專利名稱：用于對(duì)對(duì)象的多個(gè)側(cè)面成像的系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢查諸如電氣對(duì)象的對(duì)象的系統(tǒng)和方法，所述對(duì)象尤其是小而細(xì)長(zhǎng)的電氣對(duì)象，例如，但不限于電容器。
背景技術(shù)：
外部形貌是通過將被檢查對(duì)象的圖像與參考圖像比較進(jìn)行的檢查方法之一。對(duì)于一面或兩面成像，例如晶圓或印刷電路板而言，從垂直視圖或從下方視圖拍攝圖像進(jìn)行檢查，這是簡(jiǎn)單的任務(wù)。對(duì)于六面對(duì)象而言，流程更加復(fù)雜。對(duì)于很多產(chǎn)品而言需要這樣的檢查，一些這種產(chǎn)品非常小或量很大。例如，需要檢查微電子生產(chǎn)(陶瓷電容器、芯片和電阻器)中使用的電氣對(duì)象的整個(gè)側(cè)面；利用自動(dòng)光學(xué)檢查系統(tǒng)可以識(shí)別出很多缺陷，例如尺寸測(cè)量、陶瓷缺陷和終端缺陷。在檢查過程期間或檢查過程之前可能會(huì)損傷諸如但不限于小電容器的對(duì)象?；覊m以及對(duì)象碎片可能會(huì)阻塞檢查裝置。測(cè)量諸如電容器的絕對(duì)電氣特性是較長(zhǎng)的過程，這限制了檢查過程的處理量。越來越需要提供檢查對(duì)象的高效率系統(tǒng)和方法。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供了一種用于采集對(duì)象的多個(gè)圖像的系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以包括(a)用于將所述對(duì)象傳送到第一成像區(qū)域的第一縱向傳送機(jī)；(b)用于將所述對(duì)象傳送到第二成像區(qū)域的第二縱向傳送機(jī)；(C)適于獲得位于所述第一和第二成像區(qū)域的每個(gè)中的對(duì)象的圖像的成像器；(d)旋轉(zhuǎn)模塊，所述旋轉(zhuǎn)模塊被配置成在所述對(duì)象的第一側(cè)面面對(duì)成像器時(shí)從所述第一縱向傳送機(jī)接收對(duì)象，繞所述對(duì)象的縱軸旋轉(zhuǎn)每個(gè)對(duì)象使得所述對(duì)象的第二側(cè)面面對(duì)所述成像器，并將所述對(duì)象提供給所述第二縱向傳送機(jī)；以及(e) 氣體供應(yīng)單元；其中所述第一和第二縱向傳送機(jī)的每個(gè)包括多個(gè)通道；其中每個(gè)通道包括 (i)對(duì)象傳送部分以及(ii)防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分；其中每個(gè)通道成形為防止對(duì)象阻塞所述防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分并便于以縱向方式在所述對(duì)象傳送部分之內(nèi)傳送對(duì)象；其中所述對(duì)象傳送部分具有毫米級(jí)的寬度；其中所述氣體供應(yīng)單元被配置成向每個(gè)通道的防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分供應(yīng)氣體；并且其中氣體供應(yīng)有助于在每個(gè)通道的所述對(duì)象傳送部分之內(nèi)傳送對(duì)象。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供了一種用于采集對(duì)象的多個(gè)圖像的方法。該方法可以包括(a)通過第一縱向傳送機(jī)的多個(gè)通道的對(duì)象傳送部分將對(duì)象縱向傳送到第一成像區(qū)域；其中所述縱向傳送包括向所述通道的防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分提供氣體；其中每個(gè)通道成形為防止對(duì)象阻塞所述防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分；其中所述對(duì)象傳送部分具有毫米級(jí)的寬度；在所述第一成像區(qū)域獲得所述對(duì)象第一側(cè)面的圖像；(b)由第一旋轉(zhuǎn)模塊旋轉(zhuǎn)所述對(duì)象，所述第一旋轉(zhuǎn)模塊繞所述對(duì)象的縱軸旋轉(zhuǎn)所述對(duì)象；(c)通過第二縱向傳送機(jī)的多個(gè)通道的對(duì)象傳送部分將對(duì)象縱向傳送到第二成像區(qū)域；其中所述縱向傳送包括向所述通道的防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分提供氣體；其中每個(gè)通道成形為防止對(duì)象阻塞所述防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分；其中所述對(duì)象傳送部分具有毫米級(jí)的寬度；以及 (C)在所述第二成像區(qū)域獲得所述對(duì)象第二側(cè)面的圖像。


這里將參考附圖僅通過舉例的方式描述本發(fā)明?，F(xiàn)在詳細(xì)具體參考附圖，應(yīng)當(dāng)強(qiáng)調(diào)的是，細(xì)節(jié)只是以舉例的方式示出的，其目的在于對(duì)本發(fā)明的各實(shí)施例進(jìn)行說明性的討論。在附圖中圖Ia-Ib示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用于對(duì)對(duì)象成像的系統(tǒng)；圖2a_2c是根據(jù)本發(fā)明的各實(shí)施例的第一縱向傳送機(jī)的兩個(gè)通道的截面圖；圖3a_;3b是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的第一縱向傳送機(jī)的通道的截面圖； 圖3c示出了多個(gè)通道以及向這些通道供應(yīng)氣體的氣體供應(yīng)元件；圖4示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的兩個(gè)縱向傳送機(jī)和多個(gè)停止元件的一部分；圖5a_5c示出了根據(jù)本發(fā)明各實(shí)施例的第一旋轉(zhuǎn)模塊的旋轉(zhuǎn)元件和第一和第二縱向傳送機(jī)的部分；圖6示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的系統(tǒng)；圖7a、7b和8示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的總線、加載機(jī)的加載元件和卸載機(jī)的卸載元件；圖9a和9b示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法；圖10示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法；以及圖11示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法。
具體實(shí)施例方式在以下說明書中，將參考本發(fā)明實(shí)施例的具體范例描述本發(fā)明。不過，顯然，在不背離所附權(quán)利要求界定的涵蓋更寬的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以在其中做出各種修改和變化。因?yàn)閷?shí)施本發(fā)明的設(shè)備大部分由本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的電子對(duì)象和電路構(gòu)成，將不會(huì)比上文所示認(rèn)為必要的程度更多地解釋電路細(xì)節(jié)，以便理解和認(rèn)識(shí)本發(fā)明的基礎(chǔ)概念并不會(huì)使本發(fā)明的教導(dǎo)模糊或發(fā)生偏離。對(duì)對(duì)象的多個(gè)側(cè)面成像，對(duì)象例如是電氣對(duì)象，尤其是小而細(xì)長(zhǎng)的電氣對(duì)象。小而細(xì)長(zhǎng)的電氣對(duì)象長(zhǎng)度通常不超過幾毫米。以下描述將參考這種對(duì)象。要指出的是，這些對(duì)象是方便的小而細(xì)長(zhǎng)的電氣對(duì)象，例如后來形成諸如PCB的電路一部分的毫米級(jí)電容器。這種毫米級(jí)電容器可以是但不限于0. 06英寸長(zhǎng)、0. 03英寸寬的多層陶瓷電容器(MLCC)、0. 04 英寸長(zhǎng)0. 02英寸寬的MLCC、0. 02英寸長(zhǎng)0. 01英寸寬的MLCC以及0. 01英寸長(zhǎng)0. 005英寸寬的MLCC，以及毫米級(jí)的電阻器。對(duì)對(duì)象的多個(gè)側(cè)面(或面)成像，然后處理這些圖像以確定例如這些對(duì)象的功能。 方便地，可以通過對(duì)對(duì)象的多個(gè)側(cè)面照明并對(duì)這些側(cè)面成像以在每秒鐘對(duì)很多對(duì)象成像。魯棒地且高處理量的成像系統(tǒng)包括多個(gè)通道，通過其可以傳送對(duì)象。通道成形為有助于通過經(jīng)通道中禁止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分誘發(fā)氣體來通過通道平穩(wěn)輸送對(duì)象。參考圖la，這是系統(tǒng)10的示意圖。系統(tǒng)10包括成像器30、第一縱向傳送機(jī)110、 第一旋轉(zhuǎn)模塊210、第二縱向傳送機(jī)120、第二旋轉(zhuǎn)模塊220、第三縱向傳送機(jī)130、第三旋轉(zhuǎn)模塊230、第四縱向傳送機(jī)140、延遲元件150、分選單元170和處理器160。成像器30能夠獲得位于第一成像區(qū)域510、第二成像區(qū)域520、第三成像區(qū)域530 和第四成像區(qū)域MO中的對(duì)象的圖像。成像器30能夠以串行或并行方式獲得這些圖像。第一縱向傳送機(jī)110、第一旋轉(zhuǎn)模塊210、第二縱向傳送機(jī)120、第二旋轉(zhuǎn)模塊220、 第三縱向傳送機(jī)130、第三旋轉(zhuǎn)模塊230和第四縱向傳送機(jī)140的每一個(gè)包括多個(gè)通道。 通過這些通道，尤其是通過這些通道的對(duì)象傳送部分傳送對(duì)象。對(duì)象傳送部分可以比對(duì)象稍寬，但可以足夠窄，以防止在傳送期間對(duì)象繞其縱軸旋轉(zhuǎn)。例如，如果每個(gè)對(duì)象的截面為 TXT毫米，那么對(duì)象傳送部分的寬度可以超過T，但比截面對(duì)角線窄(TX2的平方根)。每個(gè)通道還包括一個(gè)或多個(gè)防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分，其成形為使得其不受傳送對(duì)象阻塞并提供輔助對(duì)象的傳送的氣體。對(duì)象不能進(jìn)入或者否則完全阻塞氣體通過防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分的輸送。方便地，系統(tǒng)10在管道方式下工作，從成像區(qū)域向另一成像區(qū)域移動(dòng)元件組，并可以在每個(gè)成像周期期間獲得來自多個(gè)成像區(qū)域的圖像。表1示出了流水線過程的初始化，系統(tǒng)100通過該初始化工作。“周期”表示發(fā)生一個(gè)階段的檢查周期。LTS1-LTS4是第一到第四縱向傳送機(jī)110-140，“圖像”表示拍攝哪些圖像，Sx(Gy)表示第y組電路的第χ側(cè)面的圖像。為了解釋簡(jiǎn)單起見，未示出電路的旋轉(zhuǎn)模塊。
權(quán)利要求
1.一種用于采集對(duì)象的多個(gè)圖像的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括 第一縱向傳送機(jī)，用于將所述對(duì)象傳送到第一成像區(qū)域； 第二縱向傳送機(jī)，用于將所述對(duì)象傳送到第二成像區(qū)域；成像器，所述成像器適于獲得位于所述第一和第二成像區(qū)域的每一個(gè)中的對(duì)象的圖像；旋轉(zhuǎn)模塊，所述旋轉(zhuǎn)模塊配置成在所述對(duì)象的第一側(cè)面面對(duì)成像器時(shí)從所述第一縱向傳送機(jī)接收對(duì)象，繞所述對(duì)象的縱軸旋轉(zhuǎn)每個(gè)對(duì)象，使得所述對(duì)象的第二側(cè)面面對(duì)所述成像器，并將所述對(duì)象提供給所述第二縱向傳送機(jī)；以及氣體供應(yīng)單元；其中，所述第一和第二縱向傳送機(jī)的每一個(gè)包括多個(gè)通道； 其中，每個(gè)通道包括對(duì)象傳送部分以及防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分； 其中，每個(gè)通道成形為防止對(duì)象阻塞所述防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分并且有助于以縱向方式在所述對(duì)象傳送部分之內(nèi)傳送對(duì)象； 其中，所述對(duì)象傳送部分具有毫米級(jí)的寬度；其中，所述氣體供應(yīng)單元配置成向每個(gè)通道的所述防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分供應(yīng)氣體；并且其中，氣體供應(yīng)有助于在每個(gè)通道的所述對(duì)象傳送部分之內(nèi)傳送所述對(duì)象。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述氣體供應(yīng)單元還配置成向每個(gè)通道的對(duì)象傳送部分供應(yīng)氣體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分比每個(gè)對(duì)象窄。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，一對(duì)防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分從每個(gè)對(duì)象傳送部分的兩側(cè)延伸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，一對(duì)防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分的位置接近所述對(duì)象傳送部分的上部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，一對(duì)防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分的位置接近所述對(duì)象傳送部分的中心。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，每個(gè)防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分延伸通過整個(gè)通道。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，每個(gè)防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分都結(jié)束于多個(gè)形成于所述對(duì)象傳送部分的壁中的間隔開的開口。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述旋轉(zhuǎn)模塊包括多個(gè)防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分和多個(gè)對(duì)象旋轉(zhuǎn)部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述對(duì)象是毫米級(jí)的電容器。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括適于以橫向方式將所述對(duì)象傳送到其它成像區(qū)域的橫向傳送機(jī)，并且其中所述成像器配置成獲得所述對(duì)象的與在所述第一和第二成像區(qū)域成像的對(duì)象側(cè)面不同的兩個(gè)相對(duì)側(cè)面的圖像。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，所述橫向傳送機(jī)包括多個(gè)電觸點(diǎn)，所述電觸點(diǎn)接觸由所述橫向傳送機(jī)傳送的對(duì)象；其中所述多個(gè)電觸點(diǎn)耦合到電氣測(cè)試器，所述電氣測(cè)試器對(duì)所述對(duì)象進(jìn)行電氣測(cè)試。
13.一種用于采集對(duì)象的多個(gè)圖像的方法，所述方法包括通過第一縱向傳送機(jī)的多個(gè)通道的對(duì)象傳送部分將對(duì)象縱向傳送到第一成像區(qū)域；其中，所述縱向傳送包括向所述通道的防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分提供氣體；其中每個(gè)通道成形為防止對(duì)象阻塞所述防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分；其中所述對(duì)象傳送部分具有毫米級(jí)的寬度；在所述第一成像區(qū)域獲得所述對(duì)象的第一側(cè)面的圖像；由第一旋轉(zhuǎn)模塊旋轉(zhuǎn)所述對(duì)象，所述第一旋轉(zhuǎn)模塊繞所述對(duì)象的縱軸旋轉(zhuǎn)所述對(duì)象；通過第二縱向傳送機(jī)的多個(gè)通道的對(duì)象傳送部分將對(duì)象縱向傳送到第二成像區(qū)域；其中，所述縱向傳送包括向所述通道的防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分提供氣體；其中每個(gè)通道成形為防止對(duì)象阻塞所述防止對(duì)象進(jìn)入的氣體輸送部分；其中所述對(duì)象傳送部分具有毫米級(jí)的寬度；以及在所述第二成像區(qū)域獲得所述對(duì)象的第二側(cè)面的圖像。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，包括向每個(gè)通道的所述對(duì)象傳送部分供應(yīng)氣體。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于對(duì)對(duì)象的多個(gè)側(cè)面成像的系統(tǒng)和方法。其中一種用于采集對(duì)象的多個(gè)圖像的系統(tǒng)包括四個(gè)包括多個(gè)通道的縱向傳送機(jī)，通過所述通道將對(duì)象傳送到四個(gè)成像區(qū)域；其中，四個(gè)縱向傳送機(jī)利用氣壓差通過通道傳送電路；其中，至少一個(gè)縱向傳送機(jī)具有可動(dòng)部分，在將可動(dòng)部分放到特定位置時(shí)，暴露至少一個(gè)通道的至少大部分；三個(gè)配置成繞對(duì)象縱軸旋轉(zhuǎn)對(duì)象的旋轉(zhuǎn)模塊；其中，每個(gè)旋轉(zhuǎn)模塊位于兩個(gè)縱向傳送機(jī)之間；以及成像器，配置成在四個(gè)成像區(qū)域的每一個(gè)中獲得對(duì)象的圖像。
文檔編號(hào)G01N21/88GK102375104SQ20101028179
公開日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2010年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月13日
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