專利名稱：多相傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種傳感器，特別是一種靈敏度高、選擇性好、體積小、測量速度 快、測量精度高、使用壽命長的多相傳感器。
背景技術(shù)：
傳感器就是能感知外界信息并能按一定規(guī)律將這些信息轉(zhuǎn)換成可用信號的裝置； 簡單說傳感器是將外界信號轉(zhuǎn)換為電信號的裝置。而多相傳感器可以對不同的氣體及氣體 混合物從PPm到體積百分比的濃度范圍進(jìn)行精確測量。相對于二相傳感器，多相傳感器具 有靈敏度高、選擇性好、體積小、測量速度快、測量精度高、使用壽命長等諸多優(yōu)點。多相傳 感器特別適合應(yīng)用于氣體檢測領(lǐng)域，可具體應(yīng)用于谷物生長分析、食品香氣分析、環(huán)境質(zhì)量 監(jiān)測、危險氣體預(yù)警、礦井下有毒氣體的監(jiān)測、汽車內(nèi)及室內(nèi)空氣質(zhì)量的監(jiān)測等領(lǐng)域。

實用新型內(nèi)容針對上述特性，本實用新型的目的在于提供一種靈敏度高、選擇性好、體積小、測 量速度快、測量精度高、使用壽命長的多相傳感器。為實現(xiàn)上述功能，本實用新型所述多相傳感器具有如下結(jié)構(gòu)本多相傳感器由外 殼、基座、A引腳、B引腳、C引腳、D引腳、傳感器芯片組成，其中傳感器芯片是三個敏感層 (A敏感層，B敏感層，C敏感層)集成在一塊加熱基片上的集成芯片；外殼扣接在基座上，起 到保護(hù)傳感器芯片的作用；基座上設(shè)有四個孔，起到分別固定四個引腳的作用；A引腳、B引 腳、C引腳和D引腳分別穿過基座上的孔與傳感器芯片相連，使傳感器芯片與引腳構(gòu)成電連 接；傳感器芯片上的加熱基片層與A引腳和D引腳相連，并與二者構(gòu)成電連接，其加熱電阻 的固有值設(shè)為Rh ；傳感器芯片上的A敏感層與C引腳與D引腳相連，并與二者構(gòu)成電連接， 其敏感電阻的初始值設(shè)為Rsi ；傳感器芯片上的B敏感層于B引腳和C引腳相連，并與二者 構(gòu)成電連接；傳感器芯片上的C敏感層與A引腳和B引腳相連，并與二者構(gòu)成電連接。所述外殼是一種頂部具有網(wǎng)面結(jié)構(gòu)的鋼制外殼。所述A引腳和D引腳為加熱引腳。本實用新型的積極效果本實用新型所述多相傳感器主要用于氣體檢測領(lǐng)域，可 具體應(yīng)用于谷物生長分析、食品香氣分析、環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測、危險氣體預(yù)警、礦井下有毒氣體 的監(jiān)測、汽車內(nèi)及室內(nèi)空氣質(zhì)量的監(jiān)測等領(lǐng)域，其靈敏度高、選擇性好、體積小、測量速度 快、測量精度高、使用壽命長的特點，有利于大范圍推廣。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造勞動性的前提下，還 可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。[O009] 圖l和圖2分別為本實用新型多相傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)以及外部結(jié)構(gòu)示意圖；[OO10] 圖3為本實用新型多相傳感器的原理示意圖[OO11] 圖中，l外殼2基座3A引腳[0012]4B弓!肚05C弓!肚06D弓!肚0[OO13]7加熱基片層 8A敏感層9B敏感層[OO14]loC敏感層11傳感器芯片 12L電阻[OO15]13R真，電阻15R真，電阻16R真，電阻具體實施方式
[OO16] 為了使本實用新型的目的1技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，下面結(jié)合具體實施方式
和附圖，對本實用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。在此，本實用新型的示意性實施方式及其說明用于解釋本實用新型，但并不作為對本實用新型的限定。[OO17] 如圖l和圖2所示，本實用新型所述多相傳感器由外殼l1基座21A引腳31B引腳41C引腳51D引腳61傳感器芯片11組成；外殼l扣接在基座2上，基座2上設(shè)有四個孔，A引腳31B引腳41C引腳5和D引腳6分別固定貫穿連接于相應(yīng)的孔；傳感器芯片11由加熱基片層71A敏感層81B敏感層91C敏感層lo組成；加熱基片層71A敏感層81B敏感層9和C敏感層lo依層次結(jié)構(gòu)設(shè)于傳感器芯片11上，并與二者構(gòu)成電連接；傳感器芯片11上的加熱基片層7上設(shè)有L電阻12，并設(shè)于A引腳3與D引腳6之間，并與二者構(gòu)成電連接；傳感器芯片11上的A敏感層8上設(shè)有凡1電阻13，并設(shè)于C引腳5與D引腳6之間，并與二者構(gòu)成電連接；傳感器芯片11上的B敏感層9上設(shè)有R一，電阻14，并設(shè)于B引腳4與C引腳5之間，并與二者構(gòu)成電連接；傳感器芯片11上的C敏感層lo上設(shè)有凡，電阻15，并設(shè)于A引腳3與B引腳4之間，并與二者構(gòu)成電連接。[OO18] 所述外殼l是一種頂部具有網(wǎng)面結(jié)構(gòu)的鋼制外殼。[OO19] 所述A引腳3和D引腳6為加熱引腳。
權(quán)利要求一種多相傳感器，其特征在于其由外殼(1)、基座(2)、A引腳(3)、B引腳(4)、C引腳(5)、D引腳(6)、傳感器芯片(11)組成；外殼(1)扣接在基座(2)上，基座(2)上設(shè)有四個孔，A引腳(3)、B引腳(4)、C引腳(5)和D引腳(6)分別固定貫穿連接于相應(yīng)的孔；傳感器芯片(11)由加熱基片層(7)、A敏感層(8)、B敏感層(9、C敏感層(10)組成；加熱基片層(7)、A敏感層(8)、B敏感層(9)和C敏感層(10)依層次結(jié)構(gòu)設(shè)于傳感器芯片(11)上，并與二者構(gòu)成電連接；傳感器芯片(11)上的加熱基片層(7)上設(shè)有RH電阻(12)，并設(shè)于A引腳(3)與D引腳(6)之間，并與二者構(gòu)成電連接；傳感器芯片(11)上的A敏感層(8)上設(shè)有RS1電阻(13)，并設(shè)于C引腳(5)與D引腳(6)之間，并與二者構(gòu)成電連接；傳感器芯片(11)上的B敏感層(9)上設(shè)有RS2電阻(14)，并設(shè)于B引腳(4)與C引腳(5)之間，并與二者構(gòu)成電連接；傳感器芯片(11)上的C敏感層(10)上設(shè)有RS3電阻(15)，并設(shè)于A引腳(3)與B引腳(4)之間，并與二者構(gòu)成電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述多相傳感器，其特征在于所述外殼(1)是一種頂部具有網(wǎng)面 結(jié)構(gòu)的鋼制外殼。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述多相傳感器，其特征在于所述A引腳(3)和D引腳(6)為加 熱引腳。
專利摘要本實用新型涉及一種傳感器，特別是一種靈敏度高、選擇性好、體積小、測量速度快、測量精度高、使用壽命長的多相傳感器。其由外殼、基座、A引腳、B引腳、C引腳、D引腳、傳感器芯片組成；本實用新型所述多相傳感器主要用于氣體檢測領(lǐng)域，可具體應(yīng)用于谷物生長分析、食品香氣分析、環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測、危險氣體預(yù)警、礦井下有毒氣體的監(jiān)測、汽車內(nèi)及室內(nèi)空氣質(zhì)量的監(jiān)測等領(lǐng)域，其靈敏度高、選擇性好、體積小、測量速度快、測量精度高、使用壽命長的特點，有利于大范圍推廣。
文檔編號G01N27/16GK201681060SQ201020147350
公開日2010年12月22日 申請日期2010年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月1日
發(fā)明者張偉 申請人:張偉