專利名稱：環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種對環(huán)境潔凈度進行監(jiān)控的裝置，尤其是能夠?qū)Νh(huán) 境潔凈度進行在線多種參數(shù)的實時監(jiān)控，其不僅能對室內(nèi)環(huán)境潔凈度進行實時監(jiān)控，還能 對環(huán)境的溫度、濕度、照度、壓差、風速、氧氣濃度等參數(shù)進行實時監(jiān)控。
背景技術：
就微電子生產(chǎn)來說，隨著集成電路的集成度不斷提高，特征線寬尺寸 越來越小，加工越來越精細，被污染的機率就越來越高，對工藝環(huán)境參數(shù)要求也遠遠高于其 他領域，因而研制工藝環(huán)境參數(shù)實時監(jiān)測系統(tǒng)成了市場上的迫切需求。目前國外只有美國 PMS公司具有類似實時監(jiān)控系統(tǒng)，且只能對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度進行實時監(jiān)控。國內(nèi)也只有一 兩家企業(yè)有類似的產(chǎn)品，但其產(chǎn)品也只能對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度進行監(jiān)控，不能同時對多種 參數(shù)進行實時監(jiān)控。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的，即在于提供一種不僅能達到對室內(nèi)潔凈度進行實 時監(jiān)控，還能對環(huán)境的溫度、濕度、照度、風速、氧氣濃度區(qū)參數(shù)進行實時監(jiān)控。且將產(chǎn)品內(nèi) 部結構進行微型化技術處理的環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置。本實用新型的目的是通過下述的技術方案來實現(xiàn)的一種環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置，其特征在于所述的裝置包括空氣采樣檢測部分和系 統(tǒng)自凈部分，所述的空氣采樣檢測部分與系統(tǒng)自凈部分通過管道相連。所述的空氣采樣檢測部分包括高壓模塊、傳感器、采樣頭、空氣泵以及控制電路， 采樣頭的底部與傳感器的進氣嘴相連，采樣頭的底部與傳感器的進氣嘴連接處通過管道連 接到空氣泵的進口端；高壓模塊連接到傳感器上的倍增管；所述的控制電路的輸入端與高 壓模塊連接。所述的系統(tǒng)自凈部分包括過濾消音器，該過濾消音器通過管道與所述的空氣泵相 連。所述的管道是軟管。所述的采樣頭是等速采樣頭。所述的傳感器是光電傳感器。 本實用新型的裝置通過采樣頭對室內(nèi)空氣進行采樣，裝置內(nèi)的空氣泵將需要檢測 的空氣樣本抽入，通過傳感器分析檢測出樣品中塵埃的粒徑、數(shù)目，環(huán)境的溫度、濕度、照度 等數(shù)據(jù)，再將檢測出來的數(shù)據(jù)通過控制電路上的AD模塊轉(zhuǎn)換成電信號，用RS485的能訊方 式將信號傳送給電腦，最后在上位機上用專用程序?qū)⑦@些信號接收過來并重新整合顯示在 界面上供用戶查看，這些檢測到的數(shù)據(jù)同時會存儲在上位機的數(shù)據(jù)庫里供用戶查詢、監(jiān)控。本實用新型的裝置內(nèi)部結構簡單、體積小、外型美觀，不僅能對室內(nèi)潔凈度進行實 時監(jiān)控，還能對環(huán)境的溫度、濕度、照度、風速、氧氣濃度區(qū)參數(shù)進行實時監(jiān)控。


圖1是本實用新型結構示意圖；圖2是本實用新型控制電路原理框圖。附圖標記說明⑴高壓模塊⑵傳感器
3[0018]⑶采樣頭(4)過濾消音器(5)空氣泵(6)底座(7)電路板具體實施方式
有關于本實用新型所采用之技術、手段及其達成功效，特舉較佳 實施例并配合圖示詳細說明如下，相信當可由之得深入而具體的了解。圖1所示是本實用新型結構示意圖，高壓模塊1、傳感器2、采樣頭3、過濾消音器 4、空氣泵5以及安裝控制電路的電路板7分別安裝在底座6上。采樣頭3采用等速采樣頭， 采樣頭3裝配在最頂端，其下面是傳感器3，再下面是空氣泵5，采樣頭3的底部與傳感器2 的進氣嘴相連，采樣頭3的底部與傳感器2的進氣嘴連接處通過管道連接到空氣泵5的進 口端。高壓模塊1連接到傳感器2的倍增管，給倍增管提供一個高壓，使倍增管能夠正常工 作?？諝獗?將空氣從采樣頭3抽進傳感器2，由傳感器2對抽進來的空氣進行分析，從而 測出空氣中塵埃粒子的數(shù)目?？諝獗?采用2. 83L/MIN的，空氣泵5有一軟管作成的管道 連接到空氣泵5的進口端，這些部件構成了空氣采樣檢測部分。傳感器2為光電傳感器，選用要求為標準粒子誤差準確度彡15%，離散度 彡15%，重復性彡5%?？諝獗?的出口端連接一根軟的管道到過濾消音器4，這是系統(tǒng)自凈部分的裝配。 為了使采樣樣本更精確、檢測的數(shù)據(jù)更準確，在系統(tǒng)進行空氣采樣前，由過濾消音器4先將 空氣泵5中的空氣進行空氣自凈過濾后，再進行空氣樣本的采樣，本實施例中，過濾消音器 4的過濾粒徑達到0. 2微米。高壓模塊1型號選用CC228-01Y，其作用是為傳感器2中的激光倍增管提供高電壓 的工作電壓。圖2是本實用新型控制電路原理框圖，控制電路的輸入端與高壓模塊1相連，采用 由半導體激光器發(fā)出的激光光源，該半導體激光器具有體積小、穩(wěn)定性高、壽命長等特點， 常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。從半導體激光器中發(fā)出一束激光，將采樣空 氣從這束激光中通過，當空氣中的塵埃粒子通過激光的光束時，激光束就會發(fā)生散射，形成 光脈沖信號。這個光脈沖信號的強度會隨著塵埃粒子表面積的變化而變化，再通過光電接 收器將這個光脈沖信號接收過來轉(zhuǎn)換成電信號。從光電接收器出來的電信號被送入前置放 大器進行初步放大，之后再將這個初步放大過的電信號送入主放大器再次放大。放大后的 電信號隨后進入比較器，在比較器里這些信號將與一些特定的值相比較，從而分辨出這些 信號的強弱。比較器會根據(jù)信號強弱的程度將這些信號轉(zhuǎn)換成不同的數(shù)字信號送入計數(shù)電 路中，計數(shù)電路根據(jù)不同的數(shù)字信號分別進行累加計數(shù)，累加后的結果送入中央處理器。中 央處理器將這些數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成RS-485信號上傳至電腦，由電腦將這些信號接收過來并轉(zhuǎn)換 成對應的數(shù)據(jù)在電腦上實現(xiàn)顯示、存儲、控制等功能。本裝置通過采樣頭3對室內(nèi)空氣進行采樣，在采樣頭3采取到空氣樣本后，由空氣 泵5將空氣樣本抽入，在空氣樣本被空氣泵5抽入時，空氣樣本經(jīng)過傳感器2，由傳感器2中 的激光增倍管將空氣樣本進行放大后，再檢測出空氣樣本中塵埃粒子的粒徑、數(shù)量、環(huán)境的 溫度、濕度、照度等數(shù)據(jù)后，檢測數(shù)據(jù)通過控制電路中的通信模塊轉(zhuǎn)換成電信號，由中央處
4理器對數(shù)據(jù)進行處理后上傳電腦，最后在電腦上將這些信號接收過來并重新整合顯示在界 面上供用戶查看，這些檢測到的數(shù)據(jù)同時會存儲在電腦的數(shù)據(jù)庫里供用戶查詢、監(jiān)控。
權利要求一種環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置，其特征在于所述的裝置包括空氣采樣檢測部分和系統(tǒng)自凈部分，所述的空氣采樣檢測部分與系統(tǒng)自凈部分通過管道相連。
2.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置，其特征在于所述的空氣采樣檢測部 分包括高壓模塊(1)、傳感器(2)、采樣頭(3)、空氣泵(5)以及控制電路，采樣頭(3)的底部 與傳感器(2)的進氣嘴相連，采樣頭(3)的底部與傳感器(2)的進氣嘴連接處通過管道連 接到空氣泵(5)的進口端；高壓模塊⑴連接到傳感器(2)上的倍增管；所述的控制電路的 輸入端與高壓模塊(1)連接；所述的系統(tǒng)自凈部分包括過濾消音器(4)，該過濾消音器(4) 通過管道與所述的空氣泵(5)相連。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置，其特征在于所述的管道是軟管。
4.根據(jù)權利要求2所述的環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置，其特征在于所述的采樣頭(3)是等 速采樣頭。
5.根據(jù)權利要求2所述的環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置，其特征在于所述的傳感器(2)是光 電傳感器。
專利摘要本實用新型公開了一種環(huán)境潔凈度監(jiān)控裝置，其特征在于所述的裝置包括空氣采樣檢測部分和系統(tǒng)自凈部分，所述的空氣采樣檢測部分與系統(tǒng)自凈部分通過管道相連。本實用新型的裝置內(nèi)部結構簡單、體積小、外型美觀，不僅能對室內(nèi)潔凈度進行實時監(jiān)控，還能對環(huán)境的溫度、濕度、照度、風速、氧氣濃度區(qū)參數(shù)進行實時監(jiān)控。
文檔編號G01N1/24GK201673161SQ20102011456
公開日2010年12月15日 申請日期2010年2月4日 優(yōu)先權日2010年2月4日
發(fā)明者吳俊民, 孫永祺 申請人:蘇州尚科潔凈技術有限公司