專利名稱：X射線晶體定向儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種X射線檢測裝置，具體說涉及一種測量晶體晶向偏差或晶棒要加工晶面的晶向位置的X射線定向儀。
背景技術(shù)：
各種人工晶體需要在一定的晶向角加工成薄片，眾所周知，其硬度高，造成加工費 時費力，相對說原材料價格也高。目前，基本都采用定向儀來測量晶體晶向偏差或待加工晶 棒要加工晶面的晶向位置，如果確定其位置就做標(biāo)記，送相應(yīng)機床上試加工。試加工后的第 一刀晶片需做相對位置標(biāo)記，返回定向儀檢測，如果超差，則計算其偏差角，再計算機床上 的相對調(diào)整方向。一般晶棒是用膠粘在一個托上的，因為機床加工方式的不同，粘接的晶面 有所不同，但是在加工機床上的調(diào)整只有一個平面可以調(diào)整，如果碰上調(diào)整需要在垂直于 可調(diào)整平面的平面進行，則需要放棄這次的粘接，重新粘料。而偏差角很小，不能用肉眼看 出來，所以，下一次的粘接也并不一定能保證不需要調(diào)整。有時能在可調(diào)平面內(nèi)調(diào)整，調(diào)整 后加工，一刀下來的晶片還要送檢，由于調(diào)整只能憑經(jīng)驗，又是微小的角度，所以有時調(diào)整 一次并不能令人滿意，還需再加工，再送檢，直至送檢的晶片為合格品。頻繁送檢，一方面造 成原材料的浪費，另一方面，其硬度高，加工下來一片晶片用時長，勢必造成送檢周期長。
發(fā)明內(nèi)容針對現(xiàn)有晶體或晶棒加工檢測方面存在的問題，本實用新型提供一種檢測效果 好，投入小，縮短送檢周期，一次定向即可加工的X射線晶體定向儀。解決上述問題采取的具體技術(shù)措施是一種X射線晶體定向儀，包括臺體(1)和設(shè)置在臺體(1)上的X光管套(5)、兩個 光欄(4)、測角儀(2)和測角儀(7)，設(shè)置在測角儀(2)和測角儀(7)上的手輪(9)以及與 測角儀同軸安裝的左樣品臺(3)和右樣品臺(6)及計數(shù)管(8)，其特征在于右樣品臺(6) 的底座(25)上裝有樣品板(23)，托板(16)的一端與樣品板(23)連接，托板(16)另一端 的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪(26)，導(dǎo)軌(15)內(nèi)裝有可前后移動的T型鑲條(14) 并固定在托板(16)上，T型鑲條(14)上面連接下層板(28)，上層板(27)通過旋轉(zhuǎn)軸(20) 與下層板(28)連接，上層板(27)上設(shè)有滾輪組(12)，三角形頂針(19)與樣品板(23)連 接，可移護套(10)套接在三角形頂針(19)上，彈簧(11)連接到可移護套(10)上；左樣品 臺(3)的底座(25)上裝有左樣品板(34)，左托板(33)的一端與左樣品板(34)連接，左托 板(33)另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪(26)，左導(dǎo)軌(29)內(nèi)裝有可前后移動 的左T型鑲條(30)并固定在左托板(33)上，左T型鑲條(30)上連接底板(31)，兩個圓柱 (32)固定在底板(31)上。本實用新型的有益效果由于將左、右樣品臺做了較大的改進，可使晶體原材 料——晶棒旋轉(zhuǎn)，通過調(diào)整，能夠最終得到晶面的最小偏差角的定向，使檢測效果好，投入 小，縮短送檢周期，一次定向即可加工。
圖1為本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型中右樣品臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2的俯視圖；圖4為本實用新型中左樣品臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4的俯視圖；圖6為本實用新型附屬設(shè)備夾緊裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為圖6的右視圖；圖8為本實用新型附屬設(shè)備粘接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為圖8的俯視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型做進一步說明。一種X射線晶體定向儀，如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5所示，包括臺體1和設(shè)置在臺 體1上的X光管套5、兩個光欄4、測角儀2和測角儀7，設(shè)置在測角儀2和測角儀7上的手 輪9以及與測角儀同軸安裝的左樣品臺3和右樣品臺6及計數(shù)管8，測角儀采用渦輪蝸桿 結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)手輪9可使測角儀上的左樣品臺3和右樣品臺6旋轉(zhuǎn)，計數(shù)管8可以手動地與測 角儀同軸旋轉(zhuǎn)。X光從管套5發(fā)射，經(jīng)光欄4打在樣品臺中心被檢晶體上，晶體的不同的晶 面會在不同的角度發(fā)生衍射，由與測角儀主軸同軸連接的計數(shù)管8接收。本實用新型的發(fā) 明點是對右樣品臺6和左樣品臺3進行了改進設(shè)計，其結(jié)構(gòu)如下右樣品臺6的底座25上 裝有樣品板23，托板16的一端與樣品板23連接，托板16另一端的底部裝有可起支撐作用 的軸承滾輪26，導(dǎo)軌15內(nèi)裝有可前后移動的T型鑲條14并固定在托板16上，T型鑲條14 連接下層板28，上層板27通過旋轉(zhuǎn)軸20與下層板28連接，上層板27上設(shè)有T型槽，旋轉(zhuǎn) 軸20的一端銑銷成扁狀，正好沉入T型槽內(nèi)，限制旋轉(zhuǎn)軸與上層板27的旋轉(zhuǎn)，下層板28左 端部設(shè)置的孔21穿過旋轉(zhuǎn)軸20，旋轉(zhuǎn)軸20末端有螺紋，利用螺母固定下層板28，上層板27 連同旋轉(zhuǎn)軸20相對下層板28可以旋轉(zhuǎn)。上層板27上設(shè)有滾輪組12，晶棒自身可在滾輪組 12上旋轉(zhuǎn)，上層板27和下層板28可通過螺母17鎖死。檢測時，先鎖死上下層，旋轉(zhuǎn)樣品臺 上的晶棒到達已知檢測晶面的預(yù)定角度，此時發(fā)生衍射，可旋轉(zhuǎn)晶棒本身，待計數(shù)管8強度 最大時，則晶棒水平面上偏差最小。接著晶棒旋轉(zhuǎn)90°，這時晶棒的被測晶面偏差最大，此 時，松開螺母17，稍微旋轉(zhuǎn)右樣品臺6的上層板27，待計數(shù)管8接收強度最大時，則晶棒此 時的水平面上偏差最小，現(xiàn)在晶棒被檢晶面相對整個右樣品臺6偏差最小，旋緊螺母17鎖 死上下兩層，此時晶棒的物理軸線相對T型鑲條14有一定的角度，而晶棒的晶向卻調(diào)整到 了最佳。另外，T型鑲條14與托板16的相對平移，通過螺釘18鎖死，這樣，在做其他操作時 晶棒會保持不動。三角形頂針19與樣品板23連接，可移護套10通過其中間開有的三角形 槽24套在三角形頂針19上，與三角形頂針19緊密配合。彈簧11是調(diào)校機器或者檢測片 狀樣品時使用的，通過螺釘13連接到可移護套10上。當(dāng)檢測棒狀樣品時，可移護套10連 同彈簧11 一起從三角形頂針19上被取下來，利用三角形頂針19與晶棒點接觸，方便晶棒 的旋轉(zhuǎn)，不會因為可移護套10而限定被檢晶棒的晶面。[0018]為了保證本實用新型能夠達到一次定向即可加工的目的，專門設(shè)計了夾緊裝置和 粘接裝置做為本實用新型的配套設(shè)備。夾緊裝置的結(jié)構(gòu)如圖6、圖7所示，夾緊裝置的兩側(cè) 各設(shè)有一個連接板43，兩連接板43上設(shè)有成對高度不同的平行孔42，當(dāng)穿軸41插入連接 板43的不同的平行孔42后，再與螺母40連接時，可使螺母40的高度不同，以適合夾緊不 同直徑的晶棒，圖6中間的虛線表示被夾緊的不同直徑的晶棒形態(tài)。連接板43下部設(shè)有兩 個孔44，可以將夾緊裝置通過螺釘安裝到右樣品臺6的下層板28上。螺釘39旋入螺母40 上，旋轉(zhuǎn)螺釘39，螺釘39下面的橡膠墊45會夾緊晶棒。此時滾輪組12上已調(diào)整好晶向后 的晶棒與右樣品臺上的T型鑲條14以及與T鑲條14連接的下層板28、旋轉(zhuǎn)軸20、上層板 27、滾輪組12及安裝在下層板28上的夾緊裝置連成一體。這時，旋松螺釘18，將上述連成 一體的合件從導(dǎo)軌15上取下來，拿到粘接裝置上。粘接裝置結(jié)構(gòu)如圖8、圖9所示，將上述 合件中的T型鑲條14垂直向下插入粘接裝置的導(dǎo)軌47里，在粘接裝置的底座51上裝有石 墨塊導(dǎo)軌50，導(dǎo)軌50里插入T型塊53，T型塊53的上面裝有石墨塊55，安裝在T型塊53 正面中間位置上的螺釘52旋入連接在底座51上的螺母板54上，這樣，調(diào)整螺釘52，可以使 T型塊53上的石墨塊55相對底座51平移，連接在底座51上的立板48上面裝有粘接導(dǎo)軌 47，這樣保證立板48與底座51垂直，也就保證了粘接導(dǎo)軌47與石墨塊55垂直，從而保證 晶棒垂直于石墨塊55下表面，為下一步檢測晶棒第一個加工面做基準(zhǔn)，調(diào)整石墨塊55位置 以承接晶棒，石墨塊55與晶棒之間涂膠，待膠干了，取下晶棒連同石墨塊55待測。將T型 鑲條14以及與T鑲條14連接的下層板28、旋轉(zhuǎn)軸20、上層板27、滾輪組12仍安裝到右樣 品臺6的原處；將夾緊裝置從右樣品臺6的下層 板28上取下，待下次夾緊晶棒時再用。將晶棒連同石墨塊55拿到定向儀的另一端測角儀2上的左樣品臺3上，左樣品臺 3的底座25上裝有左樣品板34，左托板33的一端與左樣品板34連接，左托板33另一端的 底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪26，左導(dǎo)軌29內(nèi)裝有可前后移動的左T型鑲條30并固 定在左托板33上，左T型鑲條30上連接底板31，底板31上通過螺釘固定兩個圓柱32，兩 個圓柱32和左樣品板34形成三點夾持晶棒，由于在這一端檢測時使用的已檢測晶棒的端 面最為基準(zhǔn)，為了使晶棒不會受其直徑因素影響，不失基準(zhǔn)，因此使用三點夾持。將晶棒推 向左樣品板34中心檢測位置，將承接晶棒的石墨塊55底面做為基準(zhǔn)面，靠緊左托板33，這 時旋轉(zhuǎn)晶棒，找要加工的晶面柱面上的加工參考面，待強度最大時，通過螺釘35鎖死左T型 鑲條30與左托板33的相對平移，劃線，送去加工，整個定向檢測工作結(jié)束。
權(quán)利要求一種X射線晶體定向儀，包括臺體(1)和設(shè)置在臺體(1)上的X光管套(5)、兩個光欄(4)、測角儀(2)和測角儀(7)，設(shè)置在測角儀(2)和測角儀(7)上的手輪(9)以及與測角儀同軸安裝的左樣品臺(3)和右樣品臺(6)及計數(shù)管(8)，其特征在于右樣品臺(6)的底座(25)上裝有樣品板(23)，托板(16)的一端與樣品板(23)連接，托板(16)另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪(26)，導(dǎo)軌(15)內(nèi)裝有可前后移動的T型鑲條(14)并固定在托板(16)上，T型鑲條(14)上面連接下層板(28)，上層板(27)通過旋轉(zhuǎn)軸(20)與下層板(28)連接，上層板(27)上設(shè)有滾輪組(12)，三角形頂針(19)與樣品板(23)連接，可移護套(10)套接在三角形頂針(19)上，彈簧(11)連接到可移護套(10)上；左樣品臺(3)的底座(25)上裝有左樣品板(34)，左托板(33)的一端與左樣品板(34)連接，左托板(33)另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪(26)，左導(dǎo)軌(29)內(nèi)裝有可前后移動的左T型鑲條(30)并固定在左托板(33)上，左T型鑲條(30)上連接底板(31)，兩個圓柱(32)固定在底板(31)上。
專利摘要本實用新型涉及一種測量晶體晶向偏差或晶棒加工晶面的晶向位置的X射線定向儀，其結(jié)構(gòu)是在定向儀的兩個樣品臺的底座上分別設(shè)有樣品板，托板的一端與樣品板連接，另一端的底部裝有可起支撐作用的軸承滾輪，導(dǎo)軌內(nèi)裝有可前后移動的T型鑲條并固定在托板上，T型鑲條上面各自分別連接兩個樣品臺的下層板和底板，右樣品臺的上層板通過旋轉(zhuǎn)軸與下層板連接，上層板上設(shè)有滾輪組，三角形頂針與樣品板連接，可移護套與三角形頂針連接，彈簧連接到可移護套上，左樣品臺上的兩個圓柱固定在底板上。為了使晶棒能夠達到一次定向即可加工的目的，另外設(shè)計了夾緊裝置和粘接裝置配套使用，使晶面最小偏差角的定向簡單，檢測效果好，縮短送檢周期。
文檔編號G01N23/207GK201555818SQ20092028785
公開日2010年8月18日 申請日期2009年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月15日
發(fā)明者宋偉, 李國興, 許秋華, 隋鳳麗 申請人:丹東奧龍射線儀器有限公司