專(zhuān)利名稱(chēng)：X射線檢查方法和x射線檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及χ射線檢查方法和χ射線檢查裝置。特別地，本發(fā)明是利用X射線照射來(lái)檢查對(duì)象物的拍攝方法，涉及應(yīng)用于X射線檢查方法和X射線檢查裝置的技術(shù)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，亞微米(SUbmicron)的微細(xì)加工技術(shù)推進(jìn)LSI (Large-Scale Integration 大規(guī)模集成電路)的高集成化，將以往分為多個(gè)封裝的功能集成到一個(gè)LSI 中。在以往的QFP (Quad Flat Package 四側(cè)引腳扁平封裝)、PGA (Pin Grid Array :柵格陣列接腳)中，無(wú)法對(duì)應(yīng)因組裝一系列封裝(one package)所需的功能而導(dǎo)致的管腳數(shù)增加， 因此，最近特別使用BGA(Ball Grid Array 球狀引腳柵格陣列)、CSP(Chip Size Package 芯片尺寸封裝)封裝的LSI。另外，為了滿足移動(dòng)電話等的超小型化的需要，即使管腳數(shù)不需要那么多，也使用BGA封裝。LSI的BGA、CSP封裝對(duì)超小型化做出巨大貢獻(xiàn)的反面，在裝配(assembly)后無(wú)法從外觀上看到焊接部分等。因此，在對(duì)安裝了 BGA、CSP封裝的印刷基板等進(jìn)行檢查時(shí)，對(duì)檢查對(duì)象品照射X射線而獲取透視圖像，對(duì)該透視圖像進(jìn)行分析，從而判斷品質(zhì)是否良好。例如，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1 (JP特開(kāi)2003-344316號(hào)公報(bào))中公開(kāi)了這樣的方法，任意選擇X射線的照射角度來(lái)進(jìn)行傾斜三維X射線CT (Computed Tomography 斷層攝影)，從而重建對(duì)象物的三維數(shù)據(jù)。參照?qǐng)D32，說(shuō)明專(zhuān)利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的X射線檢查裝置。圖32是專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的X射線檢查裝置的示意圖。參照?qǐng)D32，該檢查裝置相對(duì)于對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域(視場(chǎng))傾斜地照射X射線。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2 (JP特開(kāi)2006-162335號(hào))中，公開(kāi)了一種X射線檢查裝置，該 X射線檢查裝置，基于用平行X射線檢測(cè)裝置取得的X射線圖像來(lái)實(shí)施二維檢查，并且基于用傾斜χ射線檢測(cè)單元取得的χ射線圖像來(lái)進(jìn)行三維檢查，由此能夠高速地進(jìn)行雙方面的檢查。這里，也涉及了基于多個(gè)X射線圖像來(lái)重建檢查對(duì)象品的三維數(shù)據(jù)的技術(shù)。作為重建的方法，例如舉出了“濾波修改反投影法”。參照?qǐng)D33，說(shuō)明利用專(zhuān)利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的X射線檢查裝置進(jìn)行的三維檢查。參照?qǐng)D33，在進(jìn)行三維檢查時(shí)，X射線檢查裝置使檢查對(duì)象和X射線檢測(cè)裝置在圓軌道上移動(dòng)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1 JP特開(kāi)2003-344316號(hào)公報(bào)，專(zhuān)利文獻(xiàn)2 JP特開(kāi)2006-1623 號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題在以往的X射線檢查方法中，無(wú)法充分高速實(shí)現(xiàn)AXI (Automated X-rayInspection 自動(dòng)X射線檢查)，即，無(wú)法充分高速利用X射線在生產(chǎn)線上進(jìn)行檢查。如專(zhuān)利文獻(xiàn)1、專(zhuān)利文獻(xiàn)2記載那樣，每當(dāng)X射線檢查時(shí)，為了使X射線檢測(cè)器在圓軌道上移動(dòng)，需要復(fù)雜的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，由于移動(dòng)耗時(shí)，導(dǎo)致檢查時(shí)間長(zhǎng)。本發(fā)明為了解決上述問(wèn)題，提供一種高速的X射線檢查方法以及能夠?qū)崿F(xiàn)高速的 X射線檢查的X射線檢查裝置。用于解決問(wèn)題的方法根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種X射線檢查方法，利用X射線檢測(cè)部來(lái)拍攝從X 射線源輸出并透過(guò)對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的圖像，基于拍攝到的圖像，重建檢查對(duì)象區(qū)域的三維數(shù)據(jù)，該X射線檢查方法的特征在于，包括拍攝步驟，變更X射線源的X射線焦點(diǎn)位置與檢查對(duì)象區(qū)域之間的相對(duì)位置關(guān)系，并在使X射線檢測(cè)部移動(dòng)至拍攝位置的狀態(tài)下拍攝圖像，拍攝位置是根據(jù)X射線焦點(diǎn)位置與檢查對(duì)象區(qū)域之間的相對(duì)位置關(guān)系決定的，重復(fù)步驟，在以檢查對(duì)象區(qū)域作為基準(zhǔn)時(shí)，重復(fù)拍攝，使得假想平面與特定線段所成的角度為多個(gè)不同的值，假想平面含有作為X射線焦點(diǎn)位置的點(diǎn)，特定線段是連接X(jué)射線焦點(diǎn)位置和檢查對(duì)象區(qū)域而成的線段，重建步驟，基于針對(duì)檢查對(duì)象區(qū)域而在多個(gè)角度拍攝的多個(gè)圖像來(lái)重建三維數(shù)據(jù)。優(yōu)選地，X射線焦點(diǎn)位置是固定的，在拍攝步驟中，移動(dòng)對(duì)象物。進(jìn)一步優(yōu)選地，重復(fù)步驟包括使X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在第一方向上的多個(gè)拍攝位置的步驟，使X射線檢測(cè)部在與第一方向不同的第二方向上移動(dòng)的步驟，在使X 射線檢測(cè)部在第二方向移動(dòng)后，使X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在第一方向上的其他的多個(gè)拍攝位置的步驟。優(yōu)選地，重復(fù)步驟包括使X射線焦點(diǎn)位置在排列有多個(gè)拍攝位置的第一方向上掃描的步驟。進(jìn)一步優(yōu)選地，在重復(fù)步驟中，使X射線焦點(diǎn)位置在沿著第一方向的一條直線上掃描。進(jìn)一步優(yōu)選地，重復(fù)步驟包括使X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在第一方向上的多個(gè)拍攝位置的步驟，使X射線檢測(cè)部在與第一方向不同的第二方向上移動(dòng)的步驟，在使X 射線檢測(cè)部在第二方向移動(dòng)后，使X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在第一方向上的其他的多個(gè)拍攝位置的步驟?；蛘?，進(jìn)一步優(yōu)選地，檢查對(duì)象區(qū)域在與第一方向不同的第二方向上被分割為多個(gè)部分區(qū)域，X射線檢測(cè)部包括排列在第二方向上的多個(gè)X射線檢測(cè)器，在使X射線檢測(cè)部在第一方向上移動(dòng)的步驟中，通過(guò)使各X射線檢測(cè)器在第一方向上直線移動(dòng)，從而使得從相同的X射線焦點(diǎn)位置輸出并且透過(guò)互不相同的部分區(qū)域的X射線入射至互不相同的X射線檢測(cè)器。進(jìn)一步優(yōu)選地，在使X射線檢測(cè)部在第一方向上移動(dòng)的步驟中，在多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器拍攝圖像期間，使與一部分的X射線檢測(cè)器不同的另一部分X 射線檢測(cè)器在第一方向上移動(dòng)?；騼?yōu)選地，X射線源是掃描型X射線源，能夠使X射線焦點(diǎn)位置在沿著第一方向的多條線上進(jìn)行掃描，X射線檢測(cè)部包括多個(gè)X射線檢測(cè)器，在使X射線檢測(cè)部在第一方向上移動(dòng)的步驟中，通過(guò)使各X射線檢測(cè)器在第一方向上直線移動(dòng)，從而使得從互不相同的線輸出并且透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域的X射線入射至互不相同的X射線檢測(cè)器，在重復(fù)步驟中，使X 射線焦點(diǎn)位置在各線上進(jìn)行掃描。進(jìn)一步優(yōu)選地，掃描型X射線源包括分別配置在多條線上的多個(gè)反射型的靶?；蛘?，在使X射線檢測(cè)部在第一方向上移動(dòng)的步驟中，在多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器拍攝圖像期間，使與一部分的X射線檢測(cè)器不同的另一部分X射線檢測(cè)器在第一方向上移動(dòng)。或者，進(jìn)一步優(yōu)選地，重復(fù)步驟包括使X射線檢測(cè)部在與第一方向不同的第二方向上移動(dòng)的步驟，在使X射線檢測(cè)部在第二方向上移動(dòng)后，使X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在第一方向上的多個(gè)拍攝位置的步驟。優(yōu)選地，X射線檢測(cè)部具有排列在第一方向上的多個(gè)受光部。根據(jù)本發(fā)明的其他方面，提供一種用于重建對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的三維數(shù)據(jù)的 X射線檢查裝置。X射線檢查裝置包括-X射線源，其用于輸出X射線；X射線檢測(cè)部，其用于拍攝X射線；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于移動(dòng)X射線檢測(cè)部；控制部，其用于控制X射線檢查裝置的動(dòng)作?？刂撇窟M(jìn)行如下處理使X射線源變更其X射線焦點(diǎn)位置與檢查對(duì)象區(qū)域之間的相對(duì)位置關(guān)系，并使移動(dòng)機(jī)構(gòu)將X射線檢測(cè)部移動(dòng)至拍攝位置，在變更了相對(duì)位置關(guān)系的變更和移動(dòng)了 X射線檢測(cè)部的狀態(tài)下，使X射線源和X射線檢測(cè)部拍攝圖像，拍攝位置是根據(jù)X射線焦點(diǎn)位置與檢查對(duì)象區(qū)域之間的相對(duì)位置關(guān)系決定的；在以檢查對(duì)象區(qū)域作為基準(zhǔn)時(shí)，重復(fù)圖像的拍攝，使得假想平面與特定線段所成的角度為多個(gè)不同的值，假想平面含有作為X射線焦點(diǎn)位置的點(diǎn)，特定線段是連接X(jué)射線焦點(diǎn)位置和檢查對(duì)象區(qū)域而成的線段， 基于針對(duì)檢查對(duì)象區(qū)域而在多個(gè)角度拍攝的多個(gè)圖像來(lái)重建三維數(shù)據(jù)。進(jìn)一步優(yōu)選地，X射線源是掃描型X射線源，能夠使X射線焦點(diǎn)位置在沿著排列有多個(gè)拍攝位置的第一方向的一條直線上掃描。或者，進(jìn)一步優(yōu)選地，X射線源是掃描型X射線源，能夠使X射線焦點(diǎn)位置在沿著排列有多個(gè)拍攝位置的第一方向的多條直線上掃描，X射線檢測(cè)部包括多個(gè)X射線檢測(cè)器， 各X射線檢測(cè)器被配置為，使從互不相同的線輸出并透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域的X射線，入射至互不相同的X射線檢測(cè)器。進(jìn)一步優(yōu)選地，掃描型X射線源包括分別配置在多條線上的多個(gè)反射型的靶。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，使X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在某方向的多個(gè)拍攝位置。另外，改變?chǔ)稚渚€焦點(diǎn)與檢查對(duì)象區(qū)域之間的位置關(guān)系，使得透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域的X射線入射至各拍攝位置的X射線檢測(cè)部。因此，通過(guò)本發(fā)明，能夠?qū)崿F(xiàn)高速的X射線檢查。


圖1是X射線檢查裝置的概略框圖。圖2是用于說(shuō)明X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)的圖。圖3是表示具有基板導(dǎo)軌作為檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的X射線檢查裝置的圖。圖4是表示第一實(shí)施方式的X射線檢測(cè)器和檢查對(duì)象的軌道的圖。圖5是說(shuō)明第一實(shí)施方式的X射線檢測(cè)器的拍攝位置的圖。圖6是表示現(xiàn)有方法中的X射線檢測(cè)器和檢查對(duì)象的軌道的圖。
圖7是表示現(xiàn)有方法中的拍攝位置的圖。圖8是以流程圖形式表示第一實(shí)施方式的X射線檢查的全部流程的圖。圖9是以流程圖形式表示在圖8中說(shuō)明的CT拍攝的處理的流程的圖。圖10是表示檢查對(duì)象的分割所需的X射線檢測(cè)器和檢查對(duì)象的配置的圖。圖11是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式的X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)的圖。圖12是X射線源的剖面圖。圖13是X射線源的立體圖。圖14是表示具有連續(xù)面的靶的X射線源的圖。圖15是表示第二實(shí)施方式中的檢查對(duì)象區(qū)域的圖。圖16是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式中的X射線焦點(diǎn)位置和X射線檢測(cè)器的Y方向移動(dòng)的一例的圖。圖17是表示第二實(shí)施方式中拍攝時(shí)的、X射線檢測(cè)器、檢查對(duì)象以及X射線焦點(diǎn)位置的位置關(guān)系的一例的圖。圖18是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式中的X射線檢測(cè)器和檢查對(duì)象的X方向移動(dòng)的圖。圖19是表示對(duì)多個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域進(jìn)行檢查時(shí)的X射線檢查裝置的動(dòng)作的一部分的一例的圖。圖20是用于說(shuō)明對(duì)整個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域檢查時(shí)的X射線檢查裝置的動(dòng)作的一例的圖。圖21是以流程圖形式表示第二實(shí)施方式的X射線檢查的全部流程的圖。圖22是以流程圖形式表示在圖21中說(shuō)明的CT拍攝的處理的流程的圖。圖23是用于說(shuō)明第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)的圖。圖M是表示第三實(shí)施方式中的X射線焦點(diǎn)位置和X射線檢測(cè)器的Y方向移動(dòng)的一例的圖。圖25是表示第三實(shí)施方式中拍攝時(shí)的、X射線檢測(cè)器、檢查對(duì)象以及X射線焦點(diǎn)位置的位置關(guān)系的一例的圖。圖沈是用于說(shuō)明第三實(shí)施方式的檢測(cè)器的獨(dú)立移動(dòng)的圖。圖27是用于說(shuō)明第三實(shí)施方式中的X射線檢測(cè)器和檢查對(duì)象的X方向移動(dòng)的圖。圖觀是以流程圖形式表示第三實(shí)施方式的X射線檢查的全部流程的圖。圖四是以流程圖形式表示圖28中的CT拍攝的處理的流程的圖。圖30是用于說(shuō)明第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)的圖。圖31是用于說(shuō)明第四實(shí)施方式的拍攝方式的圖。圖32是專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的X射線檢查裝置的示意圖。圖33是專(zhuān)利文獻(xiàn)2記載的X射線檢查裝置的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。在以下的說(shuō)明中，對(duì)同一部分標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。它們的名稱(chēng)和功能也相同。因此不同對(duì)其重復(fù)詳細(xì)說(shuō)明。[第一實(shí)施方式](概略結(jié)構(gòu))
參照?qǐng)D1，說(shuō)明第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)。圖1是第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100的概略框圖。X射線檢查裝置100具有用于輸出X射線18的X射線源10、X射線檢測(cè)器23、X 射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22、圖像取得控制機(jī)構(gòu)30，所述圖像取得控制機(jī)構(gòu)30用于控制X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22驅(qū)動(dòng)X射線檢測(cè)器23以及控制從X射線檢測(cè)器23取得圖像數(shù)據(jù)。進(jìn)而，X 射線檢查裝置100還具有輸入部40、輸出部50、X射線源控制機(jī)構(gòu)60、運(yùn)算部70、存儲(chǔ)器 90。在X射線源10和X射線檢測(cè)器23之間配置檢查對(duì)象1。在本實(shí)施方式中，檢查對(duì)象1是安裝有元件的電路基板。X射線源10受X射線源控制機(jī)構(gòu)60的控制，對(duì)檢查對(duì)象1照射X射線18。檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20 (圖1中未圖示)使檢查對(duì)象1移動(dòng)。作為檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20，例如能夠使用X-Y-Z載物臺(tái)、夾著檢查對(duì)象1的一對(duì)導(dǎo)軌。在后面詳細(xì)說(shuō)明檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20。X射線檢測(cè)器23是二維X射線檢測(cè)器，對(duì)從X射線源10輸出并透過(guò)檢查對(duì)象1的 X射線進(jìn)行檢測(cè)，并使其圖像化。作為X射線檢測(cè)器23，能夠使用I. I. (Image Intensifier 影像增強(qiáng))管、FPD(Flat Panel Detector 平板探測(cè)器)。從設(shè)置空間的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選對(duì) X射線檢測(cè)器23使用FPD。另外，為了能夠在生產(chǎn)線上(in-line)檢查，優(yōu)選X射線檢測(cè)器 23具有高靈敏度，特別優(yōu)選使用了 CdTe (碲化鎘)的直接變換方式的FPD。X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22將X射線檢測(cè)器23驅(qū)動(dòng)至指定的位置。在后面詳細(xì)說(shuō)明 X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的結(jié)構(gòu)。能夠利用位置傳感器(未圖示)來(lái)獲取被X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22驅(qū)動(dòng)的X射線檢測(cè)器23的位置，運(yùn)算部70能夠經(jīng)由檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32來(lái)獲取 X射線檢測(cè)器23的位置。圖像取得控制機(jī)構(gòu)30包括檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32和圖像數(shù)據(jù)取得部34。檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32控制X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22，使得X射線檢測(cè)器23移動(dòng)到由運(yùn)算部70指定的位置。圖像數(shù)據(jù)取得部34獲取由運(yùn)算部70指定的X射線檢測(cè)器23的圖像數(shù)據(jù)。輸入部40是用于接收來(lái)自用戶(hù)的指示輸入等的操作輸入設(shè)備。輸出部50是向外部輸出測(cè)定結(jié)果等的裝置。在本實(shí)施方式中，輸出部50是用于顯示由運(yùn)算部70構(gòu)建的X 射線圖像等的顯示器。S卩，用戶(hù)能夠通過(guò)輸入部40執(zhí)行各種輸入，并在輸出部50上顯示根據(jù)運(yùn)算部70 的處理得到的各種運(yùn)算結(jié)果。輸出部50顯示的圖像，既可以為了由用戶(hù)進(jìn)行目視來(lái)判定好壞而輸出，也可以作為后面說(shuō)明的好壞判定部78的好壞判定結(jié)果而輸出。X射線源控制機(jī)構(gòu)60包括用于控制電子束的輸出的電子束控制部62。電子束控制部62從運(yùn)算部70接受X射線焦點(diǎn)位置、X射線能量(管電壓、管電流)的指定。所指定的X射線能量根據(jù)檢查對(duì)象的結(jié)構(gòu)而不同。運(yùn)算部70執(zhí)行存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器90中的程序96，從而控制各部，另外，實(shí)施規(guī)定的計(jì)算處理。運(yùn)算部70包括掃描X射線源控制部72、圖像取得控制部74、重建部76、好壞判定部78、檢查對(duì)象位置控制部80、X射線焦點(diǎn)位置計(jì)算部82、拍攝條件設(shè)定部84。掃描X射線源控制部72決定X射線焦點(diǎn)位置、X射線能量，并且向X射線源控制機(jī)構(gòu)60發(fā)送指令。
圖像取得控制部74向圖像取得控制機(jī)構(gòu)30發(fā)送指令，從而使X射線檢測(cè)器23取得圖像。另外，圖像取得控制部74從圖像取得控制機(jī)構(gòu)30取得圖像數(shù)據(jù)。重建部76根據(jù)由圖像取得控制部74取得的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)來(lái)重建三維數(shù)據(jù)。好壞判定部78基于由重建部76所重建的三維數(shù)據(jù)或者透視數(shù)據(jù)，來(lái)判定檢查對(duì)象的好壞。例如，好壞判定部78通過(guò)識(shí)別焊球的形狀并判定該形狀是否在預(yù)定的容許范圍內(nèi)等來(lái)進(jìn)行好壞判定。此外，進(jìn)行好壞判定的算法，或者對(duì)算法的輸入信息因檢查對(duì)象而不同，因此好壞判定部78根據(jù)拍攝條件信息94而獲得這些信息。檢查對(duì)象位置控制部80控制檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20。X射線焦點(diǎn)位置計(jì)算部82在對(duì)檢查對(duì)象物1的某檢查區(qū)域進(jìn)行檢查時(shí)，針對(duì)該檢查區(qū)域計(jì)算X射線焦點(diǎn)位置、照射角等。拍攝條件設(shè)定部84根據(jù)檢查對(duì)象1來(lái)設(shè)定從X射線源10輸出X射線時(shí)的條件 (例如，對(duì)X射線源的施加電壓、拍攝時(shí)間等)。存儲(chǔ)器90存儲(chǔ)有X射線焦點(diǎn)位置信息92、拍攝條件信息94、上述運(yùn)算部70所執(zhí)行的用于實(shí)現(xiàn)各功能的程序96、X射線檢測(cè)器23拍攝到的圖像數(shù)據(jù)98。X射線焦點(diǎn)位置信息92含有由X射線焦點(diǎn)位置計(jì)算部82所計(jì)算出的X射線焦點(diǎn)位置。拍攝條件信息94含有由拍攝條件設(shè)定部84設(shè)定的拍攝條件、與用于進(jìn)行好壞判定的算法相關(guān)的信息。此外，存儲(chǔ)器90只要能儲(chǔ)備數(shù)據(jù)即可。存儲(chǔ)器90例如可由RAM (Random Access Memory 隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)、EEPR0M(ElectricalIy Erasableand Programmable Read-Only Memory 電可擦除只讀存儲(chǔ)器)、HDD (Hard Disc Drive :硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器)等的存儲(chǔ)裝置構(gòu)成。(具體的結(jié)構(gòu))參照?qǐng)D2來(lái)說(shuō)明第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100的具體的結(jié)構(gòu)。圖2是用于說(shuō)明第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)的圖。此外，在圖2中，對(duì)與圖1相同的部分標(biāo)注相同附圖標(biāo)記。另外，在圖2中，記載了從圖1所示的部分中提取的與X射線焦點(diǎn)位置的控制、X射線檢測(cè)器位置的控制、檢查對(duì)象位置的控制等有直接關(guān)系的需要說(shuō)明的部分。X射線源10在本實(shí)施方式中是固定焦點(diǎn)型X射線源，其產(chǎn)生X射線的位置(X射線焦點(diǎn)位置17)是固定的。X射線源10根據(jù)通過(guò)X射線源控制機(jī)構(gòu)60的來(lái)自運(yùn)算部70的命令，產(chǎn)生X射線。X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22具有正交式的雙軸的機(jī)械臂(robot arm) 22a和檢測(cè)器支持部22b。X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22利用機(jī)械臂2 使X射線檢測(cè)器23在XY方向上移動(dòng)。 檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32將移動(dòng)時(shí)刻的X射線檢測(cè)器23的位置信息發(fā)送至運(yùn)算部70。此外，在本實(shí)施方式中，如后述，X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22使X射線檢測(cè)器23在Y方向上的移動(dòng)比在X方向上的移動(dòng)多。因此，如圖2所示，作為機(jī)械臂22a，優(yōu)選在X軸的機(jī)械臂上裝載Y軸的機(jī)械臂。通過(guò)該結(jié)構(gòu)，能夠減輕應(yīng)該由Y軸的機(jī)械臂移動(dòng)的物體的總重量， 因此能夠在Y方向的高速移動(dòng)。但是，X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的結(jié)構(gòu)并不僅限于此。也可以使用能夠?qū)崿F(xiàn)這種X-Y 方向移動(dòng)的其他機(jī)構(gòu)作為X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22。此外，X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22優(yōu)選為了調(diào)整放大率而具有使X射線檢測(cè)器23上下升降的機(jī)構(gòu)。檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20具有促動(dòng)器和用于固定檢查對(duì)象的機(jī)構(gòu)。檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20利用由運(yùn)算部70內(nèi)的檢查對(duì)象位置控制部80所控制的檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠使檢查對(duì)象的視場(chǎng)與上述X射線檢測(cè)器23. 1或23. 2相獨(dú)立地在XY方向上移動(dòng)。在生產(chǎn)線上檢查時(shí)，檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20基本使檢查對(duì)象1在X方向上移動(dòng)。艮口， 檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20使未檢查的檢查對(duì)象1從圖2的右(或左)方向向左(或右)移動(dòng)， 直到將其運(yùn)到X射線的照射范圍為止。另外，檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20使檢查結(jié)束的檢查對(duì)象 1進(jìn)一步向左(或右)移動(dòng)。但是，如后述，為了拍攝數(shù)據(jù)重建所需的圖像，檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20也使檢查對(duì)象1在Y方向上移動(dòng)。作為檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20，優(yōu)選使用對(duì)X射線無(wú)妨礙的裝置。例如，能夠使用基板導(dǎo)軌作為檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20。圖3表示具有基板導(dǎo)軌檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20的X射線檢查裝置100。參照?qǐng)D3，檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)20具有從檢查對(duì)象1的兩端夾著該檢查對(duì)象1的導(dǎo)軌2 和25b、用于測(cè)定檢查對(duì)象1的Z方向的位置的位置傳感器21。此外，在圖3中， 檢查對(duì)象1是電路基板。在檢查對(duì)象1上配置有電路元件2。含有電路元件2的區(qū)域是檢查區(qū)域。導(dǎo)軌2 和25b能夠使檢查對(duì)象1在XYZ方向上移動(dòng)。位置傳感器21對(duì)檢查對(duì)象1的位置進(jìn)行測(cè)定，特別測(cè)定電路元件2的Z方向的位置。因電路基板2的翹曲，導(dǎo)致電路元件2的位置因檢查對(duì)象1的不同而變動(dòng)。導(dǎo)軌2 和2 基于位置傳感器21的測(cè)定結(jié)果，調(diào)節(jié)檢查對(duì)象1的高度方向的位置。回到圖2，運(yùn)算部70向檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32、圖像數(shù)據(jù)取得部34、掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)60發(fā)送命令，執(zhí)行后述說(shuō)明的用于檢查處理的流程圖所示的程序。特別地，運(yùn)算部70在通過(guò)檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32傳來(lái)的命令所指示的時(shí)刻，執(zhí)行X 射線透視圖像的取得和拍攝數(shù)據(jù)的傳送。另外，運(yùn)算部70根據(jù)來(lái)自輸入部40的輸入而控制檢查裝置的動(dòng)作，各部的狀態(tài)或檢查結(jié)果能夠由輸出部50輸出。(拍攝方式)為了重建三維數(shù)據(jù)，需要從多個(gè)方向拍攝檢查對(duì)象區(qū)域。本實(shí)施方式的X射線檢查裝置100在XY平面內(nèi)分別移動(dòng)X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1的，從而實(shí)現(xiàn)從多個(gè)方向進(jìn)行的拍攝。參照?qǐng)D4和圖5，來(lái)說(shuō)明本實(shí)施方式的X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1的軌道。圖 4是表示第一實(shí)施方式的X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1的軌道的圖。圖5是說(shuō)明第一實(shí)施方式的X射線檢測(cè)器23的拍攝位置的圖。參照?qǐng)D4和圖5，檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22首先使X射線檢測(cè)器23按順序移動(dòng)至排列在Y 方向上的拍攝位置si、s2、s3、s4。然后，檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22使X射線檢測(cè)器23在X方向上移動(dòng)，進(jìn)而移動(dòng)至拍攝位置s5。檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22重復(fù)這樣的Y方向的直線移動(dòng)和X方向的直線移動(dòng)，從而使X射線檢測(cè)器移動(dòng)至拍攝位置si sl6。另外，檢查對(duì)象移動(dòng)機(jī)構(gòu)20移動(dòng)檢查對(duì)象1，使得透過(guò)檢查對(duì)象1的檢查對(duì)象區(qū)域的X射線入射至各拍攝位置的X射線檢測(cè)器23。因此，如圖4所示那樣，檢查對(duì)象1的軌道與X射線檢測(cè)器23的軌道相似。換言之，如圖4所示那樣，依次改變X射線源10的X射線焦點(diǎn)位置17與檢查對(duì)象 1(嚴(yán)格來(lái)講，是檢查對(duì)象ι中的檢查對(duì)象區(qū)域)的相對(duì)位置關(guān)系，并且，使X射線檢測(cè)器23移動(dòng)到由X射線焦點(diǎn)位置17與檢查對(duì)象1 (中的檢查對(duì)象區(qū)域)的該相對(duì)位置關(guān)系決定的拍攝位置，在此狀態(tài)下拍攝圖像。從各拍攝位置的圖像拍攝的角度看來(lái)，重復(fù)進(jìn)行圖像拍攝，使得以檢查對(duì)象1(中的檢查對(duì)象區(qū)域)為基準(zhǔn)時(shí)，包括成為X射線焦點(diǎn)位置17的點(diǎn)的假想平面(圖4的例中，平行于X-Y平面并且包括X射線焦點(diǎn)位置17的平面)與連接X(jué)射線焦點(diǎn)位置17和檢查對(duì)象1(中的檢查對(duì)象區(qū)域)的線段所成的角度(拍攝角)為多個(gè)不同的值。在圖4所示的例子中，關(guān)注在檢查對(duì)象1的軌道上進(jìn)行圖像拍攝的點(diǎn)Pl和P2，在點(diǎn)Pl處，連接X(jué)射線焦點(diǎn)位置17和點(diǎn)Pl而成的線段Ll與假想平面之間所成的角度為α 1， 在點(diǎn)Ρ2處，連接X(jué)射線焦點(diǎn)位置17與點(diǎn)Ρ2而成的線段L2與假想平面之間所成的角度為 α 2。這些角度α 與角度α 2是不同的值。這樣，一邊使檢查對(duì)象1沿著圖4所示的軌道移動(dòng)，一邊依次進(jìn)行，從而能夠取得拍攝角不同的多個(gè)圖像。根據(jù)本實(shí)施方式的拍攝方法，不伴有X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1的圓周運(yùn)動(dòng)， 因此能夠?qū)崿F(xiàn)高速的X射線檢查。例如，針對(duì)利用XY載物臺(tái)使X射線檢測(cè)器23移動(dòng)，從而從16個(gè)方向拍攝檢查對(duì)象的情況進(jìn)行說(shuō)明。在使X射線檢測(cè)器23 (和檢查對(duì)象)在圓軌道上移動(dòng)的情況下，需使X射線檢測(cè)器23分別在X方向和Y方向移動(dòng)15次。每次改變拍攝位置時(shí)，即使并行執(zhí)行X射線檢測(cè)器23的X軸移動(dòng)和Y軸移動(dòng)，也需耗時(shí)(X軸移動(dòng)時(shí)間與Y軸移動(dòng)時(shí)間中慢的一方)X 15 的總移動(dòng)時(shí)間。另一方面，在利用本實(shí)施方式說(shuō)明的直線起動(dòng)拍攝的情況下，通過(guò)雙軸同時(shí)動(dòng)作， 能夠?qū)崿F(xiàn)高速的單軸(特別是Y軸)移動(dòng)。在圖5所示的軌道中，總移動(dòng)時(shí)間是12次的Y 軸移動(dòng)時(shí)間與3次的X軸移動(dòng)時(shí)間的和。因此，在本實(shí)施方式的拍攝方法中能夠進(jìn)行高速檢查。另外，根據(jù)該拍攝方法，與以往的使用在圓軌道上移動(dòng)的X射線檢查裝置的方法相比，本發(fā)明的拍攝方法能夠有效活用檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的可動(dòng)范圍，能夠提高所得的重建數(shù)據(jù)的畫(huà)質(zhì)。對(duì)此，參照?qǐng)D5(已示出)、圖6和圖7進(jìn)行說(shuō)明。圖6是表示現(xiàn)有方法中的X 射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1的軌道的圖。圖7是表示現(xiàn)有方法的拍攝位置的圖。圖5用虛線表示圖7所示的X射線檢測(cè)器的軌道。比較兩方法，兩方法中拍攝位置的數(shù)都是16。另外，圓軌道的直徑與圖5所示的軌道的X方向的長(zhǎng)度和Y方向的長(zhǎng)度相同。此外，根據(jù)后述的說(shuō)明可知，實(shí)際應(yīng)用本方法時(shí)，也優(yōu)選將圖5所示那樣的圓軌道的外接矩形作為軌道的一部分。在本方法中，與圓軌道的拍攝相比，更加能夠從傾斜角度進(jìn)行拍攝。例如，本方法的來(lái)自拍攝位置sl6的拍攝角，比圓軌道中對(duì)應(yīng)的來(lái)自拍攝位置cll的拍攝角大。因此，根據(jù)本方法，能夠?qū)χ亟〝?shù)據(jù)提高畫(huà)質(zhì)。另外，在圓軌道上進(jìn)行拍攝時(shí)，只能進(jìn)行拍攝角恒定的斜位CT，與此相對(duì)，根據(jù)本方法，能夠生成拍攝角不同的多個(gè)圖像。因此，根據(jù)本方法，能夠降低人為因素(artifact) 等而實(shí)現(xiàn)重建數(shù)據(jù)的高畫(huà)質(zhì)。(處理的流程)圖8是以流程圖形式表示第一實(shí)施方式的X射線檢查的全部流程的圖。參照?qǐng)D8， 說(shuō)明第一實(shí)施方式的X射線檢查的全部流程。
參照?qǐng)D8，首先，處理一開(kāi)始(步驟S800)，X射線檢查裝置100使檢查對(duì)象區(qū)域 (嚴(yán)格來(lái)講，檢查對(duì)象1中的檢查對(duì)象區(qū)域)移動(dòng)到能夠拍攝的位置，進(jìn)行透視圖像的拍攝 (步驟S802)。通常，在X射線檢查中，為了確定檢查對(duì)象1的位置而裝載光學(xué)照相機(jī)(未圖示)，能夠基于光學(xué)照相機(jī)的圖像來(lái)決定檢查對(duì)象區(qū)域。作為其他方法，可以基于檢查對(duì)象1的CAD數(shù)據(jù)來(lái)由X射線檢查裝置100自動(dòng)決定檢查對(duì)象區(qū)域，也可以由操作人員目視決定檢查對(duì)象區(qū)域。在此基礎(chǔ)上，X射線檢查裝置100拍攝透視圖像(步驟S804)。X射線檢查裝置100 檢查透視圖像，基于所取得的透視圖像，判斷檢查對(duì)象1的視場(chǎng)(透視圖像中拍攝的范圍) 是否良好(步驟S806)。對(duì)于好壞判定方法，已提出了各種方法，由于是公知的，在此不詳細(xì)說(shuō)明。例如，作為最基本的檢查，用規(guī)定的值使透視圖像2值化，將其與CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息進(jìn)行比較，根據(jù)面積來(lái)判斷透視圖像上的規(guī)定的位置有無(wú)元件。接著，X射線檢查裝置100判斷是否需要基于重建數(shù)據(jù)圖像的檢查(步驟S808)。 作為判斷的基準(zhǔn)，既可以預(yù)先設(shè)定CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息，也可以根據(jù)透視圖像是好壞判定結(jié)果進(jìn)行判斷。例如，在安裝基板的檢查中，只在單面安裝了元件時(shí)，能夠利用透視圖像進(jìn)行好壞判定，因此有時(shí)無(wú)需根據(jù)重建圖像進(jìn)行好壞判定。在無(wú)需基于重建數(shù)據(jù)的檢查時(shí)(步驟S808中為“否”)，X射線檢查裝置100結(jié)束檢查(步驟S1414)。另一方面，在需要基于重建圖像的檢查時(shí)(步驟S808中為“是”)，X射線檢查裝置 100接著進(jìn)行檢查對(duì)象區(qū)域的CT拍攝(步驟S810)。X射線檢查裝置100在CT拍攝中，從多個(gè)方向拍攝檢查對(duì)象區(qū)域。對(duì)于步驟S810在后面詳細(xì)說(shuō)明。接著，X射線檢查裝置100根據(jù)多個(gè)方向的拍攝圖像來(lái)生成重建數(shù)據(jù)(步驟 S812)。對(duì)于重建處理，已提出了各種方法例如能夠使用“法菲爾德坎普(Feldkamp)法”。接下來(lái)，X射線檢查裝置100基于重建數(shù)據(jù)進(jìn)行好壞判定(步驟S814)。對(duì)于好壞判定的方法，考慮使用直接應(yīng)用三維數(shù)據(jù)的方法、使用二維數(shù)據(jù)(斷層圖像)、一維數(shù)據(jù)(曲線profile)等的方法。這些好壞判定方法是公知的，因此只要使用適于檢查項(xiàng)目的好壞判定方法即可，在此不重復(fù)詳細(xì)說(shuō)明。下面，說(shuō)明好壞判定的一個(gè)例子。首先，用規(guī)定的值對(duì)三維重建數(shù)據(jù)進(jìn)行2值化。根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息，在重建圖像內(nèi)確定元件(例如， BGA的焊球)的位置。根據(jù)2值化圖像，計(jì)算與元件的位置相鄰的像素(鄰域像素)的體積，由此能夠判斷有無(wú)元件。進(jìn)而，X射線檢查裝置100判斷是否全部檢查區(qū)域的檢查結(jié)束(步驟S816)。在存在檢查未結(jié)束的檢查區(qū)域時(shí)(步驟S816中為“否”)，處理回到步驟S802。另一方面，如果針對(duì)全部檢查區(qū)域檢查結(jié)束(步驟S816中為“是”)，X射線檢查裝置100結(jié)束檢查(步驟 S818)。參照?qǐng)D9來(lái)詳細(xì)說(shuō)明第一實(shí)施方式的CT拍攝。圖9是在圖8中說(shuō)明的CT拍攝的處理的流程的圖。參照?qǐng)D9，一個(gè)視場(chǎng)的CT拍攝處理一開(kāi)始(步驟S900)，首先，X射線檢查裝置100 為了能夠在規(guī)定的拍攝位置拍攝當(dāng)前的檢查對(duì)象區(qū)域，使X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1在 Y方向上移動(dòng)(步驟S902)。能夠根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息自動(dòng)計(jì)算出拍攝位置。接著，X射線檢查裝置100對(duì)檢查對(duì)象區(qū)域進(jìn)行拍攝(步驟S904)。從X射線源10照射X射線，使X射線檢測(cè)器23曝光，從而取得檢查對(duì)象區(qū)域的拍攝數(shù)據(jù)?？梢愿鶕?jù)檢查對(duì)象區(qū)域的尺寸、X射線源10產(chǎn)生的X射線的強(qiáng)度來(lái)預(yù)先決定曝光時(shí)間。接著，X射線檢查裝置100將由X射線檢測(cè)器23拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)傳送至運(yùn)算部70 (步驟S906)。即，為了重建三維數(shù)據(jù)，圖像數(shù)據(jù)取得部34將拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)傳送至用于進(jìn)行重建處理的運(yùn)算部70。進(jìn)而接下來(lái)，X射線檢查裝置100判斷X射線檢測(cè)器23或檢查對(duì)象1是否在Y方向上移動(dòng)了規(guī)定次數(shù)(步驟S908)。規(guī)定次數(shù)例如能夠在檢查前根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息決定。此外，在圖4和圖5所示的例子中，規(guī)定次數(shù)為3次。在未達(dá)到規(guī)定次數(shù)時(shí)(步驟S908中為“否”)，處理返回至步驟S902。另一方面， 在已達(dá)到規(guī)定次數(shù)時(shí)(步驟S908中為“是”)，X射線檢查裝置100為了在規(guī)定的拍攝位置拍攝當(dāng)前的檢查對(duì)象區(qū)域，使X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1在X方向上移動(dòng)(步驟S910)。接著，X射線檢查裝置100判斷X射線檢測(cè)器23或檢查對(duì)象1是否在X方向上移動(dòng)了規(guī)定次數(shù)(步驟S912)。規(guī)定次數(shù)例如能夠在檢查前根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息決定。 此外，在圖4和圖5所示的例子中，規(guī)定次數(shù)為3次。在未達(dá)到規(guī)定次數(shù)時(shí)(步驟S912中為“否”)，處理返回至步驟S904。另一方面，在已達(dá)到規(guī)定次數(shù)時(shí)(步驟S912中為“是”)，X射線檢查裝置100結(jié)束CT拍攝(步驟S914)。(變形例)在圖2和圖3中，X射線檢測(cè)器23比檢查對(duì)象1充分大，X射線檢測(cè)器23能夠觀察拍攝檢查對(duì)象1的全部范圍。然而，根據(jù)X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1的尺寸以及它們的位置關(guān)系，有時(shí)也無(wú)法在一次拍攝中拍攝檢查對(duì)象1的全部范圍。此時(shí)，X射線檢查裝置100將檢查對(duì)象1分為多個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域進(jìn)行拍攝。參照?qǐng)D10，說(shuō)明需要將檢查對(duì)象1分為多個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域的例子。圖10是表示檢查對(duì)象1的分割所需的X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1的配置的圖。X射線檢測(cè)器23用受光部M來(lái)檢測(cè)X射線。受光部M如圖10所示那樣，大多設(shè)置在X射線檢測(cè)器23的中央付近的一部分的區(qū)域。根據(jù)X射線焦點(diǎn)位置17、檢查對(duì)象1 和X射線檢測(cè)器的幾何關(guān)系，此時(shí)，只有透光檢查對(duì)象1的4分之1的區(qū)域的X射線入射至受光部24。因此，要對(duì)檢查對(duì)象1的全域進(jìn)行檢查時(shí)，X射線檢查裝置100將檢查對(duì)象1分為4個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域，針對(duì)各檢查對(duì)象區(qū)域進(jìn)行檢查。此外，在以上的例子中，使X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1在兩個(gè)方向(X方向和Y 方向)上移動(dòng)。然而，如果通過(guò)從排列在一個(gè)方向上的多個(gè)拍攝位置進(jìn)行拍攝就能夠重建足夠質(zhì)量的三維數(shù)據(jù)，則只要使X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象1僅在一個(gè)方向移動(dòng)即可。但是，一般為了得到質(zhì)量好的重建數(shù)據(jù)，優(yōu)選如本實(shí)施方式所示那樣從排列在兩個(gè)方向上的拍攝位置來(lái)對(duì)檢查對(duì)象進(jìn)行拍攝。[第二實(shí)施方式](結(jié)構(gòu))參照?qǐng)D11來(lái)說(shuō)明第二實(shí)施方式的X射線檢查裝置200的結(jié)構(gòu)。圖11是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式的X射線檢查裝置200的結(jié)構(gòu)的圖。X射線檢查裝置200具有X射線源10、X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2、X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22. 1和22. 2、圖像取得控制機(jī)構(gòu)30、輸入部40、輸出部50、X射線源控制機(jī)構(gòu)60、運(yùn)算部70、存儲(chǔ)器90。圖像取得控制機(jī)構(gòu)30、X射線源控制機(jī)構(gòu)60、運(yùn)算部70和存儲(chǔ)器90具有參照?qǐng)D1說(shuō)明的結(jié)構(gòu)。與第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于，X射線源10的結(jié)構(gòu)，以及X射線檢測(cè)器和X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22分別有兩個(gè)。第二實(shí)施方式的X射線源10是能夠使X射線焦點(diǎn)位置17在一個(gè)向上進(jìn)行掃描的掃描型X射線源。參照?qǐng)D11 (已出)和圖12，說(shuō)明第二實(shí)施方式的X射線源10的結(jié)構(gòu)。圖 12是X射線源10的剖面圖。參照?qǐng)D12，在X射線源10中，從電子束控制部62所控制的電子槍19對(duì)鎢 (tungsten)等的靶11照射電子束16。然后，從電子束16與靶碰撞的位置(X射線焦點(diǎn)位置17)產(chǎn)生并放射(輸出)出X射線18。參照?qǐng)D11可知，X射線源10是在電子束的透過(guò)方向輸出X射線的透過(guò)型的X射線源。此外，電子束系統(tǒng)放在真空容器9中。真空容器9的內(nèi)部由真空泵15保持真空， 并從電子槍19發(fā)射已被高壓電源14加速過(guò)的電子束16。在X射線源10中，電子束16被電子束會(huì)聚線圈13會(huì)聚之后，通過(guò)偏轉(zhuǎn)線圈12使電子束16偏轉(zhuǎn)，由此能夠變更電子束16碰撞靶11的位置。例如，被偏轉(zhuǎn)線圈12偏轉(zhuǎn)了的電子束16a與靶11碰撞，并從X射線焦點(diǎn)位置17a輸出X射線18a。另外，同樣地，被偏轉(zhuǎn)線圈12偏轉(zhuǎn)了的電子束16b與靶11碰撞，并從X射線焦點(diǎn)位置17b輸出X射線18b。參照?qǐng)D13，說(shuō)明X射線焦點(diǎn)位置17的掃描。圖13是X射線源10的立體圖。如圖 13所示那樣，靶11是直線狀的靶。因此，X射線源10能夠使X射線焦點(diǎn)位置17在一個(gè)方向上進(jìn)行掃描。在本實(shí)施方式中，如圖11所示那樣，在X射線源10中，靶11沿著Y方向配置。此外，如上述，X射線源10具有直線狀的靶11，但X射線源10也可以具有圖14所示的連續(xù)面的靶11#。該X射線源10能夠在靶11#內(nèi)的范圍內(nèi)自由設(shè)定X射線焦點(diǎn)位置 17。本拍攝方法使用該X射線源10時(shí)，只要將X射線焦點(diǎn)位置17限制在一個(gè)方向上即可。此外，對(duì)于使X射線焦點(diǎn)位置移動(dòng)，例如，能夠每次使X射線源自身的位置機(jī)械移動(dòng)。但只要使用掃描型X射線源，每當(dāng)移動(dòng)X射線焦點(diǎn)位置時(shí)，只要在一定的范圍內(nèi)，則不必使X射線源10機(jī)械移動(dòng)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)維護(hù)性、可靠性?xún)?yōu)異的X射線檢查裝置。另外，掃描型X射線源的X射線掃描與機(jī)械掃描相比，所需時(shí)間短。因此，在本實(shí)施方式中使用掃描型X射線源。(拍攝方式)下面，說(shuō)明第二實(shí)施方式的拍攝方式。在此，將檢查對(duì)象1分割為多個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域。圖15表示第二實(shí)施方式中的檢查對(duì)象區(qū)域。如圖15所示那樣，檢查對(duì)象1在X方向被分割為4份，在Y方向被分割為3份。因此，檢查對(duì)象1被分割為12個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域。 V00, VOU ......、V23表示各檢查對(duì)象區(qū)域。X射線檢查裝置200使X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2直線移動(dòng)到排列在Y方向上的多個(gè)拍攝位置。另外，X射線檢查裝置200使X射線焦點(diǎn)位置17在Y方向上掃描。在進(jìn)行這些移動(dòng)的期間，X射線檢查裝置200不移動(dòng)檢查對(duì)象1。在此，X射線焦點(diǎn)位置17的移動(dòng)方向與X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2的移動(dòng)方向相反。X射線焦點(diǎn)位置17移動(dòng)，使得透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域的X射線入射至X射線檢測(cè)器23. 1或23. 2。參照?qǐng)D16，具體說(shuō)明第二實(shí)施方式的拍攝方式。圖16是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式中的X射線焦點(diǎn)位置17和X射線檢測(cè)器23. 1的Y方向移動(dòng)的一例的圖。在圖16中，表示拍攝檢查對(duì)象區(qū)域Vll時(shí)的X射線焦點(diǎn)位置17和X射線檢測(cè)器23. 1的動(dòng)作。在圖16所示的例子中，在Y方向設(shè)定6個(gè)拍攝位置。檢查開(kāi)始時(shí)，X射線檢測(cè)器 23. 1和其受光部24. 1處于圖16中實(shí)線所示的拍攝位置。X射線源10將X射線焦點(diǎn)位置 17設(shè)定在與拍攝位置對(duì)應(yīng)的位置上，然后輸出X射線。X射線檢測(cè)器23. 1拍攝透過(guò)了檢查對(duì)象1的X射線的圖像。當(dāng)最初的拍攝結(jié)束時(shí)，X射線檢查裝置200使X射線檢測(cè)器23. 1向+Y方向(圖 16的左方向)。另外，X射線檢查裝置200使X射線焦點(diǎn)位置17向-Y方向(圖16的右方向)移動(dòng)。在X射線檢測(cè)器23. 1和X射線焦點(diǎn)位置17的移動(dòng)結(jié)束后，X射線源10輸出X 射線，X射線檢測(cè)器23. 1拍攝圖像。重復(fù)這樣的X射線檢測(cè)器23. 1和X射線焦點(diǎn)位置17的移動(dòng)和圖像的拍攝，最終受光部1在圖16中虛線所示的位置拍攝圖像。此外，在圖16中，省略移動(dòng)后的X射線檢測(cè)器23. 1的全部圖示。在以后的圖中，對(duì)X射線檢測(cè)器23. 1(或23. 2)也省略全部圖示，只示出受光部1 (或24. 2)。通過(guò)這一系列的動(dòng)作，能夠取得在Y方向上從不同角度拍攝的6張圖像。根據(jù)本實(shí)施方式的X射線檢查裝置200，與第一實(shí)施方式同樣地，使X射線檢測(cè)器 23. 1和23. 2直線移動(dòng)，因此能夠縮短檢查時(shí)間。進(jìn)而，根據(jù)X射線檢查裝置200，當(dāng)拍攝Y 方向上的拍攝位置不同的多個(gè)圖像時(shí)，無(wú)需移動(dòng)檢查對(duì)象1。另外，X射線檢查裝置200具有兩個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2，因此，能夠拍攝從一個(gè)X射線焦點(diǎn)位置輸出并且透過(guò)不同的兩個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域的X射線。對(duì)此參照?qǐng)D17進(jìn)行說(shuō)明。圖17表示第二實(shí)施方式中的拍攝時(shí)的X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2、檢查對(duì)象1、以及X射線焦點(diǎn)位置17的位置關(guān)系的一例。在圖17中，從Y方向觀察X射線檢測(cè)器23. 1和 23. 2、檢查對(duì)象1、以及X射線焦點(diǎn)位置17。參照?qǐng)D17，從X射線焦點(diǎn)位置17輸出的X射線透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域Vl 1而入射至受光部24. 1時(shí)，X射線同時(shí)透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域V13而入射至受光部24. 2。因此，X射線檢查裝置200通過(guò)一系列的X射線焦點(diǎn)位置17的掃描，能夠分別針對(duì)兩個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域拍攝Y方向的拍攝位置不同的多個(gè)圖像。這也使得總檢查時(shí)間縮短。在使用在圓軌道上移動(dòng)的多個(gè)X射線檢測(cè)器時(shí)，根據(jù)幾何學(xué)的條件，有時(shí)無(wú)法使多個(gè)X射線檢測(cè)器獨(dú)立動(dòng)作。特別，為了實(shí)現(xiàn)高速化，雖然從X射線源到X射線檢測(cè)器間的距離短比較好，但此時(shí)存在X射線檢測(cè)器的尺寸的問(wèn)題，多配置的圓軌道獨(dú)立動(dòng)作越發(fā)困難。在本實(shí)施方式中，使各X射線檢測(cè)器直線移動(dòng)，因此不會(huì)產(chǎn)生該問(wèn)題。然而，X射線檢查裝置200在X方向上從多個(gè)位置拍攝檢查對(duì)象區(qū)域的圖像，因此， 使X射線檢測(cè)器23. 1、X射線檢測(cè)器23. 2和檢查對(duì)象1在X方向上移動(dòng)。參照?qǐng)D18來(lái)說(shuō)明該移動(dòng)。圖18是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式中的X射線檢測(cè)器23. 1、X射線檢測(cè)器23. 2和檢查對(duì)象1的X方向移動(dòng)的圖。圖18的(A)部分表示檢查開(kāi)始時(shí)的X射線檢測(cè)器23. 1、X射線檢測(cè)器23. 2和檢查對(duì)象1的X方向的配置。在該配置中，透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域VOO的X射線入射至受光部24. 1。 透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域V02的X射線入射至受光部24. 2。X射線檢測(cè)器23. 1(或X射線檢測(cè)器23. 2)在圖18的㈧部分的X位置的全部拍攝位置拍攝了圖像之后，X射線檢查裝置200使X射線檢測(cè)器23. 1 (或X射線檢測(cè)器23. 2) 向+X方向(圖18的(A)部分的右方向)移動(dòng)。另外，在X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2的拍攝結(jié)束后，X射線檢查裝置200使檢查對(duì)象1向+X方向移動(dòng)。圖18的(B)部分表示，從圖18的(A)部分的配置狀態(tài)開(kāi)始移動(dòng)之后，X射線檢測(cè)器23. 1、X射線檢測(cè)器23. 2和檢查對(duì)象1的X方向的配置。在該配置中，透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域VOO的X射線入射至受光部24. 1。透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域V02的X射線入射至受光部24. 2。 但是，X射線的入射角度與圖18的(A)部分的時(shí)的不同。X射線檢測(cè)器23. 1(或X射線檢測(cè)器23. 2)在圖18的(B)部分的X位置的全部拍攝位置拍攝了圖像之后，X射線檢查裝置200使X射線檢測(cè)器23. 1 (或X射線檢測(cè)器23. 2) 向+X方向(圖18的(B)部分的右方向)移動(dòng)。另外，在X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2的拍攝結(jié)束后，X射線檢查裝置200使檢查對(duì)象1向+X方向移動(dòng)。圖18的(C)部分表示，從圖18的(B)部分的配置狀態(tài)開(kāi)始移動(dòng)之后，X射線檢測(cè)器23. 1、X射線檢測(cè)器23. 2和檢查對(duì)象1的X方向的配置。在該配置中，透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域VOO的X射線入射至受光部24. 1。透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域V02的X射線入射至受光部24. 2。 但是，X射線的入射角度與圖18的(A)部分以及圖18的(B)部分的時(shí)的不同。通過(guò)圖18所示的X方向的移動(dòng)，分別針對(duì)檢查對(duì)象區(qū)域VOO和V02，取得從3個(gè)X 位置拍攝的圖像。如圖16說(shuō)明的那樣，在各X位置上存在Y位置不同的6個(gè)拍攝位置，針對(duì)各檢查對(duì)象區(qū)域，能夠取得從3X6 = 18的不同方向拍攝的圖像。參照?qǐng)D19，說(shuō)明對(duì)檢查對(duì)象區(qū)域V00、V10、V20、V02、V12、V22進(jìn)行檢查時(shí)的X射線檢查裝置200的動(dòng)作。圖19表示檢查多個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域時(shí)的X射線檢查裝置200的動(dòng)作的一部分的一個(gè)例子。從為了拍攝檢查對(duì)象區(qū)域VOO和V02而配置的檢查對(duì)象1的狀態(tài)開(kāi)始說(shuō)明。在該狀態(tài)下，X射線檢查裝置200從多個(gè)Y位置拍攝檢查對(duì)象區(qū)域VOO和V02的圖像。S卩，X射線檢查裝置200進(jìn)行X射線焦點(diǎn)位置17的Y方向掃描和X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2的Y方向移動(dòng)，從而拍攝檢查對(duì)象區(qū)域VOO和V02的圖像。此外，在圖19中，用粗框包圍顯示要拍攝的檢查對(duì)象區(qū)域。另外，在圖19中，用圓圈表示X射線源10的中心位置。接著，X射線檢查裝置200為了能夠拍攝檢查對(duì)象區(qū)域VlO和V12，使檢查對(duì)象1 向-Y方向(圖19的下方向)移動(dòng)。X射線檢查裝置200進(jìn)行X射線焦點(diǎn)位置17的掃描和 X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2的移動(dòng)，從而從多個(gè)Y位置拍攝檢查對(duì)象區(qū)域VlO和V12的圖像。接著，X射線檢查裝置200為了能夠拍攝檢查對(duì)象區(qū)域V20和V22，使檢查對(duì)象1 進(jìn)一步向-Y方向移動(dòng)。X射線檢查裝置200進(jìn)行X射線焦點(diǎn)位置17的掃描和X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2的移動(dòng)，從而從多個(gè)Y位置拍攝檢查對(duì)象區(qū)域V20和V22的圖像。接著，X射線檢查裝置200使檢查對(duì)象1、X射線檢測(cè)器23. 1和X射線檢測(cè)器23. 2 向-X方向(圖19的左方向)移動(dòng)。然后，X射線檢查裝置200從與之前的拍攝不同的X位置，拍攝檢查對(duì)象區(qū)域V20和V22的圖像。然后，重復(fù)兩次向-Y方向的移動(dòng)和拍攝的組合 (set)，從而拍攝檢查對(duì)象區(qū)域VlO和V12的圖像以及檢查對(duì)象區(qū)域VOO和V02的圖像。接著，X射線檢查裝置200使檢查對(duì)象1、X射線檢測(cè)器23. 1和X射線檢測(cè)器23. 2 進(jìn)一步向-X方向移動(dòng)。然后，X射線檢查裝置200從與之前的拍攝不同的X位置，拍攝檢查對(duì)象區(qū)域VOO和V02的圖像。然后，重復(fù)兩次向-Y方向的移動(dòng)和拍攝的組合(set)，從而拍攝檢查對(duì)象區(qū)域VlO和V12的圖像以及檢查對(duì)象區(qū)域V20和V22的圖像。通過(guò)上述拍攝，X射線檢查裝置200能夠盡可能將檢查對(duì)象1的移動(dòng)距離抑制短， 能夠在此狀態(tài)下進(jìn)行多個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域的檢查。另外，利用X射線檢查裝置200，能夠檢查整個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域。參照?qǐng)D20，說(shuō)明檢查整個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域時(shí)的X射線檢查裝置200的動(dòng)作的一例。圖20是用于說(shuō)明檢查整個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域時(shí)的X射線檢查裝置200的動(dòng)作的一例的圖。此外，在圖20中，示出了移動(dòng)前后的檢查對(duì)象1的位置關(guān)系，用粗框包圍表示位于相同位置的檢查對(duì)象區(qū)域。首先，X射線檢查裝置200針對(duì)初始的檢查對(duì)象1的位置拍攝各檢查對(duì)象區(qū)域的圖像(圖20的(A)部分)。即，X射線檢查裝置200組合已說(shuō)明的X射線焦點(diǎn)位置17的掃描、X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2的Y方向移動(dòng)、檢查對(duì)象1的Y方向移動(dòng)以及X射線檢測(cè)器 23. 1和23. 2的X方向移動(dòng)，從多個(gè)(在此，為6個(gè))Y位置拍攝各檢查對(duì)象區(qū)域。X射線檢查裝置200使檢查對(duì)象1向-X方向(圖20的左方向)移動(dòng)，針對(duì)下一個(gè)檢查對(duì)象1的位置，進(jìn)行各檢查對(duì)象區(qū)域的拍攝(圖20的(B)部分)。同樣地，X射線檢查裝置200針對(duì)圖20的(C)部分 圖20的(F)部分所示的各檢查對(duì)象1的位置，取得各檢查對(duì)象區(qū)域的圖像。其結(jié)果，X射線檢查裝置200能夠針對(duì)各檢查對(duì)象區(qū)域取得來(lái)自6X6 = 36的不同方向的圖像。此外，在以上說(shuō)明中，在從圖20的㈧部分至圖20的(F)部分的各狀態(tài)下，使X 射線檢測(cè)器23. 1和23. 2在X方向上移動(dòng)，但也可以省略該動(dòng)作，使X射線檢測(cè)器23. 1和 23. 2固定在X方向上。此時(shí)，X射線檢查裝置200能夠在X方向上從合計(jì)兩個(gè)位置拍攝各檢查對(duì)象區(qū)域。因此，X射線檢查裝置200能夠針對(duì)各檢查對(duì)象區(qū)域而取得來(lái)自2 X 6 = 12 的不同方向的圖像。(處理的流程)圖21是以流程圖形式表示第二實(shí)施方式的X射線檢查的全部流程的圖。參照?qǐng)D 21，說(shuō)明第二實(shí)施方式的X射線檢查的全部流程。參照?qǐng)D21，首先，處理一開(kāi)始(步驟S2100)，X射線檢查裝置200使移動(dòng)到能夠拍攝檢查對(duì)象區(qū)域的位置，拍攝透視圖像(步驟S2102)。X射線檢查裝置200檢查透視圖像，基于所取得的透視圖像，判斷檢查對(duì)象1的視場(chǎng)(透視圖像中拍攝的范圍)是否良好(步驟S2104)。對(duì)于好壞判定方法，已提出了各種方法，由于是公知的，在此不詳細(xì)說(shuō)明。接著，X射線檢查裝置200判斷是否需要基于重建數(shù)據(jù)圖像的檢查(步驟S2106)。 作為判斷的基準(zhǔn)，既可以預(yù)先設(shè)定CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息，也可以根據(jù)透視圖像是否良好判定結(jié)果進(jìn)行判斷。例如，在安裝基板的檢查中，只在單面安裝了元件時(shí)，能夠利用透視圖像進(jìn)行好壞判定，因此有時(shí)無(wú)需根據(jù)重建圖像進(jìn)行好壞判定。在無(wú)需基于重建數(shù)據(jù)的檢查時(shí)(步驟S2106中為“否”)，X射線檢查裝置200結(jié)束檢查(步驟S2114)。另一方面，在需要基于重建圖像的檢查時(shí)(步驟S2106中為“是”)，X射線檢查裝置200接著進(jìn)行檢查對(duì)象區(qū)域的CT拍攝(步驟S2108)。X射線檢查裝置200在CT拍攝中， 從多個(gè)方向拍攝檢查對(duì)象區(qū)域。對(duì)于步驟S2108在后面詳細(xì)說(shuō)明。接著，X射線檢查裝置200根據(jù)多個(gè)方向的拍攝圖像來(lái)生成重建數(shù)據(jù)(步驟S2110)。對(duì)于重建處理，已提出了各種方法例如能夠使用“法菲爾德坎普(Feldkamp)法”。接下來(lái)，X射線檢查裝置200基于重建數(shù)據(jù)進(jìn)行好壞判定(步驟S2110)。對(duì)于好壞判定的方法，考慮使用直接應(yīng)用三維數(shù)據(jù)的方法、使用二維數(shù)據(jù)(斷層圖像)、一維數(shù)據(jù)(曲線profile)等的方法。這些好壞判定方法是公知的，因此只要使用適于檢查項(xiàng)目的好壞判定方法即可，在此不重復(fù)詳細(xì)說(shuō)明。然后，X射線檢查裝置200結(jié)束檢查(步驟S2118)。參照?qǐng)D22來(lái)詳細(xì)說(shuō)明第二實(shí)施方式的CT拍攝。圖22是以流程圖形式表示在圖 21中說(shuō)明的CT拍攝的處理的流程的圖。此外，在圖21中，對(duì)于流程圖被分為3個(gè)分支的部分，左列表示X射線檢測(cè)器23. 1的動(dòng)作，右列表示X射線檢測(cè)器23. 2的動(dòng)作，排列在橫向的處理表示同時(shí)執(zhí)行。參照?qǐng)D22，首先，CT拍攝處理一開(kāi)始(步驟S2200)，運(yùn)算部70在步驟S2202中為了使要檢查的檢查對(duì)象區(qū)域移動(dòng)至恰當(dāng)?shù)奈恢?，而使檢查對(duì)象1移動(dòng)。進(jìn)而，運(yùn)算部70也使X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2移動(dòng)至初始位置。如果在X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22. 1、22.2或檢查對(duì)象移動(dòng)機(jī)構(gòu)20上裝載有編碼器，則可以用編碼器設(shè)定X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2的位置、檢查對(duì)象1的位置。或者，也可以使用通用的檢測(cè)器(激光變位計(jì)等)來(lái)設(shè)定這些位置。接著，運(yùn)算部70將X射線焦點(diǎn)位置17設(shè)定在規(guī)定的位置上，照射X射線(步驟 S2204)。另外，運(yùn)算部70利用X射線檢測(cè)器23. 1拍攝圖像(步驟S2206)。拍攝時(shí)間(檢測(cè)器的曝光時(shí)間)可以預(yù)先設(shè)定，也可以由用戶(hù)通過(guò)目視來(lái)設(shè)定所希望的時(shí)間。在步驟S2212中，運(yùn)算部70將X射線檢測(cè)器23. 1移動(dòng)至下一個(gè)拍攝位置，并且為了在重建部76進(jìn)行重建處理而將X射線檢測(cè)器23. 1的拍攝數(shù)據(jù)例如傳送至存儲(chǔ)器90。與此并行地，運(yùn)算部70在步驟S2222中利用X射線檢測(cè)器23. 2拍攝圖像。在步驟S2224中，運(yùn)算部70將X射線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)至下一個(gè)拍攝位置，并且為了在重建部76進(jìn)行重建處理而將X射線檢測(cè)器23. 2的拍攝數(shù)據(jù)例如傳送至存儲(chǔ)器90。接著，運(yùn)算部70判斷是否需要變更X射線焦點(diǎn)位置17 (步驟S2230)。運(yùn)算部70 例如基于焦點(diǎn)位置的變更次數(shù)是否達(dá)到規(guī)定次數(shù)等，來(lái)判斷是否需要變更焦點(diǎn)位置。在需要變更X射線焦點(diǎn)位置17時(shí)(步驟S2230中為“是”)，運(yùn)算部70在步驟S2232 中變更X射線焦點(diǎn)位置17，然后進(jìn)入步驟S2M0。另一方面，在無(wú)需變更時(shí)(步驟S2230中為“否”)，運(yùn)算部70直接進(jìn)入步驟S2M0。在步驟S2M0中，運(yùn)算部70判斷在當(dāng)前的檢查對(duì)象位置是否拍攝達(dá)到了規(guī)定張數(shù)。運(yùn)算部70例如基于拍攝次數(shù)的計(jì)數(shù)結(jié)果，或基于對(duì)X射線檢測(cè)器23. 1和/或23. 2的移動(dòng)次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的結(jié)果，來(lái)進(jìn)行該判斷。如果未達(dá)到規(guī)定張數(shù)(步驟S2240中為“否”)， 則運(yùn)算部70重復(fù)從步驟S2204開(kāi)始的處理。如果已達(dá)到規(guī)定張數(shù)(步驟S2M0中為“是”)，運(yùn)算部70在步驟S2250中判斷是否需要移動(dòng)檢查對(duì)象1。運(yùn)算部70例如在檢查對(duì)象1的移動(dòng)次數(shù)未達(dá)到規(guī)定次數(shù)時(shí)，判斷為需要移動(dòng)檢查對(duì)象1。或者，運(yùn)算部70在所拍攝的圖像的總數(shù)未達(dá)到規(guī)定張數(shù)時(shí)，判斷為需要移動(dòng)檢查對(duì)象1。在需要移動(dòng)檢查對(duì)象時(shí)(步驟S2250中為“是”)，運(yùn)算部70在步驟S2252中使檢查對(duì)象1在X方向上移動(dòng)。然后，運(yùn)算部70重復(fù)從步驟S2204開(kāi)始的處理。在無(wú)需移動(dòng)檢查對(duì)象時(shí)(步驟S2250中為“否”)、運(yùn)算部70結(jié)束CT拍攝處理(步驟 S2260)。在本實(shí)施方式中，配置X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2，使得受光部1與受光部對(duì).2 的間隔等于受光部24. 1或2的寬度。通過(guò)該配置，使X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2在X 方向上移動(dòng)，能夠檢查檢查對(duì)象1上的全部區(qū)域。進(jìn)而，X射線檢查裝置200在利用一個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 (或23. 2)進(jìn)行拍攝的期間內(nèi)，使另一個(gè)X射線檢測(cè)器23.2(或23. 1)移動(dòng)至下一個(gè)拍攝位置。通過(guò)該方法，使X 射線檢測(cè)器23. 1和23. 2的移動(dòng)時(shí)間隱藏在圖像的拍攝時(shí)間內(nèi)，因此能夠進(jìn)一步縮短全部檢查時(shí)間。此外，在本實(shí)施方式中，為了在兩個(gè)X射線檢測(cè)器在X方向獨(dú)立移動(dòng)時(shí)使檢測(cè)器互不干涉，通常在機(jī)械結(jié)構(gòu)上加以改進(jìn)。(變形例)X射線檢查裝置200也可以具有3個(gè)以上的X射線檢測(cè)器。在檢查對(duì)象1比檢測(cè)器的受光部大時(shí)，使用多個(gè)X射線檢測(cè)器能夠縮短檢查時(shí)間。相反，也可以只設(shè)一個(gè)X射線檢測(cè)器。在檢查對(duì)象區(qū)域小并且能夠一次拍攝整個(gè)區(qū)域時(shí)，該結(jié)構(gòu)足夠?qū)崿F(xiàn)其功能。[第三實(shí)施方式](結(jié)構(gòu))參照?qǐng)D23來(lái)說(shuō)明第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置300的結(jié)構(gòu)。圖23是用于說(shuō)明第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置300的結(jié)構(gòu)的圖。X射線檢查裝置300除了 X射線源10的結(jié)構(gòu)之外，具有與第二實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)。X射線源10具有相對(duì)置的兩個(gè)直線形狀的反射型的靶Ila和lib。因此，與具有透過(guò)型靶的X射線源相比，能夠輸出高強(qiáng)度的X射線。這是由于，反射型靶散熱性好，能夠?qū)崿F(xiàn)高能量電子碰撞。因此，通過(guò)X射線檢查裝置300，能夠縮短曝光時(shí)間，提高X射線圖像的畫(huà)質(zhì)。(拍攝方式)X射線檢查裝置300與第二實(shí)施方式的X射線檢查裝置200同樣地，使X射線在Y 方向上掃描，使X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2在Y方向上直線移動(dòng)，由此能夠從多個(gè)Y位置拍攝圖像。圖M表示第三實(shí)施方式中的X射線焦點(diǎn)位置17和X射線檢測(cè)器23. 2的Y方向移動(dòng)的一例。在圖M中，表示對(duì)從靶Ila輸出并且透過(guò)檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行拍攝時(shí)， X射線焦點(diǎn)位置17和X射線檢測(cè)器23. 2的動(dòng)作。該圖的含義與圖16的說(shuō)明相同，不重復(fù)詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)本實(shí)施方式的X射線檢查裝置300，與第一及第二實(shí)施方式同樣地，使X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2直線移動(dòng)，因此能夠縮短檢查時(shí)間。進(jìn)而，根據(jù)X射線檢查裝置300，與第二實(shí)施方式同樣地，當(dāng)拍攝Y方向的拍攝位置不同的多個(gè)圖像時(shí)，無(wú)需移動(dòng)檢查對(duì)象1。另外，由于X射線檢查裝置300具有兩個(gè)靶IlaUlb和兩個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1、 23. 2，因此能夠通過(guò)在靶間切換X射線焦點(diǎn)位置，從而從兩個(gè)方向拍攝透過(guò)一個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域的X射線，而不必移動(dòng)X射線檢測(cè)器23. 1、23.2和檢查對(duì)象1。對(duì)此，參照?qǐng)D25進(jìn)行說(shuō)明。圖25表示第三實(shí)施方式中的拍攝時(shí)的X射線檢測(cè)器 23. 1和23. 2、檢查對(duì)象1以及X射線焦點(diǎn)位置17的位置關(guān)系的一例。在圖25中，從Y方向觀察X射線檢測(cè)器23. 1和23. 2、檢查對(duì)象1以及X射線焦點(diǎn)位置17。參照?qǐng)D25，從靶 Ila輸出X射線時(shí)，利用受光部2拍攝檢查對(duì)象區(qū)域的圖像。另外，從靶l(wèi)ib輸出X射線時(shí)，利用受光部24. 1拍攝檢查對(duì)象區(qū)域的圖像。特別，X射線檢查裝置300在利用一個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 (或23. 2)進(jìn)行拍攝的期間內(nèi)，使另一個(gè)X射線檢測(cè)器23.2(或23. 1)移動(dòng)至下一個(gè)拍攝位置。通過(guò)該方法，使X 射線檢測(cè)器23. 1和23. 2的移動(dòng)時(shí)間隱藏在圖像的拍攝時(shí)間內(nèi)，因此能夠進(jìn)一步縮短全部檢查時(shí)間。此外，通過(guò)電子束掃描來(lái)實(shí)現(xiàn)靶的切換，因此該切換是高速的，對(duì)檢查時(shí)間幾乎無(wú)影響。相對(duì)于機(jī)械移動(dòng)時(shí)間為數(shù)百ms的情況，電子束掃描所需的時(shí)間為數(shù)ms。參照?qǐng)D沈，說(shuō)明檢測(cè)器的獨(dú)立移動(dòng)。圖沈是用于說(shuō)明第三實(shí)施方式的檢測(cè)器的獨(dú)立移動(dòng)的圖。首先，X射線檢查裝置300利用實(shí)線所示位置的受光部24. 1檢測(cè)從靶l(wèi)ib上的焦點(diǎn)位置bl輸出的X射線。接著，X射線檢查裝置300切換靶，從靶Ila上的焦點(diǎn)位置 al輸出X射線。X射線檢查裝置300利用受光部2拍攝該X射線。在此期間，X射線檢查裝置300使受光部24. 1移動(dòng)至虛線所示的位置。如果受光部24. 2的X射線拍攝結(jié)束， 則X射線檢查裝置300在焦點(diǎn)位置Μ輸出X射線，利用虛線位置的受光部24. 1拍攝X射線。X射線檢查裝置300在一系列的X射線掃描期間，能夠在X方向上從兩個(gè)位置拍攝圖像。因此，在一系列的X射線掃描期間，X射線檢查裝置300能夠從2 X (Y方向的拍攝位置的數(shù))的方向拍攝圖像。此外，在拍攝張數(shù)不足時(shí)，X射線檢查裝置300與已說(shuō)明的實(shí)施方式同樣地，在X方向上移動(dòng)檢測(cè)器23. 1,23. 2和檢查對(duì)象1，由此能夠增加拍攝張數(shù)。該移動(dòng)的狀況如圖27 所示。圖27是用于說(shuō)明第三實(shí)施方式中的X射線檢測(cè)器23. 1、X射線檢測(cè)器23. 2和檢查對(duì)象1的X方向移動(dòng)的圖。圖27的內(nèi)容與第二實(shí)施方式中用圖18說(shuō)明的情況相同，不重復(fù)詳細(xì)說(shuō)明。(處理的流程)圖觀是以流程圖形式表示第三實(shí)施方式的X射線檢查的全部流程的圖。該處理的流程以及各處理的內(nèi)容與第一實(shí)施方式中參照?qǐng)D8說(shuō)明的情況大致相同的，因此不重復(fù)其說(shuō)明。但是，步驟S2810的CT拍攝的內(nèi)容不同。參照?qǐng)D四詳細(xì)說(shuō)明第三實(shí)施方式的CT拍攝。圖四是以流程圖形式表示在圖觀中說(shuō)明的CT拍攝的處理的流程的圖。此外，在圖四中，對(duì)于流程圖被分為3個(gè)分支的部分， 左列表示X射線源10的動(dòng)作，中央的列表示X射線檢測(cè)器23. 1的動(dòng)作，右列表示X射線檢測(cè)器23. 2的動(dòng)作，排列在橫向的處理表示同時(shí)執(zhí)行。CT拍攝處理一開(kāi)始(步驟S2900)，運(yùn)算部70使X射線焦點(diǎn)移動(dòng)至與X射線檢測(cè)器23. 1對(duì)應(yīng)的位置，照射X射線(步驟S2902)，利用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝(步驟 S2912)。與此并行地，運(yùn)算部70使X射線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)至下一個(gè)拍攝位置，并且為了在重建部76進(jìn)行重建處理，將X射線檢測(cè)器23. 2的拍攝數(shù)據(jù)例如傳送至存儲(chǔ)器90 (步驟 S2922)。此外，在拍攝剛剛開(kāi)始后，即，還沒(méi)有X射線檢測(cè)器23. 2的拍攝數(shù)據(jù)時(shí)，不需要該處理。接著，運(yùn)算部70使X射線焦點(diǎn)移動(dòng)至與X射線檢測(cè)器23. 2對(duì)應(yīng)的位置，照射X射線(步驟S2904)，利用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝(步驟S2924)。與此并行地，運(yùn)算部70使X射線檢測(cè)器23. 1移動(dòng)至下一個(gè)拍攝位置，并且為了在重建部76進(jìn)行重建處理，將X射線檢測(cè)器23. 1的拍攝數(shù)據(jù)傳送至存儲(chǔ)器90 (步驟S2914)。接著，運(yùn)算部70判斷在當(dāng)前檢查對(duì)象1和X射線檢測(cè)器的位置是否已照射了規(guī)定次數(shù)的X射線(步驟S2930)。如果照射次數(shù)未達(dá)到規(guī)定次數(shù)(步驟中為“否”)，則運(yùn)算部70使處理回到步驟S2902J912、2922。另一方面，如果達(dá)到規(guī)定次數(shù)(步驟S2930中為“是”)，運(yùn)算部70使檢查對(duì)象1(基板)和X射線檢測(cè)器在X方向上移動(dòng)(步驟S2940)。 此外，運(yùn)算部70也可以取代步驟而判斷拍攝圖像是否達(dá)到規(guī)定張數(shù)。接著，運(yùn)算部70判斷是否拍攝了重建所需張數(shù)的圖像(步驟S2950)。在已拍攝了所需張數(shù)時(shí)(步驟S2950中為“是”)，運(yùn)算部70結(jié)束CT拍攝處理(步驟S2960)。在未拍攝到所需張數(shù)時(shí)，運(yùn)算部70使處理回到步驟S2902J912、2922。[第四實(shí)施方式]參照?qǐng)D30來(lái)說(shuō)明第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置400的結(jié)構(gòu)。圖30是用于說(shuō)明第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置400的結(jié)構(gòu)的圖。X射線檢查裝置400除了 X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2的結(jié)構(gòu)之外，具有與第三實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)。在第四實(shí)施方式中，X射線檢測(cè)器23. 1 2)組合了排列在Y方向上的兩個(gè) X 射線檢測(cè)器 23. Ia, 23. Ib (23. 2a, 23. 2b)。通過(guò)X射線檢查裝置400，在第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置300的效果的基礎(chǔ)上，能夠減少在Y方向移動(dòng)X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2。對(duì)此，參照?qǐng)D31進(jìn)行說(shuō)明。圖31是用于說(shuō)明第四實(shí)施方式的拍攝方式的圖。通過(guò)X射線檢查裝置400，能夠同時(shí)拍攝排列在縱向的兩個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域(視場(chǎng))。因此，在Y方向存在多個(gè)檢查對(duì)象區(qū)域時(shí)，能夠?qū)射線檢測(cè)器在Y方向移動(dòng)的次數(shù)消減一半。此外，也可以在Y方向組合3個(gè)以上的X射線檢測(cè)器。由于難以準(zhǔn)備具有一體物的大型受光部的X射線檢測(cè)器，或者這種X射線檢測(cè)器價(jià)格太高，因此這樣組合利用多個(gè)X射線檢測(cè)器是實(shí)用的。[其他]當(dāng)然，適當(dāng)組合上述各實(shí)施方式也在本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，可以在第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中，如第四實(shí)施方式那樣在Y方向排列X射線檢測(cè)器。本次公開(kāi)的實(shí)施方式全部是例示，并非限制本發(fā)明。本發(fā)明的范圍不在于上述說(shuō)明，而是由權(quán)利要求書(shū)決定的，包括與權(quán)利要求書(shū)等價(jià)的范圍內(nèi)的全部變更。附圖標(biāo)記的說(shuō)明1檢查對(duì)象，2電路元件，9真空容器，10 X 射線源，11 靶，12偏轉(zhuǎn)線圈，13電子束會(huì)聚線圈，14高壓電源，15真空泵，
17 X射線焦點(diǎn)位置，
18 X射線，
19電子槍?zhuān)?br> 20檢查對(duì)象移動(dòng)機(jī)構(gòu)，
22 X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部，
22a機(jī)械臂，
22b檢測(cè)器支持部，
23 X射線檢測(cè)器，
24受光部，
25a, 25b 導(dǎo)軌，
30圖像取得控制機(jī)構(gòu)，
32檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部，
34圖像數(shù)據(jù)取得部，
40輸入部，
50輸出部，
60X射線源控制機(jī)構(gòu)，
62電子束控制部，
70運(yùn)算部，
72X射線源控制部，
74圖像取得控制部，
76重建部，
78好壞判定部，
80檢查對(duì)象位置控制部，
82X射線焦點(diǎn)位置計(jì)算部，
84拍攝條件設(shè)定部，
90存儲(chǔ)器，
92X射線焦點(diǎn)位置信息，
94拍攝條件信息，
96程序，
98圖像數(shù)據(jù)，
100 X射線檢查裝置，
200 X射線檢查裝置，
300 X射線檢查裝置，
400 X射線檢查裝置。
權(quán)利要求
1.一種X射線檢查方法，利用X射線檢測(cè)部03)來(lái)拍攝從X射線源(10)輸出并透過(guò)對(duì)象物(1)的檢查對(duì)象區(qū)域的圖像，基于拍攝到的圖像，重建所述檢查對(duì)象區(qū)域的三維數(shù)據(jù)，該X射線檢查方法的特征在于，包括拍攝步驟(S902、S904、S910)，變更所述X射線源的X射線焦點(diǎn)位置(17)與所述檢查對(duì)象區(qū)域之間的相對(duì)位置關(guān)系，并在使所述X射線檢測(cè)部移動(dòng)至拍攝位置的狀態(tài)下拍攝所述圖像，所述拍攝位置是根據(jù)所述X射線焦點(diǎn)位置與所述檢查對(duì)象區(qū)域之間的所述相對(duì)位置關(guān)系決定的，重復(fù)步驟(S908、S912)，以在將所述檢查對(duì)象區(qū)域作為基準(zhǔn)時(shí)使假想平面與特定線段所成的角度為多個(gè)不同的值的方式重復(fù)所述拍攝步驟，所述假想平面包含成為所述X射線焦點(diǎn)位置的點(diǎn)，所述特定線段是連接所述X射線焦點(diǎn)位置和所述檢查對(duì)象區(qū)域而成的線段，重建步驟(S812)，基于針對(duì)所述檢查對(duì)象區(qū)域在多個(gè)所述角度拍攝得到的多個(gè)圖像， 重建所述三維數(shù)據(jù)。
2.如權(quán)利要求1所述的X射線檢查方法，其特征在于， 所述X射線焦點(diǎn)位置是固定的，在所述拍攝步驟中，移動(dòng)所述對(duì)象物。
3.如權(quán)利要求2所述的X射線檢查方法，其特征在于， 所述重復(fù)步驟包括使所述X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在第一方向上的多個(gè)所述拍攝位置的步驟， 使所述X射線檢測(cè)部在與所述第一方向不同的第二方向上移動(dòng)的步驟， 在使所述X射線檢測(cè)部在所述第二方向移動(dòng)后，使所述X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在所述第一方向上的其他的多個(gè)所述拍攝位置的步驟。
4.如權(quán)利要求1所述的X射線檢查方法，其特征在于，所述重復(fù)步驟包括使所述X射線焦點(diǎn)位置在排列有多個(gè)所述拍攝位置的第一方向上進(jìn)行掃描的步驟。
5.如權(quán)利要求4所述的X射線檢查方法，其特征在于，在所述重復(fù)步驟中，使所述X射線焦點(diǎn)位置在沿著所述第一方向的一條直線上進(jìn)行掃描。
6.如權(quán)利要求5所述的X射線檢查方法，其特征在于， 所述重復(fù)步驟包括使所述X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在所述第一方向上的多個(gè)所述拍攝位置的步驟， 使所述X射線檢測(cè)部在與所述第一方向不同的第二方向上移動(dòng)的步驟， 在使所述X射線檢測(cè)部在所述第二方向移動(dòng)后，使所述X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在所述第一方向上的其他的多個(gè)所述拍攝位置的步驟。
7.如權(quán)利要求5所述的X射線檢查方法，其特征在于，所述檢查對(duì)象區(qū)域在與所述第一方向不同的第二方向上分割為多個(gè)部分區(qū)域， 所述X射線檢測(cè)部包括排列在所述第二方向上的多個(gè)X射線檢測(cè)器， 在使所述X射線檢測(cè)部在所述第一方向上移動(dòng)的步驟中，以從相同的所述X射線焦點(diǎn)位置輸出并透過(guò)互不相同的所述部分區(qū)域的所述X射線入射至互不相同的所述X射線檢測(cè)器的方式，使各所述X射線檢測(cè)器在所述第一方向上直線移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求7所述的X射線檢查方法，其特征在于，在使所述X射線檢測(cè)部在所述第一方向上移動(dòng)的步驟中，在所述多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分所述X射線檢測(cè)器拍攝所述圖像的期間，使與所述一部分的X射線檢測(cè)器不同的另一部分所述X射線檢測(cè)器在所述第一方向上移動(dòng)。
9.如權(quán)利要求4所述的X射線檢查方法，其特征在于，所述X射線源是掃描型X射線源，能夠使所述X射線焦點(diǎn)位置在沿著所述第一方向的多條線上進(jìn)行掃描，所述χ射線檢測(cè)部包括多個(gè)X射線檢測(cè)器，在使所述X射線檢測(cè)部在所述第一方向上移動(dòng)的步驟中，以從互不相同的所述線輸出并透過(guò)所述檢查對(duì)象區(qū)域的所述X射線入射至互不相同的所述X射線檢測(cè)器的方式，使各所述X射線檢測(cè)器在所述第一方向上直線移動(dòng)，在所述重復(fù)步驟中，使所述X射線焦點(diǎn)位置在各所述線上進(jìn)行掃描。
10.如權(quán)利要求9所述的X射線檢查方法，其特征在于，所述掃描型X射線源包括分別配置在多條所述線上的多個(gè)反射型的靶。
11.如權(quán)利要求9所述的X射線檢查方法，其特征在于，在使所述X射線檢測(cè)部在所述第一方向上移動(dòng)的步驟中，在所述多個(gè)χ射線檢測(cè)器中的一部分所述χ射線檢測(cè)器拍攝所述圖像的期間，使與所述一部分的X射線檢測(cè)器不同的另一部分所述X射線檢測(cè)器在所述第一方向上移動(dòng)。
12.如權(quán)利要求9所述的X射線檢查方法，其特征在于， 所述重復(fù)步驟包括 使所述X射線檢測(cè)部在與所述第一方向不同的第二方向上移動(dòng)的步驟， 在使所述X射線檢測(cè)部在所述第二方向上移動(dòng)后，使所述X射線檢測(cè)部直線移動(dòng)至排列在所述第一方向上的多個(gè)所述拍攝位置的步驟。
13.如權(quán)利要求1所述的X射線檢查方法，其特征在于，所述X射線檢測(cè)部具有排列在第一方向上的多個(gè)受光部。
14.一種X射線檢查裝置，用于重建對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的三維數(shù)據(jù)，該X射線檢查裝置特征在于，具有X射線源(10)，其用于輸出X射線， X射線檢測(cè)部(23)，其用于拍攝所述X射線， 移動(dòng)機(jī)構(gòu)(22)，其用于移動(dòng)所述X射線檢測(cè)部， 控制部(70)，其用于控制所述X射線檢查裝置的動(dòng)作； 所述控制部進(jìn)行如下處理使所述X射線源變更其X射線焦點(diǎn)位置(17)與所述檢查對(duì)象區(qū)域之間的相對(duì)位置關(guān)系，并使所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)將所述X射線檢測(cè)部移動(dòng)至拍攝位置，在變更了所述相對(duì)位置關(guān)系以及移動(dòng)了所述X射線檢測(cè)部的狀態(tài)下，使所述X射線源和所述X射線檢測(cè)部拍攝圖像，所述拍攝位置是根據(jù)所述X射線焦點(diǎn)位置與所述檢查對(duì)象區(qū)域之間的所述相對(duì)位置關(guān)系決定的，以在將所述檢查對(duì)象區(qū)域作為基準(zhǔn)時(shí)使假想平面與特定線段所成的角度為多個(gè)不同的值的方式重復(fù)對(duì)所述圖像的拍攝，所述假想平面包含成為所述X射線焦點(diǎn)位置的點(diǎn)，所述特定線段是連接所述X射線焦點(diǎn)位置和所述檢查對(duì)象區(qū)域而成的線段，基于針對(duì)所述檢查對(duì)象區(qū)域在多個(gè)所述角度拍攝得到的多個(gè)圖像，重建所述三維數(shù)據(jù)。
15.如權(quán)利要求14所述的X射線檢查裝置，其特征在于，所述X射線源是掃描型X射線源，能夠使所述X射線焦點(diǎn)位置在沿著排列有多個(gè)所述拍攝位置的第一方向的一條直線上進(jìn)行掃描。
16.如權(quán)利要求14所述的X射線檢查裝置，其特征在于，所述X射線源是掃描型X射線源，能夠使所述X射線焦點(diǎn)位置在沿著排列有多個(gè)所述拍攝位置的第一方向的多條直線上進(jìn)行掃描， 所述χ射線檢測(cè)部包括多個(gè)X射線檢測(cè)器，各所述X射線檢測(cè)器被配置為，使從互不相同的所述線輸出并透過(guò)所述檢查對(duì)象區(qū)域的所述X射線，入射至互不相同的所述X射線檢測(cè)器。
17.如權(quán)利要求16所述的X射線檢查裝置，其特征在于，所述掃描型X射線源包括分別配置在所述多條線上的多個(gè)反射型的靶。
全文摘要
X射線檢查方法和X射線檢查裝置(100)具有X射線源(10)、X射線檢測(cè)器(23)、X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部(22)、控制X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部(22)驅(qū)動(dòng)X射線檢測(cè)器(23)及從X射線檢測(cè)器(23)取得圖像數(shù)據(jù)的圖像取得控制機(jī)構(gòu)(30)、移動(dòng)檢查對(duì)象(1)的檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(20)、X射線源控制機(jī)構(gòu)(60)、運(yùn)算部(70)。X射線源控制機(jī)構(gòu)(60)基于運(yùn)算部的指示，使X射線源(10)輸出X射線。圖像取得控制機(jī)構(gòu)(30)基于運(yùn)算部的指示，使X射線檢測(cè)器移動(dòng)至Y方向上的多個(gè)拍攝位置。檢查對(duì)象驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)基于運(yùn)算部的指示，使檢查對(duì)象在Y方向上移動(dòng)，能在各拍攝位置使X射線檢測(cè)器檢測(cè)透過(guò)檢查對(duì)象的X射線。
文檔編號(hào)G01N23/04GK102265143SQ20098015210
公開(kāi)日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2009年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月22日
發(fā)明者加藤訓(xùn)之, 杉田信治, 松波剛, 益田真之 申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社