專利名稱：透明材料的厚度檢測(cè)方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明實(shí)施例涉及測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種透明材料的厚度檢測(cè)方法和裝置。
背景技術(shù)：
玻璃容器的壁厚是直接影響容器質(zhì)量的重要特征參數(shù)，在玻璃容器的生產(chǎn)過(guò)程
中，對(duì)玻璃容器的壁厚進(jìn)行準(zhǔn)確、快速的測(cè)量，是提高玻璃容器質(zhì)量的前提條件。 現(xiàn)有技術(shù)中可以使用接觸式測(cè)量技術(shù)對(duì)玻璃容器的壁厚進(jìn)行測(cè)量，并且在石英管
壁厚的測(cè)量方法，采用激光掃描技術(shù)研制開發(fā)了小測(cè)量范圍的壁厚測(cè)量系統(tǒng)，且上述的玻
璃容器壁厚測(cè)量設(shè)備大多只能以抽檢的方式對(duì)石英管壁厚進(jìn)行測(cè)量。 在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明過(guò)程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問(wèn)題現(xiàn)有技術(shù)中的無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的玻璃容器等透明材料的壁厚進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的在線測(cè)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供一種透明材料的厚度檢測(cè)方法和裝置，用以實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的透明材料的壁厚進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的在線測(cè)量。 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種透明材料的厚度檢測(cè)裝置，包括光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、光學(xué)分析系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，其中 光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)包括寬帶光源、輸入光纖、光纖耦合器、接收光纖以及包括至少一個(gè)
透鏡的光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)，所述寬帶光源發(fā)出的光經(jīng)輸入光纖、光纖耦合器傳輸?shù)焦鈱W(xué)發(fā)射系
統(tǒng)，被測(cè)透明材料反射的光經(jīng)光纖耦合器、接收光纖傳輸?shù)剿龉鈱W(xué)分析系統(tǒng)； 所述光學(xué)分析系統(tǒng)用于對(duì)接收到的被測(cè)透明材料的反射光進(jìn)行分析以獲取反射
峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值； 所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用于根據(jù)所述光學(xué)分析系統(tǒng)獲取的反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取被測(cè)透明材料的厚度。 本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種透明材料的厚度檢測(cè)方法，包括 寬帶光源發(fā)出的光經(jīng)輸入光纖、光纖耦合器傳輸?shù)焦鈱W(xué)發(fā)射系統(tǒng)，并由所述光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)輸出到被測(cè)量透明材料； 接收所述被測(cè)量透明材料的反射光，并由光纖耦合器、接收光纖傳輸?shù)焦鈱W(xué)分析系統(tǒng)； 光學(xué)分析系統(tǒng)對(duì)接收到的被測(cè)透明材料的反射光進(jìn)行分析以獲取反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值； 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)所述光學(xué)分析系統(tǒng)獲取的反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取被測(cè)透明材料的厚度。 本發(fā)明上述實(shí)施例提供的透明材料的厚度檢測(cè)方法和裝置，使用寬帶光源作為輸出光，通過(guò)檢測(cè)反射光中兩個(gè)反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)，并由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)上述獲取的反射
3峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取被測(cè)透明材料的厚度，能夠?qū)崿F(xiàn)準(zhǔn)確、快速的對(duì)透明材料的厚度進(jìn)行 在線測(cè)量。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā) 明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以 根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本發(fā)明透明材料的厚度檢測(cè)裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為圖1所示實(shí)施例中厚度檢測(cè)裝置的裝置示意圖；
圖3為本發(fā)明具體實(shí)施例中光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)的原理示意圖一 ；
圖4為本發(fā)明具體實(shí)施例中光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)的原理示意圖二 ；
圖5為本發(fā)明透明材料的厚度檢測(cè)方法實(shí)施例的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式
為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例
中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是
本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員
在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)透明材料的厚度進(jìn)行迅速、準(zhǔn)確的在線測(cè)量的缺點(diǎn)，
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種透明材料的厚度檢測(cè)裝置，圖1為本發(fā)明透明材料的厚度檢測(cè)裝
置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，該裝置包括光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)11、光學(xué)分析系統(tǒng)12和數(shù)據(jù)
處理系統(tǒng)13，其中光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)11主要用于輸出寬帶光源，并采集被測(cè)量的透明材料返回
的反射光，光學(xué)分析系統(tǒng)12是一個(gè)進(jìn)行光譜分析的分光系統(tǒng)，能夠檢測(cè)出反射光中能量最
前的波長(zhǎng)值，數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)13基于上述獲取的波長(zhǎng)值進(jìn)行計(jì)算以獲取被測(cè)透明材料的厚度。 具體的如圖2所示，上述的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)包括寬帶光源21、輸入光纖22、光纖耦合 器23、接收光纖24以及包括至少一個(gè)透鏡的光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)25，其中寬帶光源21發(fā)出的光 經(jīng)輸入光纖22、光纖耦合器23傳輸?shù)焦鈱W(xué)發(fā)射系統(tǒng)25，被測(cè)透明材料反射的光經(jīng)光纖耦合 器23、接收光纖24傳輸?shù)剿龉鈱W(xué)分析系統(tǒng)12 ;光學(xué)分析系統(tǒng)12用于對(duì)接收到的被測(cè)透 明材料的反射光進(jìn)行分析以獲取反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值；數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用于根據(jù)所述光學(xué)分 析系統(tǒng)獲取的反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取被測(cè)透明材料的厚度。 本發(fā)明上述實(shí)施例中寬帶光源發(fā)出的光由光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)發(fā)射后會(huì)形成一系列連 續(xù)的焦距，在被測(cè)量透明材料的上、下表面反射后，反射光中會(huì)形成兩個(gè)對(duì)應(yīng)的反射峰，通 過(guò)光學(xué)分析系統(tǒng)獲取上述兩個(gè)反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值，再由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)數(shù)學(xué)模型進(jìn)行 計(jì)算即可獲得被測(cè)量透明材料的厚度。并且上述的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)可以具體為一計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù) 處理系統(tǒng)，能夠提供快速的數(shù)據(jù)處理，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的玻璃容器的壁厚進(jìn)行快速、 準(zhǔn)確的在線測(cè)量。 上述的厚度檢測(cè)裝置的測(cè)量原理是利用透鏡的色差，即透鏡的焦距與光譜波長(zhǎng)有關(guān)，對(duì)于不同波長(zhǎng)的光同一透鏡具有不同的焦距，例如上述的光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)為一個(gè)共焦光 學(xué)系統(tǒng)，也是一個(gè)色差線性分配系統(tǒng)，其可以為一個(gè)透鏡或者包括多個(gè)透鏡的透鏡組，當(dāng)有 寬帶光源經(jīng)光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)輸出后，上述光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)會(huì)形成一系列連續(xù)的焦距，上述焦距 的范圍即為該厚度測(cè)量裝置的測(cè)量范圍，可通過(guò)調(diào)節(jié)寬帶光源的光譜寬度以及光學(xué)發(fā)射系 統(tǒng)的透鏡參數(shù)調(diào)節(jié)測(cè)量范圍。當(dāng)將一被測(cè)透明材料置于上述測(cè)量范圍內(nèi)時(shí)，其上下表面都 會(huì)對(duì)應(yīng)一波長(zhǎng)的焦距，因此上下表面反射的光會(huì)經(jīng)被反射到光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)中，上述反射光 經(jīng)由光纖耦合器分路到接收光纖中，然后輸出到分光系統(tǒng)進(jìn)行光譜分析，以獲取反射光中 兩個(gè)反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)。上述分光系統(tǒng)在檢測(cè)到前、后反射面的兩個(gè)波長(zhǎng)的峰值后，由線陣 CCD進(jìn)行數(shù)據(jù)采集與處理。 上述實(shí)施例中的光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)是一個(gè)共焦光學(xué)系統(tǒng)，其中對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)為A的單色 波，其后截距L可表示為L(zhǎng) ( A )，系統(tǒng)像面數(shù)值孔徑NA可表示為NA ( A )，當(dāng)寬帶光源的光譜 范圍為[、，Ab]，則該系統(tǒng)的最大測(cè)量范圍AL^可表示為ALMX = L(Ab)-L(、)。進(jìn)一 步的上述實(shí)施例中的寬帶光源可以使用白光光源，以獲得的較大的測(cè)量范圍。
如圖3所示，在本發(fā)明一個(gè)具體實(shí)施例中，被測(cè)材料厚度為l，經(jīng)被測(cè)材料前表 面反射回來(lái)的光譜峰值波長(zhǎng)為、，被測(cè)材料后表面反射回來(lái)的光譜峰值波長(zhǎng)為入2，即有 入丄G [Aa，Ab]，A2G [Aa，Ab]，iAa< A工〈A2< Ab，結(jié)合圖4可知，譜線A 2在被 測(cè)材料表面的入射角i :


i = arcsinNA (入2)
根據(jù)被測(cè)材料對(duì)A 2的折射率n ( A 2)，由折射定律求可得折射角i ':
., .頭A) z = arcsm-^~
由幾何關(guān)系可求得t :
t = s tan i = [L (入2) -L (入》] tan [arcsin NA (入2)] 被測(cè)材料厚度1為
/ = /*ctg =[丄(^2)—丄(不)〗'tan[arcsin iV^lj )]'Cg[arcsin 上述公式即可為上述實(shí)施例中預(yù)先建立的數(shù)學(xué)模型，由上述公式可知，在獲得反 射峰對(duì)應(yīng)的兩個(gè)波長(zhǎng)入p 、后，以及被測(cè)材料對(duì)、波長(zhǎng)的折射率n(A》后，代入上述公 式即可求得被測(cè)材料的厚度。另外在數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)預(yù)先建立的數(shù)學(xué)模型以及獲取的所 述反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值進(jìn)行計(jì)算時(shí)，還可以進(jìn)一步對(duì)上述的計(jì)算結(jié)果進(jìn)行消誤差處理以修 正測(cè)量結(jié)果，具體的是消除溫度漂移和零點(diǎn)漂移引起的誤差。 本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種基于上述各個(gè)實(shí)施例中的厚度檢測(cè)裝置的厚度檢測(cè) 方法，圖5為本發(fā)明透明材料的厚度檢測(cè)方法實(shí)施例的流程示意圖，如圖5所示，該方法包 括 步驟101、寬帶光源發(fā)出的光經(jīng)輸入光纖、光纖耦合器傳輸?shù)焦鈱W(xué)發(fā)射系統(tǒng)后，并 由所述光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)輸出到被測(cè)量透明材料； 步驟102、接收所述被測(cè)量透明材料的反射光，并由光纖耦合器、接收光纖傳輸?shù)?光學(xué)分析系統(tǒng)； 步驟103、光學(xué)分析系統(tǒng)對(duì)接收到的被測(cè)透明材料的反射光進(jìn)行分析以獲取反射
5峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值； 步驟104、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)所述光學(xué)分析系統(tǒng)獲取的反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取 被測(cè)透明材料的厚度。 本發(fā)明上述實(shí)施例中寬帶光源發(fā)出的光由光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)發(fā)射后會(huì)形成一系列連 續(xù)的焦距，在被測(cè)量透明材料的上、下表面反射后，反射光中會(huì)形成兩個(gè)對(duì)應(yīng)的反射峰，通 過(guò)光學(xué)分析系統(tǒng)獲取上述兩個(gè)反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值，再由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行計(jì)算即可獲得 被測(cè)量透明材料的厚度。并且上述的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)可以具體為一計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，能 夠提供快速的數(shù)據(jù)處理，上述的厚度測(cè)量方法能夠?qū)ιa(chǎn)過(guò)程中的玻璃容器的壁厚進(jìn)行快 速、準(zhǔn)確的在線測(cè)量。 上述實(shí)施例中的步驟104可具體為數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)預(yù)先建立的數(shù)學(xué)模型以及 獲取的所述反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值進(jìn)行計(jì)算以獲取所述被測(cè)透明材料的厚度。即在計(jì)算機(jī)數(shù) 據(jù)處理系統(tǒng)中建立被測(cè)透明材料厚度L與反射峰對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)值A(chǔ)工和A 2關(guān)系的數(shù)學(xué)模型
在獲取、和、后，代入計(jì)算即可得出被測(cè)透明材料厚度L。并且在計(jì)算過(guò)程中， 可以進(jìn)一步的由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)對(duì)所述計(jì)算結(jié)果進(jìn)行消誤差處理。 本發(fā)明上述實(shí)施例提供的透明材料的厚度檢測(cè)方法和裝置，其中的寬帶光源(可 以是白光光源)發(fā)出的光由光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)發(fā)射后會(huì)形成一系列連續(xù)的焦距，在被測(cè)量透明 材料的上、下表面反射后，反射光中會(huì)形成兩個(gè)對(duì)應(yīng)的反射峰，通過(guò)光學(xué)分析系統(tǒng)獲取上述 兩個(gè)反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值，再由數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)數(shù)學(xué)模型進(jìn)行計(jì)算即可獲得被測(cè)量透明 材料的厚度。上述的測(cè)量范圍可通過(guò)調(diào)節(jié)寬帶光源的光譜寬度以及光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)的透鏡參 數(shù)獲得，測(cè)量范圍可達(dá)O. 5mm 15mm，測(cè)量精度可以為±0. Olmm。并且上述的數(shù)據(jù)處理系 統(tǒng)可以具體為一計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，能夠提供高達(dá)4000次/秒的數(shù)據(jù)處理速度，能夠?qū)?現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的玻璃容器的壁厚進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的在線測(cè)量。 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解實(shí)現(xiàn)上述方法實(shí)施例的全部或部分步驟可以通過(guò) 程序指令相關(guān)的硬件來(lái)完成，前述的程序可以存儲(chǔ)于一計(jì)算機(jī)可讀取存儲(chǔ)介質(zhì)中，該程序 在執(zhí)行時(shí)，執(zhí)行包括上述方法實(shí)施例的步驟；而前述的存儲(chǔ)介質(zhì)包括ROM、 RAM、磁碟或者 光盤等各種可以存儲(chǔ)程序代碼的介質(zhì)。 最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡 管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解其依然 可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替 換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精 神和范圍。
權(quán)利要求
一種透明材料的厚度檢測(cè)裝置，其特征在于，包括光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、光學(xué)分析系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，其中光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)包括寬帶光源、輸入光纖、光纖耦合器、接收光纖以及包括至少一個(gè)透鏡的光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)，所述寬帶光源發(fā)出的光經(jīng)輸入光纖、光纖耦合器傳輸?shù)焦鈱W(xué)發(fā)射系統(tǒng)，被測(cè)透明材料反射的光經(jīng)光纖耦合器、接收光纖傳輸?shù)剿龉鈱W(xué)分析系統(tǒng)；所述光學(xué)分析系統(tǒng)用于對(duì)接收到的被測(cè)透明材料的反射光進(jìn)行分析以獲取反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值；所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用于根據(jù)所述光學(xué)分析系統(tǒng)獲取的反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取被測(cè)透明材料的厚度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明材料的厚度檢測(cè)裝置，其特征在于，所述寬帶光源為白光光源。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明材料的厚度檢測(cè)裝置，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)具體用于根據(jù)建立的數(shù)學(xué)模型以及獲取的所述反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值進(jìn)行計(jì)算以獲取所述被測(cè)透明材料的厚度。
4. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的透明材料的厚度檢測(cè)裝置，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)還用于在根據(jù)預(yù)先建立的數(shù)學(xué)模型以及獲取的所述反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值進(jìn)行計(jì)算時(shí)，對(duì)所述計(jì)算結(jié)果進(jìn)行消誤差處理。
5. —種透明材料的厚度檢測(cè)方法，其特征在于，包括寬帶光源發(fā)出的光經(jīng)輸入光纖、光纖耦合器傳輸?shù)焦鈱W(xué)發(fā)射系統(tǒng)后，并由所述光學(xué)發(fā)射系統(tǒng)輸出到被測(cè)量透明材料；接收所述被測(cè)量透明材料的反射光，并由光纖耦合器、接收光纖傳輸?shù)焦鈱W(xué)分析系統(tǒng)；光學(xué)分析系統(tǒng)對(duì)接收到的被測(cè)透明材料的反射光進(jìn)行分析以獲取反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值；數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)所述光學(xué)分析系統(tǒng)獲取的反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取被測(cè)透明材料的厚度。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的透明材料的厚度檢測(cè)方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)所述光學(xué)分析系統(tǒng)獲取的反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取被測(cè)透明材料的厚度包括所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)預(yù)先建立的數(shù)學(xué)模型以及獲取的所述反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值進(jìn)行計(jì)算以獲取所述被測(cè)透明材料的厚度。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的透明材料的厚度檢測(cè)方法，所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)預(yù)先建立的數(shù)學(xué)模型以及獲取的所述反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值進(jìn)行計(jì)算時(shí)，還包括所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)對(duì)所述計(jì)算結(jié)果進(jìn)行消誤差處理，以消除溫度漂移和零點(diǎn)漂移引起的誤差。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種透明材料的厚度檢測(cè)方法和裝置，其中裝置，包括光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、光學(xué)分析系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)用于輸出寬帶光并接收被測(cè)透明材料的反射光將其輸出到光學(xué)分析系統(tǒng)；所述光學(xué)分析系統(tǒng)用于對(duì)接收到的被測(cè)透明材料的反射光進(jìn)行分析以獲取反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值；所述數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)用于根據(jù)所述光學(xué)分析系統(tǒng)獲取的反射峰對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值獲取被測(cè)透明材料的厚度。本發(fā)明實(shí)施例還提供了基于上述裝置的透明材料的厚度檢測(cè)方法。本發(fā)明上述實(shí)施例提供的透明材料的厚度檢測(cè)方法和裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)準(zhǔn)確、快速的對(duì)透明材料的厚度進(jìn)行在線測(cè)量。
文檔編號(hào)G01B11/06GK101762238SQ20101010402
公開日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2010年1月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月25日
發(fā)明者喬楊, 張寧, 徐熙平 申請(qǐng)人:長(zhǎng)春理工大學(xué)