專利名稱：具有高空間分辨力的乘積共焦掃描檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于顯微成像及微觀測量技術(shù)領(lǐng)域，特別提供一種可用于檢測表面三維微 細結(jié)構(gòu)、微臺階、集成電路線寬和表面形貌以及生物醫(yī)學領(lǐng)域高分辨力顯微成像的方法。
背景技術(shù)：
共焦顯微技術(shù)以其獨有的三維層析成像能力在高分辨成像和檢測領(lǐng)域得到了廣 泛的應用，但是由于受衍射效應的原理性限制，制約了其分辨力的進一步提高。為從根本上 突破衍射極限，改善共焦顯微方法的分辨能力，國內(nèi)外學者做了許多研究，并已提出眾多的 非傳統(tǒng)共焦顯微成像原理和超分辨方法。為了改善共焦顯微技術(shù)的軸向分辨力，臺灣大學的C-H. Lee等提出了非干涉差分 共焦顯微技術(shù)理論(Optics Common. 1997,35 :232_237)，其利用響應曲線斜邊線性段來實 現(xiàn)納米級檢測；哈爾濱工業(yè)大學的譚久彬、王富生和趙維謙提出了“差動共焦式納米級光聚 焦探測方法”，其軸向分辨力達到2nm(《第三屆海峽兩岸及量科技學術(shù)研討會論文集》，蘭 州，2000 :59 63)；中國專利“具有高空間分辨力的差動共焦掃描檢測方法”(專利號ZL 200410006359. 6)，利用響應曲線線性區(qū)間實現(xiàn)軸向納米級、橫向亞微米級檢測；中國專利 “共焦顯微鏡”(申請?zhí)?01122439. 8，公開號CN 1395127A)提出將干涉法引入到傳統(tǒng)的共 焦顯微成像技術(shù)中、用于改善軸向分辨力的方法；中國專利“雙頻共焦臺階高度顯微測量裝 置”(申請?zhí)?02120884. 0，公開號CN 1384334A)提出了一種雙頻共焦臺階干涉顯微測量 方法；中國專利“具有高空間分辨成像能力的共焦干涉顯微鏡(申請?zhí)?200410096338. 8，
發(fā)明者劉大禮, 劉超, 趙維謙, 邱麗榮 申請人:北京理工大學