專利名稱:檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及用于檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì),尤其是檢測(cè)氣體樣品或大氣中的分子物質(zhì)的方法和設(shè)備。
背景技術(shù):
吸收光譜法和熒光光譜法通常用于檢測(cè)在一定范圍的樣品,尤其是諸如氣體的稀介質(zhì)中,特定化學(xué)物質(zhì)的存在。可以通過檢測(cè)到的尤其是紫外或可見光譜中強(qiáng)度或振幅的減小來檢測(cè)特定分子躍遷對(duì)窄帶激光的吸收。寬帶光的吸收可能是由于一種或多種分子躍遷,并且也可通過光的光譜分析來檢測(cè)。類似地,也可檢測(cè)源于激發(fā)分子態(tài)的熒光。然而,此類技術(shù)通常依賴于振幅檢測(cè),因此易受閃爍和激光噪聲的影響。^ Re sonant, hetero dyne-1 aser-interferometer for state densitymeasurements in atoms and ions” (Review of Scientific instruments 77,093108(2006),J. J. Moschella等人)描述了一種用于測(cè)量等離子體的粒子數(shù)密度的諧振雙波長外差干涉儀。使用兩個(gè)單獨(dú)的激光器,聲光調(diào)制器對(duì)光束進(jìn)行分束。然而,該系統(tǒng)并不特別適合于稀物質(zhì),因?yàn)樾盘?hào)會(huì)被噪聲和其它因素掩蓋。因此,需要能夠克服這些問題的檢測(cè)稀物質(zhì)的方法和設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容
介質(zhì)的折射率隨波長而改變。然而,當(dāng)照射波長接近并穿過介質(zhì)的吸收性的、電子的、振動(dòng)的或其它光譜特征時(shí),這種折射率的改變會(huì)特別急劇或顯著,而隨著照射波長離開所述光譜特征,其通常返回到基線或較緩慢地改變折射率。因此,可通過對(duì)折射率改變的測(cè)量值來推斷稀介質(zhì)中物質(zhì)的測(cè)量值。例如,可由折射率改變測(cè)量值來計(jì)算稀介質(zhì)中物質(zhì)的濃度,尤其是在物質(zhì)的光譜特征與稀介質(zhì)的光譜特征不重合的情況下。根據(jù)本發(fā)明的第一方面,提供一種檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì)的方法,所述方法包括提供彼此相干并具有匹配的啁啾模式的第一激光束和第二激光束;使至少所述第一激光束穿過所述稀介質(zhì),同時(shí)所述第一激光束的所述啁啾模式與所述物質(zhì)的光譜特征的至少一部分交叉;將所述第一激光束和所述第二激光束混合以形成混合光束;在所述啁啾模式期間檢測(cè)所述混合光束以形成輸出信號(hào);處理所述輸出信號(hào),以測(cè)量由整個(gè)所述光譜特征上所述稀介質(zhì)的折射率變化引起的所述混合光束的改變;以及從測(cè)量到的屬性的改變確定測(cè)量到所述物質(zhì)。使激光啁啾提高檢測(cè)能力。因此,兩個(gè)光束均可相干。隨著激光的頻率改變速率增大,信噪比也增大。例如,光譜特征可為光譜吸收特征??蛇x地,所述第一激光束和所述第二激光束均可穿過所述稀介質(zhì),并且在將所述第一激光束和所述第二激光束混合之前可對(duì)所述第二激光束施加光學(xué)頻移。因此,由于一個(gè)光束遇到光譜特征,所以兩個(gè)光束可經(jīng)歷不同的有效光程??稍趯蝹€(gè)光束分光束以形成第一激光束和第二激光束的同時(shí)對(duì)第二激光束施加光學(xué)頻移,或者可作為單獨(dú)的過程。 可選地,所述第二激光束的啁啾模式可不與所述物質(zhì)的光譜特征交叉。
可選地,測(cè)量到的所述混合光束的改變包括所述第一激光束和所述第二激光束之間的光學(xué)頻率差的改變。也可測(cè)量波長和/或相位的改變。優(yōu)選地,所述光學(xué)頻率差可介于IMHz和IGHz之間。這可依賴光譜特征的線寬??蛇x地,所述檢測(cè)步驟還可包括檢測(cè)由所述光學(xué)頻率差引起的所述混合光束中的拍頻信號(hào)。有利地,由折射率變化引起的所述混合光束的改變可包括相位的改變,所述處理步驟還可包括測(cè)量所述混合光束的相位的改變。優(yōu)選地,所述檢測(cè)步驟還可包括檢測(cè)所述拍頻信號(hào)的頻率改變。這提供可隨折射率改變的方便測(cè)量。可選地,處理所述輸出信號(hào)還可包括測(cè)量由整個(gè)所述光譜特征上所述稀介質(zhì)中的 折射率變化引起的所述第一激光束和所述第二激光束之間的光程差的改變。優(yōu)選地,可通過比較所述混合光束的相位性質(zhì)來測(cè)量所述光程差的改變??蛇x地,利用量子級(jí)聯(lián)激光器產(chǎn)生所述第一激光束和所述第二激光束。可使用可相干啁啾的其它光束源或激光器。優(yōu)選地,在所述啁啾模式期間,所述第一激光束和所述第二激光束以至少IOOHz/ns的速率改變頻率,更優(yōu)選地以至少lOOKHz/ns的速率改變頻率。優(yōu)選地,每一啁啾模式可在少于10毫秒內(nèi)與所述光譜特征的至少一部分交叉,更優(yōu)選地在少于10μ s內(nèi)與所述光譜特征的至少一部分交叉。這發(fā)生的越快,信噪比越高??蛇x地,所述光譜特征選自包括以下項(xiàng)的組電子吸收、分子躍遷、旋轉(zhuǎn)躍遷、振轉(zhuǎn)躍遷、能帶隙和振動(dòng)帶。可使用其它光譜特征。根據(jù)本發(fā)明的第二方面,提供利用在氣體樣品中的物質(zhì)的光譜特征的至少一部分上所述氣體樣品的折射率改變來檢測(cè)所述物質(zhì)的用途。可通過使光束穿過氣體樣品來測(cè)量折射率。所述光束可為激光,并可被啁啾。根據(jù)本發(fā)明的第三方面,提供一種用于檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì)的設(shè)備,所述物質(zhì)具有光譜特征,所述設(shè)備包括光束源,所述光束源被布置用于產(chǎn)生彼此相干并具有匹配的啁啾模式的第一激光束和第二激光束;光束引導(dǎo)器,所述光束引導(dǎo)器被布置用于使至少所述第一激光束穿過所述稀介質(zhì);光束混合器,所述光束混合器被布置用于將所述第一激光束和所述第二激光束混合以形成混合光束;檢測(cè)器,所述檢測(cè)器被布置用于在所述啁啾模式期間檢測(cè)所述混合光束,并測(cè)量由光譜特征上所述稀介質(zhì)的折射率變化引起的所述混合光束的改變;輸出器,所述輸出器提供響應(yīng)于測(cè)量到的改變而改變的信號(hào)??蛇x地,所述光束引導(dǎo)器還可被布置用于引導(dǎo)所述第一激光束和所述第二激光束穿過所述稀介質(zhì),所述設(shè)備還包括位于所述光束混合器之前的光學(xué)頻移器,所述光學(xué)頻移器被布置用于對(duì)所述第二激光束施加光學(xué)頻移??蛇x地,所述光束引導(dǎo)器還可被布置用于引導(dǎo)所述第一激光束和所述第二激光束穿過開放大氣。這個(gè)開放路徑結(jié)構(gòu)允許諸如污染物和痕量化學(xué)監(jiān)測(cè)的大氣感測(cè)。例如,可使用后向反射器和/或來自大氣中粒子的向后散射和望遠(yuǎn)鏡結(jié)構(gòu)來增加光束長度。優(yōu)選地,所述光學(xué)頻移器可為聲光調(diào)制器Α0Μ。AOM可將單個(gè)光束分束成多個(gè)單獨(dú)的光束,并使一個(gè)光束的波長相對(duì)于另一光束偏移。AOM可形成O階和I階光束,使得O階光束不經(jīng)歷任何頻率或波長偏移。這些光束的任一者可為所述第一激光束或所述第二激光束??蛇x地,所述光束源為量子級(jí)聯(lián)激光器QCL??墒褂闷渌馐矗ɡ缰屑t外光學(xué)參量振蕩器(0P0),其可使用隔開幾百M(fèi)Hz的兩個(gè)激光分量。優(yōu)選地,光束源還可包括激光驅(qū)動(dòng)器,所述激光器驅(qū)動(dòng)器被布置用于提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)以生成所述啁啾模式。啁啾機(jī)制或裝置可并入光束源或激光器中,或者為外部組件??蛇x地,所述設(shè)備還可包括可調(diào)節(jié)的延遲線,所述可調(diào)節(jié)的延遲線用于改變所述第一激光束和所述第二激光束的相對(duì)光程。這可用于調(diào)諧設(shè)備或消除不需要的光學(xué)效應(yīng)。
可選地,所述檢測(cè)器可為光學(xué)外差檢測(cè)器。這尤其可與向光束引入和頻率與差頻率的AOM—起使用。優(yōu)選地,所述檢測(cè)器還可包括振幅解調(diào)器和/或頻率解調(diào)器。它可為光譜分析儀或類似裝置的形式。 優(yōu)選地,所述設(shè)備還可包括用于容納所述稀介質(zhì)的池(cell)??蛇x地,所述設(shè)備還可包括用于容納基準(zhǔn)樣品的第二池,其中所述光束引導(dǎo)器還被布置用于引導(dǎo)所述第二激光束穿過所述第二池。因此,可進(jìn)行比較測(cè)量。應(yīng)該指出的是,上述任何特征可用于本發(fā)明的任何特定方面或?qū)嵤┓绞健?br>
本發(fā)明可以多種方式來實(shí)施,現(xiàn)在將僅以舉例的方式參照附圖描述實(shí)施方式,其中圖I示出用于檢測(cè)被保持在樣品池中的稀介質(zhì)中的物質(zhì)的示例系統(tǒng)的示意圖;圖2示出用于檢測(cè)大氣中的物質(zhì)的替代系統(tǒng)的示意圖;圖3示出用于檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì)的另一替代系統(tǒng)的示意圖,該替代系統(tǒng)包括基準(zhǔn)池和樣品池;圖4示出從圖I的系統(tǒng)獲得的圖形結(jié)果;圖5示出從圖I的系統(tǒng)獲得的另一圖形結(jié)果;圖6示出從圖I的系統(tǒng)獲得的另一圖形結(jié)果;圖7示出從圖I的系統(tǒng)獲得的另一圖形結(jié)果;圖8示出從圖I的系統(tǒng)獲得的另一圖形結(jié)果;圖9示出從圖I的系統(tǒng)獲得的另一圖形結(jié)果;圖10示出用于檢測(cè)保持在第一位置的樣品池中的稀介質(zhì)中的物質(zhì)的示例系統(tǒng)的示意圖;以及圖11示出用于檢測(cè)保持在第二位置的樣品池中的稀介質(zhì)中的物質(zhì)的示例系統(tǒng)的示意圖。應(yīng)當(dāng)指出的是,為了簡(jiǎn)明起見而示出附圖,未必按比例繪制。
具體實(shí)施例方式量子級(jí)聯(lián)激光器(QCL)已用于測(cè)量特定指紋區(qū)中分子氣體的吸收信號(hào)。這些基于QCL的可調(diào)諧激光吸收光譜法的實(shí)施主要是基于經(jīng)過激光強(qiáng)度改變的痕量氣體檢測(cè)和/或?qū)崟r(shí)氣體監(jiān)測(cè)。本發(fā)明替代地使用折射率改變來測(cè)量稀介質(zhì),尤其是氣體或空氣中的物質(zhì)。
特別是對(duì)于稀混合物,這種折射率的改變會(huì)非常小,易受較高電平噪聲的影響。圖I示出用于檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì)的系統(tǒng)10的示意圖,其利用了如上所述的折射率改變現(xiàn)象。QCL 20為可調(diào)諧的,并且可通過控制器25啁啾(即,周期內(nèi)波長變化)。利用由射頻(RF)源40驅(qū)動(dòng)的聲光調(diào)制器(AOM) 30將來自QCL的激光束分成兩個(gè)激光束。第一光束與來自AOM 30的0階光束對(duì)應(yīng),第二光束與來AOM 30的I階光束對(duì)應(yīng)。因此,第一和第二光束將按照RF源40的頻率頻移。QCL 20的啁啾中的頻移跨度與射頻(RF)源40的頻率一起被選擇為使光束之一將改變波長以在其啁啾模式期間的某一點(diǎn)重合,以與待測(cè)量物質(zhì)的光譜特征重合。在圖I所示的示例中,0階光束60將改變波長以與這樣的特征對(duì)應(yīng),而I階光束65將不會(huì)改變波長?;蛘撸O(shè)備可操作使在其啁啾模式期間I階光束65 (而非0階)與光譜特征對(duì)應(yīng)。反射鏡M和分束器BS結(jié)構(gòu)將0階光束和I階光束重新組合,以提供光電檢測(cè)器80能夠檢測(cè)的混合光束。圖I中示出樣品池70具有兩個(gè)可供選擇的位置。對(duì)于處于位置I的樣品池70,僅0階光束60穿過容納有物質(zhì)和稀介質(zhì)的樣品池70。對(duì)于處于位置2的樣品池70’,兩個(gè)光束在被反射鏡M和分束器BS結(jié)構(gòu)重新組合之后均穿過樣品池70’。
0階光束60和I階光束65具有比RF源40的頻率確定的波長差,如上所述。因此,重新組合或混合的光束將干涉,以提供光電檢測(cè)器80能夠檢測(cè)的拍頻圖。該拍頻圖也將具有RF源40的頻率。然而,由于QCL20啁啾并且光束之一穿過與物質(zhì)的光譜特征對(duì)應(yīng)的頻率,所以該光束的視在路徑長度(apparent path length)將改變。換言之,該光束在穿過樣品池70或70’時(shí)將經(jīng)受延遲,僅使該光束延后或超前,而不穿過該光譜特征的另一光束在頻率或波長方面受該光譜特征的影響將較小或不受影響。這一效應(yīng)將改變光電檢測(cè)器80所檢測(cè)的拍頻圖,光電檢測(cè)器80提供可被頻率解調(diào)器91和振幅解調(diào)器92中的任意一個(gè)或兩者解調(diào)的輸出信號(hào)。在一個(gè)示例中,在對(duì)跨越物質(zhì)的兩個(gè)基本躍遷的5. 2 Pm量子級(jí)聯(lián)激光器的頻率啁啾時(shí),可提取分子氣體介質(zhì)或其它物質(zhì)(例如,稀釋于N2中的NO)的折射率改變的測(cè)量值??赏ㄟ^由AOM 30產(chǎn)生的0階和I階激光束之間的拍頻信號(hào)的頻率解調(diào)來測(cè)量電磁場(chǎng)的相位信息。在此示例中,折射率改變信號(hào)與啁啾率相適應(yīng)。QCL可表現(xiàn)出非常高的頻率啁啾率(最高達(dá)約300MHz/ns),使這些激光器對(duì)于該方法而言特別具有吸引力。如圖I所示,單模QCL 20照射透過AOM 30。經(jīng)AOM 30衍射的0階和I階傳播行進(jìn)通過設(shè)備的干涉儀的兩個(gè)分立的光學(xué)支路,并在光電檢測(cè)器或光電二極管80上重新組合,其光電流被頻率解調(diào)。如圖I所指示的,容納待分析樣品的樣品池可被置于所謂的位置I或位置2,在位置1,僅I階衍射光束穿過樣品,在位置2,0階和I階衍射光束均穿過樣品。對(duì)于0階和I階光束,到達(dá)光電二極管表面上的兩個(gè)復(fù)電場(chǎng)可分別寫成= A, exp[/( ,/和(等式 1〉E1 = A2 exp[/( w,/ - (p2)],(等式 2 )其中A、Co和9分別為場(chǎng)的振幅、脈動(dòng)和相位。另外,由于AOM 30對(duì)I階光束60上提供頻移,所以《2= W1+Q,其中Q為AOM 30激發(fā)頻率。在檢測(cè)器表面,E1和E2—起拍動(dòng),并且假設(shè)拍頻落于光電檢測(cè)器80的電帶寬內(nèi),所得光電流可與下式成正比
權(quán)利要求
1.一種檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì)的方法,所述方法包括 提供彼此相干并具有匹配的啁啾模式的第一激光束和第二激光束; 使至少所述第一激光束穿過所述稀介質(zhì),同時(shí)所述第一激光束的所述啁啾模式與所述物質(zhì)的光譜特征的至少一部分交叉; 將所述第一激光束和所述第二激光束混合以形成混合光束; 在所述啁啾模式期間檢測(cè)所述混合光束以形成輸出信號(hào); 處理所述輸出信號(hào),以測(cè)量由在整個(gè)所述光譜特征上所述稀介質(zhì)的折射率變化引起的所述混合光束的改變;以及 根據(jù)測(cè)量到的屬性的改變確定測(cè)量到所述物質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其中,所述第一激光束和所述第二激光束均穿過所述稀介質(zhì),所述方法還包括在將所述第一激光束和所述第二激光束混合之前,對(duì)所述第二激光束施加光學(xué)頻移。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中,所述第二激光束的所述啁啾模式不與所述物質(zhì)的所述光譜特征交叉。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或權(quán)利要求3所述的方法,其中,測(cè)量到的所述混合光束的改變包括所述第一激光束和所述第二激光束之間的光學(xué)頻率差的改變。
5.根據(jù)權(quán)利要求2-4中任一項(xiàng)所述的方法,其中,所述光學(xué)頻率差介于IMHz和IGHz之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求2-5中任一項(xiàng)所述的方法,其中,所述檢測(cè)步驟還包括檢測(cè)由所述光學(xué)頻率差引起的所述混合光束中的拍頻信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其中,由折射率變化引起的所述混合光束的改變包括相位的改變,所述處理步驟還包括測(cè)量所述混合光束的相位改變。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其中,所述檢測(cè)步驟還包括檢測(cè)所述拍頻信號(hào)的頻率改變。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法,其中,處理所述輸出信號(hào)還包括測(cè)量由在整個(gè)所述光譜特征上所述稀介質(zhì)中的折射率變化引起的所述第一激光束和所述第二激光束之間的光程差的改變。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法,其中,通過比較所述混合光束的相位屬性來測(cè)量所述光程差的改變。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其中,利用量子級(jí)聯(lián)激光器產(chǎn)生所述第一激光束和所述第二激光束。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其中,在所述啁啾模式期間,所述第一激光束和所述第二激光束以至少lOOHz/ns的速率改變頻率,更優(yōu)選地以至少lOOKHz/ns的速率改變頻率。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其中,每一啁啾模式在少于10毫秒內(nèi)與 所述光譜特征的至少一部分交叉,更優(yōu)選地在少于10 μ s內(nèi)與所述光譜特征的至少一部分交叉。
14.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其中,所述光譜特征選自包括以下項(xiàng)的組電子吸收、分子躍遷、旋轉(zhuǎn)躍遷、振轉(zhuǎn)躍遷、能帶隙和振動(dòng)帶。
15.利用在氣體樣品中的物質(zhì)的光譜特征的至少一部分上所述氣體樣品的折射率的改變來檢測(cè)所述物質(zhì)的用途。
16.一種用于檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì)的設(shè)備,所述物質(zhì)具有光譜特征,所述設(shè)備包括 光束源,所述光束源被布置用于產(chǎn)生彼此相干并具有匹配的啁啾模式的第一激光束和第二激光束; 光束引導(dǎo)器,所述光束引導(dǎo)器被布置用于使至少所述第一激光束穿過所述稀介質(zhì);光束混合器,所述光束混合器被布置用于將所述第一激光束和所述第二激光束混合以形成混合光束; 檢測(cè)器,所述檢測(cè)器被布置用于在所述啁啾模式期間檢測(cè)所述混合光束,并測(cè)量由光譜特征上所述稀介質(zhì)的折射率變化引起的所述混合光束的改變;以及輸出器,所述輸出器提供響應(yīng)于測(cè)量到的改變而改變的信號(hào)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的設(shè)備,其中,所述光束引導(dǎo)器還被布置用于引導(dǎo)所述第一激光束和所述第二激光束穿過所述稀介質(zhì),所述設(shè)備還包括位于所述光束混合器之前的光學(xué)頻移器,所述光學(xué)頻移器被布置用于對(duì)所述第二激光束施加光學(xué)頻移。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的設(shè)備,其中,所述光束引導(dǎo)器還被布置用于引導(dǎo)所述第一激光束和所述第二激光束穿過開放大氣。
19.根據(jù)權(quán)利要求17或權(quán)利要求18所述的設(shè)備,其中,所述光學(xué)頻移器為聲光調(diào)制器AOM。
20.根據(jù)權(quán)利要求16-19中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,所述光束源為量子級(jí)聯(lián)激光器QCL。
21.根據(jù)權(quán)利要求16-20中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,所述光束源還包括激光器驅(qū)動(dòng)器,所述激光器驅(qū)動(dòng)器被布置用于提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)以生成所述啁啾模式。
22.根據(jù)權(quán)利要求16-21中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,所述設(shè)備還包括可調(diào)節(jié)的延遲線,所述可調(diào)節(jié)的延遲線用于改變所述第一激光束和所述第二激光束的相對(duì)光程。
23.根據(jù)權(quán)利要求16-22中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,所述檢測(cè)器為光學(xué)外差檢測(cè)器。
24.根據(jù)權(quán)利要求16-23中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,所述檢測(cè)器還包括振幅解調(diào)器和/或頻率解調(diào)器。
25.根據(jù)權(quán)利要求16-23中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,所述設(shè)備還包括用于容納所述稀介質(zhì)的池。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的設(shè)備,所述設(shè)備還包括用于容納基準(zhǔn)樣品的第二池,其中所述光束引導(dǎo)器還被布置用于引導(dǎo)所述第二激光束穿過所述第二池。
全文摘要
本發(fā)明公開了用于檢測(cè)稀介質(zhì)中的物質(zhì)的方法和設(shè)備(10),所述物質(zhì)具有光譜特征,所述設(shè)備包括光束源(20),其布置用于產(chǎn)生彼此相干并具有匹配的啁啾模式的第一激光束和第二激光束;光束引導(dǎo)器,其布置用于使至少所述第一激光束穿過所述稀介質(zhì);光束混合器,其布置用于將所述第一激光束和所述第二激光束混合以形成混合光束;檢測(cè)器(80),其布置用于在所述啁啾模式期間檢測(cè)所述混合光束,并測(cè)量由光譜特征上所述稀介質(zhì)的折射率變化引起的所述混合光束的改變;輸出器,其提供響應(yīng)于測(cè)量到的改變而改變的信號(hào)。
文檔編號(hào)G01N21/45GK102667445SQ201080050338
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2010年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月12日
發(fā)明者G·威索基, 達(dá)米安·魏德曼 申請(qǐng)人:普林斯頓大學(xué)保管委員會(huì), 科學(xué)技術(shù)設(shè)備委員會(huì)