專(zhuān)利名稱(chēng)：質(zhì)量流傳感器和具有質(zhì)量流傳感器的機(jī)動(dòng)車(chē)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種質(zhì)量流傳感器和特別是一種用于機(jī)動(dòng)車(chē)的空氣質(zhì)量傳感器的質(zhì)量流傳感器。
背景技術(shù)：
質(zhì)量流傳感器適于檢測(cè)流動(dòng)通道中的流體的質(zhì)量流。這樣的流動(dòng)通道例如可以是內(nèi)燃機(jī)的進(jìn)氣部分。取決于通過(guò)質(zhì)量流傳感器檢測(cè)的質(zhì)量流可以執(zhí)行例如對(duì)內(nèi)燃機(jī)的運(yùn)行的診斷，也可以實(shí)現(xiàn)控制內(nèi)燃機(jī)。為此目的重要的是，在不同的運(yùn)行條件下可靠地并且盡可能精確地檢測(cè)實(shí)際的質(zhì)量流。DE 197 24 659 Al公開(kāi)了一種包括傳感器件的質(zhì)量流傳感器裝置。該傳感器件布置和集成在特有的芯片上。此外公開(kāi)了一種評(píng)估電子元件，其單獨(dú)設(shè)計(jì)，但是和傳感器單元電華禹合。DE 42 19 454 C2公開(kāi)了一種具有測(cè)量芯片的質(zhì)量流傳感器裝置，該測(cè)量芯片借助于連接線與另一個(gè)電路電耦合。此外質(zhì)量流傳感器裝置的隔板這樣和測(cè)量芯片接觸，即在測(cè)量芯片上的連接區(qū)域與流動(dòng)通道在空間上分離，測(cè)量芯片的傳感器件布置在流動(dòng)通道中。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提出一種能特別可靠地運(yùn)行的質(zhì)量流傳感器和一種具有質(zhì)量流傳感器的機(jī)動(dòng)車(chē)。該目的通過(guò)獨(dú)立權(quán)利要求所述的特征來(lái)實(shí)現(xiàn)。在從屬權(quán)利要求中體現(xiàn)了本發(fā)明有利的實(shí)施方式。根據(jù)第一觀點(diǎn)，本發(fā)明的特征在于一個(gè)質(zhì)量流傳感器，其具有至少一個(gè)傳感器件， 借助于該傳感器件能檢測(cè)流體流的質(zhì)量流。此外質(zhì)量流傳感器具有傳感器芯片，該傳感器芯片具有第一芯片側(cè)和相對(duì)設(shè)置的第二芯片側(cè)。在第一芯片側(cè)上布置有至少一個(gè)傳感器件并且在第二芯片側(cè)上布置有至少一個(gè)電觸點(diǎn)。至少一個(gè)電觸點(diǎn)借助于至少一個(gè)電連接與至少一個(gè)傳感器件電耦合。此外質(zhì)量流傳感器具有傳感器支承件，該傳感器支承件具有至少一個(gè)電導(dǎo)線和至少一個(gè)電接觸區(qū)域，該電接觸區(qū)域與至少一個(gè)電導(dǎo)線電耦合。該傳感器芯片這樣布置在傳感器支承件上，即在傳感器芯片的第二芯片側(cè)上的至少一個(gè)電觸點(diǎn)與傳感器支承件的至少一個(gè)電接觸區(qū)域電耦合。這具有的優(yōu)點(diǎn)是，由此特別牢固和可靠地構(gòu)成質(zhì)量流傳感器，以便測(cè)定流體流的質(zhì)量流。流體可以設(shè)計(jì)為氣體或液態(tài)。流體特別是空氣，從而能特別在空氣質(zhì)量傳感器中使用質(zhì)量流傳感器。電導(dǎo)線例如可以設(shè)計(jì)為安置在傳感器支承件上的印刷電路，從而例如設(shè)計(jì)為粘貼上的印刷電路。傳感器芯片典型地布置在流動(dòng)通道中并且能在流動(dòng)通道中暴露于流體流。優(yōu)選地將隔板設(shè)計(jì)為介質(zhì)分離件，其這樣布置，即一部分質(zhì)量流傳感器、從而例如傳感器芯片對(duì)應(yīng)于流動(dòng)通道，而另一部分質(zhì)量流傳感器和流動(dòng)通道在空間上分離。由于傳感器件和傳感器支承件的電導(dǎo)線電耦合，因此可以特別可靠地設(shè)計(jì)隔板。特別地，可以特別可靠地運(yùn)動(dòng)質(zhì)量流傳感器，這是因?yàn)椴⒉淮嬖谀苡筛舭鍝p害的自由延伸的電線、例如連接線。由于在傳感器芯片的第二芯片側(cè)上布置至少一個(gè)電觸點(diǎn)，保護(hù)電觸點(diǎn)和電接觸區(qū)域防止受到濕氣和在流體流中傳輸?shù)念w粒的損害。在第一觀點(diǎn)的有利的實(shí)施方式中，電連接包括通過(guò)傳感器芯片從第一芯片側(cè)到第二芯片側(cè)的直通連接。這可能實(shí)現(xiàn)在至少一個(gè)傳感器件和實(shí)現(xiàn)一個(gè)電觸點(diǎn)之間特別可靠的電連接。優(yōu)選地，至少一個(gè)直通連接直接與至少一個(gè)電觸點(diǎn)電連接。直通連接優(yōu)選地設(shè)計(jì)為垂直的直通連接。至少一個(gè)電觸點(diǎn)例如設(shè)計(jì)為焊點(diǎn)或設(shè)計(jì)為電傳導(dǎo)的粘點(diǎn)。根據(jù)第二觀點(diǎn)，本發(fā)明的特征在于一個(gè)質(zhì)量流傳感器，其具有至少一個(gè)傳感器件， 借助于該傳感器件能檢測(cè)流體流的質(zhì)量流。此外質(zhì)量流傳感器具有傳感器支承件，該傳感器支承件具有至少一個(gè)電導(dǎo)線。此外質(zhì)量流傳感器具有傳感器芯片，該傳感器芯片具有第一芯片側(cè)和相對(duì)設(shè)置的第二芯片側(cè)。傳感器芯片利用其第二芯片側(cè)和傳感器支承件連接。 在第一芯片側(cè)上布置有至少一個(gè)傳感器件。傳感器件借助于至少一個(gè)電連接和傳感器支承件的至少一個(gè)電導(dǎo)線電耦合。優(yōu)選地直接緊鄰傳感器芯片的第二芯片側(cè)和傳感器支承件的連接位置，實(shí)現(xiàn)了至少一個(gè)電連接與傳感器芯片的第二芯片側(cè)的至少一個(gè)電導(dǎo)線的電觸點(diǎn)接通。這具有的優(yōu)點(diǎn)是，能特別可靠地運(yùn)行質(zhì)量流傳感器。在第一和第二觀點(diǎn)的有利的實(shí)施方式中，至少一個(gè)電連接包括至少一個(gè)表面印刷電路，該表面印刷電路沿著傳感器芯片的表面布置。這具有的優(yōu)點(diǎn)是，能特別簡(jiǎn)單地設(shè)計(jì)電連接。因此至少一個(gè)表面印刷電路例如設(shè)計(jì)為至少一個(gè)粘貼在傳感器芯片表面上的印刷電路。原則上也可能的是，至少一個(gè)電連接包括至少一個(gè)表面印刷電路，并且至少一個(gè)電連接中的至少另外一個(gè)包括至少一個(gè)直通連接。在第一和第二觀點(diǎn)的另一個(gè)有利的實(shí)施方式中，質(zhì)量流傳感器具有評(píng)估單元，其借助于傳感器支承件的至少一個(gè)電導(dǎo)線與至少一個(gè)傳感器件電耦合，并且該評(píng)估單元設(shè)計(jì)用于借助于至少一個(gè)傳感器件測(cè)定流體流的質(zhì)量流。這具有的優(yōu)點(diǎn)是，由于傳感器件和傳感器支承件的電導(dǎo)線的電耦合，可以將隔板特別簡(jiǎn)單和可靠地設(shè)計(jì)為介質(zhì)分離件。特別地， 評(píng)估單元可以特別可靠地與流動(dòng)通道在空間上分離，并且因此保護(hù)評(píng)估單元防止受到濕氣和顆粒的損害。第一和第二觀點(diǎn)的另一個(gè)有利的實(shí)施方式中，傳感器支承件設(shè)計(jì)為引線框。例如設(shè)計(jì)為引線框的傳感器支承件設(shè)計(jì)為板材沖壓部件，并且已經(jīng)具有導(dǎo)電性。這有利的是，傳感器支承件已經(jīng)設(shè)計(jì)為至少一個(gè)電導(dǎo)線，并且能用于是至少一個(gè)傳感器件與優(yōu)選的評(píng)估單元電耦合。在第一和第二觀點(diǎn)的另一個(gè)有利的實(shí)施方式中，第一芯傳感器片至少設(shè)計(jì)為介質(zhì)分離件的一部分。介質(zhì)分離件設(shè)計(jì)用于將評(píng)估單元與流體流在空間上分離。這可以實(shí)現(xiàn)特別簡(jiǎn)單并且成本低廉地設(shè)計(jì)介質(zhì)分離件。本發(fā)明根據(jù)第三觀點(diǎn)的特征在一種于機(jī)動(dòng)車(chē)，其具有至少一個(gè)根據(jù)第一或第二觀點(diǎn)的質(zhì)量流傳感器。機(jī)動(dòng)車(chē)優(yōu)選地具有內(nèi)燃機(jī)。至少一個(gè)質(zhì)量流傳感器布置在內(nèi)燃機(jī)的進(jìn)氣部分中，并且在進(jìn)氣部分中特別在內(nèi)燃機(jī)運(yùn)行時(shí)將空氣流用作流體流。


以下根據(jù)附圖詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施例。圖中示出
圖1在橫截面中示出了質(zhì)量流傳感器的第一實(shí)施方式，圖2在橫截面中示出了質(zhì)量流傳感器的第二實(shí)施方式，圖3在橫截面中示出了作為介質(zhì)分離件的一部分的質(zhì)量流傳感器。結(jié)構(gòu)或功能相同的元件利用相同的參考標(biāo)號(hào)圖形夸張地示出。
具體實(shí)施例方式圖1中在橫截面中示出了質(zhì)量流傳感器LMM的第一實(shí)施方式。質(zhì)量流傳感器LMM 例如可以布置在機(jī)動(dòng)車(chē)的空氣質(zhì)量傳感器中。質(zhì)量流傳感器LMM至少部分地布置在流動(dòng)通道中，并且流體流FF、即例如空氣流能在出現(xiàn)在該流動(dòng)通道中。流動(dòng)通道FC例如設(shè)計(jì)為殼體的旁路通道，該殼體和質(zhì)量流傳感器LMM —起例如是質(zhì)量流傳感器裝置的組成部分，例如空氣質(zhì)量傳感器，其優(yōu)選地在機(jī)動(dòng)車(chē)的內(nèi)燃機(jī)的進(jìn)氣部分中布置在空氣過(guò)濾器的下游。流體流FF在流動(dòng)通道FC中的流動(dòng)方向在圖1中垂直于圖示面向內(nèi)延伸。質(zhì)量流傳感器LMM具有包括第一芯片側(cè)CHP1_1和第二芯片側(cè)CHP1_2的第一傳感器芯片CHP1。在第一芯片側(cè)CHP1_1上布置、特別集成了傳感器件SU。傳感器件SU包括布置在例如一個(gè)或多個(gè)溫度傳感器TS上的膜片M。設(shè)計(jì)和預(yù)設(shè)第一傳感器芯片CHP1，流動(dòng)通道FC布置在其中，并且利用其第一芯片側(cè)CHP1_1暴露于流體流FF。然而第二芯片側(cè) CHP1_2遠(yuǎn)離流體流地布置，并且不暴露于流體流。借助于傳感器件SU能檢測(cè)流體流FF的質(zhì)量流。此外，第一傳感器芯片CHPl具有直通連接V，其在圖1中垂直通過(guò)第一傳感器芯片 CHPl由第一芯片側(cè)CHP1_1延伸到第二芯片側(cè)CHP1_2。直通連接V例如設(shè)計(jì)為在第一傳感器芯片CHPl中的銅柱(Copper Pillar Bump)。但可替換地也可以將直通連接V設(shè)計(jì)為焊球(Solder Ball Bump)或設(shè)計(jì)為本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其它實(shí)施方式。直通連接V在第一傳感器芯片CHPl的第一芯片側(cè)CHP1_1上與第一電導(dǎo)線CPl的第一端部電耦合。第一電導(dǎo)線CPl的第二端部與傳感器件SU的溫度傳感器TS電耦合。原則上也可以在傳感器件SU 的膜片M上布置其它的或附加的部件，并且和其它第一電導(dǎo)線CPl電耦合。至少一個(gè)第一電導(dǎo)線CPl例如設(shè)計(jì)為在第一傳感器芯片CHPl上集成的電路板。在第一傳感器芯片CHPl 的第二芯片側(cè)CHP1_2的區(qū)域中，直通連接V與電觸點(diǎn)SP電耦合。電觸點(diǎn)SP例如設(shè)計(jì)為焊點(diǎn)或?qū)щ娬迟N點(diǎn)。也可以使用其它本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的電觸點(diǎn)SP。第一傳感器芯片CHPl也可以具有多于一個(gè)的直通連接V和多于一個(gè)的第一電導(dǎo)線 CPl。對(duì)于直通連接V可替換地或可替代地，可以將各個(gè)第一電導(dǎo)線CPl也利用其各第一端部與表面印刷電路SCP電耦合，該表面印刷電路沿著傳感器芯片CHPl的表面布置(在圖1中點(diǎn)狀示出)。原則上也可能的是，在多個(gè)第一電導(dǎo)線CPl中，至少一個(gè)第一電導(dǎo)線CPl 中的至少一個(gè)與至少一個(gè)表面印刷電路SCP電耦合，而至少一個(gè)第一電導(dǎo)線CPl中的至少另一個(gè)與至少一個(gè)直通連接V電耦合。第一電導(dǎo)線CPl和直通連接V和/或表面印刷電路SCP可以稱(chēng)為在第一傳感器芯片CHPl的第一芯片側(cè)CHP1_1和第二芯片側(cè)CHP1_2之間的電連接，其使傳感器件SU和在第一傳感器芯片CHPl的第二芯片側(cè)CHP1_2上的至少一個(gè)電觸點(diǎn)SP電耦合。此外質(zhì)量流傳感器LMM具有傳感器支承件LF，其優(yōu)選地設(shè)計(jì)為引線框。例如設(shè)計(jì)為引線框的傳感器支承件LF設(shè)計(jì)為板材沖壓部件，并且已經(jīng)具有導(dǎo)電性。但也可以可替換地將傳感器支承件LF設(shè)計(jì)為電路板。傳感器支承件LF具有至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2，其在引線框的情況下自身設(shè)計(jì)為引線框。如果傳感器支承件LF設(shè)計(jì)為電路板，則至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2例如設(shè)計(jì)為粘上的印刷電路。傳感器支承件LF具有至少一個(gè)電接觸區(qū)域CA，該電接觸區(qū)域和至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2的端部電耦合。第一傳感器芯片CHPl優(yōu)選地借助于粘膠劑AD利用其第二芯片側(cè)CHP1_2與傳感器支承件LF電耦合。粘膠劑AD優(yōu)選地不導(dǎo)電地設(shè)計(jì)。第一傳感器芯片CHPl這樣布置在傳感器支承件LF上，即在傳感器芯片CHPl的第二芯片側(cè)CHP1_2上的至少一個(gè)電觸點(diǎn)SP 與傳感器支承件LF的至少一個(gè)電接觸區(qū)域CA電耦合，其中優(yōu)選地不將粘膠劑AD涂布在該區(qū)域上。電耦合例如可以借助于焊點(diǎn)或借助于導(dǎo)電粘貼點(diǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)。質(zhì)量流傳感器LMM優(yōu)選地具有第二傳感器芯片CHP2，其例如也設(shè)計(jì)為硅片。第二傳感器芯片CHP2具有評(píng)估單元，即例如集成的評(píng)估單元。在第二傳感器芯片CHP2上的評(píng)估單元與至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2的另一個(gè)端部電耦合，并且因此與第一傳感器芯片CHPl 上的傳感器件SU電耦合。設(shè)計(jì)第二傳感器芯片CHP2的評(píng)估單元，借助于傳感器件SU測(cè)定并且在輸出端提供傳感器信號(hào)，其對(duì)于流體流FF測(cè)定的質(zhì)量流是由代表性的。質(zhì)量流傳感器LMM具有第一和第二傳感器芯片CHP1，CHP2，并且因此構(gòu)成雙芯傳感器。第一傳感器芯片CHPl在機(jī)動(dòng)車(chē)的內(nèi)燃機(jī)運(yùn)行時(shí)暴露于流體流FF。第二傳感器芯片 CHP2優(yōu)選地在內(nèi)燃機(jī)運(yùn)行時(shí)不暴露于流體流FF，這是因?yàn)楹土黧w流FF —起傳輸?shù)念w粒以及濕氣可以導(dǎo)致對(duì)第二傳感器芯片CHP2上的評(píng)估單元的損害。質(zhì)量流傳感器裝置的殼體具有隔板W，其這樣布置在質(zhì)量流傳感器LMM的第一和第二傳感器芯片CHP1，CHP2之間，即第二傳感器芯片CHP2與流動(dòng)通道在空間上分離。隔板 W優(yōu)選地設(shè)計(jì)為密封唇，并且在密封唇的與傳感器支承件LF接觸位置上和傳感器支承件粘貼。接觸位置在傳感器支承件LF的區(qū)域中，至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2在其中延伸。由于至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2集成在傳感器支承件LF中或安置在傳感器支承件LF上，隔板W可以特別適合地與傳感器支承件LF接觸。隔板W是介質(zhì)分離件，這樣對(duì)其設(shè)計(jì)，即將其中布置有第一傳感器芯片CHPl的流動(dòng)通道FC和具有評(píng)估單元的第二傳感器芯片CHP 2在空間上分離。特別通過(guò)設(shè)計(jì)傳感器支承件LF的至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2能特別簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)隔板W，這是因?yàn)樵诘谝粋鞲衅餍酒珻HPl和第二傳感器芯片CHP 2之間沒(méi)有自由延伸的連接線或其它自由延伸的電線。這具有的優(yōu)點(diǎn)是，可以特別可靠地制造和運(yùn)行具有質(zhì)量流傳感器LMM的質(zhì)量流傳感器裝置。圖2在橫截面中示出了質(zhì)量流傳感器LMM的第二實(shí)施方式，其具有傳感器支承件 LF和第一和第二傳感器芯片CHP1，CHP2。第一傳感器芯片CHPl利用傳感器支承件LF例如借助于粘膠劑AD與其第二傳感器芯片CHP2連接。在第一傳感器芯片CHPl的第一芯片側(cè) CHP1_1上的傳感器件SU與至少一個(gè)第一電導(dǎo)線CPl的第二端部電耦合。傳感器件SU、特別是傳感器件SU的至少一個(gè)部件利用至少一個(gè)表面印刷電路SCP與至少一個(gè)第一電導(dǎo)線 CPl的第一端部電耦合。至少一個(gè)電觸點(diǎn)SP緊鄰第一傳感器芯片CHPl和傳感器支承件LF 的連接位置布置。傳感器支承件LF具有電接觸區(qū)域CA，其和圖1相比并不布置在第一傳感器芯片CHPl的第二芯片側(cè)CHP1_2下方。由此也可以使隔板W這樣在第一和第二傳感器芯片CHP1，CHP2之間與傳感器支承件LF接觸，即確保在流體流FF和第二傳感器芯片CHP2 上的評(píng)估單元之間可靠的介質(zhì)分離。
圖3在橫截面中示出了具有隔板W的質(zhì)量流傳感器LMM。隔板W并不與傳感器支承件LF的至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2或與傳感器支承件LF接觸。隔板W優(yōu)選地利用隔板W 的側(cè)面與第一傳感器芯片CHPl的端面FS接觸。端面FS朝向第二傳感器芯片CHP2。由此第一傳感器芯片CHP1、特別是第一傳感器芯片CHPl的端面FS利用隔板W構(gòu)成在第一和第二傳感器芯片CHP1，CHP2之間的介質(zhì)分離件。這可以特別成本低廉并且同時(shí)可靠地實(shí)現(xiàn)質(zhì)量流傳感器LMM，這是因?yàn)閭鞲衅髦С屑﨤F的至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2不和隔板W接觸，并且因此不存在損害傳感器支承件LF的至少一個(gè)第二電導(dǎo)線CP2的危險(xiǎn)。
權(quán)利要求
1.一種質(zhì)量流傳感器(LMM)具有-至少一個(gè)傳感器件(SU)，借助于所述傳感器件能檢測(cè)流體流(FF)的質(zhì)量流，-傳感器芯片(CHPl)，具有第一芯片側(cè)(CHP1_1)和相對(duì)設(shè)置的第二芯片側(cè)(CHP1_2)， 其中在所述第一芯片側(cè)(CHP1_1)上布置有至少一個(gè)傳感器件(SU)并且在所述第二芯片側(cè) (CHP1_2)上布置有至少一個(gè)電觸點(diǎn)(SP)，其中所述至少一個(gè)電觸點(diǎn)(SP)借助于至少一個(gè)電連接(CP1，V，SCP)與所述至少一個(gè)傳感器件(SU)電耦合，-傳感器支承件(LF)，具有至少一個(gè)電導(dǎo)線(CP2)和與至少一個(gè)電導(dǎo)線(CP2)電耦合的至少一個(gè)電接觸區(qū)域(CA)，其中所述傳感器芯片(CHPl)這樣布置在所述傳感器支承件 (LF)上，即在所述傳感器芯片(CHPl)的所述第二芯片側(cè)(CHP1_2)上的至少一個(gè)電觸點(diǎn) (SP)與所述傳感器支承件(LF)的所述至少一個(gè)電接觸區(qū)域(CA)電耦合，-評(píng)估單元，所述評(píng)估單元借助于所述傳感器支承件(LF)的所述至少一個(gè)電導(dǎo)線 (CP2)與所述至少一個(gè)傳感器件(SU)電耦合，并且所述評(píng)估單元設(shè)計(jì)用于借助所述至少一個(gè)傳感器件(SU)測(cè)定所述流體流(FF)的質(zhì)量流，其中所述傳感器芯片(CHPl)至少設(shè)計(jì)為介質(zhì)分離件的一部分，其中所述介質(zhì)分離件設(shè)計(jì)用于將所述評(píng)估單元與所述流體流(FF) 在空間上分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流傳感器(LMM)，其中，所述電連接(CP1，V，SCP)包括穿過(guò)所述傳感器芯片(CHPl)從所述第一芯片側(cè)(CHP1_1)到所述第二芯片側(cè)(CHP1_2)的直通連接(V)。
3.一種質(zhì)量流傳感器(LMM)具有-至少一個(gè)傳感器件(SU)，借助于所述傳感器件能檢測(cè)流體流(FF)的質(zhì)量流，-傳感器支承件(LF)，具有至少一個(gè)電導(dǎo)線(CP2)，-傳感器芯片(CHPl)，具有第一芯片側(cè)(CHP1_1)和相對(duì)設(shè)置的第二芯片側(cè)(CHP1_2)， 其中所述傳感器芯片(CHPl)利用所述傳感器芯片的所述第二芯片側(cè)(CHP1_2)與所述傳感器支承件(LF)連接，其中在所述第一芯片側(cè)(CHP1_1)上布置有至少一個(gè)傳感器件(SU)，并且所述傳感器件借助于至少一個(gè)電連接(CP1，V，SCP)與所述傳感器支承件(LF)的所述至少一個(gè)電導(dǎo)線(CP2)電耦合，-評(píng)估單元，所述評(píng)估單元借助于所述傳感器支承件(LF)的至少一個(gè)電導(dǎo)線(CP2)與至少一個(gè)傳感器件(SU)電耦合，并且所述評(píng)估單元設(shè)計(jì)用于借助至少一個(gè)傳感器件(SU) 測(cè)定所述流體流(FF)的質(zhì)量流，其中所述傳感器芯片(CHPl)至少設(shè)計(jì)為介質(zhì)分離件的一部分，其中所述介質(zhì)分離件設(shè)計(jì)用于將所述評(píng)估單元和所述流體流(FF)在空間上分離。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的質(zhì)量流傳感器(LMM)，其中，所述至少一個(gè)電連接(CP1，V， SCP)包括至少一個(gè)表面印刷電路(SCP)，所述表面印刷電路沿著所述傳感器芯片(CHPl)的表面布置。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的質(zhì)量流傳感器(LMM)，其中，所述傳感器支承件 (LF)設(shè)計(jì)為引線框。
6.一種具有至少一個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的質(zhì)量流傳感器(LMM)的機(jī)動(dòng)車(chē)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種包括至少一個(gè)傳感器件(SU)的質(zhì)量流傳感器(LMM)。此外，質(zhì)量流傳感器(LMM)具有傳感器芯片(CHP1)，該傳感器芯片具有第一芯片側(cè)和相對(duì)設(shè)置的第二芯片側(cè)(CHP1_1，CHP1_2)。在第一芯片側(cè)(CHP1_1)上布置有至少一個(gè)傳感器件(SU)以及在第二芯片側(cè)(CHP1_2)上布置有至少一個(gè)電觸點(diǎn)(SP)。至少一個(gè)電觸點(diǎn)(SP)借助至少一個(gè)電連接(CP1，V，SCP)與至少一個(gè)傳感器件(SU)電耦合。質(zhì)量流傳感器(LMM)具有傳感器支承件(LF)，其具有至少一個(gè)電導(dǎo)線(CP2)以及與至少一個(gè)電導(dǎo)線(CP2)電耦合的至少一個(gè)電接觸區(qū)域(CA)。傳感器芯片(CHP1)這樣布置在傳感器支承件(LF)上，即在傳感器芯片(CHP1)的第二芯片側(cè)(CHP1_2)上的至少一個(gè)電觸點(diǎn)(SP)與傳感器支承件(LF)的至少一個(gè)電接觸區(qū)域(CA)電耦合。
文檔編號(hào)G01F1/684GK102209885SQ200980144401
公開(kāi)日2011年10月5日 申請(qǐng)日期2009年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月6日
發(fā)明者托爾斯藤·克尼特爾, 斯特凡·佩扎爾, 斯蒂芬·斯特斯卡克 申請(qǐng)人:大陸汽車(chē)有限責(zé)任公司