專利名稱:分光模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及對(duì)光進(jìn)行分光并加以檢測(cè)的分光模塊。
技術(shù)背景
作為以往的分光模塊,例如眾所周知專利文獻(xiàn)1 3中所記載的分光模塊。在 專利文獻(xiàn)1中記載了具備作為雙凸透鏡的塊狀的支撐體,在支撐體的一個(gè)凸面上設(shè)置有 衍射光柵等的分光部,在支撐體的另一個(gè)凸面?zhèn)仍O(shè)置有光電二極管等的光檢測(cè)元件的分 光模塊。
專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)平4494223號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2000-65642號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)2004-3M176號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題
然而,對(duì)于專利文獻(xiàn)1所記載的分光模塊來(lái)說(shuō),在對(duì)分光部和光檢測(cè)元件進(jìn)行 定位并將其安裝于支撐體的時(shí)候,在光檢測(cè)元件中接收被分光部分光的光,使分光部相 對(duì)于光檢測(cè)元件移動(dòng),并根據(jù)光檢測(cè)元件的受光狀態(tài),進(jìn)行分光部和光檢測(cè)元件的定 位,即所謂主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位(active alignment)成為必要。然而,對(duì)于這樣的主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位 來(lái)說(shuō),會(huì)有所謂分光模塊的組裝作業(yè)的長(zhǎng)時(shí)間化的問(wèn)題。
因此,本發(fā)明是有鑒于這樣的情況而悉心研究的成果,以提供一種能夠維持可 靠性并能夠簡(jiǎn)便地進(jìn)行組裝的分光模塊為目的。
解決課題的技術(shù)手段
為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明所涉及的分光模塊的特征在于,具備使從一個(gè)面入 射的光透過(guò)的基板、被配置于基板的另一個(gè)面?zhèn)炔⑹谷肷涞交宓墓馔高^(guò)的光透過(guò)部、 被形成于光透過(guò)部、對(duì)入射到光透過(guò)部的光進(jìn)行分光并且反射的分光部、以及被配置于 基板的一個(gè)面?zhèn)炔z測(cè)由分光部進(jìn)行分光的光的光檢測(cè)元件,在另一個(gè)面上,設(shè)置有相 對(duì)于用于將光檢測(cè)元件定位于基板的基準(zhǔn)部具有規(guī)定的位置關(guān)系,并通過(guò)光學(xué)樹脂劑嵌 合光透過(guò)部的凹部,在凹部中設(shè)置有在分光部的光柵溝槽的延伸方向上與光透過(guò)部嵌合 的第1嵌合部以及在與光柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上與光透過(guò)部嵌合的第2嵌合 部,第2嵌合部與光透過(guò)部的間隙比第1嵌合部與光透過(guò)部的間隙小。
在該分光模塊中,因?yàn)榘疾肯鄬?duì)于用于將光檢測(cè)元件定位于基板的基準(zhǔn)部具有 規(guī)定的位置關(guān)系,所以僅通過(guò)將形成有分光部的光透過(guò)部嵌合于凹部,從而分光部以及 光透過(guò)部被定位于基板上。此時(shí),因?yàn)楣鈾z測(cè)元件通過(guò)基準(zhǔn)部而被定位于基板,所以作 為結(jié)果,能夠?qū)崿F(xiàn)分光部與光檢測(cè)元件的對(duì)準(zhǔn)定位(alignment)。而且,在與分光部的光 柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上的嵌合部與光透過(guò)部的間隙比在分光部的光柵溝槽 的延伸方向上的嵌合部與光透過(guò)部的間隙小。由此,在與光柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上,因?yàn)楦呔鹊剡M(jìn)行光透過(guò)部與光檢測(cè)元件的對(duì)準(zhǔn)定位,所以能夠使被分光部 分光的光準(zhǔn)確地入射到光檢測(cè)元件上。再有,在光柵溝槽的延伸方向上,因?yàn)楦哟蟮?形成光透過(guò)部與嵌合部的間隙,所以在由光學(xué)樹脂劑將光透過(guò)部粘結(jié)于基板的時(shí)候,能 夠有效地放掉多余的樹脂和空氣。這樣,根據(jù)該分光模塊,因?yàn)槟軌驅(qū)崿F(xiàn)所謂被動(dòng)對(duì)準(zhǔn) 定位(passive alignment),所以能夠維持可靠性并能夠簡(jiǎn)便地進(jìn)行組裝。
在本發(fā)明所涉及的分光模塊中,凹部的側(cè)壁優(yōu)選為包含第1嵌合部、第2嵌合部 以及從光透過(guò)部分離的分離部。根據(jù)這樣的構(gòu)造,在由光學(xué)樹脂劑將光透過(guò)部粘結(jié)于基 板的時(shí)候,能夠更加有效地從光透過(guò)部與分離部的間隙放掉多余的樹脂和空氣。因此, 能夠抑制光透過(guò)部與基板之間的樹脂劑的偏向一方和氣泡的發(fā)生,并能夠相對(duì)于基板更 加高精度地安裝光透過(guò)部。
此時(shí),分離部?jī)?yōu)選為以圍繞光透過(guò)部的方式而設(shè)置有多個(gè)。根據(jù)該構(gòu)成,在由 光學(xué)樹脂劑將光透過(guò)部粘結(jié)于基板的時(shí)候,能夠更加有效地從圍繞光透過(guò)部的多個(gè)間隙 放掉多余的樹脂和空氣。
另外,本發(fā)明所涉及的分光模塊的特征在于,具備使從一個(gè)面入射的光透過(guò)的 基板、被配置于基板的另一個(gè)面?zhèn)炔⑹谷肷涞交宓墓馔高^(guò)的光透過(guò)部、被形成于光透 過(guò)部、對(duì)入射到光透過(guò)部的光進(jìn)行分光并且反射的分光部、以及被配置于基板的一個(gè)面 側(cè)并檢測(cè)由分光部進(jìn)行分光的光的光檢測(cè)元件,在另一個(gè)面上,設(shè)置有相對(duì)于用于將光 檢測(cè)元件定位于基板的基準(zhǔn)部具有規(guī)定的位置關(guān)系的凹部,光透過(guò)部被嵌合于凹部。
在該分光模塊中,因?yàn)榘疾肯鄬?duì)于用于將光檢測(cè)元件定位于基板的基準(zhǔn)部具有 規(guī)定的位置關(guān)系,所以僅通過(guò)將形成有分光部的光透過(guò)部嵌合于凹部,從而分光部以及 光透過(guò)部被定位于基板。此時(shí),因?yàn)楣鈾z測(cè)元件由基準(zhǔn)部而被定位于基板,所以作為結(jié) 果,能夠?qū)崿F(xiàn)分光部與光檢測(cè)元件的對(duì)準(zhǔn)定位。這樣,根據(jù)該分光模塊,能夠?qū)崿F(xiàn)所謂 被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位,所以能夠維持可靠性并能夠簡(jiǎn)便地進(jìn)行組裝。
另外,本發(fā)明所涉及的分光模塊的特征在于,具備使從一個(gè)面?zhèn)热肷涞墓馔高^(guò) 的主體部、被形成于主體部、對(duì)入射到主體部的光進(jìn)行分光并且反射的分光部、以及被 配置于主體部的一個(gè)面?zhèn)炔z測(cè)由分光部進(jìn)行分光的光的光檢測(cè)元件,在一個(gè)面上,設(shè) 置有相對(duì)于用于將分光部定位于主體部的基準(zhǔn)部具有規(guī)定的位置關(guān)系,并通過(guò)光學(xué)樹脂 劑而嵌合有光檢測(cè)元件的凹部,在凹部中設(shè)置有在分光部的光柵溝槽的延伸方向上與光 檢測(cè)元件嵌合的第3嵌合部以及在與光柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上與光檢測(cè)元 件嵌合的第4嵌合部,第4嵌合部與光檢測(cè)元件的間隙比第3嵌合部與光檢測(cè)元件的間隙 小。
在該分光模塊中,因?yàn)榘疾肯鄬?duì)于用于將分光部定位于主體部的基準(zhǔn)部具有規(guī) 定的位置關(guān)系,所以僅通過(guò)將光檢測(cè)元件嵌合于凹部,從而光檢測(cè)元件被定位于主體 部。此時(shí),因?yàn)榉止獠坑苫鶞?zhǔn)部而被定位于主體部,所以作為結(jié)果,能夠?qū)崿F(xiàn)分光部與 光檢測(cè)元件的對(duì)準(zhǔn)定位。而且,在與分光部的光柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上的 嵌合部與光檢測(cè)元件的間隙比在分光部的光柵溝槽的延伸方向上的嵌合部與光檢測(cè)元件 的間隙小。由此,在與光柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上,因?yàn)楦呔鹊剡M(jìn)行主 體部與光檢測(cè)元件的對(duì)準(zhǔn)定位,所以能夠使被分光部分光的光準(zhǔn)確地入射到光檢測(cè)元件 上。再有,在光柵溝槽的延伸方向上,因?yàn)楦哟蟮匦纬晒鈾z測(cè)元件與嵌合部的間隙,所以在由光學(xué)樹脂劑將光檢測(cè)元件粘結(jié)于基板的時(shí)候,能夠有效地放掉多余的樹脂和空 氣。這樣,根據(jù)該分光模塊,因?yàn)槟軌驅(qū)崿F(xiàn)所謂被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位,所以能夠維持可靠性并 能夠簡(jiǎn)便地進(jìn)行組裝。
在本發(fā)明所涉及的分光模塊中,光檢測(cè)元件優(yōu)選為以與光柵溝槽的延伸方向大 致垂直的方向上的長(zhǎng)度比光柵溝槽的延伸方向上的長(zhǎng)度長(zhǎng)的方式被形成為長(zhǎng)尺狀。根據(jù) 該構(gòu)成,光柵溝槽的延伸方向上的嵌合部與光檢測(cè)元件的間隙比與光柵溝槽的延伸方向 大致垂直的方向上的嵌合部與光檢測(cè)元件的間隙長(zhǎng),而且,到達(dá)間隙的距離變短,所以 能夠有效地使多余的樹脂和空氣向間隙移動(dòng)。
在本發(fā)明所涉及的分光模塊中,光檢測(cè)元件優(yōu)選為在被嵌合于凹部的狀態(tài)下, 從一個(gè)面突出。根據(jù)該構(gòu)成,不僅能夠使將光檢測(cè)元件嵌合于設(shè)置于基板的一個(gè)面上的 凹部的作業(yè)容易化,而且能夠可靠地將光檢測(cè)元件壓附于凹部的底面,從而可靠地放掉 多余的樹脂和空氣。
在本發(fā)明所涉及的分光模塊中,優(yōu)選,在光檢測(cè)元件上設(shè)置有向分光部行進(jìn)的 光所通過(guò)的光通過(guò)孔。根據(jù)該構(gòu)成,能夠?qū)崿F(xiàn)相對(duì)于分光部以及光檢測(cè)元件的光通過(guò)孔 的被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位。
發(fā)明的效果
根據(jù)本發(fā)明,能夠維持分光模塊的可靠性并使分光模塊的簡(jiǎn)便的組裝成為可 能。
圖1是本發(fā)明所涉及的分光模塊的第1實(shí)施方式的平面圖。
圖2是沿著圖1的II-II線的截面圖。
圖3是圖1的分光模塊的分解立體圖。
圖4是圖1的分光模塊的下面圖。
圖5是圖1的分光模塊的透鏡部的立體圖。
圖6是本發(fā)明所涉及的分光模塊的其它實(shí)施方式的下面圖。
圖7是本發(fā)明所涉及的分光模塊的其它實(shí)施方式的下面圖。
圖8是本發(fā)明所涉及的分光模塊的第2實(shí)施方式的平面圖。
圖9是沿著圖8的IX-IX線的截面圖。
圖10是圖8的分光模塊的下面圖。
圖11是圖9的分光模塊的主要部分放大截面圖。
圖12是本發(fā)明所涉及的分光模塊的其它實(shí)施方式的主要部分放大截面圖。
圖13是表示圖8的分光模塊中的光檢測(cè)元件與凹部之間的關(guān)系的圖。
圖14是本發(fā)明所涉及的分光模塊的其它實(shí)施方式的截面圖。
圖15是表示本發(fā)明所涉及的分光模塊的其它實(shí)施方式中的光檢測(cè)元件與凹部之 間的關(guān)系的圖。
符號(hào)說(shuō)明
1、10…分光模塊、2…基板(主體部)、2a···前表面(一個(gè)面)、2b…后表面(另 一個(gè)面)、3…透鏡部(光透過(guò)部、主體部)、4…分光部、5…光檢測(cè)元件、虹…光柵溝槽、16…光學(xué)樹脂劑、19…凹部、22…側(cè)壁(第1嵌合部、第2嵌合部)、63…光學(xué)樹脂 劑、64…凹部、6 …側(cè)壁(第3嵌合部)、66b…側(cè)壁(第4嵌合部)。
具體實(shí)施方式
以下,參照附圖,對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。還有,在各個(gè) 附圖中,將相同的符號(hào)標(biāo)注于相同或者相當(dāng)?shù)牟糠?,從而省略重?fù)的說(shuō)明。
[第1實(shí)施方式]
圖1是本發(fā)明所涉及的分光模塊的第1實(shí)施方式的平面圖,圖2是沿著圖1的 II-II線的截面圖。如圖1、2所示,分光模塊1具備使從前表面(一個(gè)面) 入射的光 Ll透過(guò)的基板2、使入射到基板2的光Ll透過(guò)的透鏡部(光透過(guò)部)3、對(duì)入射到透鏡部 3的光Ll進(jìn)行分光并且反射的分光部4、以及檢測(cè)由分光部4反射的光L2的光檢測(cè)元件 5。分光模塊1是一種由分光部4將光Ll分光成對(duì)應(yīng)于多個(gè)波長(zhǎng)的光L2,并通過(guò)由光檢 測(cè)元件5檢測(cè)該光L2,從而測(cè)定光Ll的波長(zhǎng)分布和特定波長(zhǎng)成分的強(qiáng)度等的微型分光模 塊。
基板2由BK7、Pyrex (注冊(cè)商標(biāo))、石英等的光透過(guò)性玻璃、塑料等而被形成為 長(zhǎng)方形板狀(例如全長(zhǎng)為15 20mm、全寬為11 12mm、厚度為1 3mm)。在基板 2的前表面&上形成有由Al或Au等的單層膜、或者Cr-Pt-Au、Ti-Pt_Au、Ti_Ni_Au、 Cr-Au等的層疊膜構(gòu)成的配線11。配線11具有被配置于基板2的中央部的多個(gè)墊片部 11a、被配置于基板2的長(zhǎng)邊方向上的一端部的多個(gè)墊片部lib以及連接對(duì)應(yīng)的墊片部Ila 和墊片部lib的多個(gè)連接部11c。另外,配線11在基板2的前表面&側(cè),具有由CrO等 的單層膜、或者Cr-CrO等的層疊膜構(gòu)成的光反射防止層lid。
再有,在基板2的前表面&上,由與配線11相同的結(jié)構(gòu)而形成用于將光檢測(cè)元 件5定位于基板2的十字狀的對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記(基準(zhǔn)部)1&、12b、12c、12d。對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo) 記12a、12b分別被形成于基板2的長(zhǎng)邊方向的兩端部,并被配置于與基板2的長(zhǎng)邊方向 大致垂直的方向上的中央位置上。另外,對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記12c、12d分別被形成于與基板2 的長(zhǎng)邊方向大致垂直的方向上的兩端部,并被配置于基板2的長(zhǎng)邊方向的中央位置。
圖3是圖1的分光模塊的分解立體圖,圖4是圖1的分光模塊的下面圖。如圖 3、4所示,在基板2的后表面(另一個(gè)面) 上設(shè)置有嵌合透鏡部3的凹部19。凹部19 由與基板2的后表面2b大致平行的底面21、以及大致垂直于底面21的側(cè)壁(第1嵌合 部(在后述的光柵溝槽虹的延伸方向上相對(duì)的側(cè)壁)、以及第2嵌合部(在與后述的光 柵溝槽虹的延伸方向大致垂直方向上相對(duì)的側(cè)壁))22所構(gòu)成,并以相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記 12a、12b、12c、12d具有規(guī)定的位置關(guān)系的方式,由蝕刻形成。另外,凹部19以與大致 垂直于基板2的長(zhǎng)邊方向的方向上所形成的透鏡部3和側(cè)壁22的間隙相比,基板2的長(zhǎng)邊 方向上所形成的透鏡部3和側(cè)壁22的間隙更小的方式形成(例如大致垂直于基板2的長(zhǎng) 邊方向的方向上所形成的間隙為O 100 μ m,基板2的長(zhǎng)邊方向上所形成的間隙為0 30 μ m) ο
圖5是圖1的分光模塊的透鏡部的立體圖。如圖5所示,透鏡部3由與基板2 相同的材料、光透過(guò)性樹脂、光透過(guò)性的無(wú)機(jī)·有機(jī)混合材料、或者光透過(guò)性低熔點(diǎn)玻 璃、塑料等而被形成為由與其底面3a大致垂直并且彼此大致平行的2個(gè)平面切割半球狀的透鏡而形成側(cè)面3b的形狀(例如曲率半徑為6 10mm,底面3a的全長(zhǎng)為12 18mm, 底面3a的全寬(即側(cè)面3b間距離)為6 10mm,高度為5 8mm),并起到作為將由 分光部4進(jìn)行分光的光L2成像于光檢測(cè)元件5的光檢測(cè)部5a的透鏡的作用。還有,透 鏡形狀并不限于球面透鏡,也可以是非球面透鏡。
如圖2、3所示,透鏡部3通過(guò)光學(xué)樹脂劑16而被嵌合于凹部19。即透鏡部3 被配置于基板2的后表面2b側(cè)。具體來(lái)說(shuō),透鏡部3以在透鏡部3與凹部19的側(cè)壁22 之間形成間隙的方式被嵌合,在這些間隙以及透鏡部3的底面3a與凹部19的底面21之 間介有光學(xué)樹脂劑16。
如圖2 4所示,分光部4是一種具有被形成于透鏡部3的外側(cè)表面的衍射層6 和被形成于衍射層6的外側(cè)表面的反射層7的反射型光柵。衍射層6通過(guò)沿著基板2的長(zhǎng) 邊方向并列設(shè)置多個(gè)光柵溝槽虹而被形成,光柵溝槽虹的延伸方向與大致垂直于基板2 的長(zhǎng)邊方向的方向大致一致。衍射層6例如適用鋸齒狀截面的閃耀光柵(blazedgrating)、 矩形狀截面的二元光柵CMnary grating)、正弦波狀截面的全息光柵(holographic grating) 等,并通過(guò)使光固化性的環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂或者有機(jī)無(wú)機(jī)混合樹脂等的復(fù)寫用光學(xué) 樹脂光固化而被形成。反射層7為膜狀,例如通過(guò)將Al或Au等蒸鍍于衍射層6的外側(cè) 表面而被形成。還有,通過(guò)調(diào)整形成反射層7的面積,從而能夠調(diào)整分光模塊1的光學(xué) NA。另外,可以由上述的材料將透鏡部3和構(gòu)成分光部4的衍射層6形成為一體。
如圖1、2所示,光檢測(cè)元件5被形成為長(zhǎng)方形板狀(例如全長(zhǎng)為5 10mm, 全寬為1.5 3mm,厚度為0.1 0.8mm)。光檢測(cè)元件5的光檢測(cè)部5a是CCD影像傳 感器、PD陣列或者CMOS影像傳感器等,多個(gè)通道(channel)通過(guò)在與分光部4的光柵 溝槽虹的延伸方向大致垂直的方向(即光柵溝槽虹的并列設(shè)置方向)上排列而成。
在光檢測(cè)部5a是CCD影像傳感器的情況下,通過(guò)對(duì)入射到二維配置的像素的 位置上的光的強(qiáng)度信息進(jìn)行線合并(line binning),從而作為一維的位置上的光的強(qiáng)度信 息,并時(shí)序性地讀出該一維的位置上的光的強(qiáng)度信息。即被線合并的像素的線成為1個(gè) 通道。在光檢測(cè)部5a是PD陣列或者CMOS影像傳感器的情況下,因?yàn)闀r(shí)序性地讀出入 射到一維配置的像素的位置上的光的強(qiáng)度信息,所以1個(gè)像素成為1個(gè)通道。
還有,在光檢測(cè)部5a是PD陣列或者CMOS影像傳感器,且像素二維排列的情 況下,在與分光部4的光柵溝槽虹的延伸方向平行的一維排列方向上排列的像素的線成 為1個(gè)通道。另外,在光檢測(cè)部5a是CCD影像傳感器的情況下,例如排列方向上的通 道彼此的間隔為12.5 μ m、通道全長(zhǎng)(被線合并的一維像素列的長(zhǎng)度)為Imm且被排列 的通道數(shù)為256個(gè)的構(gòu)件被用于光檢測(cè)元件5中。
另外,在光檢測(cè)元件5中,形成有在通道的排列方向上與光檢測(cè)部5a并列設(shè) 置,并通過(guò)向分光部4行進(jìn)的光Ll的光通過(guò)孔恥。光通過(guò)孔恥是在與基板2的長(zhǎng)邊方 向大致垂直的方向上延伸的狹縫(例如長(zhǎng)度為0.5 1mm,寬度為10 100 μ m),并在 相對(duì)于光檢測(cè)部5a被高精度地定位的狀態(tài)下,通過(guò)蝕刻等被形成。
另外,在基板2的前表面&上以使配線11的墊片部11a、lib以及對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記 12a、12b、12c、12d露出并且覆蓋配線11的連接部lie的方式形成吸光層13。在吸光 層13上,以通過(guò)向分光部4行進(jìn)的光Ll的方式,在與光檢測(cè)元件5的光通過(guò)孔恥相對(duì) 的位置上形成狹縫13a,并且以通過(guò)向光檢測(cè)元件5的光檢測(cè)部5a行進(jìn)的光L2的方式,在與光檢測(cè)部5a相對(duì)的位置上形成開(kāi)口部13b。吸光層13被圖形化成規(guī)定的形狀,并由 CrO,含有CrO的層疊膜、或者黑色抗蝕劑等一體成形。
光檢測(cè)元件5的外部端子由通過(guò)凸塊14的倒焊而與從吸光層13露出的墊片部 Ila電連接。另外,墊片部lib與外部的電氣元件(圖中沒(méi)有表示)電連接。而且,在 光檢測(cè)元件5的基板2側(cè)(在此為光檢測(cè)元件5與基板2或者吸光層13之間)至少填充 有使光L2透過(guò)的底部填充(underfill)材15,由此,能夠保持機(jī)械強(qiáng)度。
對(duì)上述的分光模塊1的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先,在基板2的前表面&上將配線11以及對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記12a、12b、12c> 12d 圖形化。之后,露出墊片部11a、lib以及對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記12a、12b、12c、12d,并以形成 狹縫13a以及開(kāi)口部13b的方式,將吸光層13圖形化。該吸光層13由光刻法進(jìn)行對(duì)準(zhǔn) 定位而形成。另外,由使用雙面對(duì)準(zhǔn)定位曝光裝置等的光刻法和蝕刻法,在基板2的后 表面2b上,以相對(duì)于被形成于前表面&的對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記12a、12b、12c、12d具有規(guī)定 的位置關(guān)系的方式形成凹部19。
在吸光層13上由倒焊而安裝有光檢測(cè)元件5。此時(shí),光檢測(cè)元件5以光檢測(cè)部 5a的通道的排列方向與基板2的長(zhǎng)邊方向大致一致并且光檢測(cè)部5a朝向基板2的前表面 &側(cè)的方式配置,并通過(guò)圖像識(shí)別而被安裝于將對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記12a、12b、12c、12d作為 基準(zhǔn)的規(guī)定的位置上。
另一方面,將分光部4形成于透鏡部3。首先,使刻出了對(duì)應(yīng)于衍射層6的光 柵的光透過(guò)性的母光柵(master grating,圖中沒(méi)有表示)與在透鏡部3的頂點(diǎn)附近滴下的 復(fù)寫用光學(xué)樹脂接觸。接著,在使母光柵接觸于復(fù)寫用光學(xué)樹脂的狀態(tài)下,通過(guò)接觸光 而使其固化,從而形成具有在與基板2的長(zhǎng)邊方向大致垂直的方向上延伸的多個(gè)光柵虹 的衍射層6。還有,在固化之后,優(yōu)選,通過(guò)進(jìn)行加熱固化而使其穩(wěn)定化。復(fù)寫用光學(xué) 樹脂固化之后,使母光柵脫模,通過(guò)將鋁或者金掩模蒸鍍或者全面蒸鍍于衍射層6的外 面,從而形成反射層7。
接著,將光固化性的光學(xué)樹脂劑16涂布于基板2的凹部19。然后,將透鏡部3 的底面3a側(cè)嵌合于凹部19。此時(shí),透鏡部3以分光部4的光柵溝槽虹的延伸方向與大 致垂直于基板2的長(zhǎng)邊方向的方向大致一致的方式被嵌合,從透鏡部3與凹部19的側(cè)壁 22的間隙,放掉多余的樹脂劑和空氣。之后,通過(guò)接觸光并使光學(xué)樹脂劑16固化,從而 將透鏡部3安裝于基板2。
對(duì)上述的分光模塊1的作用效果進(jìn)行說(shuō)明。
在該分光模塊1中,因?yàn)榘疾?9相對(duì)于用于將光檢測(cè)元件5定位于基板2的對(duì)準(zhǔn) 定位標(biāo)記12a、12b、12c、12d具有規(guī)定的位置關(guān)系,所以僅通過(guò)將形成有分光部4的透 鏡部3嵌合于凹部19,從而分光部4以及透鏡部3能夠相對(duì)于基板2被定位。另外,在 該分光模塊1中,因?yàn)橛蓪?duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記12a、12b、12c、12d而將光檢測(cè)元件5定位于基板 2,所以通過(guò)相對(duì)于基板2來(lái)定位分光部4,從而作為結(jié)果,能夠?qū)崿F(xiàn)分光部4與光檢測(cè) 元件5的對(duì)準(zhǔn)定位。因此,根據(jù)該分光模塊1,因?yàn)槟軌驅(qū)崿F(xiàn)所謂被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位(passive alignment),所以分光模塊的簡(jiǎn)便的組裝成為可能。
另外,在該分光模塊1中,凹部19以側(cè)壁22與透鏡部3的間隙為,與在光柵溝 槽虹的延伸方向(即與基板2的長(zhǎng)邊方向大致垂直的方向)上的間隙相比,在與大致垂直于光柵溝槽虹的延伸方向的方向(即基板2的長(zhǎng)邊方向)大致一致的方向上的間隙更 小的方式形成。因此,根據(jù)該分光模塊1,在與光柵溝槽虹的延伸方向大致垂直的方向 上,因?yàn)榭梢愿呔鹊剡M(jìn)行透鏡部3與光檢測(cè)元件5的對(duì)準(zhǔn)定位,所以能夠?qū)⒂煞止獠? 進(jìn)行分光的光L2準(zhǔn)確地入射到光檢測(cè)元件5,從而可以提高分光模塊的可靠性。而且, 在該分光模塊1中,因?yàn)楣鈾z測(cè)元件5中的通道(像素的線)的排列方向與基板2的長(zhǎng)邊 方向大致一致,所以在通道的排列方向(即與光柵溝槽虹的延伸方向大致垂直的方向) 上,能夠高精度地進(jìn)行透鏡部3與光檢測(cè)元件5的對(duì)準(zhǔn)定位。因此,根據(jù)該分光模塊1, 因?yàn)橛煞止獠?進(jìn)行分光的L2在通道的排列方向(通道的寬度方向)上不會(huì)發(fā)生偏移并 被入射到恰當(dāng)?shù)耐ǖ纼?nèi),所以能夠有效地謀求分光模塊的可靠性的提高。
另外,根據(jù)分光模塊1,在光柵溝槽虹的延伸方向上,因?yàn)楦蟮匦纬闪送哥R 部3與側(cè)壁22的間隙,所以在由光學(xué)樹脂劑將透鏡部3粘結(jié)于基板2的時(shí)候,能夠有效地 從光柵溝槽虹的延伸方向上的間隙放掉多余的樹脂和空氣。因此,根據(jù)該分光模塊1, 因?yàn)橐种屏嗽谕哥R部3與基板2之間(即透鏡部3與凹部19之間)的光學(xué)樹脂劑16的偏 向一方和氣泡的發(fā)生,所以可以相對(duì)于基板2高精度地安裝透鏡部3。
本發(fā)明并不限定于上述的第1實(shí)施方式。
例如,如圖6所示,凹部33由與基板32的后表面3 大致平行的長(zhǎng)方形的底面 34以及大致垂直于底面34的側(cè)壁35所構(gòu)成,側(cè)壁35在基板32的長(zhǎng)邊方向以及與長(zhǎng)邊 方向大致垂直的方向上,也可以具有嵌合透鏡部3的嵌合部35a和從透鏡部3分離的分離 部35b。在此情況下,在將透鏡部3安裝于基板32的時(shí)候,因?yàn)槟軌驈男纬捎谕哥R部3 與分離部3 之間的間隙M,放掉多余的樹脂和空氣,所以在透鏡部3與基板32之間不 會(huì)發(fā)生樹脂的偏向一方和氣泡,在謀求透鏡部3的可靠的固定的同時(shí),使透鏡部3與底面 34之間的樹脂的厚度大致均勻,并可以相對(duì)于基板32以高水平精度安裝透鏡部3。
另外,如圖7所示,凹部43由與基板42的后表面4 大致平行的大致長(zhǎng)方形的 底面44以及大致垂直于底面44的側(cè)壁45所構(gòu)成,側(cè)壁45也可以包含沿著基板42的長(zhǎng)邊 方向突出于凹部43內(nèi)側(cè)的2對(duì)凸部45a的一部分,并在基板42的長(zhǎng)邊方向以及與長(zhǎng)邊方 向大致垂直的方向上具有嵌合透鏡部3的嵌合部45b和從透鏡部3分離的分離部45c。在 此情況下,在將透鏡部3安裝于基板42的時(shí)候,因?yàn)榍逗喜?5b包含突出于凹部43內(nèi)側(cè) 的凸部45a的一部分,所以與第2實(shí)施方式相比較,更大地形成了透鏡部3與分離部45c 的間隙N,并可以有效地放掉多余的樹脂和空氣。
另外,如圖6、7所示,分離部也可以以圍繞透鏡部3的方式被設(shè)置有多個(gè)。根 據(jù)該構(gòu)成,因?yàn)橐試@透鏡部3的方式形成多個(gè)透鏡部3與分離部的間隙,所以在由光學(xué) 樹脂劑將透鏡部3粘結(jié)于基板的時(shí)候,能夠從圍繞透鏡部3的多個(gè)間隙,有效地放掉多余 的樹脂和空氣。
另外,圖6、7所示的凹部也可以以與大致垂直于基板的長(zhǎng)邊方向的方向上的透 鏡部3和凹部的側(cè)面的間隙相比,與基板的長(zhǎng)邊方向大致一致的方向上的透鏡部3和凹部 的側(cè)面的間隙更小的方式形成。在此情況下,能夠更加有效地放掉多余的樹脂和空氣。
另外,凹部并不是由基板的蝕刻,而是由抗蝕劑等的樹脂或者金屬掩模而被形 成于基板上。
另外,基準(zhǔn)部并不限定于對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記12a、12b、12c、12d,例如也可以將配線11作為基準(zhǔn)部加以利用,并進(jìn)行凹部19以及光檢測(cè)元件5的定位。另外,例如也可 以將基板2的外形中的角部作為基準(zhǔn)部加以利用。
[第2實(shí)施方式]
圖8是本發(fā)明所涉及的分光模塊的第2實(shí)施方式的平面圖,圖9是沿著圖8的 IX-IX線的截面圖。如圖8、9所示,分光模塊10具備使從前表面(一個(gè)面) 側(cè)入射 的光Ll透過(guò)的基板(主體部)2、使入射到基板2的光Ll透過(guò)的透鏡部(主體部)3、對(duì) 入射到透鏡部3的光Ll進(jìn)行分光并且反射的分光部4、以及檢測(cè)由分光部4進(jìn)行反射的 光L2的光檢測(cè)元件5。
基板2被形成為長(zhǎng)方形板狀,在基板2的前表面&上,由樹脂劑53而粘接有形 成有配置了光檢測(cè)元件5的截面長(zhǎng)方形的開(kāi)口部51a的長(zhǎng)方形板狀的配線基板51。在配 線基板51上,設(shè)置有由金屬材料構(gòu)成的配線52。配線52具有被配置于開(kāi)口部51a的周 圍的多個(gè)墊片部52a、被配置于配線基板51的長(zhǎng)邊方向上的兩端部的多個(gè)墊片部52b以及 連接對(duì)應(yīng)的墊片部5 和墊片部52b的多個(gè)連接部52c。
圖10是圖8的分光模塊的下面圖。如圖9、10所示,透鏡部3將基板2的角部 或者邊部等、基板2的外緣部作為基準(zhǔn)部,并由使光Li、L2透過(guò)的光學(xué)樹脂劑16而被 粘結(jié)于基板2的后表面(另一個(gè)面)2b。此時(shí),分光部4因?yàn)橄鄬?duì)于透鏡部3被高精度地 定位,所以基板2的外緣部成為用于將分光部4定位于基板2的基準(zhǔn)部。
分光部4是一種具有被形成于透鏡部3的外側(cè)表面的衍射層6、被形成于衍射層 6的外側(cè)表面的反射層7以及覆蓋衍射層6和反射層7的鈍化層M的反射型光柵。衍射 層6通過(guò)沿著基板2的長(zhǎng)邊方向并列設(shè)置多個(gè)光柵溝槽虹而被形成,光柵溝槽虹的延伸 方向與大致垂直于基板2的長(zhǎng)邊方向的方向大致一致。
如圖8、9所示,光檢測(cè)元件5被形成為長(zhǎng)方形板狀,在光檢測(cè)元件5的分光部 4側(cè)的面上,形成有光檢測(cè)部5a。光檢測(cè)部5a是CCD影像傳感器、PD陣列或者CMOS 影像傳感器等,多個(gè)通道(channel)通過(guò)在與分光部4的光柵溝槽虹的延伸方向大致垂直 的方向(即光柵溝槽6a的并列設(shè)置方向)上排列而成。
另外,在光檢測(cè)元件5中,形成有在通道的排列方向上與光檢測(cè)部5a并列設(shè) 置,并通過(guò)向分光部4行進(jìn)的光Ll的光通過(guò)孔恥。光通過(guò)孔恥是在與基板2的長(zhǎng)邊方 向大致垂直的方向上延伸的狹縫,并在相對(duì)于光檢測(cè)部5a被高精度地定位的狀態(tài)下,通 過(guò)蝕刻等方法而被形成。
圖11是圖9的分光模塊的主要部分放大截面圖。如圖11所示,光檢測(cè)元件5 具有由使光Li、L2透過(guò)的光學(xué)樹脂劑55而被粘結(jié)于光檢測(cè)元件5的分光部4側(cè)的面的 光透過(guò)板56、以及在光檢測(cè)元件5的與分光部4相反的一側(cè)的面上被形成于與光檢測(cè)部 5a相對(duì)的部分的遮光膜57。光透過(guò)板56覆蓋光檢測(cè)部5a以及光通過(guò)孔恥。遮光膜57 對(duì)不是通過(guò)光通過(guò)孔恥而要向分光部4行進(jìn)的光Ll和要直接入射到光檢測(cè)部5a的光Ll 進(jìn)行遮光。還有,配線基板51也與遮光膜57相同,具有對(duì)不是通過(guò)光通過(guò)孔恥而要向 分光部4行進(jìn)的光Ll進(jìn)行遮光的功能。
在光檢測(cè)元件5的分光部4側(cè)的面上,形成有多個(gè)電極58,在光檢測(cè)元件5的 與分光部4相反的一側(cè)的面上,形成有多個(gè)由貫通電極59而與各個(gè)電極58連接的端子電 極61。各個(gè)端子電極61由電線62而與對(duì)應(yīng)的配線基板51的墊片部5 連接。由此,光檢測(cè)部5a中所產(chǎn)生的電信號(hào)通過(guò)電極58、貫通電極59、端子電極61、墊片部52a、連 接部52c以及墊片部52b而被取出至外部。
在光透過(guò)板56的光檢測(cè)元件5側(cè)的面上,形成有吸光層68。在吸光層68上, 以通過(guò)向分光部4行進(jìn)的光Ll的方式,將光通過(guò)孔68a形成于與光檢測(cè)元件5的光通過(guò) 孔恥相對(duì)的位置,并且以通過(guò)向光檢測(cè)元件5的光檢測(cè)部5a行進(jìn)的光L2的方式,將光 通過(guò)孔68b形成于與光檢測(cè)部5a相對(duì)的位置。吸光層68被圖形化成規(guī)定的形狀,并由 CrO、含有CrO的層疊膜、或者黑色抗蝕劑等而一體成形。還有,如圖12所示,吸光層 68也可以被形成于光檢測(cè)元件5的分光部4側(cè)的面上。
如圖11所示,在基板2的前表面&上設(shè)置有通過(guò)使光Li、L2透過(guò)的光學(xué)樹脂 劑63而嵌合光檢測(cè)元件5的截面長(zhǎng)方形狀的凹部64。凹部64由與基板2的前表面&大 致平行的底面65以及大致垂直于底面65的側(cè)壁66所構(gòu)成,并以相對(duì)于成為用于將分光 部4定位于基板2的基準(zhǔn)部的基板2的外緣部而具有規(guī)定的位置關(guān)系的方式,通過(guò)蝕刻而 形成。還有,光檢測(cè)元件5在被嵌合于凹部64的狀態(tài)下,從基板2的前表面&突出。
圖13是表示圖8的分光模塊中的光檢測(cè)元件與凹部之間的關(guān)系的圖。如圖13 所示,在凹部64中設(shè)置有在分光部4的光柵溝槽虹的延伸方向上與光檢測(cè)元件5嵌合的 側(cè)壁(第3嵌合部)6虹、以及在與分光部4的光柵溝槽虹的延伸方向大致垂直的方向上 與光檢測(cè)元件5嵌合的側(cè)壁(第4嵌合部)6冊(cè)。側(cè)壁6 與光檢測(cè)元件5的間隙比側(cè)壁 66a與光檢測(cè)元件5的間隙小。
對(duì)上述的分光模塊10的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先,將分光部4形成于透鏡部3。具體來(lái)說(shuō),使刻出了對(duì)應(yīng)于衍射層6的光柵 的光透過(guò)性的母光柵與在透鏡部3的頂點(diǎn)附近滴下的復(fù)寫用光學(xué)樹脂接觸。然后,在該 狀態(tài)下,通過(guò)照射光而使復(fù)寫用光學(xué)樹脂固化,優(yōu)選,為了穩(wěn)定化,通過(guò)進(jìn)行加熱固化 而形成具有多個(gè)光柵溝槽虹的衍射層6。之后,使母光柵脫模,通過(guò)將Al或Au等蒸鍍 于衍射層6的外側(cè)表面,從而形成反射層7,進(jìn)一步通過(guò)將MgF2等蒸鍍于衍射層6以及 反射層7的外側(cè)表面,從而形成鈍化層M。
另一方面,準(zhǔn)備基板2,由使用雙面對(duì)準(zhǔn)定位曝光裝置等的光刻法和蝕刻法,將 基板2的角部或邊部等、基板2的外緣部作為基準(zhǔn)部,并以相對(duì)于該基準(zhǔn)部具有規(guī)定的位 置關(guān)系的方式,將凹部64形成于基板2的前表面&。
接著,將基板2的角部或邊部等、基板2的外緣部作為基準(zhǔn)部,并由光學(xué)樹脂劑 16將形成有分光部4的透鏡部3粘結(jié)于基板2的后表面沈。之后,將光學(xué)樹脂劑63涂 布于基板2的凹部64,并將附有光透過(guò)板56的光檢測(cè)元件5嵌合于凹部64。然后,通 過(guò)照射光使光學(xué)樹脂劑63固化,從而將光檢測(cè)元件5安裝于基板2。
接著,由樹脂劑53將配線基板51粘結(jié)于基板2的前表面&。然后,由電線62 連接對(duì)應(yīng)的光檢測(cè)元件5的端子電極61和配線基板51的墊片部52a,從而獲得分光模塊 10。
如以上所說(shuō)明的那樣,在分光模塊10中,因?yàn)榘疾?4相對(duì)于作為用于將分光部 4定位于基板2的基準(zhǔn)部的基板2的外緣部而具有規(guī)定的位置關(guān)系,所以僅通過(guò)將光檢測(cè) 元件5嵌合于凹部64,從而光檢測(cè)元件5被定位于基板2。此時(shí),形成有分光部4的透 鏡部3因?yàn)橛勺鳛榛鶞?zhǔn)部的基板2的外緣部而被定位于基板2,所以作為結(jié)果,能夠?qū)崿F(xiàn)分光部4與光檢測(cè)元件5的對(duì)準(zhǔn)定位。而且,在與分光部4的光柵溝槽6a的延伸方向大 致垂直的方向上的凹部64的側(cè)壁66和光檢測(cè)元件5的間隙比在分光部4的光柵溝槽6a的 延伸方向上的凹部64的側(cè)壁66和光檢測(cè)元件5的間隙小。由此,在與光柵溝槽6a的延 伸方向大致垂直的方向上,因?yàn)槟軌蚋呔鹊剡M(jìn)行透鏡部3與光檢測(cè)元件5的對(duì)準(zhǔn)定位, 所以能夠準(zhǔn)確地將由分光部4進(jìn)行分光的光L2入射到光檢測(cè)元件5。再有,因?yàn)楣鈾z測(cè) 元件5為長(zhǎng)方形板狀,所以在光柵溝槽6a的延伸方向上,能夠更長(zhǎng)地形成光檢測(cè)元件5與 凹部64的側(cè)壁66的間隙,到達(dá)間隙的距離也變得更短,所以在由光學(xué)樹脂劑63將光檢 測(cè)元件5粘結(jié)于基板2的時(shí)候,能夠有效地放掉多余的樹脂和空氣。這樣,根據(jù)分光模 塊10,因?yàn)槟軌驅(qū)崿F(xiàn)所謂被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位,所以能夠維持可靠性并能夠簡(jiǎn)便地進(jìn)行組裝。另外,在分光模塊10中,光檢測(cè)元件5在被嵌合于凹部64的狀態(tài)下,從基板2 的前表面2a突出。由此,不僅能夠使將光檢測(cè)元件5嵌合于設(shè)置于基板2的前表面2a的 凹部64的作業(yè)容易化,而且能夠可靠地將光檢測(cè)元件5按壓于凹部64的底面65,從而能 夠可靠地放掉多余的樹脂和空氣。再有,在分光模塊10中,將向分光部4行進(jìn)的光Ll所通過(guò)的光通過(guò)孔5b設(shè)置 于光檢測(cè)元件5。由此,能夠?qū)崿F(xiàn)相對(duì)于分光部4以及光檢測(cè)元件5的光通過(guò)孔5b的被 動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位。 本發(fā)明并不限定于上述的第2實(shí)施方式。例如,如圖14所示,也可以通過(guò)貼合多層的基板而構(gòu)成基板2。作為一個(gè)例 子,在由光學(xué)樹脂劑16貼合兩層的基板2” 22而構(gòu)成基板2的情況下,可以通過(guò)將截面 長(zhǎng)方形的開(kāi)口部設(shè)置于配置于與分光部4相反側(cè)的基板從而形成基板2的凹部64。另外,在相鄰的基板與基板22之間以及在基板22與透鏡部3之間,也可以形 成具有向分光部4行進(jìn)的光Ll所通過(guò)的光通過(guò)孔67a以及向光檢測(cè)元件5的光檢測(cè)部5a 行進(jìn)的光L2所通過(guò)的光通過(guò)孔67b的吸光層67。根據(jù)該構(gòu)成,能夠以到達(dá)所希望的區(qū)域 的方式,限制一邊擴(kuò)展一邊行進(jìn)的光,并且能夠有效地抑制雜散光入射到光檢測(cè)元件5。還有,作為吸光層67的材料,可以列舉黑色抗蝕劑、放入填料(碳和氧化物等) 的有色的樹脂(硅酮樹脂、環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、聚氨酯樹脂、聚酰亞胺樹脂、復(fù)合 樹脂等)、Cr或Co等的金屬或者氧化金屬、或者其層疊膜、多孔狀的陶瓷或金屬或者氧 化金屬。另外,在吸光層67上,通過(guò)使光通過(guò)孔67a、67b的尺寸不同,從而能夠調(diào)整 光學(xué)NA。另外,如圖14所示,作為光檢測(cè)元件5,也可以適用所謂背面入射型的元件。 在此情況下,因?yàn)殡姌O58與光檢測(cè)部5a—起,位于外側(cè),所以可以將電極58作為端子 電極并用電線62與配線基板51的墊片部52a連接。另外,可以用模具一體成形基板2 和透鏡部3,也可以由復(fù)寫成型用的光透過(guò)性低熔點(diǎn)玻璃等將透鏡部3和衍射層6形成為 一體。另外,作為主體部也可以不使用基板2,而將凹部64形成于透鏡部3的前表面。另外,如圖15所示,嵌合有光檢測(cè)元件5的凹部64的側(cè)壁66也可以具有從光 檢測(cè)元件5分離的分離部66c。根據(jù)這樣的構(gòu)造,在由光學(xué)樹脂劑63將光檢測(cè)元件5粘 結(jié)于基板2的時(shí)候,能夠更加有效地從光檢測(cè)元件5和分離部66c的間隙,放掉多余的樹 脂和空氣。因此,可以抑制在光檢測(cè)元件5與基板2之間的樹脂劑的偏向一方和氣泡的 發(fā)生。
再有,本發(fā)明并不限定于上述的第1以及第2實(shí)施方式,也可以將凹部19設(shè)置 于基板2的后表面2b,使光學(xué)樹脂劑16介于其中從而將透鏡部3嵌合于凹部19,并且將 凹部64設(shè)置于基板2的前表面2a,使光學(xué)樹脂劑63介于其中從而將光檢測(cè)元件5嵌合于 凹部64。在此情況下,作為一個(gè)例子,凹部64成為用于將光檢測(cè)元件5定位于基板2的 基準(zhǔn)部,凹部19成為用于將分光部4定位于基板2的基準(zhǔn)部。另外,也可以不將向分光 部4行進(jìn)的光Ll所通過(guò)的光通過(guò)孔5b形成于光檢測(cè)元件5,而通過(guò)另外途徑形成于配線 基板或者遮光膜中。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性 根據(jù)本發(fā)明,能夠維持分光模塊的可靠性并使分光模塊的簡(jiǎn)便的組裝成為可 能。
權(quán)利要求
1.一種分光模塊,其特征在于, 具備基板,使從一個(gè)面入射的光透過(guò);光透過(guò)部,被配置于所述基板的另一個(gè)面?zhèn)?,并使入射到所述基板的光透過(guò); 分光部,被形成于所述光透過(guò)部,對(duì)入射到所述光透過(guò)部的光進(jìn)行分光并且反射;以及光檢測(cè)元件,被配置于所述基板的所述一個(gè)面?zhèn)?,并檢測(cè)由所述分光部進(jìn)行分光的光,在所述另一個(gè)面上,設(shè)置有相對(duì)于用于將所述光檢測(cè)元件定位于所述基板的基準(zhǔn)部 具有規(guī)定的位置關(guān)系,并通過(guò)光學(xué)樹脂劑而嵌合所述光透過(guò)部的凹部,在所述凹部中設(shè)置有在所述分光部的光柵溝槽的延伸方向上與所述光透過(guò)部嵌合的 第1嵌合部以及在與所述光柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上與所述光透過(guò)部嵌合的 第2嵌合部,所述第2嵌合部與所述光透過(guò)部的間隙比所述第1嵌合部與所述光透過(guò)部的間隙小。
2.如權(quán)利要求1所述的分光模塊,其特征在于,所述凹部的側(cè)壁包含所述第1嵌合部、所述第2嵌合部以及從所述光透過(guò)部分離的分罔部。
3.如權(quán)利要求2所述的分光模塊,其特征在于,所述分離部以圍繞所述光透過(guò)部的方式而被設(shè)置有多個(gè)。
4.一種分光模塊,其特征在于, 具備基板,使從一個(gè)面入射的光透過(guò);光透過(guò)部,被配置于所述基板的另一個(gè)面?zhèn)?,并使入射到所述基板的光透過(guò); 分光部,被形成于所述光透過(guò)部,對(duì)入射到所述光透過(guò)部的光進(jìn)行分光并且反射;以及光檢測(cè)元件,被配置于所述基板的所述一個(gè)面?zhèn)?,并檢測(cè)由所述分光部進(jìn)行分光的光,在所述另一個(gè)面上,設(shè)置有相對(duì)于用于將所述光檢測(cè)元件定位于所述基板的基準(zhǔn)部 具有規(guī)定的位置關(guān)系的凹部,所述光透過(guò)部被嵌合于所述凹部。
5.—種分光模塊,其特征在于, 具備主體部,使從一個(gè)面?zhèn)热肷涞墓馔高^(guò);分光部,被形成于所述主體部,對(duì)入射到所述主體部的光進(jìn)行分光并且反射;以及 光檢測(cè)元件,被配置于所述主體部的所述一個(gè)面?zhèn)?,并檢測(cè)由所述分光部進(jìn)行分光 的光,在所述一個(gè)面上,設(shè)置有相對(duì)于用于將所述分光部定位于所述主體部的基準(zhǔn)部具有 規(guī)定的位置關(guān)系,并通過(guò)光學(xué)樹脂劑嵌合所述光檢測(cè)元件的凹部,在所述凹部中設(shè)置有在所述分光部的光柵溝槽的延伸方向上與所述光檢測(cè)元件嵌合的第3嵌合部以及在與所述光柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上與所述光檢測(cè)元件嵌 合的第4嵌合部,所述第4嵌合部與所述光檢測(cè)元件的間隙比所述第3嵌合部與所述光檢測(cè)元件的間隙
6.如權(quán)利要求5所述的分光模塊,其特征在于,所述光檢測(cè)元件以與所述光柵溝槽的延伸方向大致垂直的方向上的長(zhǎng)度比所述光柵 溝槽的延伸方向上的長(zhǎng)度長(zhǎng)的方式,被形成為長(zhǎng)尺狀。
7.如權(quán)利要求5所述的分光模塊,其特征在于,所述光檢測(cè)元件在被嵌合于所述凹部的狀態(tài)下,從所述一個(gè)面突出。
8.如權(quán)利要求5所述的分光模塊,其特征在于,在所述光檢測(cè)元件中設(shè)置有向所述分光部行進(jìn)的光所通過(guò)的光通過(guò)孔。
全文摘要
本發(fā)明所涉及的分光模塊(1)具備使從前表面(2a)入射的光(L1)透過(guò)的基板(2)、使入射到基板(2)的光(L1)透過(guò)的透鏡部(3)、對(duì)入射到透鏡部(3)的光(L1)進(jìn)行分光并且反射的分光部(4)、以及檢測(cè)由分光部(4)進(jìn)行反射的光(L2)的光檢測(cè)元件(5)。在基板(2)上設(shè)置有相對(duì)于成為用于定位光檢測(cè)元件(5)的基準(zhǔn)部的對(duì)準(zhǔn)定位標(biāo)記(12a、12b)等而具有規(guī)定的位置關(guān)系的凹部(19),透鏡部(3)被嵌合于凹部(19)。根據(jù)分光模塊(1),僅通過(guò)將透鏡部(3)嵌合于凹部(19),從而能夠?qū)崿F(xiàn)分光部(4)與光檢測(cè)元件(5)的被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)定位。
文檔編號(hào)G01J3/18GK102027343SQ20098011755
公開(kāi)日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2009年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月15日
發(fā)明者伊藤將師, 廣瀬真樹, 柴山勝己, 能野隆文 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社