聚合物，諸如 FEP(氟化乙烯丙烯)、PFA(全氟烷氧)或PTFE(聚四氟乙烯)或乙酸酯，但是透氣膜的材料不限于這些材料。透氣膜應該顯著可透氦氣和氫氣，而對于水蒸汽、蒸汽和其他氣體很大程度上不可透。膜應該經(jīng)受住高達500° F的溫度，對于多種化學品和溶劑是惰性的，并且具有高的耐沖擊和撕扯性。如果使用聚合物，則透氣膜182可以是結合到結構部件180上或噴涂到結構部件180上的聚合物盤。結構部件180可以利用膠粘劑結合到管子150上，所述膠粘劑根據(jù)其對于結構部件和透氣部件的結合特性以及在嚴酷環(huán)境中的結實性來選擇。如圖5所示，管子150可以在其直徑內(nèi)側設置臺肩184，用于保持結構部件180。在一些實施方式中，不銹鋼網(wǎng)篩盤可以被結合到透氣部件182上，用于免受由于意外沖擊導致的損傷。在其他實施方式中，透氣元件200可以具有中空圓柱結構，如圖6和7所示。透氣元件200包括密封到管子150的端部的管狀結構元件202。測試氣體透氣膜204可以被附裝到結構元件202的外表面。在其他實施方式中，測試氣體透氣膜204可以被附裝到結構元件202的內(nèi)表面。圓柱形透氣元件202的端部可以用耐腐蝕蓋206或附加的透氣元件密封。圓柱形透氣元件200具有比圖5的實施方式更大的表面積，因此提供更高的靈敏度。透氣膜182位于管子110中的氣體流112和泄漏檢測器130之間。透氣膜182可以是在規(guī)定條件下可透過用于泄漏檢測的測試氣體的材料。測試氣體可以是輕的氣體，諸如氦氣、氫氣、氖氣及其同位素。透氣膜182基本通過或透過測試氣體，同時基本阻隔其他氣體、液體和顆粒。因此，就允許測試氣體通過而阻隔其他氣體、液體和顆粒而言，透氣膜 182起到了測試氣體窗的作用。結構元件180提供用于透氣膜182的機械支撐，可以是通過測試氣體的多孔材料。在2008年12月25日公布的美國專利公布No. 2008/0313881中描述了在一定溫度范圍內(nèi)對于測試氣體具有或多或少的一定透氣性的復合膜，該美國專利公布No. 2008/0313881通過引用被并入本文中。在使用時，泄漏檢測器探針102被布置在待測試的管子110中，使得探針尖端120 位于最大流量的區(qū)域處或附近。如上所討論的，最大流量的區(qū)域可能在管子或其他導管的中心軸線附近。探針100通過真空凸緣170被密封到管子110中，并且經(jīng)由軟管124與泄
8漏檢測器130連接。然后，技術人員在泄漏檢測器探針102的氣流上游向管子、管子裝配件或其他部件噴灑氦氣或其他氣體。氦氣通過泄漏處被吸入管子100中，與氣體流一起行進到泄漏檢測器探針102。氣體流中的氦氣通過透氣元件160，并且通過泄漏檢測器130的真空泵吸入到泄漏檢測器130中。泄漏檢測器130確定氣體流112中的氦氣的量，由此指示在將氦氣噴灑到管子或其他部件的位置處是否存在或不存在泄漏。
在描述了本發(fā)明的至少一個實施方式的幾個方面之后，將會理解，本領域技術人員將容易想到多種替換、修改和改進。這樣的替換、修改和改進被意指作為本公開的一部分，并且被意在落入本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)。因此，前述的描述和附圖僅僅作為示例。
權利要求
1.一種泄漏檢測器探針組件，包括泄漏檢測器探針，其包括管子和透氣元件，所述罐子具有被構造來將測試氣體運輸?shù)叫孤z測器的內(nèi)部通道，所述透氣元件是所述測試氣體可透過的，所述透氣元件附裝到所述管子并布置在所述探針的外部與所述管子的所述內(nèi)部通道之間；以及安裝機構，其被構造來將所述泄漏檢測器探針安裝到運輸待測試的氣體流的部件，使得所述透氣元件處于待測試的所述氣體流中期望的位置處。
2.如權利要求1所述的泄漏檢測器探針組件，其中，所述透氣元件位于所述泄漏檢測器探針的探針尖端。
3.如權利要求2所述的泄漏檢測器探針組件，其中，所述透氣元件包括多孔的結構元件和與所述結構元件串聯(lián)的測試氣體透氣膜。
4.如權利要求3所述的泄漏檢測器探針組件，還包括下述特征中的至少一項 所述透氣元件被密封到所述管子中的所述內(nèi)部通道；所述泄漏檢測器探針組件還包括布置在所述透氣元件上的保護元件；所述測試氣體透氣膜選自氧化硅、氟化乙烯丙烯、全氟烷氧、聚四氟乙烯和乙酸酯。
5.如權利要求1所述的泄漏檢測器探針組件，還包括下述特征中的至少一項所述安裝機構被配置來安裝所述泄漏檢測器探針，使得所述透氣元件位于運輸待測試的所述氣體流的管子的中心區(qū)域中；所述安裝機構被配置來以可調(diào)節(jié)方式定位所述泄漏檢測器探針； 所述安裝機構包括凸緣，所述凸緣用于密封到運輸待測試的所述氣體流的所述部件中的開口 ；所述透氣元件是盤狀的，并且被制成下述尺寸該尺寸適于密封所述管子中的所述內(nèi)部通道的內(nèi)徑；
6.如權利要求1所述的泄漏檢測器探針組件，其中，所述透氣元件包括密封到所述管子的圓柱形透氣元件。
7.如權利要求6所述的泄漏檢測器探針組件，其中，所述圓柱形透氣元件包括多孔的結構元件和與所述結構元件串聯(lián)的測試氣體透氣膜。
8.一種用于泄漏檢測的方法，包括將泄漏檢測器探針布置在待測試的氣體流中，所述泄漏檢測器探針包括具有內(nèi)部通道的管子和測試氣體可透過的透氣元件，所述透氣元件放置在所述氣體流中、所述探針的外部與所述管子的所述內(nèi)部通道之間；以及將通過所述透氣元件的測試氣體抽吸到泄漏檢測器中以進行檢測。
9.如權利要求8所述的方法，其中，布置泄漏檢測器探針的步驟包括下述特征中的至少一項將所述泄漏檢測器探針的所述透氣元件布置在管子的中心區(qū)域； 調(diào)節(jié)泄漏檢測器探針在所述待測試的氣體流中的位置； 將所述泄漏檢測器探針的所述透氣元件布置在最大氣體流量的區(qū)域中； 用可調(diào)節(jié)安裝機構布置所述泄漏檢測器探針； 在待測試的所述氣體流中布置盤狀的透氣元件； 在所述待測試的氣體流中布置圓柱形的透氣元件；
10.如權利要求8所述的方法，其中，所述可透氣元件包括多孔的結構元件和附裝到所述結構元件的測試氣體透氣膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于工業(yè)設備的泄漏測試探針，提供了用于在濕、多塵和/或充滿流體的系統(tǒng)諸如發(fā)電廠中執(zhí)行精確的、可重復的泄漏測試測量而不需要特殊的取樣泵、載氣或分離器的方法和裝置。泄漏檢測器探針被直接安裝在管子或其他運輸待測試的氣流的部件中，并耦合到泄漏檢測器的出口。泄漏檢測器探針包括布置在待測試的氣流中的測試氣體透氣膜。測試氣體透氣膜可以例如布置在管子的朝向抽空泵的氣體流中的中心區(qū)域中。在一些實施方式中，管子或其他部件中泄漏檢測器探針的位置是可調(diào)節(jié)的。
文檔編號G01M3/02GK102269639SQ201110110539
公開日2011年12月7日 申請日期2011年4月27日 優(yōu)先權日2010年5月28日
發(fā)明者彼得·帕勒斯特恩, 查爾斯·伯金斯 申請人:安捷倫科技有限公司