專利名稱：儲(chǔ)料器系統(tǒng)和管理儲(chǔ)料器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的各個(gè)方面涉及一種儲(chǔ)料器系統(tǒng)和一種管理儲(chǔ)料器的方法，更具體而言， 涉及一種易于管理儲(chǔ)料器擱架的儲(chǔ)料器系統(tǒng)及一種管理該儲(chǔ)料器的方法。
背景技術(shù)：
儲(chǔ)料器用于裝載產(chǎn)品，且其通常包括多個(gè)擱架，每個(gè)擱架裝載一個(gè)產(chǎn)品。儲(chǔ)料器可 以裝載各種各樣的產(chǎn)品，例如用在光刻或沉積過程中的掩膜、容納用于制造半導(dǎo)體的晶片 的盒子、以及在其周圍卷繞有用于制造等離子顯示板的基板的盒子。其上連接有臂的機(jī)架主導(dǎo)裝置被用于將產(chǎn)品裝載到儲(chǔ)料器中并運(yùn)送或傳送所裝 載的產(chǎn)品。當(dāng)機(jī)架主導(dǎo)裝置使用諸如導(dǎo)軌的元件被移動(dòng)時(shí)，機(jī)架主導(dǎo)裝置可自動(dòng)裝載或傳 送廣品。但是，當(dāng)使用儲(chǔ)料器時(shí)，其上裝載有產(chǎn)品的擱架可能變形或傾斜，使其具有不同于 其初始狀態(tài)的形狀和/或位置。當(dāng)擱架傾斜、損壞和/或喪失其平面度時(shí)，裝載在擱架上的 產(chǎn)品可能被損壞。此外，當(dāng)產(chǎn)品不是以水平狀態(tài)而是以傾斜狀態(tài)裝載時(shí)，產(chǎn)品的質(zhì)量可能受 到影響。因此，需要定期檢查儲(chǔ)料器的擱架。但是，由工人或者使用設(shè)備來檢查儲(chǔ)料器的擱架是困難的，這是因?yàn)閮?chǔ)料器的內(nèi) 部必須保持在干凈狀態(tài)下且不能被外來物質(zhì)所污染。同樣，由于儲(chǔ)料器的內(nèi)部空間窄，所以 工人們不能有效地檢查儲(chǔ)料器的擱架。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的各方面提供一種有效檢查儲(chǔ)料器的擱架的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，以及一種管理該 儲(chǔ)料器的方法。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其包括儲(chǔ)料器，該儲(chǔ)料器包括擱 架，產(chǎn)品被裝載在所述擱架上；機(jī)架主導(dǎo)裝置，該機(jī)架主導(dǎo)裝置包括主體部分和連接到所述 主體部分以將所述產(chǎn)品朝向或遠(yuǎn)離所述儲(chǔ)料器移動(dòng)的臂部分；和傳感器單元，該傳感器單 元布置在所述臂部分上，其中，當(dāng)所述傳感器單元布置在所述臂部分上且包括不與所述臂 部分接觸的端面時(shí)，當(dāng)所述臂部分被移動(dòng)到位于所述擱架的上方或下方時(shí)，所述傳感器單 元面向所述擱架，位移傳感器被布置在所述傳感器單元的端面的多個(gè)位置上，以便在所述 多個(gè)位置測(cè)量所述傳感器單元與所述擱架之間的相對(duì)位置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，當(dāng)臂部分被移動(dòng)到擱架上方或下方且傳感器單元布置在 臂部分上時(shí)，所述多個(gè)位置可與擱架重疊。 根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，位移傳感器可包括至少兩個(gè)位移傳感器，所述至少兩個(gè)位移傳感器布置在當(dāng)臂部分被移動(dòng)到擱架上方或下方且傳感器單元布置在臂部分上時(shí)關(guān) 于擱架中間區(qū)域?qū)ΨQ的位置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，擱架可包括彼此水平隔開的第一支架和第二支架，且位 移傳感器可布置在當(dāng)臂部分被移動(dòng)到擱架上方或下方時(shí)對(duì)應(yīng)于第一支架和第二支架的位置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，位移傳感器可包括布置在對(duì)應(yīng)于所述第一支架的位置處 的多個(gè)第一位移傳感器和布置在對(duì)應(yīng)于所述第二支架的位置處的多個(gè)第二位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述傳感器單元的所述端面被布置為圍繞所述臂部分的 側(cè)部表面。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，儲(chǔ)料器系統(tǒng)還可包括控制單元，以利用由位移傳感器測(cè) 得的傳感器單元與至少一個(gè)擱架之間的相對(duì)位置來測(cè)量至少一個(gè)擱架的平面度，其中傳感 器單元可包括與控制單元通信的無線通信單元。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，該儲(chǔ)料器系統(tǒng)包 括儲(chǔ)料器、機(jī)架主導(dǎo)裝置和傳感器單元，所述儲(chǔ)料器具有裝載產(chǎn)品有的擱架，所述機(jī)架主導(dǎo) 裝置包括主體部分和連接到所述主體部分以將產(chǎn)品朝向或離開儲(chǔ)料器移動(dòng)的臂部分，所述 傳感器單元布置在臂部分上，該方法包括將傳感器單元布置在臂部分上；將其上布置有 傳感器單元的臂部分移動(dòng)到擱架上方或下方；利用位移傳感器在多個(gè)位置測(cè)量傳感器單元 與擱架之間的相對(duì)位置，該位移傳感器在傳感器單元面向擱架的區(qū)域不與臂部分接觸；以 及使用測(cè)量的相對(duì)位置確定擱架的平面度。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，當(dāng)臂部分位于擱架上方或下方時(shí)，位移傳感器可布置在 傳感器單元的與擱架重疊的區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，位移傳感器的至少兩個(gè)位移傳感器可布置在當(dāng)臂部分位 于擱架上方或下方時(shí)關(guān)于擱架的中間區(qū)域彼此對(duì)稱的位置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，擱架可包括彼此水平分隔開的第一支架和第二支架，且 位移傳感器可布置在對(duì)應(yīng)于第一支架和第二支架的位置。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，位移傳感器可包括布置在對(duì)應(yīng)于所述第一支架的位置處 的多個(gè)第一位移傳感器和布置在對(duì)應(yīng)于所述第二支架的位置處的多個(gè)第二位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，位移傳感器可布置為圍繞所述臂部分的側(cè)部表面。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，儲(chǔ)料器可包括多個(gè)擱架，在多個(gè)擱架上分別裝載多個(gè)產(chǎn) 品，且該方法還可包括通過按順序地執(zhí)行下列步驟測(cè)量每個(gè)擱架的平面度將臂部分移動(dòng) 到相應(yīng)擱架的上方，測(cè)量傳感器單元和相應(yīng)擱架之間的相對(duì)位置，以及針對(duì)每個(gè)擱架測(cè)量 相應(yīng)擱架的平面度。根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)方面，提供一種機(jī)架系統(tǒng)以朝向或遠(yuǎn)離儲(chǔ)料器的擱架移動(dòng)， 該機(jī)架系統(tǒng)包括機(jī)架主導(dǎo)裝置，該機(jī)架主導(dǎo)裝置朝向或遠(yuǎn)離所述儲(chǔ)料器移動(dòng)，且包括主體 部分和連接到所述主體部分以在所述擱架上方或下方延伸的臂部分；和傳感器單元，該傳 感器單元布置在所述臂部分上，且包括不與所述臂部分接觸的端面，其中當(dāng)所述臂部分位 于所述擱架的上方或下方時(shí)，所述端面面向所述擱架，且所述傳感器單元進(jìn)一步包括分別 布置在所述端面的多個(gè)位置上的位移傳感器，以便當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下 方時(shí)在所述多個(gè)位置測(cè)量所述傳感器單元與所述擱架之間的相對(duì)位置。
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根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)方面，提供了一種傳感器單元，該傳感器單元連接到布置在 儲(chǔ)料器的擱架的上方或下方的設(shè)備，所述傳感器單元包括端面，該端面面向所述擱架；以 及位移傳感器，該位移傳感器分別布置在所述端面的多個(gè)位置，以便在所述多個(gè)位置測(cè)量 所述傳感器單元和所述擱架之間的相對(duì)位置。根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)方面，提供了一種用于確定儲(chǔ)料器的擱架是否水平的裝置， 所述裝置包括接收單元，該接收單元接收所述擱架和位于所述擱架的上方或下方的多個(gè) 位置處的位移傳感器之間的相對(duì)位置的測(cè)量值；和控制單元，該控制單元利用接收到的所 述位移傳感器和所述擱架之間的所述相對(duì)位置的所述測(cè)量值確定所述擱架是否水平。本發(fā)明的其它方面和/或優(yōu)點(diǎn)，部分地在下面的說明書中提出，部分地根據(jù)說明 書是顯而易見的或者可通過實(shí)施本發(fā)明獲知。


通過結(jié)合相應(yīng)的附圖對(duì)實(shí)施例的下列描述，本發(fā)明的以上和/或其它方面和優(yōu)點(diǎn) 將變得清楚且更易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的儲(chǔ)料器系統(tǒng)的示意性主視圖；圖2是沿圖1的II-II線的剖視圖；圖3是圖1傳感器單元的透明透視圖；圖4是圖1傳感器單元的示意性仰視圖；圖5是圖3從頂部觀察時(shí)的透明平面視圖；圖6和圖7分別是圖3的左視圖和右視圖；圖8和圖9是設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的其它實(shí)施例的儲(chǔ)料器系統(tǒng)中的傳感器單元的仰 視圖；圖10是顯示根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的管理儲(chǔ)料器的方法的流程圖；和圖11是顯示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的管理儲(chǔ)料器的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式下面將詳細(xì)介紹本發(fā)明的具體實(shí)施例，具體實(shí)施例的示例顯示在相應(yīng)的附圖中， 其中在全文中同樣的附圖標(biāo)記指代相同的部件。為了解釋本發(fā)明，下面將參考附圖描述實(shí) 施例。圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的儲(chǔ)料器系統(tǒng)的示意性主視圖，圖2是沿圖1的 線II-II截取的剖視圖。參見圖1和圖2，儲(chǔ)料器系統(tǒng)包括儲(chǔ)料器100、機(jī)架主導(dǎo)裝置200、 傳感器單元300和控制單元400。盡管沒有要求，但控制單元400可以是一個(gè)或多個(gè)芯片或 集成電路上的一個(gè)或多個(gè)處理器或處理單元，或者可以是獨(dú)立設(shè)置的包括一個(gè)或多個(gè)處理 單元的計(jì)算機(jī)。儲(chǔ)料器100包括多個(gè)擱架110，產(chǎn)品(例如掩膜、基板、盒子等)可裝載在擱架上。 機(jī)架主導(dǎo)裝置200包括移動(dòng)部分205、主體部分210和臂部分230。移動(dòng)部分205將機(jī)架主 導(dǎo)裝置200移動(dòng)到儲(chǔ)料器100的期望位置。例如，移動(dòng)部分205可包括具有軌道形狀的結(jié) 構(gòu)。主體部分210連接到移動(dòng)部分205。臂部分230連接到主體部分210，且可垂直和水平 移動(dòng)，以將產(chǎn)品裝載到儲(chǔ)料器100的期望的擱架110上。臂部分230被可拆除地連接到主
8體部分210，但是本發(fā)明的各方面并不限于此。臂部分230包括臂基部231和機(jī)械臂232。 臂基部231被連接到主體部分230作為臂部分230的基部。機(jī)械臂232提升產(chǎn)品以將產(chǎn)品 裝載到擱架110上。傳感器單元300布置在臂部分230上。特別地，傳感器單元300布置在機(jī)械臂232 上。傳感器單元300包括多個(gè)位移傳感器350，該多個(gè)位移傳感器350布置在傳感器單元 300的端面301上。傳感器單元300的端面301是當(dāng)傳感器單元300布置在機(jī)械臂232上 時(shí)不與機(jī)械臂232接觸的外露表面，且為當(dāng)機(jī)械臂232移動(dòng)朝向擱架110的上側(cè)時(shí)面向較 低擱架110的表面。如圖2所示，位移傳感器350布置在當(dāng)機(jī)械臂232移動(dòng)朝向擱架110的上側(cè)時(shí)傳 感器單元300與擱架110重疊的區(qū)域中。因此，位移傳感器350可在多個(gè)位置測(cè)量傳感器 單元300和擱架110之間的相對(duì)位置。也就是說，可以在多個(gè)位置測(cè)量傳感器單元300和 擱架110之間的垂直距離，如后面將要詳細(xì)描述的那樣。在所示的實(shí)施例中，臂部分230分為機(jī)械臂232和臂基部231。但是，本發(fā)明的各方 面并不僅限于此。例如，臂基部231和機(jī)械臂232可被整體形成為一體而形成臂部分230。 在臂基部231和機(jī)械臂232被整體形成為一體以形成臂部分230的情況下，傳感器單元300 布置在臂部分230的表面上?？刂茊卧?00包括中央處理單元(CPU)，并與傳感器單元300無線通信，以處理數(shù) 據(jù)或控制機(jī)架主導(dǎo)裝置200的移動(dòng)從而裝載產(chǎn)品。盡管所描述的為無線連接，也可以理解， 控制單元400可以采用有線連接進(jìn)行通信，且可以與儲(chǔ)料器100和/或機(jī)架主導(dǎo)裝置200 整體式形成。參見圖2，儲(chǔ)料器100包括多個(gè)擱架110。每個(gè)擱架110包括彼此水平地分隔開的 第一支架111和第二支架112。傳感器單元300的位移傳感器350分別布置在與第一支架 111和第二支架112相對(duì)應(yīng)的位置。圖3是圖1的傳感器單元300的透明透視圖。為了便于描述，示出一個(gè)擱架110、 臂基部231、機(jī)械臂232及傳感器單元300。參見圖3，擱架包括第一支架111和第二支架 112。傳感器單元300包括位移傳感器350，該位移傳感器350分別包括第一傳感器351和 第二傳感器352。第一傳感器351布置在處于與第一支架111對(duì)應(yīng)的位置上的傳感器單元300的端 面301的區(qū)域上。第二傳感器352布置在處于與第二支架112對(duì)應(yīng)的位置上的端面301的 區(qū)域。此外，第一傳感器351包括沿臂基部231的長(zhǎng)度方向布置的第一傳感器351A到351E。 類似地，第二傳感器352包括沿臂基部231長(zhǎng)度方向布置的第二傳感器352A到352E。但 是，可以理解的是，本發(fā)明的各方面不限于五個(gè)第一傳感器351A到351E和五個(gè)第二傳感器 352A到352E。例如，根據(jù)本發(fā)明的其它方面，第一傳感器351可包括兩個(gè)第一傳感器，以及 第二傳感器352可包括兩個(gè)第二傳感器。圖4是圖1的傳感器單元300的示意性仰視圖。也就是說，圖4是從機(jī)械臂232方 向觀察圖3中所示的傳感器單元300時(shí)的仰視圖。參見圖4，傳感器單元300具有四邊環(huán)形 形狀，但是可以理解的是本發(fā)明的各方面并不僅限于此，傳感器單元300可以是任何形狀， 在其中可設(shè)置多個(gè)傳感器以在多個(gè)位置測(cè)量傳感器單元和擱架110之間的距離。第一傳感 器351和第二傳感器352布置在傳感器單元300的端面301上(也就是面向擱架110的表面)°圖5是圖3的從頂部觀察時(shí)的透明平面視圖。參見圖5，第一傳感器351A和第二 傳感器352A在機(jī)械臂232移動(dòng)到擱架110的上方的狀態(tài)下，相對(duì)于第一支架111和第二支 架112軸對(duì)稱布置。類似地，第一傳感器351B和第二傳感器352B、第一傳感器351C和第 二傳感器352C、第一傳感器351D和第二傳感器352D、以及第一傳感器351E和第二傳感器 352E各自相對(duì)于第一支架111和第二支架112軸對(duì)稱布置。但是，可以理解的是本發(fā)明的 各方面并不僅限于此。例如，根據(jù)其它方面，各個(gè)傳感器351和352可以以交錯(cuò)方式不對(duì)稱 布置。布置在傳感器單元300上的每個(gè)位移傳感器350測(cè)量擱架110相對(duì)于其它位移傳 感器350的位置，以便測(cè)量或檢測(cè)擱架110的傾斜度。特別地，傳感器單元300包括多個(gè)位 移傳感器350，從而在多個(gè)位置測(cè)量擱架110的位移，以便測(cè)量擱架110的平面度(即，水平 度)。此外，位移傳感器350中的至少兩個(gè)傳感器351和352可布置在關(guān)于擱架110區(qū)域彼 此對(duì)應(yīng)的位置，以進(jìn)一步精確測(cè)量擱架110的平面度。圖6和圖7分別是圖3的左視圖和右視圖。圖6和圖7示意性地顯示了布置在傳 感器單元300上的位移傳感器350檢測(cè)擱架110的過程。圖6是圖3的右視圖和從第二支 架112處觀察時(shí)的側(cè)視圖。參見圖6，第二傳感器352A到352E的每一個(gè)測(cè)量傳感器單元 300和第二支架112之間的距離。特別地，在機(jī)械臂232移動(dòng)到第二支架112上側(cè)的情形 下，第二傳感器352A到352E的每一個(gè)測(cè)量傳感器單元300和第二支架112之間的距離。第二傳感器352A到352E的每一個(gè)可包括激光位移傳感器(未示出)。將第二傳 感器352A作為示例，當(dāng)?shù)诙鞲衅?52A包括激光位移傳感器時(shí)，第二傳感器352A還可包 括激光照射部分(未示出)和光接收部分(未示出)。在這種情形下，第二傳感器352A測(cè) 量從激光照射部分照射的激光經(jīng)第二支架112的表面反射并入射到光接收部分的距離M。 類似地，第二傳感器352B、第二傳感器352C、第二傳感器352D和第二傳感器352E分別測(cè)量 從激光照射部分照射的激光經(jīng)擱架110的第二支架112的表面反射并入射到光接收部分的 激光的距離膽、C2> D2和型。圖7是圖3的左視圖和從第一支架111的方向觀察時(shí)的側(cè)視圖。參見圖7，第一傳 感器351A到351E的每一個(gè)測(cè)量傳感器單元300和第一支架111之間的距離。特別地，在 機(jī)械臂232移動(dòng)到第一支架111的上側(cè)的情形下，第一傳感器351A到351E的每一個(gè)測(cè)量 傳感器單元300和第一支架111之間的距離。第一傳感器351A到351E的每一個(gè)可包括激光位移傳感器(未示出)。將第一傳 感器351A作為示例，當(dāng)?shù)谝粋鞲衅?51A包括激光位移傳感器時(shí)，第一傳感器351A還可包 括激光照射部分(未示出)和光接收部分(未示出)。在這種情形下，第一傳感器351A測(cè) 量從激光照射部分照射的激光經(jīng)第一支架111的表面反射并入射到光接收部分的距離紅。 類似地，第一傳感器351B、第一傳感器351C、第一傳感器351D和第一傳感器351E分別測(cè)量 從激光照射部分照射的激光經(jīng)擱架110的第一支架111的表面反射并入射到光接收部分的 距離肚、￡i、ai和11。擱架110的傾斜度可利用測(cè)量的距離41、豇、￡1、￡1、豇、粒、型、堅(jiān)、膽和型來確
定。特別地，通過在傳感器單元300中提供的無線通信單元(未示出)將測(cè)量的距離紅、 CI, Dl, El, A2> B2>位、迎和型的數(shù)據(jù)傳送到控制單元400。無線通信單元可適用控制
10單元400與傳感器單元300之間的任意無線通信協(xié)議。例如，無線通信單元可包括紅外通 信單元、藍(lán)牙通信單元、802. lla/b/g/n通信單元等等。此外，可以理解的是，本發(fā)明的各方 面不限于無線通信，傳感器單元300可通過有線連接或者有線和無線連接的結(jié)合方式將數(shù) 據(jù)傳送到控制單元400。控制單元400利用傳送的距離數(shù)據(jù)測(cè)量擱架110的平面度(也就是水平度)。也 就是說，用傳感器單元300的位移傳感器350測(cè)量的距離對(duì)應(yīng)于傳感器單元300和擱架110 之間的距離。因此，傳感器單元300和擱架110之間的相對(duì)位置可確定。相應(yīng)地，當(dāng)在多個(gè) 位置測(cè)量的傳感器單元300和擱架100之間的距離彼此相等時(shí)，控制單元400和/或使用 者確定擱架110不是傾斜或彎曲的，而是平的(也就是說，處于正常狀態(tài))。特別地，當(dāng)距離 Ai、ai、￡i、ni和￡1彼此相等時(shí)，擱架110的第一支架111不是傾斜的，而是平的。同樣，當(dāng) 距離巡、型、位、膽和型彼此相等時(shí)，擱架110的第二支架112不是傾斜的，而是平的。此外，通過比較距離A1和M，可以確定第一支架111和第二支架112不是傾斜的， 而是彼此平行的。類似地，通過分別比較距離M、Q、m和￡1以及墜、堅(jiān)、膽和型，可以確 定第一支架111和第二支架112的布置狀態(tài)。因此，當(dāng)距離M、M、Q、ni、￡i、巡、墜、堅(jiān)、 膽和型彼此相等時(shí)，擱架110是平的。圖8和圖9分別是設(shè)置在根據(jù)本發(fā)明的其它實(shí)施例的儲(chǔ)料器系統(tǒng)中的傳感器單元 600和700的仰視圖。參見圖8，傳感器單元600為四邊形板形。位移傳感器650布置在與 擱架110對(duì)應(yīng)的位置。參見圖9，傳感器單元700為U形。但是，可以理解的是本發(fā)明的各 方面不限于此。也就是說，當(dāng)傳感器單元600布置在臂部分上時(shí)，傳感器單元300、600、700 可被形成為各種形狀，且位移傳感器350、650、750布置在與擱架110對(duì)應(yīng)的傳感器單元600 的表面上。圖10是顯示根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例管理儲(chǔ)料器的方法的流程圖。參見圖10，在步 驟S11中，將傳感器單元300、600、700布置在臂部分230上。在步驟S12中，其上布置有傳 感器單元300、600、700的臂部分230被移動(dòng)到擱架110的上側(cè)。在步驟S13中，使用多個(gè) 不與臂部分接觸但布置在面對(duì)擱架110的傳感器單元300、600、700的區(qū)域中的位移傳感器 350、650、750測(cè)量傳感器單元300、600、700與擱架110之間的相對(duì)位置。在步驟S14中，利 用通過位移傳感器350、650、750測(cè)量的傳感器單元300、600、700與擱架110之間的相對(duì)位 置(步驟S13)來測(cè)量擱架110的平面度。具體地，在步驟S11中，當(dāng)傳感器單元300、600、700被布置在臂部分230上時(shí)，布 置在傳感器單元300、600、700上的位移傳感器350、650、750被布置在臂部分230的側(cè)部表 面上。因此，位移傳感器350、650、750不接觸臂部分230。同樣，在步驟S12中，臂部分230 被移動(dòng)到擱架110的上側(cè)。臂部分230和擱架110之間的高度能夠得到充分調(diào)節(jié)，使得布 置在臂部分230上的傳感器單元300、600、700不接觸擱架110。也就是說，調(diào)節(jié)了臂部分 230的預(yù)定距離(即移動(dòng)范圍)，使得傳感器單元300、600、700的位移傳感器350、650、750 對(duì)應(yīng)于擱架110。在步驟S13中，利用位移傳感器350、650、750測(cè)量傳感器單元300、600、700與擱 架110之間的距離。為了精確測(cè)量傳感器單元300、600、700與擱架110之間的距離，在傳感 器單元300、600、700被移動(dòng)到擱架110的上側(cè)之后，傳感器單元300、600、700不移動(dòng)。因 此，利用位移傳感器350、650、750測(cè)量的數(shù)據(jù)測(cè)量擱架110的平面度。當(dāng)位移傳感器350、650、750測(cè)量的數(shù)據(jù)相等或者之差小于預(yù)定值時(shí)，擱架110的平面度處于正常狀態(tài)。但是， 當(dāng)位移傳感器350、650、750測(cè)量的數(shù)據(jù)彼此不相等且具有不同的值時(shí)，擱架110的平面度 處于異常狀態(tài)。在這種情況下，可對(duì)擱架110進(jìn)行校正或者更換。圖11是顯示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的管理儲(chǔ)料器的方法的流程圖。參見圖11，在 步驟S21中，傳感器單元300、600、700被布置在臂部分230上。在步驟S23中，其上布置有 傳感器單元300、600、700的臂部分被移動(dòng)到擱架110的上側(cè)。在步驟S24中，使用多個(gè)不 接觸臂部分230但是布置在傳感器單元300、600、700的面向擱架110的區(qū)域中的位移傳感 器350、650、750測(cè)量傳感器單元300、600、700與擱架110之間的相對(duì)位置。利用通過位移 傳感器350、650、750測(cè)量的傳感器單元300、600、700與擱架110之間的相對(duì)位置測(cè)量擱架 110的平面度(步驟S25)。此外，在步驟S22中，控制單元400檢測(cè)是否已經(jīng)測(cè)量了儲(chǔ)料器100的所有擱架 110。如果儲(chǔ)料器100中還有擱架110沒有測(cè)量，則按順序并重復(fù)執(zhí)行步驟S23、S24和S25 以測(cè)量擱架的平面度，直到所有擱架測(cè)量完畢。序列步驟S23、S24和S25由包括CPU的控 制單元400執(zhí)行。如果測(cè)量了儲(chǔ)料器100的所有擱架110的平面度，在步驟S26中傳感器單 元300、600、700與臂部分230分離，從而完成上述方法。因此，儲(chǔ)料器100的所有擱架110 的平面度可被順序地測(cè)量。雖然本發(fā)明的各方面被描述為在擱架上方測(cè)量傳感器單元300、600、700和擱架 110之間的相對(duì)位置，但是可以理解的是本發(fā)明并不限于此。例如，根據(jù)其它方面，傳感器單 元300、600、700可被定位在擱架110的下方以確定擱架110的平面度。并且，在針對(duì)測(cè)量 擱架110的平面度描述時(shí)，各方面可用于確定任何預(yù)先確定的形狀和/或確保擱架或表面 具有必要的斜面。根據(jù)本發(fā)明的各方面，儲(chǔ)料器100的擱架110能夠被容易地檢查，而且儲(chǔ)料器100 的擱架110的平面度能夠被容易地檢查。本發(fā)明的各方面還能夠被實(shí)施為在計(jì)算機(jī)可讀記載介質(zhì)上的計(jì)算機(jī)可讀碼，但本 發(fā)明不嚴(yán)格局限于此。計(jì)算機(jī)可讀記載介質(zhì)可以是能夠存儲(chǔ)隨后可由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)讀取的數(shù) 據(jù)的任何數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備。計(jì)算機(jī)可讀記載介質(zhì)的例子包括只讀存儲(chǔ)器(ROM)、隨機(jī)存取存儲(chǔ) 器(RAM)，⑶-ROM、磁帶、軟盤和光學(xué)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備。計(jì)算機(jī)可讀記載介質(zhì)還可分布在聯(lián)網(wǎng) 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中，使計(jì)算機(jī)可讀碼能夠以分布式被存儲(chǔ)和執(zhí)行。本發(fā)明的各方面也可以被實(shí) 現(xiàn)為嵌入在載波中且包括計(jì)算機(jī)可讀程序并在整個(gè)互聯(lián)網(wǎng)上可傳送的數(shù)據(jù)信號(hào)。雖然已經(jīng)展示并描述了本發(fā)明的數(shù)個(gè)實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的 是，在不背離由所附權(quán)利要求及其等同物所限定的本發(fā)明的原理和精神的情況下，可以對(duì) 實(shí)施例進(jìn)行改變。
1權(quán)利要求
一種儲(chǔ)料器系統(tǒng)，包括儲(chǔ)料器，該儲(chǔ)料器包括擱架，產(chǎn)品被裝載在所述擱架上；機(jī)架主導(dǎo)裝置，該機(jī)架主導(dǎo)裝置朝向或遠(yuǎn)離所述儲(chǔ)料器移動(dòng)，且包括主體部分和連接到所述主體部分以搬運(yùn)所述產(chǎn)品的臂部分；和傳感器單元，該傳感器單元布置在所述臂部分上，且包括不與所述臂部分接觸的端面，其中，當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)所述端面面向所述擱架，所述傳感器單元進(jìn)一步包括分別布置在所述端面的多個(gè)位置上的位移傳感器，以便當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)在所述多個(gè)位置測(cè)量所述傳感器單元與所述擱架之間的相對(duì)位置。
2.如權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方 時(shí)，所述端面的所述多個(gè)位置與所述擱架重疊。
3.如權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中所述位移傳感器包括至少兩個(gè)位移傳感器， 所述至少兩個(gè)位移傳感器布置在當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)關(guān)于所述擱 架的中間區(qū)域?qū)ΨQ的位置。
4.如權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中所述擱架包括彼此水平分隔開的第一支架和第二支架；和當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)，所述端面的所述多個(gè)位置與所述第一支 架和所述第二支架對(duì)應(yīng)。
5.如權(quán)利要求4所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中所述位移傳感器包括布置在對(duì)應(yīng)于所述第一 支架的位置處的多個(gè)第一位移傳感器和布置在對(duì)應(yīng)于所述第二支架的位置處的多個(gè)第二 位移傳感器。
6.如權(quán)利要求5所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中所述第一位移傳感器包括至少兩個(gè)第一位移傳感器，該至少兩個(gè)第一位移傳感器布置 在當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)關(guān)于所述第一支架的中間區(qū)域?qū)ΨQ的位置 處；以及所述第二位移傳感器包括至少兩個(gè)第二位移傳感器，該至少兩個(gè)第二位移傳感器布置 在當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)關(guān)于所述第二支架的中間區(qū)域?qū)ΨQ的位置 處。
7.如權(quán)利要求6所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，進(jìn)一步包括控制單元，該控制單元利用測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第一位移傳感器和所述第一支架之 間的相對(duì)位置來確定所述第一支架是否水平，以及利用測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第二位移傳 感器和所述第二支架之間的相對(duì)位置來確定所述第二支架是否水平，其中，所述傳感器單元包括無線通信單元，以將測(cè)量到的所述相對(duì)位置傳送到所述控 制單元。
8.如權(quán)利要求7所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中當(dāng)測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第一位移傳感器與 所述第一支架之間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述控制單元確定所述第一支架是水平的，當(dāng) 測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第二位移傳感器與所述第二支架之間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述 控制單元確定所述第二支架是水平的。
9.如權(quán)利要求7所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中當(dāng)測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第一位移傳感器與所述第一支架之間的所述相對(duì)位置與測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第二位移傳感器與所述第二 支架之間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述控制單元確定所述擱架是水平的。
10.如權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中所述傳感器單元的所述端面被布置為圍繞 所述臂部分的側(cè)部表面。
11.如權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，進(jìn)一步包括控制單元，該控制單元利用測(cè)量到的所述傳感器單元與所述擱架之間的相對(duì)位置確定 所述擱架是否水平，其中所述傳感器單元包括無線通信單元，以將測(cè)量到的所述相對(duì)位置傳送到所述控制單元。
12.如權(quán)利要求11所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中當(dāng)測(cè)量到的所述傳感器單元與所述擱架之 間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述控制單元確定所述擱架是水平的。
13.如權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中所述傳感器單元為四邊形形狀或者U形形狀。
14.如權(quán)利要求1所述的儲(chǔ)料器系統(tǒng)，其中為了測(cè)量所述傳感器單元和所述擱架之間 的所述相對(duì)位置，所述位移傳感器中的每一個(gè)包括激光照射部分和光接收部分，所述激光 照射部分向所述擱架照射激光，所述光接收部分接收由所述擱架表面反射的激光。
15.一種用于管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，所述儲(chǔ)料器系統(tǒng)包括具有擱架的儲(chǔ)料器、機(jī)架主 導(dǎo)裝置和傳感器單元，所述儲(chǔ)料器具有裝載產(chǎn)品有的擱架，所述機(jī)架主導(dǎo)裝置朝向或遠(yuǎn)離 所述儲(chǔ)料器移動(dòng)且包括主體部分和連接到所述主體部分以運(yùn)輸所述產(chǎn)品的臂部分，所述傳 感器單元布置在所述臂部分上且包括不與所述臂部分接觸的端面，所述方法包括將其上布置有所述傳感器單元的所述臂部分移動(dòng)到所述擱架的上方或下方，使得所述 端面面向所述擱架；利用位移傳感器在所述端面的多個(gè)位置測(cè)量所述傳感器單元和所述擱架之間的相對(duì) 位置，以及使用測(cè)量到的所述傳感器單元和所述擱架之間的所述相對(duì)位置確定所述擱架的平面度，其中所述位移傳感器分別布置在所述端面的所述多個(gè)位置上。
16.如權(quán)利要求15所述的用于管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，進(jìn)一步包括將所述傳感器單元 布置在所述臂部分上。
17.如權(quán)利要求15所述的用于管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，其中當(dāng)所述臂部分位于所述擱 架的上方或下方時(shí)，所述端面的所述多個(gè)位置與所述擱架重疊。
18.如權(quán)利要求15所述的用于管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，其中所述位移傳感器包括至少 兩個(gè)位移傳感器，所述至少兩個(gè)位移傳感器布置在當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下 方時(shí)關(guān)于所述擱架的中間區(qū)域?qū)ΨQ的位置處。
19.如權(quán)利要求15所述的用于管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，其中 所述擱架包括彼此水平分隔開的第一支架和第二支架；和當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)，所述端面的所述多個(gè)位置與所述第一支 架和所述第二支架對(duì)應(yīng)。
20.如權(quán)利要求19所述的用于管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，其中所述位移傳感器包括布置在對(duì)應(yīng)于所述第一支架的位置處的多個(gè)第一位移傳感器和布置在對(duì)應(yīng)于所述第二支架的 位置處的多個(gè)第二位移傳感器。
21.如權(quán)利要求15所述的用于管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，其中所述傳感器單元的所述端 面被布置為圍繞所述臂部分的側(cè)部表面。
22.如權(quán)利要求15所述的用于管理儲(chǔ)料器系統(tǒng)的方法，進(jìn)一步包括通過順序地執(zhí)行以下步驟確定所述儲(chǔ)料器的多個(gè)擱架中的每一個(gè)的平面度將所述臂 部分移動(dòng)到對(duì)應(yīng)的所述擱架的上方或下方；測(cè)量所述傳感器單元與對(duì)應(yīng)的所述擱架之間的 相對(duì)位置；以及測(cè)量所述多個(gè)擱架中的每一個(gè)的擱架的平面度。
23.一種機(jī)架系統(tǒng)，該機(jī)架系統(tǒng)朝向或遠(yuǎn)離儲(chǔ)料器的擱架移動(dòng)，所述機(jī)架系統(tǒng)包括機(jī)架主導(dǎo)裝置，該機(jī)架主導(dǎo)裝置朝向或遠(yuǎn)離所述儲(chǔ)料器移動(dòng)，且包括主體部分和連接 到所述主體部分以在所述擱架上方或下方延伸的臂部分；和傳感器單元，該傳感器單元布置在所述臂部分上，且包括不與所述臂部分接觸的端面， 其中當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)，所述端面面向所述擱架，且所述傳 感器單元進(jìn)一步包括分別布置在所述端面的多個(gè)位置上的位移傳感器，以便當(dāng)所述臂部分 位于所述擱架的上方或下方時(shí)在所述多個(gè)位置測(cè)量所述傳感器單元與所述擱架之間的相 對(duì)位置。
24.如權(quán)利要求23所述的機(jī)架系統(tǒng)，其中當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方 時(shí)，所述端面的所述多個(gè)位置對(duì)應(yīng)于彼此水平地分隔開的所述擱架的第一支架和第二支架。
25.如權(quán)利要求24所述的機(jī)架系統(tǒng)，其中所述位移傳感器包括布置在對(duì)應(yīng)于所述第一 支架的位置處的多個(gè)第一位移傳感器和布置在對(duì)應(yīng)于所述第二支架的位置處的多個(gè)第二 位移傳感器。
26.如權(quán)利要求25所述的機(jī)架系統(tǒng)，其中所述第一位移傳感器包括至少兩個(gè)第一位移傳感器，所述至少兩個(gè)第一位移傳感器布 置在當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)關(guān)于所述第一支架的中間區(qū)域?qū)ΨQ的位 置處；以及所述第二位移傳感器包括至少兩個(gè)第二位移傳感器，所述至少兩個(gè)第二位移傳感器布 置在當(dāng)所述臂部分位于所述擱架的上方或下方時(shí)關(guān)于所述第二支架的中間區(qū)域?qū)ΨQ的位置處。
27.如權(quán)利要求26所述的機(jī)架系統(tǒng)，進(jìn)一步包括控制單元，該控制單元利用測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第一位移傳感器和所述第一支架之 間的相對(duì)位置來確定所述第一支架是否水平，以及利用測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第二位移傳 感器和所述第二支架之間的相對(duì)位置來確定所述第二支架是否水平。
28.如權(quán)利要求27所述的機(jī)架系統(tǒng)，其中當(dāng)測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第一位移傳感器與 所述第一支架之間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述控制單元確定所述第一支架是水平的，當(dāng) 測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第二位移傳感器與所述第二支架之間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述 控制單元確定所述第二支架是水平的。
29.如權(quán)利要求27所述的機(jī)架系統(tǒng)，其中當(dāng)測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第一位移傳感器與 所述第一支架之間的所述相對(duì)位置和測(cè)量到的所述至少兩個(gè)第二位移傳感器與所述第二支架之間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述控制單元確定所述擱架是水平的。
30.如權(quán)利要求23所述的機(jī)架系統(tǒng)，進(jìn)一步包括控制單元，該控制單元利用測(cè)量到的 所述傳感器單元與所述擱架之間的所述相對(duì)位置來確定所述擱架是否水平。
31.如權(quán)利要求30所述的機(jī)架系統(tǒng)，其中當(dāng)測(cè)量到的所述傳感器單元與所述擱架之間 的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述控制單元確定所述擱架是水平的。
32.—種傳感器單元，該傳感器單元連接到布置在儲(chǔ)料器的擱架的上方或下方的設(shè)備， 所述傳感器單元包括端面，該端面面向所述擱架；以及位移傳感器，該位移傳感器分別布置在所述端面的多個(gè)位置，以便在所述多個(gè)位置測(cè) 量所述傳感器單元和所述擱架之間的相對(duì)位置。
33.如權(quán)利要求32所述的傳感器單元，其中所述傳感器單元被可拆卸地連接到所述設(shè)備。
34.如權(quán)利要求32所述的傳感器單元，進(jìn)一步包括控制單元，該控制單元利用測(cè)量所 述傳感器單元和所述擱架之間的所述相對(duì)位置來確定所述擱架是否水平。
35.如權(quán)利要求34所述的傳感器單元，其中當(dāng)測(cè)量到的所述傳感器單元和所述擱架之 間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述控制單元確定所述擱架是水平的。
36.一種用于確定儲(chǔ)料器的擱架是否水平的裝置，所述裝置包括接收單元，該接收單元接收所述擱架和位于所述擱架的上方或下方的多個(gè)位置處的位 移傳感器之間的相對(duì)位置的測(cè)量值；和控制單元，該控制單元利用接收到的所述位移傳感器和所述擱架之間的所述相對(duì)位置 的所述測(cè)量值確定所述擱架是否水平。
37.如權(quán)利要求36所述的用于確定儲(chǔ)料器的擱架是否水平的裝置，其中當(dāng)測(cè)量到的所 述位移傳感器與所述擱架之間的所述相對(duì)位置相等時(shí)，所述控制單元確定所述擱架是水平 的。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種儲(chǔ)料器系統(tǒng)及管理儲(chǔ)料器的方法，該儲(chǔ)料器系統(tǒng)包括儲(chǔ)料器、機(jī)架主導(dǎo)裝置和易于檢查儲(chǔ)料器擱架的傳感器。儲(chǔ)料器包括擱架，產(chǎn)品裝載在該擱架上。機(jī)架主導(dǎo)裝置包括主體部分和連接到所述主體部分的臂部分，其用以將產(chǎn)品移向儲(chǔ)料器或從儲(chǔ)料器移走。當(dāng)臂部分移動(dòng)到擱架上方或下方且該傳感器單元布置在臂部分上時(shí)，傳感器單元朝向擱架。傳感器單元包括不與臂部分接觸的端面。在傳感器單元的端面上布置多個(gè)位移傳感器以在多個(gè)位置測(cè)量傳感器單元與擱架之間的相對(duì)位置。
文檔編號(hào)G01C9/00GK101870399SQ20101011635
公開日2010年10月27日 申請(qǐng)日期2010年2月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月21日
發(fā)明者鄭基菜 申請(qǐng)人:三星移動(dòng)顯示器株式會(huì)社