專利名稱：表面粒子計(jì)數(shù)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及應(yīng)用在凈室中的一種粒子計(jì)數(shù)器，具體涉及一種改進(jìn)的表面粒子 計(jì)數(shù)器。
背景技術(shù)：
表面粒子計(jì)數(shù)器是一種用于檢測(cè)物體表面上的塵埃顆粒的儀器。當(dāng)前所使用的表 面粒子計(jì)數(shù)器主要由采樣模塊、檢測(cè)模塊和信號(hào)處理與顯示模塊組成，所述采樣模塊用于 采集物體表面上的塵埃顆粒，通過(guò)泵體、吸氣管路和吹氣管路等組成，所述檢測(cè)模塊主要包 括粒子檢測(cè)器，用于檢測(cè)采樣氣體的塵埃顆粒，并最終通過(guò)信號(hào)處理與顯示模塊向工作人 員顯示檢測(cè)結(jié)果。然而，當(dāng)前所使用的表面粒子計(jì)數(shù)器往往存在采樣模塊中吹入氣體的流量過(guò)大過(guò) 快，使空氣粒子產(chǎn)生靜電，從而導(dǎo)致影響檢測(cè)結(jié)果的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容為解決上述技術(shù)問(wèn)題，我們提出了一種表面粒子計(jì)數(shù)器，可防止采樣模塊中所吹 入的氣體產(chǎn)生靜電，使表面粒子計(jì)數(shù)器能夠?qū)崿F(xiàn)高速吹和快速吸的特點(diǎn)，從而可提高其檢 測(cè)效率和準(zhǔn)確度。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種表面粒子計(jì)數(shù)器，包括采樣模塊、檢測(cè)模塊和信號(hào)處理與顯示模塊；所述采樣 模塊與所述檢測(cè)模塊相連接，所述采樣模塊包括氣路裝置和與所述氣路裝置相連的消靜電 裝置；所述檢測(cè)模塊與所述信號(hào)處理與顯示模塊相連接。優(yōu)選的，所述氣路裝置包括吹氣管路、吸氣管路和泵體。優(yōu)選的，所述消靜電裝置為消靜電管。通過(guò)上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提供了一種表面粒子計(jì)數(shù)器，通過(guò)在采樣模塊上 設(shè)置消靜電管，使得吹入的空氣粒子不產(chǎn)生靜電，使表面粒子計(jì)數(shù)器能夠?qū)崿F(xiàn)高速吹和快 速吸的特點(diǎn)，從而可提高其檢測(cè)效率和準(zhǔn)確度。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的一種表面粒子計(jì)數(shù)器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的采樣模塊的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的氣路通道示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的 實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下 所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型提供了一種表面粒子計(jì)數(shù)器，可防止采樣模塊中所吹入的氣體產(chǎn)生靜 電，使表面粒子計(jì)數(shù)器能夠?qū)崿F(xiàn)高速吹和快速吸的特點(diǎn)，可提高其檢測(cè)效率和準(zhǔn)確度。參見圖1，本實(shí)用新型所提供的表面粒子技術(shù)器，包括采樣模塊100、檢測(cè)模塊200 和信號(hào)處理與顯示模塊300。采樣模塊100用于采集物體表面上的塵埃顆粒，參見圖2所示的示意圖，該模塊包 括吹氣嘴101、吹氣腔102、消靜電管103、吸氣嘴104和吸氣腔105，由吹氣嘴101所吹入的 氣體經(jīng)消靜電管103之后，使得氣體中的空氣粒子之間不存在靜電，可以進(jìn)行高速吹氣，然 后吸氣管路快速將氣體吸入到檢測(cè)模塊200進(jìn)行檢測(cè)，從而可以提高表面粒子計(jì)數(shù)器的檢 測(cè)效率和準(zhǔn)確度。檢測(cè)模塊200與采樣模塊100相連接，用于檢測(cè)檢測(cè)采樣氣體的塵埃顆粒，包括粒 子檢測(cè)器201，粒子檢測(cè)器201可以采用現(xiàn)有技術(shù)已知的用于確定粒子數(shù)量和大小的激光 二極管光散射計(jì)數(shù)器。信號(hào)處理與顯示模塊300與檢測(cè)模塊200相連接，用于向工作人員顯示檢測(cè)結(jié)果。參見圖3，為本實(shí)用新型所提供的一種表面粒子計(jì)數(shù)器的氣路通道。該氣路通道 基本上是一個(gè)閉合系統(tǒng)，將潔凈空氣提供到吹氣管路，使粒子在氣流中返回，將該氣流通過(guò) 消靜電管103進(jìn)行消靜電后由吸氣管路吸至吸氣腔105，并送至粒子檢測(cè)器201進(jìn)行檢測(cè)。 真空泵體106兩側(cè)分別連接用于濾出流動(dòng)空氣中的粒子的高效過(guò)濾器107，和用于測(cè)量氣 流流速的空氣流量計(jì)108。本實(shí)用新型所提供的表面粒子計(jì)數(shù)器，通過(guò)在采樣模塊上設(shè)置消靜電管，使得吹 入的空氣粒子不產(chǎn)生靜電，使表面粒子計(jì)數(shù)器能夠?qū)崿F(xiàn)高速吹和快速吸的特點(diǎn)，從而可提 高其檢測(cè)效率和準(zhǔn)確度。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新 型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因 此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理 和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求一種表面粒子計(jì)數(shù)器，其特征在于，包括采樣模塊、檢測(cè)模塊和信號(hào)處理與顯示模塊；所述采樣模塊與所述檢測(cè)模塊相連接，所述采樣模塊包括氣路裝置和與所述氣路裝置相連的消靜電裝置；所述檢測(cè)模塊與所述信號(hào)處理與顯示模塊相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面粒子計(jì)數(shù)器，其特征在于，所述氣路裝置包括吹氣 管路、吸氣管路和泵體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面粒子計(jì)數(shù)器，其特征在于，所述消靜電裝置為消靜電管。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種表面粒子計(jì)數(shù)器，其特征在于，包括采樣模塊、檢測(cè)模塊和信號(hào)處理與顯示模塊；所述采樣模塊與所述檢測(cè)模塊相連接，所述采樣模塊包括氣路裝置和與所述氣路裝置相連的消靜電裝置；所述檢測(cè)模塊與所述信號(hào)處理與顯示模塊相連接，通過(guò)本實(shí)用新型所提供的一種表面粒子計(jì)數(shù)器，可防止采樣模塊中所吹入的氣體產(chǎn)生靜電，使表面粒子計(jì)數(shù)器能夠?qū)崿F(xiàn)高速吹和快速吸的特點(diǎn)，從而可提高其檢測(cè)效率和準(zhǔn)確度。
文檔編號(hào)G01N1/10GK201757736SQ20102025597
公開日2011年3月9日 申請(qǐng)日期2010年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月13日
發(fā)明者曾世清 申請(qǐng)人:蘇州工業(yè)園區(qū)鴻基潔凈科技有限公司