專(zhuān)利名稱(chēng)：用于確定散射參數(shù)的測(cè)量系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于確定基板上的待測(cè)電子器件(electrical device under test)的散射參數(shù)的測(cè)量系統(tǒng)，該測(cè)量系統(tǒng)具有測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置具有至少一個(gè)測(cè)量信道(measuring channel)和被電連接到至少一個(gè)測(cè)量信道的至少一個(gè)測(cè)量探針，所述測(cè)量探針被設(shè)計(jì)成以物理接觸或非物理接觸的方式與電路中的屬于待測(cè)電子器件的電信號(hào)引導(dǎo)線(electrical signal guide)接角蟲(chóng)。
背景技術(shù)：
例如，在由多個(gè)子電路構(gòu)成的復(fù)雜的平面微波電路的發(fā)展中，有用的是，對(duì)于各個(gè)子電路單獨(dú)確定散射參數(shù)，或者，根據(jù)需要對(duì)于各個(gè)電子部件單獨(dú)確定散射參數(shù)。這樣，可以獨(dú)立地分析和檢查各個(gè)子電路或電子部件的性能。利用改進(jìn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(VNA)來(lái)確定被嵌入在電路中的待測(cè)電子器件(DUT)的散射參數(shù)。非接觸式矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的測(cè)量精度主要取決于測(cè)量探針定位的再現(xiàn)性。通過(guò)使用自動(dòng)在片探針(on-wafer probe)和電機(jī)驅(qū)動(dòng)的探頭，可以設(shè)定非接觸式探針的位置，具體地是設(shè)定探針相對(duì)于測(cè)量用平面基板的距離。
為了能夠表征被嵌入的DUT，非接觸式探針或DUT必須被移位到適當(dāng)?shù)奈恢?。這樣，當(dāng)對(duì)所有的DUT或校準(zhǔn)標(biāo)樣(calibration standard)進(jìn)行測(cè)量時(shí)，需要探針相對(duì)于DUT 或校準(zhǔn)標(biāo)樣的供給線位于相同的位置(在x、y、z方向上)。由于測(cè)量用平面基板的不平坦性、耦合的探針被傾斜地定位等，難以確保探針被可再現(xiàn)地定位。測(cè)量精度取決于定位精度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提高上述種類(lèi)的測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量精度和測(cè)量處理的結(jié)果的再現(xiàn)性。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)具有為至少一個(gè)測(cè)量探針設(shè)置第一定位裝置、設(shè)置用于檢測(cè)至少一個(gè)測(cè)量探針的位置并且發(fā)出位置信號(hào)的至少一個(gè)傳感器的特征的上述種類(lèi)的測(cè)量系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)該目的。在其它權(quán)利要求中描述了本發(fā)明的有利的實(shí)施方式。
在上述種類(lèi)的測(cè)量系統(tǒng)中，根據(jù)本發(fā)明進(jìn)行如下設(shè)置為至少一個(gè)測(cè)量探針設(shè)置第一定位裝置，設(shè)置至少一個(gè)傳感器，所述至少一個(gè)傳感器用于檢測(cè)至少一個(gè)測(cè)量探針的位置并且發(fā)出位置信號(hào)。
這具有如下優(yōu)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)了測(cè)量探針相對(duì)于待測(cè)電子器件的精確且可再現(xiàn)的定位， 這為散射參數(shù)的測(cè)量提供高的測(cè)量精度，換句話說(shuō)，為矢量網(wǎng)絡(luò)分析提供高的測(cè)量精度。
在優(yōu)選實(shí)施方式中，設(shè)置至少一個(gè)第一控制單元，所述至少一個(gè)第一控制單元被連接到所述傳感器，以接收來(lái)自所述傳感器的位置信號(hào)，并且所述至少一個(gè)第一控制單元被設(shè)計(jì)成以使被所述傳感器檢測(cè)位置的測(cè)量探針相對(duì)于所述待測(cè)電子器件位于空間中的預(yù)定位置的方式致動(dòng)所述至少一個(gè)第一定位裝置。
4 有效地，所述第一定位裝置具有手動(dòng)的或電機(jī)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器。
在優(yōu)選實(shí)施方式中，所述至少一個(gè)傳感器是光學(xué)傳感器、電光學(xué)傳感器、電傳感器、聲學(xué)傳感器、紅外傳感器、靜電傳感器和/或磁傳感器。
有效地，所述測(cè)量裝置是改進(jìn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，其中，所述測(cè)量探針經(jīng)由連接線被直接電連接到接收器或所述測(cè)量信道。
例如，所述測(cè)量探針是電容地和/或感應(yīng)地耦合的探針或環(huán)形探針。
為了對(duì)測(cè)量系統(tǒng)內(nèi)的電路進(jìn)行附加的精確定位，設(shè)置至少一個(gè)第二定位裝置，所述第二定位裝置被手動(dòng)地驅(qū)動(dòng)或被電機(jī)驅(qū)動(dòng)的部件驅(qū)動(dòng)，并且被設(shè)計(jì)成機(jī)械地接收所述電路。
有效地，設(shè)置用于致動(dòng)所述第二定位裝置的至少一個(gè)控制單元，作為選擇，設(shè)置將來(lái)自所述至少一個(gè)傳感器的位置數(shù)據(jù)傳送到所述至少一個(gè)第二控制單元的至少一個(gè)數(shù)據(jù)路徑或至少一個(gè)數(shù)據(jù)線。例如，所述第一控制單元和所述第二控制單元被集成為一個(gè)控制單元。
在優(yōu)選實(shí)施方式中，所述至少一個(gè)傳感器檢測(cè)所述測(cè)量探針在空間中的絕對(duì)位置和/或所述測(cè)量探針相對(duì)于所述待測(cè)電子器件的位置、和/或所述測(cè)量探針相對(duì)于所述電路上的位置標(biāo)記的位置、和/或所述測(cè)量探針相對(duì)于在所述待測(cè)電子器件與所述電路的其它部分之間的信號(hào)線的位置，并且所述至少一個(gè)傳感器向所述至少一個(gè)第一控制單元發(fā)出位置信號(hào)。
由于設(shè)置用于在所述測(cè)量裝置和所述至少一個(gè)控制單元之間傳送數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)傳送路徑，控制單元接收來(lái)自測(cè)量裝置的用于定位相關(guān)的測(cè)量探針的附加數(shù)據(jù)，并且測(cè)量裝置接收測(cè)量探針是否被正確定位的信息，從而能夠開(kāi)始測(cè)量或者使將被訪問(wèn)的測(cè)量值作為位置數(shù)據(jù)的函數(shù)。
所述待測(cè)電子器件是校準(zhǔn)標(biāo)樣或者是被嵌入在形成于所述基板的電路中并且包括一個(gè)或多個(gè)被電連接在一起的電子部件的待測(cè)電子器件(DUT)。
有效地，所述至少一個(gè)傳感器被機(jī)械地固定到所述至少一個(gè)測(cè)量探針。
為了使一個(gè)傳感器能夠用于例如多個(gè)測(cè)量探針，所述傳感器被配置成能夠獨(dú)立于所述基板在空間中移位。
在優(yōu)選實(shí)施方式中，在所述基板上配置標(biāo)記，所述傳感器被設(shè)計(jì)成感測(cè)相對(duì)于該標(biāo)記的位置。


下面將參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)選實(shí)施方式。
具體實(shí)施例方式借助于圖1的示例示出的根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)選實(shí)施方式包括改進(jìn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀10，該矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀10具有發(fā)生器12 ；阻抗4 14 ；開(kāi)關(guān)16 ；測(cè)量信道18、 20,22,24 ；和計(jì)算機(jī)沈。不同于傳統(tǒng)的VNA，在改進(jìn)的VNA中，測(cè)量信道18、20、22、24與兩個(gè)測(cè)量探針28直接電連接。各測(cè)量探針28被配置于XYZ馬達(dá)形式的第一定位裝置30，即，第一定位裝置30被設(shè)計(jì)成用于在空間中對(duì)給定的測(cè)量探針觀進(jìn)行三維定位。第一定位裝置30被連接到共用的控制單元32，該控制單元32用于致動(dòng)第一定位裝置30以適當(dāng)?shù)囟ㄎ粶y(cè)量探針觀。此外，設(shè)置與控制單元32連接的兩個(gè)位置測(cè)量傳感器34。傳感器34被連接到相應(yīng)的測(cè)量探針28并且用于檢測(cè)測(cè)量探針28在空間中的位置。傳感器34向控制單元32發(fā)出位置信號(hào)，該位置信號(hào)表示給定的測(cè)量探針的位置?？刂茊卧?2根據(jù)來(lái)自傳感器34的這些位置信號(hào)致動(dòng)第一定位裝置30，使得測(cè)量探針觀被正確地定位在空間中的預(yù)定位置。數(shù)據(jù)線36 —方面被連接到改進(jìn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀10或者更確切地說(shuō)被連接到配置于矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀10中的計(jì)算機(jī)沈，另一方面被連接到控制單元32，該數(shù)據(jù)線36用于在改進(jìn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀10與控制單元32之間交換數(shù)據(jù)。
在基板38上形成電路，該電路具有被嵌入在電路中的多個(gè)待測(cè)電子器件40、42、 44、46、48。這些待測(cè)電子器件40、42、44、46、48形成由改進(jìn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀10來(lái)確定散射參數(shù)的待測(cè)器件(DUT)。由相應(yīng)的信號(hào)引導(dǎo)線50將待測(cè)電子器件40、42、44、46、48連接在一起。在基板38上，具有待測(cè)電子器件40、42、44、46、48和信號(hào)引導(dǎo)線50的電路采取例如平面電路的形式。為了能夠測(cè)量DUT 44的散射參數(shù)，測(cè)量探針觀在將DUT 44連接到電路的其它部分的信號(hào)引導(dǎo)線50的近場(chǎng)被配置于DUT 44的兩側(cè)。發(fā)生器12經(jīng)由阻抗14、開(kāi)關(guān)16、相應(yīng)的波導(dǎo)(waveguide) 52和轉(zhuǎn)換器(transition) 54、相應(yīng)的信號(hào)引導(dǎo)線50被連接到電路并且將適當(dāng)?shù)臏y(cè)試信號(hào)供給到電路中。
附圖標(biāo)記56表示基準(zhǔn)面，附圖標(biāo)記58表示基板38上的第一位置，附圖標(biāo)記60表示基板38上的第二位置，附圖標(biāo)記62表示基板38上的第三位置，附圖標(biāo)記64表示基板38 上的第四位置，附圖標(biāo)記66表示基板38上的第五位置，附圖標(biāo)記68表示基板38上的第六位置。為了能夠確定DUT 44的散射參數(shù)，測(cè)量探針觀被配置于第三位置62和第四位置 64。為了能夠測(cè)量例如DUT40的散射參數(shù)，兩個(gè)非接觸式測(cè)量探針觀必須被移位到第一位置58和第二位置60。
傳感器34檢測(cè)測(cè)量探針28相對(duì)于信號(hào)引導(dǎo)線50的位置。為了該目的，在基板38 上形成例如位置標(biāo)記。如果來(lái)自傳感器34的相關(guān)的位置信號(hào)顯示出從信號(hào)引導(dǎo)線50的近場(chǎng)區(qū)域中的期望位置偏離，則控制單元32以使兩個(gè)測(cè)量探針觀被正確地配置在DUT 44 的信號(hào)引導(dǎo)線50的近場(chǎng)中的期望位置的方式彼此獨(dú)立地致動(dòng)定位裝置30。由于借助于傳感器34和控制單元32如此控制測(cè)量探針觀的定位或調(diào)整，所以，即使在具有相同構(gòu)造的多個(gè)基板38上，也能以可再現(xiàn)的正確性導(dǎo)向目標(biāo)追蹤所涉及的位置。作為可選方案或者另外，基板38可以以已知的方式具有用于校驗(yàn)非接觸式測(cè)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)標(biāo)樣，該校準(zhǔn)標(biāo)樣具有相應(yīng)的信號(hào)引導(dǎo)線。于是，測(cè)量探針被定位在校準(zhǔn)標(biāo)樣所包括的信號(hào)引導(dǎo)線的近場(chǎng)中的預(yù)定位置，可以以可再現(xiàn)的正確性導(dǎo)向目標(biāo)追蹤該預(yù)定位置。
另外，基板38被配置在定位臺(tái)70上，該定位臺(tái)70被XYZ馬達(dá)形式的第二定位裝置72定位，即，在空間中的三個(gè)方向上定位定位臺(tái)70。第二定位裝置72與控制單元32連接，控制單元32也根據(jù)來(lái)自傳感器34的位置信號(hào)來(lái)致動(dòng)第二定位裝置72并且相應(yīng)地調(diào)整基板38在定位臺(tái)70上的空間位置，使得測(cè)量探針觀的期望位置與由傳感器34檢測(cè)到的測(cè)量探針觀的實(shí)際位置之間的差異最小化，即，使得測(cè)量探針觀相對(duì)于信號(hào)引導(dǎo)線50位于期望位置。
傳感器34例如通過(guò)機(jī)械方法、電學(xué)方法、光學(xué)方法(例如借助于激光)、電光學(xué)方法、聲學(xué)方法、借助于紅外部件等地進(jìn)行工作，從而能夠檢測(cè)相關(guān)的測(cè)量探針觀的位置或者其位置的偏離。這樣，傳感器向控制單元32傳送全位置(full position)或者僅報(bào)告何時(shí)到達(dá)規(guī)定位置。傳感器也可以借助于聲頻信號(hào)和顯示器等而不是借助于控制單元32向使用者傳達(dá)位置信息事項(xiàng)。借助于控制單元32，在位置改變之后，手動(dòng)地或全自動(dòng)地進(jìn)行探針的位置的再調(diào)整。
借助于示例示出的非接觸式測(cè)量系統(tǒng)包括至少一個(gè)測(cè)量信道18、20、22、24 ；至少一個(gè)發(fā)生器12 ；和至少一個(gè)測(cè)量探針觀，借助于以三維方式操作的至少一個(gè)定位裝置30 來(lái)安排(line up)至少一個(gè)測(cè)量探針觀相對(duì)于至少一個(gè)供給線50的空間位置，所述供給線50被連接到DUT 44或校準(zhǔn)標(biāo)樣，定位裝置30彼此獨(dú)立地改變或設(shè)定測(cè)量用基板38或校驗(yàn)基板的三維位置和/或測(cè)量探針的三維位置。至少一個(gè)測(cè)量探針觀經(jīng)由信號(hào)路徑被連接到用于檢測(cè)測(cè)量值的至少一個(gè)測(cè)量信道18、20、22、24。其中，信號(hào)路徑例如包括放大器、偏置器和波導(dǎo)。測(cè)量探針觀優(yōu)選采取非接觸式測(cè)量探針觀的形式，非接觸式測(cè)量探針 28是純感應(yīng)式探針或純電容式探針觀，或者是二者的組合。作為可選方案，測(cè)量探針觀采取例如在片探針的接觸式探針觀的形式，該接觸式探針觀利用校準(zhǔn)標(biāo)樣的供給線或位于耦合結(jié)構(gòu)的DUT的供給線與校驗(yàn)基板或測(cè)量用基板38電接觸。接觸式探針觀與DUT的供給線50直接接觸。
來(lái)自發(fā)生器的信號(hào)經(jīng)由切換開(kāi)關(guān)16被供給到波導(dǎo)。波導(dǎo)經(jīng)由例如在片探針或PCB 探針或同軸共面轉(zhuǎn)換器(coaxial-planar transition)等波導(dǎo)轉(zhuǎn)換器M與平面校驗(yàn)基板或測(cè)量用基板38電連接。利用切換開(kāi)關(guān)16，信號(hào)能量可以被供給到校驗(yàn)基板或測(cè)量用基板38上的不同部位。借助于其上具有已知或部分已知的校準(zhǔn)標(biāo)樣的校驗(yàn)基板以及例如 TRL (穿透-反射-線)等傳統(tǒng)校驗(yàn)方法，可以校驗(yàn)測(cè)量單元，或者，換句話說(shuō)，可以校正測(cè)量的誤差。由非接觸式測(cè)量探針觀將作為復(fù)數(shù)值的測(cè)量值從校準(zhǔn)標(biāo)樣或DUT 44的供給線50 耦聯(lián)出并且由波導(dǎo)將測(cè)量值供給到待測(cè)器件的每個(gè)端口處的至少一個(gè)測(cè)量信道18、20、22、 M。測(cè)量信道18、20、22、M是接收復(fù)數(shù)形式的測(cè)量信號(hào)并使復(fù)數(shù)形式的測(cè)量信號(hào)數(shù)字化的接收器。然后，在改進(jìn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀(VNA)中或者在內(nèi)部或外部PC沈中對(duì)測(cè)量值進(jìn)行分析。這具有可以正確地表征被嵌入的待測(cè)器件的優(yōu)點(diǎn)。測(cè)量信道例如是矢量的。測(cè)量信道是矢量的意味著測(cè)量信道能夠檢測(cè)復(fù)數(shù)形式的測(cè)量信號(hào)。然而，同樣地，測(cè)量信道也可以是非矢量的，即，僅測(cè)量測(cè)量信號(hào)的大小或者相位或者實(shí)部或虛部。對(duì)于測(cè)量用的每個(gè)端口，例如使用兩個(gè)矢量測(cè)量信道(兩個(gè)測(cè)量部位VNA)或用于實(shí)部測(cè)量的四個(gè)信道(功率檢測(cè)器、六端口反射儀)。
非接觸式測(cè)量探針觀例如包括多個(gè)獨(dú)立的非接觸式測(cè)量探針。DUT 40、42、44、 46、48可以被連接到多個(gè)波導(dǎo)(供給線)50，至少一個(gè)測(cè)量探針觀被定位于各供給線50的近場(chǎng)?？梢越柚诙ㄎ谎b置可再現(xiàn)地設(shè)定各獨(dú)立的測(cè)量探針觀相對(duì)于給定的供給線50的位置。借助于控制單元32對(duì)測(cè)量探針觀或測(cè)量用基板38進(jìn)行位置的設(shè)定。
手動(dòng)地進(jìn)行再調(diào)整或由自動(dòng)部件進(jìn)行再調(diào)整。如果使用多個(gè)探針觀，則彼此獨(dú)立地再調(diào)整所有的探針觀的位置是特別有利的。例如，借助于傳感器34由自動(dòng)部件進(jìn)行三維再調(diào)整。在該情況下使用電傳感器、機(jī)械傳感器、光學(xué)傳感器或其它傳感器34。作為可選方案，在測(cè)量用基板上還存在用于位置檢測(cè)的輔助結(jié)構(gòu)。由傳感器34發(fā)出的信號(hào)被控制單元32分析并且被轉(zhuǎn)換成用于定位裝置30的控制信號(hào)。
傳感器34例如是非接觸式探針觀的一部分或者傳感器34與非接觸式探針觀是彼此獨(dú)立的。傳感器的示例是顯微鏡、激光輔助距離傳感器(laser-assisted distance sensor) (resilient butt contact)等。
作為可選方案，借助于在多個(gè)位置的重復(fù)測(cè)量和分析進(jìn)行測(cè)量探針28的位置的再調(diào)整，為此使用規(guī)定的分析算法。對(duì)于自動(dòng)再調(diào)整，優(yōu)選使用控制單元32。對(duì)于手動(dòng)調(diào)整， 即，使用者手動(dòng)地對(duì)位置進(jìn)行再調(diào)整，控制單元32不是必須的。由于為了減小測(cè)量誤差而彼此獨(dú)立地控制所有N個(gè)探針相對(duì)于相應(yīng)的DUT 40、42、44、46、48的供給線50的位置以表征具有N個(gè)端口的待測(cè)器件是非常有道理的，所以，優(yōu)選設(shè)置N個(gè)獨(dú)立的控制單元32。N-I 個(gè)控制單元例如被連接到N-I個(gè)探針觀，一個(gè)控制單元被連接到定位臺(tái)70。
在所示出的實(shí)施方式中，被例如照相機(jī)等傳感器檢測(cè)和處理的位置標(biāo)記位于校驗(yàn)基板或測(cè)量用基板38上。非接觸式探針觀的位置被再調(diào)整，直到到達(dá)相對(duì)于位置標(biāo)記的期望位置。
轉(zhuǎn)換器M (諸如在片探針等)將發(fā)生器12的波導(dǎo)轉(zhuǎn)換成校驗(yàn)基板或測(cè)量用基板 38的波導(dǎo)50。例如，手動(dòng)地或利用控制單元自動(dòng)地設(shè)定轉(zhuǎn)換器M的位置。作為可選方案， 這些轉(zhuǎn)換器M采取接觸式探針的形式，并且至少一個(gè)傳感器34還檢測(cè)至少一個(gè)轉(zhuǎn)換器M 的位置，至少一個(gè)定位裝置也相對(duì)于基板38定位轉(zhuǎn)換器M和/或相對(duì)于至少一個(gè)轉(zhuǎn)換器 54定位基板38。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)量系統(tǒng)，其用于確定基板(38)上的待測(cè)電子器件00、42、44、46、48)的散射參數(shù)，所述測(cè)量系統(tǒng)具有測(cè)量裝置(10)，所述測(cè)量裝置(10)具有至少一個(gè)測(cè)量信道(18、 20,22,24)和被電連接到所述至少一個(gè)測(cè)量信道(18、20、22、24)的至少一個(gè)測(cè)量探針 ( )，所述至少一個(gè)測(cè)量探針08)被設(shè)計(jì)成以物理接觸或非物理接觸的方式與電路中的屬于所述待測(cè)電子器件00、42、44、46、48)的電信號(hào)引導(dǎo)線(50)接觸，所述測(cè)量系統(tǒng)的特征在于，為所述至少一個(gè)測(cè)量探針08)設(shè)置第一定位裝置(30)，設(shè)置用于檢測(cè)所述至少一個(gè)測(cè)量探針08)的位置并且發(fā)出位置信號(hào)的至少一個(gè)傳感器(34)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置至少一個(gè)第一控制單元(32)，所述至少一個(gè)第一控制單元(3 被連接到所述傳感器(34)，以接收來(lái)自所述傳感器(34)的位置信號(hào)，并且所述至少一個(gè)第一控制單元(3 被設(shè)計(jì)成以使被所述傳感器(34)檢測(cè)位置的測(cè)量探針08)相對(duì)于所述待測(cè)電子器件00、42、44、46、48)位于空間中的預(yù)定位置的方式致動(dòng)所述至少一個(gè)第一定位裝置(30)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述第一定位裝置具有手動(dòng)的或電機(jī)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器 (34)是光學(xué)傳感器、電光學(xué)傳感器、電傳感器、聲學(xué)傳感器、紅外傳感器、靜電傳感器和/或磁傳感器。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)量裝置(10)是改進(jìn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，所述測(cè)量信道(18、20、22、24)經(jīng)由連接線被直接連接到所述測(cè)量探針。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)量探針08)是電容地和/或感應(yīng)地耦合的探針或環(huán)形探針。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置至少一個(gè)第二定位裝置(72)，所述第二定位裝置(7 被手動(dòng)地驅(qū)動(dòng)或被電機(jī)驅(qū)動(dòng)的部件驅(qū)動(dòng)，并且被設(shè)計(jì)成機(jī)械地接收所述基板(38)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置用于致動(dòng)所述第二定位裝置 (72)的至少一個(gè)第二控制單元。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置將來(lái)自所述至少一個(gè)傳感器 (34)的位置數(shù)據(jù)傳送到所述至少一個(gè)第二控制單元的數(shù)據(jù)路徑。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述第一控制單元和所述第二控制單元被集成為一個(gè)控制單元(32)。
11.根據(jù)權(quán)利要求2至10中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器(34)檢測(cè)所述測(cè)量探針08)在空間中的絕對(duì)位置、和/或所述測(cè)量探針08)相對(duì)于所述待測(cè)電子器件00、42、44、46、48)的位置、和/或所述測(cè)量探針08)相對(duì)于所述電路或所述基板(38)上的位置標(biāo)記的位置、和/或所述測(cè)量探針08)相對(duì)于在所述待測(cè)電子器件00、42、44、46、48)與所述電路的其它部分之間的信號(hào)線(50)的位置，并且所述至少一個(gè)傳感器(34)向所述至少一個(gè)第一控制單元(3 發(fā)出位置信號(hào)。
12.根據(jù)權(quán)利要求2至11中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置用于在所述測(cè)量裝置(10)和所述至少一個(gè)控制單元(3 之間傳送數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)傳送路徑(36)。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述待測(cè)電子器件是被嵌入在形成于所述基板(38)的電路中并且包括一個(gè)或多個(gè)被電連接在一起的電子部件的待測(cè)電子器件(DUT) (40、42、44、46、幼)。
14.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述待測(cè)電子器件是校準(zhǔn)標(biāo)樣。
15.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器 (34)被機(jī)械地固定到所述至少一個(gè)測(cè)量探針08)。
16.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器(34)被配置成能夠獨(dú)立于所述基板(38)在空間中移位。
17.根據(jù)前述權(quán)利要求中至少一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，在所述基板(38)上配置標(biāo)記，所述傳感器(34)被設(shè)計(jì)成感測(cè)相對(duì)于該標(biāo)記的位置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于確定基板(38)上的電子測(cè)量對(duì)象(40、42、44、46、48)的散射參數(shù)的測(cè)量系統(tǒng)，該測(cè)量系統(tǒng)具有測(cè)量裝置(10)，該測(cè)量裝置(10)具有至少一個(gè)測(cè)量信道(18、20、22、24)和被電連接到至少一個(gè)測(cè)量信道(18、20、22、24)的至少一個(gè)測(cè)量探針(28)，所述至少一個(gè)測(cè)量探針(28)被設(shè)計(jì)成以非接觸或接觸的方式與電路中的電子測(cè)量對(duì)象(40、42、44、46、48)的電信號(hào)線(50)連接。根據(jù)本發(fā)明，為至少一個(gè)測(cè)量探針(28)設(shè)置第一定位裝置(30)，其中，至少一個(gè)傳感器(34)檢測(cè)至少一個(gè)測(cè)量探針(28)的位置并且輸出位置信號(hào)。
文檔編號(hào)G01R27/28GK102187233SQ200980141732
公開(kāi)日2011年9月14日 申請(qǐng)日期2009年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月20日
發(fā)明者T·賽爾德, B·戈克 申請(qǐng)人:羅森伯格高頻技術(shù)有限及兩合公司