專利名稱：間距測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造工藝，特別是間距測量裝置。
背景技術(shù)：
在高溫氧化反應(yīng)中，所生成的氧化膜的厚度對(duì)于器件而言非常關(guān)鍵。在實(shí)際生產(chǎn) 過程中，所生成的氧化膜的厚度受到高溫氧化爐外管、內(nèi)管、晶舟和基座的影響，尤其是內(nèi) 管的尺寸和安裝位置。此外，晶舟和內(nèi)管的相對(duì)位置發(fā)生改變，會(huì)對(duì)爐口壓力產(chǎn)生影響，使 后者也隨之產(chǎn)生變化，從而容易對(duì)生產(chǎn)過程形成隱患。因此，高溫氧化生產(chǎn)過程中，能否對(duì) 晶舟和內(nèi)管位置進(jìn)行準(zhǔn)確的調(diào)整和及時(shí)的校正，影響到產(chǎn)品合格率，甚至影響到生產(chǎn)安全。現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用人工手動(dòng)調(diào)整晶舟相對(duì)于內(nèi)管的位置。由于晶舟與內(nèi)管不 在同一個(gè)平面上，一般來說，在傳統(tǒng)方法中，通過直尺沿晶舟一圖測量晶舟與內(nèi)管之間的距 離，因此常采用一些近似的測量方法對(duì)晶舟與內(nèi)管之間的間距進(jìn)行測量。例如，參考圖1，采 用傳統(tǒng)測量工具，在若干測量點(diǎn)，對(duì)晶舟基座上所放置的隔熱片與晶舟立柱之間的間距進(jìn) 行測量。然而，由于間距的數(shù)量級(jí)較小，例如一般在毫米級(jí)，并且數(shù)目不大，采用傳統(tǒng)測量 工具進(jìn)行的測量和估計(jì)的方式過程，通常既費(fèi)時(shí)又不方便，也達(dá)不到較高的精確度，嚴(yán)重影 響了生產(chǎn)效率，進(jìn)而有可能會(huì)影響到產(chǎn)品質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種間距測量裝置，以便更加便利、準(zhǔn)確地測量晶舟 和內(nèi)管之間的距離，節(jié)約測試時(shí)間。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種間距測量裝置，至少包括位于一端的測 量部和另一端的把持部，其中，所述測量部包含多個(gè)測量端子，每個(gè)測量端子分別對(duì)應(yīng)于一 種寬度值；所述多個(gè)測量端子沿自所述測量部向所述把持部的方向依次呈階梯狀分布。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型間距測量裝置各實(shí)施方式結(jié)構(gòu)簡單，應(yīng)用方便，能夠 有效地提高生產(chǎn)效率，并且通過調(diào)整各測量端子之間寬度間隔，能夠改善測量的精準(zhǔn)度，提 高產(chǎn)品成品率。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)對(duì)晶舟和內(nèi)管之間間隔進(jìn)行測量的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型間距測量裝置一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型間距測量裝置一種具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為應(yīng)用圖3所示本實(shí)用新型間距測量裝置一種具體實(shí)施例進(jìn)行測量的結(jié)構(gòu)示 意圖。
具體實(shí)施方式
在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新 型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新 型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施的限制。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為便于 說明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是實(shí)例，其在 此不應(yīng)限制本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空 間尺寸。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施方式做進(jìn)一步詳細(xì)說明。參考圖2，本實(shí)用新型提供了一種間距測量裝置100，至少包括位于一端的測量部 110和另一端的把持部120，其中，測量部110包含多個(gè)測量端子101，每個(gè)測量端子101分 別對(duì)應(yīng)于一種寬度值，多個(gè)測量端子101沿自測量部110向把持部120的方向依次呈階梯 狀分布。在具體實(shí)施方式
中，所述測量端子的截面形狀可配合晶舟與內(nèi)管之間的間隔而設(shè) 計(jì)。所述測量端子的界面形狀包括但不限制為矩形、圓形、橢圓形；其也可為不規(guī)則形例 如，矩形與圓形的組合，即，平行于寬度方向上的一組對(duì)邊為部分圓形且垂直于寬度方向上 的一組對(duì)邊為矩形直邊。在實(shí)際應(yīng)用過程中，依次嘗試將對(duì)應(yīng)于不同寬度的測量端子分別插入至晶舟與內(nèi) 管之間，觀察所述測量端子的寬度和晶舟與內(nèi)管的間距之間的差距，通過設(shè)置各測量端子 寬度之間的間隔，能夠快速地確定晶舟與內(nèi)管之間的間距范圍。當(dāng)將各測量端子寬度之間 的間隔設(shè)置為晶舟與內(nèi)管之間間距的精度要求時(shí)，使用所述間距測量裝置，通過當(dāng)前所適 用的測量端子對(duì)應(yīng)的寬度，能夠得到晶舟與內(nèi)管之間的間距的值。具體來說，當(dāng)當(dāng)前測量端子能夠插入晶舟與內(nèi)管之間時(shí)，即當(dāng)前測量端子的寬度 小于晶舟與內(nèi)管的間距，此時(shí)，觀察后一個(gè)相鄰的測量端子是否仍舊能夠插入其中，即后一 個(gè)相鄰的測量端子的寬度是否仍舊小于晶舟與內(nèi)管之間的間距。當(dāng)當(dāng)前測量端子能夠插入 晶舟與內(nèi)管之間，且后一個(gè)相鄰的測量端子的寬度大于晶舟與內(nèi)管之間的間距時(shí)，當(dāng)前測 量端子即為當(dāng)前適用的測量端子，其所對(duì)應(yīng)的寬度與后一個(gè)相鄰測量端子所對(duì)應(yīng)的寬度即 為所述晶舟與內(nèi)管之間的間距的范圍。其中，將所述測量端子插入至晶舟與內(nèi)管之間是指，所述測量端子一側(cè)表面貼合 或外切于所述晶舟的貼近內(nèi)管的外側(cè)表面。在具體實(shí)施方式
中，多個(gè)所述測量端子可具有一側(cè)共同的表面，即基準(zhǔn)面，便于在 應(yīng)用過程中，僅需對(duì)基準(zhǔn)面進(jìn)行一次校準(zhǔn)，即可方便地對(duì)對(duì)應(yīng)于不同寬度的測量端子進(jìn)行 多次移動(dòng)，而無須每次移動(dòng)之前重新進(jìn)行校準(zhǔn)。此時(shí)，所述測量端子分別具有不同的寬度值 即表現(xiàn)為其另一側(cè)的表面與所述基準(zhǔn)面之間的不同間距。多個(gè)所述測量端子具體對(duì)應(yīng)的寬度值以及每個(gè)測量端子寬度之間的差值可由生 產(chǎn)工程師根據(jù)實(shí)際需求確定，例如，可根據(jù)晶舟和內(nèi)管之間間隔的上、下限值分別確定測量 端子的最小、最大寬度值，可根據(jù)晶舟和內(nèi)管之間間隔的允許誤差確定測量端子寬度之間 的差值。參考圖3，在應(yīng)用本實(shí)用新型間距測量裝置200的一種具體實(shí)施例的過程中，間距測量裝置200包括測量部210和把持部220，其中，測量部210包括5級(jí)測量端子，自測量部 210向把持部220的方向，分別為測量端子201-205。各測量端子的寬度值之間以1毫米遞 增，測量端子201-205依次對(duì)應(yīng)于寬度值5毫米、6毫米、7毫米、8毫米和9毫米。參考圖4，應(yīng)用間距測量裝置200對(duì)晶舟300和內(nèi)管400的間距進(jìn)行測量，其中，內(nèi) 管400的直徑為315毫米。由于測量端子201-205具有共同的基準(zhǔn)面，基于所述基準(zhǔn)面進(jìn) 行校準(zhǔn)之后，當(dāng)沿所述基準(zhǔn)面平行移動(dòng)間距測量裝置200，分別對(duì)測試端子201-205進(jìn)行嘗 試的過程中，無須重復(fù)進(jìn)行校準(zhǔn)，節(jié)省了測試時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。首先，將所述基準(zhǔn)面貼合于晶舟300靠近內(nèi)管400的外側(cè)表面，以進(jìn)行校準(zhǔn)。接著， 觀察測量端子201-205的寬度與晶舟300和內(nèi)管400的間距之間的差距。具體地，可依次 對(duì)各測量端子進(jìn)行嘗試；例如，將測量端子201插入至晶舟300和內(nèi)管400之間；當(dāng)測量端 子201能夠插入至晶舟300和內(nèi)管200之間時(shí)，嘗試將測量端子202插入；依次分別嘗試將 測量端子202-205進(jìn)行插入。當(dāng)測量端子203能夠插入至晶舟300和內(nèi)管400之間，而測 量端子204不能插入時(shí)，則晶舟300和內(nèi)管400之間的間隔范圍在7毫米至8毫米。此外， 根據(jù)晶舟300和內(nèi)管400之間的間隔，更接近于測量端子203的寬度還是更接近于測量端 子204的寬度，可獲得對(duì)于晶舟300和內(nèi)管400之間的間隔較為準(zhǔn)確的近似值。在具體實(shí)施方式
中，把持部220可采用多種形狀，如柱形或方形；或在把持部220 配備阻尼裝置以增大摩擦力，利于對(duì)其進(jìn)行把持。把持部220的具體配備不對(duì)本實(shí)用新型 發(fā)明思路造成影響。相較于現(xiàn)有技術(shù)的間距測量裝置，本實(shí)用新型間距測量裝置各實(shí)施方式結(jié)構(gòu)簡 單，應(yīng)用方便，能夠有效地提高生產(chǎn)效率，并且通過調(diào)整各測量端子之間寬度間隔，能夠改 善測量的精準(zhǔn)度，提高產(chǎn)品成品率。雖然本實(shí)用新型已通過較佳實(shí)施例說明如上，但這些較佳實(shí)施例并非用以限定本 實(shí)用新型。本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，應(yīng)有能力對(duì)該較佳實(shí) 施例做出各種改正和補(bǔ)充，因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種間距測量裝置，至少包括位于一端的測量部和另一端的把持部，其特征在于， 所述測量部包含多個(gè)測量端子，每個(gè)測量端子分別對(duì)應(yīng)于一種寬度值；所述多個(gè)測量端子沿自所述測量部向所述把持部的方向依次呈階梯狀分布。
2.如權(quán)利要求1所述的間距測量裝置，其特征在于，多個(gè)所述測量端子具有一側(cè)共同 的基準(zhǔn)面。
3.如權(quán)利要求1所述的間距測量裝置，其特征在于，根據(jù)晶舟和內(nèi)管之間間隔的上、下 限值分別確定所述測量端子的最小、最大寬度值，以及根據(jù)晶舟和內(nèi)管之間間隔的允許誤 差確定所述測量端子寬度之間的差值。
4.如權(quán)利要求3所述的間距測量裝置，其特征在于，每個(gè)所述測量端子的寬度之間相差1毫米。
專利摘要一種間距測量裝置，至少包括位于一端的測量部和另一端的把持部，其中，所述測量部包含多個(gè)測量端子，每個(gè)測量端子分別對(duì)應(yīng)于一種寬度值；所述多個(gè)測量端子沿自所述測量部向所述把持部的方向依次呈階梯狀分布。本實(shí)用新型間距測量裝置各實(shí)施方式結(jié)構(gòu)簡單，應(yīng)用方便，能夠有效地提高生產(chǎn)效率，并且通過調(diào)整各測量端子之間寬度間隔，能夠改善測量的精準(zhǔn)度，提高產(chǎn)品成品率。
文檔編號(hào)G01B5/14GK201844805SQ20102050523
公開日2011年5月25日 申請(qǐng)日期2010年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月26日
發(fā)明者周成志, 李光旺, 李向輝, 王楊, 秦國強(qiáng) 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司