專利名稱：支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的系統(tǒng)及方法。本發(fā)明尤其涉及處理檢查 對象物的圖像，支援發(fā)現(xiàn)該缺陷的系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
近年來，在制造LCD (Liquid Crystal Display 液晶顯示器)、半導(dǎo)體晶片等工場 的生產(chǎn)線上進(jìn)行著通過用高分辨率的照相機(jī)拍攝所制造的LCD、晶片等的表面，對拍攝數(shù)據(jù) 進(jìn)行圖像分析，來自動(dòng)檢查LCD、晶片等的缺陷。在此，作為用于檢查在制作LCD時(shí)使用的光掩模等極小圖案的缺陷的技術(shù)，提出 有輸出將對光掩模中的光學(xué)圖像與參考圖像進(jìn)行比較后的結(jié)果的技術(shù)，其中，參考圖像是 根據(jù)包含在CAD數(shù)據(jù)文件中的圖形數(shù)據(jù)所生成的(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在專利文獻(xiàn)1 中，光學(xué)圖像獲取部獲取光掩模中的光學(xué)圖像，其中，光掩模成為描繪有包含在CAD數(shù)據(jù)文 件中的圖形數(shù)據(jù)所示圖形的樣本。然后，在比較電路中，使用預(yù)定的算法對光學(xué)圖像與參考 圖像進(jìn)行比較，將判斷為缺陷的圖像等輸出到復(fù)查裝置，其中，參考圖像是將包含在CAD數(shù) 據(jù)文件中的圖形數(shù)據(jù)變換為圖像數(shù)據(jù)施加預(yù)定的過濾處理而生成的。專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-85995號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
這樣，通過處理IXD等圖像來檢查其缺陷的技術(shù)已經(jīng)存在。但是，近來，伴隨著IXD等中的檢查面積的巨大化、用于顯示大量數(shù)據(jù)的IXD等的 高精細(xì)化，對比較光學(xué)圖像與參考圖像的圖像處理的性能要求變高。因此，在專利文獻(xiàn)1 中，考慮有將比較光學(xué)圖像與參考圖像的比較電路做成與用于獲取光學(xué)圖像的光學(xué)圖像單 元裝置不同的高性能的專用單元。然而，即使通過使用高性能的專用單元解決了對圖像處理的性能要求，但在將判 斷為缺陷的圖像輸出到復(fù)查裝置時(shí)，不能解決伴隨著數(shù)據(jù)傳送量的巨大化，用于在系統(tǒng)內(nèi) 進(jìn)行數(shù)據(jù)通信的帶寬不足這樣的問題。在此，帶寬是指傳送路徑容量，用可傳送的比特率表
7J\ ο即使對上述問題設(shè)計(jì)成采用最大限度地獲取帶寬那樣的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，也需要使比較 電路集中進(jìn)行圖像處理，因此具有與周邊單元的通信能力和增大的數(shù)據(jù)傳送量不平衡的可 能性。另外，為了使傳送數(shù)據(jù)量變小，也考慮對判斷為缺陷的圖像進(jìn)行壓縮。但是，該處 理產(chǎn)生致使原來的圖像處理性能降低的新問題。本發(fā)明的目的在于避免連接在進(jìn)行圖像處理的單元上的通信線路的帶寬不足這 樣的情況，其中圖像處理用于判斷檢查對象物的缺陷部分的圖像。尤其在于消除圖像處理 單元與結(jié)果保存單元之間帶寬的增大?；谏鲜瞿康?，本發(fā)明提供一種用于支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的系統(tǒng)，包括獲取部，用于獲取通過對檢查對象物進(jìn)行拍攝所得到的攝影圖像；判斷部，通過第一通信線 路連接著獲取部，判斷由獲取部所獲取的攝影圖像中的、包含檢查對象物的缺陷部分的區(qū) 域的圖像即缺陷圖像；以及保存部，通過第二通信線路被連接著獲取部，保存由判斷部所判 斷的缺陷圖像，獲取部通過第一通信線路將攝影圖像發(fā)送給判斷部，并且將攝影圖像存儲 在本身的存儲器內(nèi)，在通過第一通信線路從判斷部接收用于確定缺陷圖像的圖像確定信息 時(shí)，通過第二通信線路向保存部發(fā)送存儲在存儲器內(nèi)的攝影圖像中的由圖像確定信息所確 定的缺陷圖像。在此，也可以是，圖像確定信息包含具有上述攝影圖像的識別號碼、上述缺陷部分 的個(gè)數(shù)、以及由上述缺陷部分的坐標(biāo)和區(qū)域構(gòu)成的缺陷區(qū)域信息的組中的至少一者。另外，也可以是，獲取部從存儲在存儲器內(nèi)的攝影圖像切出缺陷圖像，將缺陷圖像 發(fā)送給保存部。這種情況下，獲取部可以在從判斷部接收用于確定存儲在存儲器內(nèi)的攝影 圖像內(nèi)的缺陷圖像所占有的區(qū)域的區(qū)域確定信息作為圖像確定信息時(shí)，將由攝影圖像內(nèi)的 區(qū)域確定信息所確定的區(qū)域切出來作為缺陷圖像。另外，也可以是，獲取部在從判斷部接收到存儲在存儲器內(nèi)的攝影圖像不包含缺 陷圖像這一情況的信息時(shí)，從存儲器刪除攝影圖像。另一方面，也可以是，攝影圖像包含多個(gè)圖像碎片，獲取部向保存部發(fā)送存儲在存 儲器內(nèi)的攝影圖像所包含的多個(gè)圖像碎片中的包含缺陷圖像的圖像碎片。這種情況下，獲 取部可以在從判斷部接收到用于確定包含存儲在存儲器內(nèi)的攝影圖像所具有的多個(gè)圖像 碎片中的缺陷圖像的圖像碎片的碎片確定信息作為圖像確定信息時(shí)，向保存部發(fā)送由多個(gè) 圖像碎片中的碎片確定信息所確定的圖像碎片。另外，也可以是，攝影圖像包含多個(gè)圖像碎片，獲取部從判斷部接收到未包含存儲 于存儲器內(nèi)的攝影圖像所具有的多個(gè)圖像碎片中的確定的圖像碎片這一情況的信息時(shí)，從 存儲器內(nèi)刪除確定的圖像碎片。另外，也可以是，判斷部在未向獲取部發(fā)送所判斷的缺陷圖像的情況下，刪除缺陷 圖像。并且，也可以是，第二通信線路的帶寬大于第一通信線路的帶寬。另外，本發(fā)明還提供一種用于支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的方法，其包括以下步 驟獲取部從拍攝部獲取拍攝部通過對檢查對象物進(jìn)行拍攝所得到的攝影圖像；獲取部通 過第一通信線路將攝影圖像發(fā)送給判斷部；獲取部將攝影圖像存儲在本身的存儲器內(nèi)；判 斷部判斷通過第一通信線路從獲取部接收到的攝影圖像中的、包含檢查對象物的缺陷部分 的區(qū)域圖像即缺陷圖像；判斷部通過第一通信線路向獲取部發(fā)送用于確定缺陷圖像的圖像 確定信息；以及獲取部通過第二通信線路向保存部發(fā)送由存儲于存儲器內(nèi)的攝影圖像中的 圖像確定信息所確定的缺陷圖像。并且，本發(fā)明還提供一種用于支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的方法，其包括以下步 驟獲取部從拍攝部獲取拍攝部通過對檢查對象物進(jìn)行拍攝所得到的攝影圖像的多個(gè)圖像 碎片；獲取部通過第一通信線路將多個(gè)圖像碎片發(fā)送給判斷部；獲取部將多個(gè)圖像碎片存 儲在本身的存儲器內(nèi)；判斷部判斷通過第一通信線路從獲取部接收到的多個(gè)圖像碎片中 的、包含檢查對象物的缺陷部分的區(qū)域圖像即缺陷圖像；判斷部通過第一通信線路向獲取 部發(fā)送用于確定包含存儲在存儲器內(nèi)的多個(gè)圖像碎片中的缺陷圖像的圖像碎片的碎片確定信息、和用于確定圖像碎片內(nèi)的缺陷圖像所占有的區(qū)域的區(qū)域確定信息；獲取部將存儲 在存儲器內(nèi)的多個(gè)圖像碎片中的由碎片確定信息所確定的圖像碎片內(nèi)的由區(qū)域確定信息 所確定的區(qū)域作為缺陷圖像來切出；以及獲取部將所切出的缺陷圖像發(fā)送給保存部。根據(jù)本發(fā)明，能夠避免連接在進(jìn)行圖像處理的單元上的通信線路的帶寬不足這樣 的情況，其中，圖像處理用于判斷檢查對象物的缺陷部分的圖像。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的缺陷發(fā)現(xiàn)支援系統(tǒng)的功能結(jié)構(gòu)的框圖。圖2是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的捕獲單元將捕獲圖像存儲到發(fā)送隊(duì)列為止的概 略工作的圖。圖3是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的捕獲單元將捕獲圖像傳送到圖像處理單元為止 的概略工作的圖。圖4是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的圖像處理單元將無缺陷的信息返回到捕獲單元 時(shí)的概略工作的圖。圖5是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的圖像處理單元將缺陷信息返回到捕獲單元時(shí)的 概略工作的圖。圖6是表示由本發(fā)明實(shí)施方式生成的缺陷信息的具體例的圖。圖7是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的捕獲單元將捕獲圖像傳送到圖像處理單元時(shí)的 工作例的流程圖。圖8是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的圖像處理單元進(jìn)行圖像分析時(shí)的工作例的流程 圖。圖9是表示本發(fā)明實(shí)施方式中的捕獲單元從圖像處理單元接受信J的工作例的流程圖。
圖10是表示能夠適用本發(fā)明的實(shí)施方式的計(jì)算機(jī)的硬件結(jié)構(gòu)的圖。
標(biāo)號說明
10照相機(jī)
20捕獲單元
21接收部
22發(fā)送隊(duì)列
23收發(fā)部
24緩存器
25圖像提取部
26發(fā)送部
30圖像處理單元
31收發(fā)部
32緩存器
33圖像分析部
34缺陷信息生成部
具體實(shí)施例方式以下參照附圖詳細(xì)說明用于實(shí)施本發(fā)明的方式(以下稱為“實(shí)施方式”)。首先，對本實(shí)施方式中的缺陷發(fā)現(xiàn)支援系統(tǒng)進(jìn)行說明。另外，在此，作為檢查對象 物以LCD為例進(jìn)行說明。圖1是表示這樣的缺陷發(fā)現(xiàn)支援系統(tǒng)100的整體結(jié)構(gòu)例的圖。如圖示那樣，缺陷發(fā)現(xiàn)支援系統(tǒng)100包括照相機(jī)10、捕獲單元20、圖像處理單元 30以及結(jié)果保存單元40。在此，照相機(jī)10是高性能的面掃描照相機(jī)或線掃描照相機(jī)即可。捕獲單元20和 結(jié)果保存單元40例如能夠由服務(wù)器來實(shí)現(xiàn)。另外，圖像處理單元30能夠由安裝有多核CPU 的刀片服務(wù)器來實(shí)現(xiàn)。另外，在圖中用一個(gè)框來表示照相機(jī)10，但在LCD等的檢查面積較大 時(shí)，優(yōu)選設(shè)置多個(gè)照相機(jī)10來分別拍攝LCD等的表面的小區(qū)域。并且，還優(yōu)選與多個(gè)照相 機(jī)10對應(yīng)而設(shè)置多個(gè)捕獲單元20。另外，捕獲單元20與圖像處理單元30通過通信線路52連接，捕獲單元20與結(jié)果 保存單元40通過通信線路M連接。在此，基于通信線路52和通信線路M的連接能夠通過 使用以太網(wǎng)(注冊商標(biāo))開關(guān)用以太網(wǎng)(注冊商標(biāo))連接、使用IB開關(guān)用hfini Band(無 線帶寬)連接或者使用PCIe橋接器用PCIe連接來實(shí)現(xiàn)。這種情況下，通信線路52是第一 通信線路的一例，通信線路M是第二通信線路的一例。并且，第二通信線路的帶寬被設(shè)定 得比第一通信線路的帶寬寬。以下對構(gòu)成缺陷發(fā)現(xiàn)支援系統(tǒng)100的各單元的功能進(jìn)行說明。照相機(jī)10對IXD的點(diǎn)亮顯示畫面表面進(jìn)行拍攝。即，檢查對象的IXD流到制造工 序線上時(shí)，對IXD上確定的畫面區(qū)域進(jìn)行拍攝。在此，點(diǎn)亮顯示畫面能夠包含用于發(fā)現(xiàn)缺陷 的各種測試圖案。并且，將由拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)依次送入捕獲單元20。捕獲單元20是用于獲取圖像的獲取部的一例，包括接收部21、發(fā)送隊(duì)列22、收發(fā) 部23、緩存器24、圖像提取部25以及發(fā)送部26。在此，接收部21依次接收照相機(jī)10通過 拍攝所得到的圖像數(shù)據(jù)。發(fā)送隊(duì)列22為了將圖像數(shù)據(jù)向圖像處理單元30傳送，而存儲接收部21所獲取的 圖像數(shù)據(jù)(以下稱為“捕獲圖像”)。另外，捕獲圖像是通過對檢查對象物進(jìn)行拍攝而得到 的攝影圖像的一例。收發(fā)部23將被存儲在發(fā)送隊(duì)列22中的捕獲圖像傳送到圖像處理單元30，并從圖 像處理單元30接收在哪個(gè)捕獲圖像的哪個(gè)位置發(fā)現(xiàn)了缺陷，或者表示該缺陷大小的信息 (以下稱為“缺陷信息”)。緩存器M將捕獲圖像發(fā)送給圖像處理單元30之后，也保持一定量的捕獲圖像。圖像提取部25根據(jù)收發(fā)部23所接收到的缺陷信息來從保持在緩存器M中的捕 獲圖像中提取包含缺陷部分的區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)(以下稱為“缺陷圖像”)。發(fā)送部沈?qū)D像提取部25所提取的缺陷圖像發(fā)送給結(jié)果保存單元40。圖像處理單元30是判斷缺陷圖像的判斷部的一例，包括收發(fā)部31、緩存器32、圖 像分析部33以及缺陷信息生成部34。在此，收發(fā)部31從捕獲單元20接收捕獲圖像，若在捕獲圖像中未發(fā)現(xiàn)缺陷，則將 其含義發(fā)送給捕獲單元20，若發(fā)現(xiàn)缺陷則將缺陷信息發(fā)送給捕獲單元20。
緩存器32存儲收發(fā)部31從捕獲單元20接收到的捕獲圖像。該捕獲圖像在包含 圖像分析和缺陷信息生成的圖像處理結(jié)束時(shí)被刪除。圖像分析部33對存儲在緩存器32中的捕獲圖像進(jìn)行圖像處理，對在捕獲圖像中 是否存在缺陷，若存在缺陷則對其位置和大小(形狀、面積等)進(jìn)行分析。缺陷信息生成部34在由圖像分析部33判斷為在捕獲圖像中存在缺陷時(shí)生成缺陷 信息。另外，在下面詳細(xì)說明，但缺陷信息不是缺陷部分的圖像數(shù)據(jù)，而是包含用于確定缺 陷部分的信息、尺寸比圖像數(shù)據(jù)量小的數(shù)據(jù)量。結(jié)果保存單元40是接受缺陷圖像的發(fā)送的保存部的一例，用于保存從捕獲單元 20接收到的缺陷圖像。即，是具有存儲缺陷圖像的磁盤裝置(HDD)的文件服務(wù)器。接著，對本實(shí)施方式中的缺陷發(fā)現(xiàn)支援系統(tǒng)100的概略工作進(jìn)行說明。圖2 圖5是按時(shí)間順序表示概略工作中的狀態(tài)的圖。另外，對圖1所示的捕獲 單元20、圖像處理單元30內(nèi)的構(gòu)成要素僅示出需要說明的構(gòu)成要素。圖2是示意地表示捕獲單元20將用照相機(jī)10拍攝而得到的圖像數(shù)據(jù)存儲在發(fā)送 隊(duì)列22時(shí)的工作的圖。首先，照相機(jī)10對檢查對象的IXD進(jìn)行拍攝，將圖像數(shù)據(jù)依次發(fā)送給捕獲單元 20(1)。接著，捕獲單元20將從照相機(jī)10接收到的捕獲圖像存儲在發(fā)送隊(duì)列22中(2)。 另外，對捕獲圖像賦予用于唯一識別捕獲圖像的“捕獲圖像ID”，以下，將捕獲圖像ID為“N” 的捕獲圖像標(biāo)記為“捕獲圖像#N”。在圖中，首先，捕獲圖像#1 #3被存儲在發(fā)送隊(duì)列22 中，之后，從照相機(jī)10發(fā)送捕獲圖像#4、#5。另外，捕獲圖像中的網(wǎng)格表示缺陷部分。在下 面的圖像分析中該部分被識別為缺陷。圖3是示意地表示捕獲單元20將捕獲圖像傳送到圖像處理單元30時(shí)的工作的 圖。首先，捕獲單元20將被存儲在發(fā)送隊(duì)列22中的捕獲圖像發(fā)送給圖像處理單元 30 (3)。在此，在圖2中表示被存儲在發(fā)送隊(duì)列22中的捕獲圖像#1 #3被發(fā)送給圖像處 理單元30的中途。之后，從照相機(jī)10發(fā)送新的捕獲圖像#4 #8，其中，捕獲圖像#4、#5、 #6被存儲在發(fā)送隊(duì)列22中。接著，捕獲單元20將完成傳送到圖像處理單元30的捕獲圖像移動(dòng)到緩存器 24(4)。在此，捕獲圖像#1 #3表示被傳送到圖像處理單元30后的狀態(tài)，正在將捕獲圖像 #1 #3移動(dòng)到緩存器M。S卩，捕獲單元20和圖像處理單元30暫時(shí)具有相同的捕獲圖像。圖4是示意地表示在圖像處理單元30中的圖像處理中被判斷為無缺陷時(shí)的工作 的圖。首先，圖像處理單元30對在圖3發(fā)送出的捕獲圖像中的捕獲圖像#1進(jìn)行圖像處 理，判斷為無缺陷(5)。接著，圖像處理單元30廢棄圖像處理后的捕獲圖像#1 (6)。然后，圖像處理單元 30將在捕獲圖像#1中不存在缺陷這一情況通知給捕獲單元20(7)。最后捕獲單元20廢棄保持在緩存器M中的捕獲圖像#1 (8)。圖5是示意地表示在圖像處理單元30中的圖像處理中判斷為存在缺陷時(shí)的工作的圖。首先，圖像處理單元30對在圖3發(fā)送的捕獲圖像中的捕獲圖像#3進(jìn)行圖像處理， 發(fā)現(xiàn)存在缺陷(9)。接著，圖像處理單元30廢棄圖像處理后的捕獲圖像#3 (10)。S卩，存在缺陷時(shí)也與 無缺陷時(shí)相同地廢棄捕獲圖像。然后，圖像處理單元30將缺陷信息通知給捕獲單元20(11)。在此，缺陷信息不是 缺陷圖像本身，而是包含用于確定捕獲圖像內(nèi)的缺陷圖像的位置和大小的信息的數(shù)據(jù)。也 就是說，數(shù)據(jù)量也比缺陷圖像的數(shù)據(jù)量少。這樣一來，捕獲單元20從被存儲在緩存器M中的捕獲圖像中提取缺陷圖像來發(fā) 送給結(jié)果保存單元40 (12)。據(jù)此，結(jié)果保存單元40保存缺陷圖像(13)。最后，捕獲單元20廢棄處理完成即提取缺陷圖像后的捕獲圖像(14)。在圖中從緩 存器M中廢棄捕獲圖像#3。在此，在圖5中對從圖像處理單元30發(fā)送給捕獲單元20的缺陷信息進(jìn)行說明。圖6是表示缺陷信息的具體例的圖。如上述那樣，缺陷信息不是圖像數(shù)據(jù)本身，而是尺寸比具有以下那樣的信息的圖 像數(shù)據(jù)小的數(shù)據(jù)。在本實(shí)施方式中，作為用于確定缺陷圖像的圖像確定信息的一例，使用缺 陷信息。如圖6所示那樣，缺陷信息包括捕獲圖像ID、缺陷區(qū)域數(shù)以及缺陷區(qū)域信息。如已說明那樣，捕獲圖像ID是用于唯一識別捕獲圖像的識別信息。按對分割I(lǐng)XD 后的畫面區(qū)域進(jìn)行拍攝而得到的捕獲圖像來賦予該捕獲圖像ID。例如，若將LCD的畫面分 成4部分而得到4個(gè)捕獲圖像時(shí)，對4個(gè)捕獲圖像分別賦予#5、#6、#7、#8這樣的捕獲圖像 ID。另外，在此，示出捕獲圖像#5的例子。在本實(shí)施方式中，作為用于確定圖像碎片的碎片 確定信息的一例，使用捕獲圖像ID。缺陷區(qū)域數(shù)是在捕獲圖像內(nèi)所發(fā)現(xiàn)的缺陷區(qū)域的個(gè)數(shù)。有時(shí)在1個(gè)捕獲圖像中包 含多個(gè)缺陷，這樣的情況下，將包含各個(gè)缺陷的矩形區(qū)域作為缺陷區(qū)域。另外，在此，示出了 在捕獲圖像#5內(nèi)發(fā)現(xiàn)了 3個(gè)缺陷區(qū)域的情況的例子。缺陷區(qū)域信息是用于確定由缺陷區(qū)域數(shù)所示的個(gè)數(shù)的區(qū)域的信息，具體而言，包 含以下的信息。首先，為top-left，其表示以捕獲圖像左上角的點(diǎn)為原點(diǎn)時(shí)的缺陷區(qū)域左上 角的坐標(biāo)。另外，為width，其表示缺陷區(qū)域的寬度。并且，為height，其表示缺陷區(qū)域的高 度。另外，在此，缺陷區(qū)域數(shù)為“3”，因此包包含3個(gè)量的缺陷區(qū)域信息。在本實(shí)施方式中， 作為用于確定缺陷圖像所占有的區(qū)域的區(qū)域確定信息的一例，設(shè)置有缺陷區(qū)域信息。另外， 在此，作為區(qū)域確定信息使用了坐標(biāo)、寬度、高度，但只要是能夠確定區(qū)域的信息，則可以使 用任意信息，例如也可以使用左上角的點(diǎn)的坐標(biāo)和右下角的點(diǎn)的坐標(biāo)等。另外，也可以包含通過在該缺陷信息中分析缺陷部分的圖像濃度而得到的缺陷嚴(yán) 重程度的信息和缺陷的尺寸(面積)的信息。以下詳細(xì)說明本實(shí)施方式中的缺陷發(fā)現(xiàn)支援系統(tǒng)100的工作。在以下的說明中也 同時(shí)參照圖1。圖7是表示從照相機(jī)10接收捕獲圖像并傳送到圖像處理單元30為止的捕獲單元20的工作例的流程圖。在捕獲單元20中，首先，接收部21從照相機(jī)10接收捕獲圖像(步驟201)。然后， 將接收到的捕獲圖像存儲到發(fā)送隊(duì)列22中(步驟202)。這樣，從接收部21將捕獲圖像被存儲在發(fā)送隊(duì)列22中這一情況的信息通知給收 發(fā)部23，收發(fā)部23從發(fā)送隊(duì)列22中取出捕獲圖像并發(fā)送給圖像處理單元30 (步驟203)。 另外，收發(fā)部23將傳送完成的捕獲圖像存儲在緩存器M中(步驟204)。另外，在此工作例中，從照相機(jī)10發(fā)送的捕獲圖像在被存儲到發(fā)送隊(duì)列22中時(shí)， 收發(fā)部23取出該捕獲圖像并傳送到圖像處理單元30。然而，收發(fā)部23也可以與從照相機(jī) 10發(fā)送的捕獲圖像存儲到發(fā)送隊(duì)列22非同步地取出該捕獲圖像并傳送到圖像處理單元 30。例如，收發(fā)部23每隔一定時(shí)間間隔檢查捕獲圖像是否被存儲在發(fā)送隊(duì)列22中，若捕獲 圖像被存儲，則可以取出捕獲圖像并傳送到圖像處理單元30。圖8是表示接收到捕獲圖像的圖像處理單元30的工作例的流程圖。在圖像處理單元30中，首先，收發(fā)部31接收捕獲圖像，并存儲到緩存器32中(步 驟 301)。接著，圖像分析部33對存儲在緩存器32中的捕獲圖像進(jìn)行分析(步驟30 。具體 而言，將捕獲圖像與表示與該捕獲圖像對應(yīng)的LCD區(qū)域的正確圖案的參考圖像進(jìn)行比較。 例如，若由照相機(jī)10拍攝的IXD區(qū)域已確定時(shí)，將照相機(jī)10的識別信息與通過拍攝所得到 的圖像數(shù)據(jù)一起發(fā)送給捕獲單元20。然后，根據(jù)照相機(jī)10的識別信息確定與捕獲圖像對 應(yīng)的LCD區(qū)域，從參考圖像存儲部(未圖示)讀出表示該區(qū)域的正確圖案的參考圖 像即可。 據(jù)此，圖像分析部33從捕獲圖像內(nèi)的小區(qū)域中，求出與參考圖像的對應(yīng)區(qū)域和圖案不同的 區(qū)域數(shù)、這樣的區(qū)域位置及其大小。然后，圖像分析部33判斷缺陷區(qū)域的數(shù)量是否為“0” (步驟303)。S卩，判斷在捕 獲圖像中是否存在缺陷。其結(jié)果，若判斷為缺陷區(qū)域的數(shù)量為“0”，則圖像分析部33將其含義傳遞到收發(fā) 部31，收發(fā)部31將捕獲圖像ID和無缺陷含義的信息發(fā)送給捕獲單元20 (步驟304)。然后， 收發(fā)部31從緩存器32中刪除與該捕獲圖像ID對應(yīng)的捕獲圖像(步驟310)。另一方面，若判斷為缺陷區(qū)域的數(shù)量不為“0”，則圖像分析部33將捕獲圖像ID、 缺陷區(qū)域的數(shù)量、位置以及大小傳遞到缺陷信息生成部34，缺陷信息生成部34生成缺陷信 息。即，首先，缺陷信息生成部34將捕獲圖像ID設(shè)定為缺陷信息(步驟305)。接著，將缺 陷區(qū)域數(shù)設(shè)定為缺陷信息(步驟306)。然后，將用于對1個(gè)缺陷區(qū)域確定缺陷區(qū)域的位置 和大小的缺陷區(qū)域信息設(shè)定為缺陷信息(步驟307)。之后，判斷是否還存在其他缺陷區(qū)域 (步驟308)。然后，若存在其他缺陷區(qū)域，則反復(fù)進(jìn)行步驟307。另外，若不存在其他缺陷區(qū) 域，則將所生成的缺陷信息交接給收發(fā)部31，收發(fā)部31將缺陷信息發(fā)送給捕獲單元20 (步 驟309)。然后，收發(fā)部31從緩存器32中刪除與該捕獲圖像ID對應(yīng)的捕獲圖像(步驟310)。圖9是表示從圖像處理單元30接收到信息的捕獲單元20的工作例的流程圖。在捕獲單元20中，首先，收發(fā)部23接收信息(步驟221)。接著，判斷該信息是否為缺陷信息(步驟222)。其結(jié)果，若判斷為不是缺陷信息，即，若判斷為捕獲圖像ID和表示捕獲圖像中不 存在缺陷的的信息，則收發(fā)部23刪除存儲在緩存器M中的、與該捕獲圖像ID對應(yīng)的捕獲
10圖像(步驟229)。另一方面，若判斷為缺陷信息，則收發(fā)部23將缺陷信息傳遞到圖像提取部25，圖 像提取部25從缺陷信息中取出捕獲圖像ID(步驟22 。然后，從緩存器M中讀出與捕獲 圖像ID對應(yīng)的捕獲圖像(步驟224)。接著，圖像提取部25從缺陷信息中取出1個(gè)缺陷區(qū) 域信息(步驟225)。然后，從捕獲圖像中切出根據(jù)缺陷區(qū)域信息確定的缺陷區(qū)域的圖像、即 缺陷圖像(步驟226)。這樣，從圖像提取部25將該被切出的缺陷圖像傳遞到發(fā)送部沈，發(fā) 送部沈?qū)⑷毕輬D像發(fā)送給結(jié)果保存單元40 (步驟227)。之后，圖像提取部25判斷是否還 有缺陷區(qū)域信息(步驟228)。然后，若還有缺陷區(qū)域信息，則反復(fù)進(jìn)行步驟225 227的處 理。另外，若已沒有缺陷區(qū)域信息，則將其含義返回到收發(fā)部23。然后，收發(fā)部23刪除存儲 在緩存器M中的、與該捕獲圖像ID對應(yīng)的捕獲圖像(步驟229)。另外，在此工作例中，每次在步驟2 從捕獲圖像切出缺陷圖像時(shí)，在步驟227將 缺陷圖像發(fā)送給結(jié)果保存單元40。然而，也可以將在步驟2 從捕獲圖像切出的缺陷圖像 預(yù)先保持到在步驟2 判斷為無缺陷區(qū)域信息為止，在判斷為無缺陷區(qū)域信息后集中向結(jié) 果保存單元40發(fā)送。在本實(shí)施方式中，在缺陷信息中包含捕獲圖像ID和缺陷區(qū)域信息，但也可以在缺 陷信息中僅包含它們的一方。例如，考慮在缺陷信息中僅包含缺陷區(qū)域信息的情況。在這種情況下，以將傳送到 圖像處理單元30的捕獲圖像和存儲在緩存器M中的捕獲圖像用捕獲圖像ID以外的方法 建立關(guān)聯(lián)為前提。例如，有時(shí)將1個(gè)捕獲圖像傳送到圖像處理單元30并存儲到緩存器M， 在捕獲圖像的處理結(jié)束時(shí)，從圖像處理單元30也從緩存器M刪除該捕獲圖像，移至下一個(gè) 捕獲圖像的處理。在這種情況下，通過從圖像處理單元30傳遞缺陷區(qū)域信息，捕獲單元20 能夠根據(jù)缺陷區(qū)域信息，從存儲在緩存器M中的1個(gè)捕獲圖像切出缺陷圖像。另外，考慮在缺陷信息中僅包含捕獲圖像ID的情況。這種情況下，將多個(gè)捕獲圖 像傳送到圖像處理單元30并存儲到緩存器M，捕獲單元20在通知包含缺陷圖像的捕獲圖 像的捕獲圖像ID時(shí)，選擇具有從存儲在緩存器M內(nèi)的捕獲圖像中所通知的捕獲圖像ID的 捕獲圖像并發(fā)送給結(jié)果保存單元40。即，不從存儲在緩存器M中的捕獲圖像切出缺陷圖 像，而將包含缺陷圖像的捕獲圖像整體發(fā)送給結(jié)果保存單元40。若將捕獲圖像設(shè)定為小尺 寸，則即使發(fā)送捕獲圖像整體通信的負(fù)荷也不會那么大。以上詳細(xì)地說明了本發(fā)明的實(shí)施方式。在本實(shí)施方式中，通過進(jìn)行這樣的工作，解決現(xiàn)有技術(shù)的問題如下?！D像處理單元30不會發(fā)送缺陷圖像，因此能夠使圖像處理單元30所需的傳送帶 寬窄。另一方面，捕獲單元20所需的傳送帶寬變寬，但在捕獲單元20中使用服務(wù)器那樣的 單元，因此與圖像處理單元30相比能夠容易且便宜地進(jìn)行傳送帶寬的擴(kuò)展，不成為問題?！ぴ趫D像處理單元30中不會進(jìn)行缺陷圖像的壓縮那樣的多余處理，圖像處理單元 30不會對在原來的圖像分析中使用的時(shí)間產(chǎn)生影響。并且，也列舉出以下優(yōu)點(diǎn)。 進(jìn)行提取缺陷圖像的處理也被卸載到捕獲單元20中，因此圖像處理單元30可用 在原來的圖像分析中的時(shí)間增加。·與圖像處理單元30相比，在捕獲單元20中能夠容易且便宜地進(jìn)行存儲器和磁盤的擴(kuò)展。因此，通過使捕獲單元20具有大的緩存器，系統(tǒng)整體中的圖像處理量增大。但是，在本實(shí)施方式中，用服務(wù)器來實(shí)現(xiàn)捕獲單元20，用刀片服務(wù)器來實(shí)現(xiàn)圖像處 理單元30。然而，捕獲單元20可以由例如PC(Personal Computer 個(gè)人電腦)等通常的計(jì) 算機(jī)來實(shí)現(xiàn)。另外，圖像處理單元30也能夠用組裝有CAB(Cell AcceleratorBoard 加速板)的 PC等通常的計(jì)算機(jī)來實(shí)現(xiàn)。因此，作為在通常的計(jì)算機(jī)中進(jìn)行這些處理的計(jì)算機(jī)，對其硬件結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖10是表示這樣的計(jì)算機(jī)的硬件結(jié)構(gòu)的一例的圖。如圖示那樣，計(jì)算機(jī)包括作 為運(yùn)算機(jī)構(gòu)的 CPU (Central Processing Unit 中央處理器)90a ；通過 M/B (motherboard 主板)芯片組90b連接在CPU90a上的主存儲器90c ；以及相同地通過M/B芯片組90b連接 在CPU90a上的顯示機(jī)構(gòu)90d。另外，在M/B芯片組90b上通過電橋電路90e連接有網(wǎng)絡(luò) 接口 90f、磁盤裝置(HDD)90g、聲音機(jī)構(gòu)90h、鍵盤/鼠標(biāo)90i以及軟盤驅(qū)動(dòng)器90j。另外，在圖10中，各構(gòu)成要素通過總線連接。例如，CPU90a與M/B芯片組90b之 間通過CPU總線連接，M/B芯片組90b與主存儲器90c之間通過CPU總線連接。另外，M/ B芯片組90b與顯示機(jī)構(gòu)90d之間可以通過AGP (Accelerated Graphics Port 加速圖形 接口)連接，但在顯示機(jī)構(gòu)90d包含PCI Express對應(yīng)的顯卡的情況下，M/B芯片組90b 與該顯卡之間通過PCI Express(PCIe)總線連接。另外，在與電橋電路90e連接的情況 下，能夠?qū)W(wǎng)絡(luò)接口 90f使用例如PCIExpress。另外，能夠?qū)Υ疟P裝置90g使用例如串 行 ATA (ATAttachment 高級技術(shù)附加裝置)、并行傳送的 ATA、PCI (PeripheralComponents Interconnect 外部控制器接口)。并且，能夠?qū)︽I盤/鼠標(biāo)90i和軟盤驅(qū)動(dòng)器90j使用 USB (Universal Serial Bus:通用串行總線)。在此，本發(fā)明可以全部由硬件來實(shí)現(xiàn)，也可以全部由軟件來實(shí)現(xiàn)。另外，也能夠由 硬件和軟件這兩者來實(shí)現(xiàn)。另外，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)為計(jì)算機(jī)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)程序。 該計(jì)算機(jī)程序能夠由被存儲在可供計(jì)算機(jī)讀取的介質(zhì)來提供。在此，作為介質(zhì)，可考慮電 子、磁、光學(xué)、電磁、紅外線、半導(dǎo)體系統(tǒng)(器件或者設(shè)備)或者傳輸介質(zhì)。另外，作為可供計(jì) 算機(jī)讀取的介質(zhì)例示半導(dǎo)體、固態(tài)存儲裝置、磁帶、可取出的計(jì)算機(jī)磁盤、隨機(jī)存取存儲器 (RAM)、只讀存儲器(ROM)、硬磁盤以及光盤。在當(dāng)前時(shí)刻的光盤的例子中包含只讀型光盤 (CD-ROM)、可重寫光盤(CD-R/W)以及DVD。以上使用實(shí)施方式說明了本發(fā)明，但本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述實(shí)施方式。 本領(lǐng)域技術(shù)人員顯然清楚在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更、或采用替代 方式。
權(quán)利要求
1.一種用于支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的系統(tǒng)，其特征在于，包括獲取部，用于獲取通過對上述檢查對象物進(jìn)行拍攝而得到的攝影圖像；判斷部，通過第一通信線路連接著上述獲取部，用于判斷由上述獲取部所獲取的上述 攝影圖像中的、包含上述檢查對象物缺陷部分的區(qū)域的圖像即缺陷圖像；以及保存部，通過第二通信線路連接著上述獲取部，用于保存由上述判斷部判斷出的上述 缺陷圖像，上述獲取部通過上述第一通信線路向上述判斷部發(fā)送上述攝影圖像，并且將上述攝影 圖像存儲在本身的存儲器內(nèi)，當(dāng)通過上述第一通信線路從上述判斷部接收到用于確定上述 缺陷圖像的圖像確定信息時(shí)，通過上述第二通信線路向上述保存部發(fā)送由存儲在上述存儲 器內(nèi)的上述攝影圖像中的上述圖像確定信息所確定的上述缺陷圖像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述圖像確定信息包含具有上述攝影圖像的識別號碼、上述缺陷部分的個(gè)數(shù)、以及由 上述缺陷部分的坐標(biāo)和區(qū)域構(gòu)成的缺陷區(qū)域信息的組中的至少一者。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述獲取部從存儲在上述存儲器內(nèi)的上述攝影圖像上切出上述缺陷圖像，并將上述缺 陷圖像發(fā)送給上述保存部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述獲取部在從上述判斷部接收到用于確定存儲在上述存儲器內(nèi)的上述拍攝圖像內(nèi) 的上述缺陷圖像所占有的區(qū)域的區(qū)域確定信息來作為上述圖像確定信息時(shí)，將由上述攝影 圖像內(nèi)的上述區(qū)域確定信息所確定的區(qū)域作為上述缺陷圖像來切出。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述獲取部在從上述判斷部接收到存儲在上述存儲器內(nèi)的上述攝影圖像不包含上述 缺陷圖像這一情況的信息時(shí)，從上述存儲器內(nèi)刪除上述攝影圖像。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述攝影圖像包含多個(gè)圖像碎片，上述獲取部向上述保存部發(fā)送存儲在上述存儲器內(nèi)的上述攝影圖像所包含的多個(gè)圖 像碎片中的包含上述缺陷圖像的圖像碎片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述獲取部在從上述判斷部接收到用于確定存儲在上述存儲器內(nèi)的上述攝影圖像所 包含的多個(gè)圖像碎片中的包含上述缺陷圖像的圖像碎片的碎片確定信息來作為上述圖像 確定信息時(shí)，向上述保存部發(fā)送由上述多個(gè)圖像碎片中的上述碎片確定信息所確定的圖像 碎片。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述攝影圖像包含多個(gè)圖像碎片，上述獲取部在從上述判斷部接收到存儲在上述存儲器內(nèi)的上述攝影圖像所包含的多 個(gè)圖像碎片中的確定的圖像碎片不包含上述缺陷圖像這一情況的信息時(shí)，從上述存儲器內(nèi) 刪除上述確定的圖像碎片。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述判斷部不向上述獲取部發(fā)送判斷出的上述缺陷圖像而刪除上述缺陷圖像。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，上述第二通信線路的帶寬大于上述第一通信線路的帶寬。
11.一種用于支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的方法，其特征在于，包括以下步驟 獲取部從拍攝部獲取通過該拍攝部對上述檢查對象物進(jìn)行拍攝而得到的攝影圖像； 上述獲取部通過第一通信線路將上述攝影圖像發(fā)送給判斷部；上述獲取部將上述攝影圖像存儲在本身的存儲器內(nèi)；上述判斷部判斷通過上述第一通信線路從上述獲取部接收到的上述攝影圖像中的、包 含上述檢查對象物缺陷部分的區(qū)域的圖像即缺陷圖像；上述判斷部通過上述第一通信線路向上述獲取部發(fā)送用于確定上述缺陷圖像的圖像 確定信息；以及上述獲取部通過第二通信線路向保存部發(fā)送存儲在上述存儲器內(nèi)的上述攝影圖像中 的由上述圖像確定信息所確定的上述缺陷圖像。
12.一種用于支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的方法，其特征在于，包括以下步驟 獲取部從拍攝部獲取通過該拍攝部對上述檢查對象物進(jìn)行拍攝而得到的攝影圖像的多個(gè)圖像碎片；上述獲取部通過第一通信線路將上述多個(gè)圖像碎片發(fā)送給判斷部； 上述獲取部將上述多個(gè)圖像碎片存儲在本身的存儲器內(nèi)；上述判斷部判斷通過上述第一通信線路從上述獲取部接收到的上述多個(gè)圖像碎片中 的、包含上述檢查對象物缺陷部分的區(qū)域的圖像即缺陷圖像；上述判斷部通過上述第一通信線路向上述獲取部發(fā)送用于確定存儲在上述存儲器內(nèi) 的上述多個(gè)圖像碎片中的包含上述缺陷圖像的圖像碎片的碎片確定信息和用于確定上述 圖像碎片內(nèi)的上述缺陷圖像所占有的區(qū)域的區(qū)域確定信息；上述獲取部將存儲在上述存儲器內(nèi)的上述多個(gè)圖像碎片中的由上述碎片確定信息所 確定的圖像碎片內(nèi)的由區(qū)域確定信息所確定的區(qū)域作為上述缺陷圖像來切出；以及 上述獲取部將所切出的上述缺陷圖像發(fā)送給保存部。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于支援發(fā)現(xiàn)檢查對象物的缺陷的系統(tǒng)及方法。在捕獲單元(20)中，接收部(21)從照相機(jī)(10)接收捕獲圖像并存儲到發(fā)送隊(duì)列(22)中，收發(fā)部(23)將捕獲圖像發(fā)送給圖像處理單元(30)，并且存儲到緩存器(24)中。在圖像處理單元(30)中，收發(fā)部(31)接收捕獲圖像并存儲到緩存器(32)中，圖像分析部(33)根據(jù)捕獲圖像判斷缺陷圖像，缺陷信息生成部(34)生成用于確定缺陷圖像的缺陷信息，收發(fā)部(31)將缺陷信息發(fā)送給捕獲單元(20)。在捕獲單元(20)中，收發(fā)部(23)接收缺陷信息，圖像提取部(25)根據(jù)缺陷信息從捕獲圖像中提取缺陷圖像，發(fā)送部(26)將缺陷圖像發(fā)送給結(jié)果保存單元(40)。根據(jù)本發(fā)明，能夠避免被連接在進(jìn)行用于判斷檢查對象物的缺陷部分的圖像的圖像處理的單元上的通信線路的帶寬不足這樣的情況。
文檔編號G01M11/00GK102144155SQ200980134528
公開日2011年8月3日 申請日期2009年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月18日
發(fā)明者岡田雅州, 土居意弘, 森由美, 植山晉輔 申請人:國際商業(yè)機(jī)器公司