專利名稱：高精度大量程磁致伸縮位移傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型主要涉及了一種對位移進行測量控制的傳感器，具體的說是一種可廣
泛應用于石油化工領(lǐng)域位移測量，機械自動化領(lǐng)域精密測控等的高精度大量程磁致伸縮位 移傳感器。
背景技術(shù)：
近年來，隨著科學技術(shù)的迅猛發(fā)展，對位移測量技術(shù)的要求也越來越高，對位移測 量也提出了新的要求，不但要求位移傳感器兼有非接觸、大量程、高分辨率、高精度、高可靠 性及使用方便等性能，而且還應具有適應惡劣工況(粉塵污染、振動沖擊)特殊環(huán)境(火力 電站鍋爐汽包液位、軍用與高溫高壓水位等)的能力。目前，位移測量方法主要有機械測量 法、氣動測量法、電磁測量法、光學測量法，其中電磁測量方法對被測信號直接檢測，降低了 信號轉(zhuǎn)換過程中的損耗和畸變，因此在既需要大量程，又要保證高精度的自動化測控領(lǐng)域 里，應用十分廣泛。電磁測量法又可以分為電容式、電感式、應變式、霍爾式、電位計式、磁柵 式、電渦流式、磁致伸縮式等形式，而高精度大量程磁致伸縮位移傳感器滿足高測量精度和 大量程的要求。 電容式傳感器雖然結(jié)構(gòu)簡單，價格便宜，靈敏度高，過載能力強，動態(tài)響應特性好， 但是其輸出有非線性，寄生電容和分布電容對靈敏度和測量精度的影響較大，其精度只能 達到一定程度。電感式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，可靠壽命長，靈敏度和分辨力高，線性度和重復性 都比較好，但是它頻率響應較低，不宜快速動態(tài)測控。應變式傳感器精度高，測量范圍廣，壽 命長，結(jié)構(gòu)簡單，頻響特性好，但其應變有較大的非線性，輸出信號較弱，必須采用一定的補 償措施。霍爾式傳感器靈敏度高，動態(tài)響應好，結(jié)構(gòu)簡單，但受溫度和介質(zhì)影響大，非線性也 比較大。電位計式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，成本低，但是機械強度低，結(jié)構(gòu)不牢固。電渦流式傳感 器結(jié)構(gòu)簡單、頻率響應寬、靈敏度高、測量線性范圍大、抗干擾能力強、體積小，但它也容易 受到被測物體物理性能、幾何形狀以及幾何尺寸的影響。 而高精度大量程磁致伸縮位移傳感器具有精度高，可進行長距離測量，除此之外， 它抗干擾能力強、結(jié)構(gòu)簡單、免維護、環(huán)境適應性強、安裝方便、可實現(xiàn)多個參數(shù)測量。 目前，在高精度大位移測試方面，國外對相關(guān)技術(shù)進行深入的了研究，進口產(chǎn)品在 性能和質(zhì)量上面具有較大的優(yōu)勢，但其價格過于昂貴并且在技術(shù)上存在封鎖，致使國內(nèi)大 量同類產(chǎn)品存在應用困難的問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服上述不足，而提供一種高精度大量程磁致伸縮位移 傳感器，是一種利用磁致扭轉(zhuǎn)波作為傳播媒質(zhì)的磁致伸縮式傳感器，它基于磁致伸縮效應、 電磁效應，運用電子技術(shù)、通訊技術(shù)和軟件技術(shù)等綜合技術(shù)所研制的高精度大量程位移傳 感器。
本實用新型解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案這種高精度大量程磁致伸縮位移傳感器，主要包括波導管和傳感電子頭，所述波導管用于產(chǎn)生回波信號，接收激勵脈沖信號， 同時在磁環(huán)的位置產(chǎn)生磁致伸縮效應，產(chǎn)生磁致扭轉(zhuǎn)波回傳給回波采集處理分析系統(tǒng)，波 導管上套有安裝永磁鐵的磁環(huán)，磁環(huán)產(chǎn)生的磁場與波導管產(chǎn)生的磁場方向不同，一旦交匯 就產(chǎn)生磁致扭轉(zhuǎn)波。所述傳感電子頭包括五個子系統(tǒng)，分別為控制單元、激勵信號發(fā)生系 統(tǒng)、通信系統(tǒng)、供電電源電路和回波采集處理分析系統(tǒng)，涉及到機械、電子、信號處理與計算 機多學科領(lǐng)域的知識，是一個典型的多種高新技術(shù)融合的系統(tǒng)。 所述控制單元，用于發(fā)出激勵發(fā)生信號給激勵發(fā)生電路，發(fā)出信號處理控制信號 給處理分析系統(tǒng)，發(fā)出時間讀取信號給時間量計量電路，同時接收來自采集回波電路的回 波信號，并將處理后的數(shù)據(jù)經(jīng)過串口輸出到PC ; 所述激勵信號發(fā)生系統(tǒng)，用于向波導管發(fā)出激勵脈沖信號，并對信號進行功率放 大，它的工作狀態(tài)受單片機控制單元控制。 所述通信系統(tǒng)，采用了 RS485通訊協(xié)議以及Zigbee無線通訊協(xié)議，通過串口與傳 感電子頭相連接，用于將來自傳感電子頭的測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C ; 所述回波采集處理分析電路，用于對傳感器回傳信號處理分析，回波采集電路通 過檢測、采集、濾波形成回波信號，再將回波信號發(fā)送到信號處理分析電路，并最終將信號 傳送到控制單元。 作為優(yōu)選，所述的波導管外裝有外管，使其與測量對象隔離，并起到隔振的作用、 隔熱、防塵等作用。外管上套有安裝永磁鐵的磁環(huán)，磁環(huán)產(chǎn)生的磁場與波導管產(chǎn)生的磁場方 向不同， 一旦交匯就產(chǎn)生磁致扭轉(zhuǎn)波。 作為優(yōu)選，在波導管的兩端加阻尼元件，在外管上設(shè)有由第一輔助定位磁體和第 二輔助定位磁體形成的雙輔助磁環(huán)結(jié)構(gòu)。 作為優(yōu)選，所述回波采集處理分析電路采用了脈沖計數(shù)法對回波信號進行處理， 采用500MHz振蕩源作為計數(shù)脈沖源，采用非遞歸性結(jié)構(gòu)的FIR低通數(shù)字濾波器。 作為優(yōu)選，本實用新型采用穩(wěn)定的24V供電電源電路為傳感器提供所需的電源。 本實用新型的優(yōu)點在于(l)設(shè)計了穩(wěn)定的信號激勵及高速數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，加強 了信號的抗干擾設(shè)計，從而使產(chǎn)品達到了 0. 02mm的高分辨率。(2)可在RS485通訊協(xié)議以 及Zigbee無線通訊協(xié)議中選擇組網(wǎng)方式。提高了傳感器的應用范圍，使其能更加方便地使 用在高溫、高壓、高震蕩的環(huán)境中。(3)采用了通用低功耗的單片機芯片，該芯片具有出色的 DSP性能、先進的中斷處理能力、功能強大的片上外設(shè)組以及可靠的高性能片上閃存，與此 同時其成本低，是整個傳感器能穩(wěn)定運行的核心部分。(4)測量精度非常高，達到了國內(nèi)該 領(lǐng)域領(lǐng)先水平，滿量程1000mm以下，最大測量精度達到了 0. 001 % F. S，分辨率最高達1 P m， 實現(xiàn)了高精度測量，完全滿足了目前工業(yè)測量對精度的要求。(5)測量范圍大，其測量距離 在25mm 18000mm，同時還可以通過Zigbee無線將長距離測量的數(shù)據(jù)進行處理。(6)監(jiān) 測能力大，不僅能對位移進行測量，還能對被測物體的溫度進行監(jiān)測，測溫范圍在-40°C +70°〇，測溫精確度為±0. 25°C。

圖1本實用新型傳感器工作原理圖； 圖2本實用新型傳感器結(jié)構(gòu)圖；[0019] 圖3本實用新型波導管結(jié)構(gòu)圖； 圖4本實用新型控制單元電路原理圖； 圖5本實用新型激勵發(fā)生電路原理圖； 圖6本實用新型供電電源電路電路原理圖； 圖7本實用新型回波采集電路電路原理圖； 圖8本實用新型外部擴展存儲器電路原理圖； 圖9計算機監(jiān)控軟件流程圖。 附圖標記說明1接線插頭，2傳感電子頭，3溫度傳感器，4總線，5測試電路板，7 波導管，8外管，9阻尼元件，10定位磁環(huán)，11第一輔助定位磁環(huán)，12第二輔助定位磁環(huán)。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步描述，但應理解這些實施例并不是
限制本實用新型的范圍，在不違背本實用新型的精神和范圍的情況下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可
對本實用新型作出改變和改進以使其適合不同的使用情況，條件和實施方案。 本實用新型是一種高精度大量程磁致伸縮位移傳感器，它主要包括波導管、傳感
電子頭、計算機監(jiān)控軟件。它采有RS485有限通信和Zigbee無線通信兩種方式，采用穩(wěn)定
的24V供電電源電路為傳感器提供所需的電源。 本實用新型各部分的電路連接如下 —、波導管。 如圖3所示在本實用新型中，包括接線插頭1、傳感電子頭2、溫度傳感器3、總線 4、測試電路板5、波導管7、外管8、阻尼元件9、定位磁環(huán)10、第一輔助定位磁環(huán)ll和第二 輔助定位磁環(huán)12。波導管7采用進口的磁致伸縮材料(G匪)制作，它的主要成分是稀土超 磁致伸縮材料，以(Tb，Dy)Fe2化合物為基體的Tb。.3Dy。.7Feu5材料(Tb-Dy-Fe材料)的入 達到1500 2000卯m，比磁致伸縮的金屬與合金和鐵氧體磁致伸縮材料的A大1 2個數(shù) 量級。 波導管7外安裝了阻尼元件9，因為扭轉(zhuǎn)波傳到波導管的兩個終端時，由于阻抗突 變，將發(fā)生反射。反射波的存在降低了信號的信噪比，使被測峰值難于被接收。因此，在波導 管的兩端加阻尼原件，使得扭轉(zhuǎn)波傳播到波導管終端時被阻尼而迅速衰減，使反射波的幅 值減小到不影響測量的程度。波導管7最外面安裝有外管8，用來保護波導管，使其與測量 對象隔離，并起到隔振的作用、隔熱、防塵等作用，定位磁體10安裝在外管上，可自由滑動。 除此之外，為了有效消除振蕩源溫漂以及扭轉(zhuǎn)波在波導管中的傳播速度受溫度變 化而改變而帶來的測量誤差，本實用新型在外管上設(shè)計了雙輔助磁環(huán)結(jié)構(gòu)，即在原有磁致 伸縮位移傳感器的基礎(chǔ)上，加入兩個固定的輔助定位磁體。如圖3，當傳感器進行位移測量 時，設(shè)超聲波從第一輔助定位磁體11和第二輔助定位磁體12返回時間分別為1\和T2。 由于磁致伸縮位移傳感器具有極高的線性度，并且L值一定，因此滿足以下關(guān)系 Z -,xr產(chǎn)^"XiV, 注N"K分別為時間1\、T2對應的技術(shù)脈沖個數(shù)，h為定位磁體到傳感電子頭的距離，^為位移_時間比例系數(shù)C。 當環(huán)境發(fā)生變化時，C。也將發(fā)生變化，但L、1\、T2與h之間的線性關(guān)系依然存在因
此c。依然可以通過+得到，這樣傳感器只要在每次測量時都先測量并計算C。，然后乘以測
得的位移時間就可以得到具體的位移值，從而消除了由C。波動導致的測量誤差。因此，有 效的消除了扭轉(zhuǎn)波在波導管中的傳播速度受溫度變化而改變導致的測量誤差。 振蕩源溫漂可以通過溫漂系數(shù)e來體現(xiàn)，即 Nt = e X Nt。 注Nt為溫度為t°C時的計數(shù)脈沖個數(shù)；Nt。為基準溫度t?！鉉時的計數(shù)脈沖個數(shù)。由
于公式中包含了f項，故包含在Nt。與Nt中的溫漂系數(shù)相互抵消。因此，這種方法可以有
效地消除由振蕩源溫漂導致地測量誤差。 二、傳感電子頭。 在本實用新型中所述的傳感電子頭2包括五個子系統(tǒng)，分別為控制單元、激勵信 號發(fā)生系統(tǒng)、供電電源電路、通信系統(tǒng)、回波采集處理分析系統(tǒng)、外部擴展可擦寫數(shù)據(jù)存儲 器(EEPROM)，涉及到機械、電子、信號處理與計算機多學科領(lǐng)域的知識，是一個典型的多種 高新技術(shù)融合的系統(tǒng)。 如圖4所示本實用新型所述控制單元以低功耗單片機U9為主，它發(fā)出激勵發(fā)生信 號給激勵發(fā)生電路，發(fā)出信號處理控制信號給處理分析系統(tǒng)，發(fā)出時間讀取信號給時間量 計量電路，同時接收來自采集回波電路的回波信號，并將處理后的數(shù)據(jù)經(jīng)過串口輸出到PC。 本實用新型高精度大量程磁致伸縮位移傳感器通過單片機的數(shù)據(jù)存儲以及輸入 輸出來協(xié)調(diào)各個模塊的工作。其中單片機U9的激勵信號輸出端49經(jīng)過電阻R30與場效應 晶體管Q3的柵級連接，單片機的時鐘信號端53發(fā)送lOKHz的方波信號到觸發(fā)芯片U4的時 鐘輸入端3，單片機的電源輸入正端8、27、40、57分別接+5V電源電壓，電源正端26、58與 +2. 5V電壓相連，單片機的電源輸入負端7、41、59接數(shù)字地RETURN,單片機信號采集端29 接信號放大芯片U5的比較放大輸出端7，單片機U9的時鐘端60經(jīng)過8M晶振和電阻R32連 接到單片機的時鐘端61，同時在晶振兩端接電解電容C40、 C41，單片機的復位端62經(jīng)過開 關(guān)J1分別然后一起接到單片機的63、64形成一個復位電路，對單片機形成硬件復位。單片 機計時端32發(fā)出計時啟動信號到時間量計量，計時開始。 如圖5所示本實用新型所述激勵發(fā)生電路用來產(chǎn)生激勵脈沖信號，并對信號進行 功率放大。 根據(jù)磁致伸縮傳感器測量機理，為了使波導絲產(chǎn)生較大的扭轉(zhuǎn)變形，波導絲中的 電流脈沖必須產(chǎn)生較強的垂直于波導絲軸向的環(huán)向磁場，因此脈沖發(fā)射電路要向波導絲加 載足夠強度的脈沖的周期和寬度可調(diào)節(jié)的電流脈沖。 為了獲得足夠強度的可調(diào)脈寬電流脈沖，首先由CPU產(chǎn)生lOKHz的方波信號激勵 施密特邏輯器件U4獲得的兩路相位差為180度的方波信號，然后將其輸入到14級倍壓電 路，經(jīng)過升壓后，將其進行驅(qū)動放大和整形，最后通過大功率高速晶體管Ql、 Q2輸出穩(wěn)定的 激勵波信號DRIVER，其脈寬由CPU控制晶體管開、關(guān)來實現(xiàn)。針對波導管材料特性和具體參數(shù)，產(chǎn)生激勵脈沖信號DRIVER,并通過接插件傳送到波導管中，產(chǎn)生最優(yōu)的扭轉(zhuǎn)波信號。 如圖6所示本實用新型所述供電電源電路產(chǎn)生穩(wěn)定的+5V和+3V直流電壓，為傳 感器內(nèi)部各個模塊供電。外部+24V電源經(jīng)過二極管D5、D6、D7與電壓調(diào)節(jié)芯片Ul的輸入 端8連接，在通過U1的輸出端1輸出穩(wěn)定的+5V電壓，同時再接到第二片電壓調(diào)節(jié)芯片U2 輸入端8， U2的電壓輸出端輸出+3V穩(wěn)定電壓。電壓調(diào)節(jié)芯片Ul、 U2接地端4和關(guān)斷端3 分別接地。 如圖2本實用新型所述通信電路主要由RS485通訊電路以及Zigbee無線通訊系 統(tǒng)組成，通過串口與傳感電子頭相連接，將來自電子頭的測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C。將電子頭電路 板上的TXD與串口 TXD腳相連，RXD與串口 RXD腳相連。 如圖7所示本實用新型所述回波采集處理分析電路，用于對傳感器回傳信號處理 分析。本實用新型的回波采集系統(tǒng)中設(shè)計了差模放大電路、峰值檢波電路以及比較電路對 脈沖信號進行隔離、緩沖、放大、整形及濾波。將來自波導管回波信號SE—SIGJN輸入到差 模放大電路U6，此電路對共模干擾輸入有很高的抑制能力，從而增強回波信號可信度，然后 我們將經(jīng)過差分放大電路U6的輸出信號端6輸入比較整形電路U5的輸入端3以及峰值檢 波電路，輸出的信號COMP-OUT不僅去掉了毛剌，而且改善了波形的上升沿及下降沿以及提 高了模擬信號負載能力。由于波導管內(nèi)電流脈沖和應變脈沖的影響，以及系統(tǒng)的雜散噪聲 的存在，輸出信號仍有與其測量精度相對而言影響很大的擾動，雖然經(jīng)過了硬件濾波，但是 并不能夠完全消除其影響。 因此本系統(tǒng)中設(shè)計最大的創(chuàng)新點在于采用了脈沖計數(shù)法對回波信號進行處理，具 體處理方式如下 本項目所研究的高精度大量程磁致伸縮位移傳感器是通過測量脈沖發(fā)射和回波 接收之間的時間間隔來確定位移的，所以，時間量的精確計量是實現(xiàn)傳感器高分辨關(guān)鍵所 在，本傳感器采用脈沖計數(shù)法。計數(shù)值N正比于時間間隔T。 [OOM] 則時間分辨力為
r i A7， = ^ = 7 所對應的當量距離為 = ，' x AT = y 式中f為記數(shù)脈沖源頻率，V為超聲波在介質(zhì)中的傳播速度。 有上式可以看出f值越高，其分辨率也高，所以，本傳感器中采用了高達500MHz振
蕩源作為計數(shù)脈沖源，超聲波的傳播速度為3000m/s，由此可以計算出AH為6iim。 為了再次提高分辨率，本項目對檢測信號的頻譜特性進行了分析，在分析過程中，
首先將隨機變量a^、^之間的自相關(guān)函數(shù)(Ka(m)定義為 小aa (m) = E (anl X an2) = E (an X an+D1) 即乘積的數(shù)學期望，式中m = n2-ni為時移差。 然后對自相關(guān)函數(shù)(Ka(m)進行傅立葉變換得出功率譜密度。接下來將序列的傅 立葉變換的模的平方除以n得到功率譜的估計，即周期圖。因此我們采取周期圖來作為功 率譜的估計，取512個樣點來分析其頻譜特性。[0063] 根據(jù)頻譜特性圖，采用Hamming窗口函數(shù)，設(shè)計了非遞歸性結(jié)構(gòu)的FIR低通數(shù)字濾 波器，采用非遞歸型結(jié)構(gòu)，避免了遞歸結(jié)構(gòu)中極限環(huán)振蕩等不穩(wěn)定現(xiàn)象，從而減小誤差達到 提高傳感器分辨率的目的，然后采用了二維線性插值法，在信號處理系統(tǒng)中對所采集的特 征點進行了 5次差值運算，從而將分辨率提高到了 lym。 如圖8所示本實用新型擴展了一個外部可擦寫數(shù)據(jù)存儲器，通過外部擴展來提高 傳感器對數(shù)據(jù)處理的能力。存儲器U8的寫保護啟用腳1和讀保護啟用腳2、3以及4腳連 接在一起，然后接地。串行數(shù)據(jù)地址輸入輸出腳5與控制單元U9的數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)發(fā)送控制腳36 相連接，串行時鐘腳6與控制單元U9外部中斷端39相連接，接收控制腳7與控制單元U9 的接收控制腳35相連接，電源輸入端8經(jīng)過電阻R45與+5V電源連接。 三、計算機監(jiān)控軟件 如圖9是本實用新型計算機監(jiān)控軟件結(jié)構(gòu)圖。 除上述實施例外，本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變 換形成的技術(shù)方案，均落在本實用新型要求的保護范圍。
權(quán)利要求一種高精度大量程磁致伸縮位移傳感器，主要包括波導管(7)和傳感電子頭(2)，其特征在于所述波導管(7)用于產(chǎn)生回波信號，接收激勵脈沖信號，同時在定位磁環(huán)(10)的位置產(chǎn)生磁致伸縮效應，產(chǎn)生磁致扭轉(zhuǎn)波回傳給回波采集處理分析系統(tǒng)，波導管(7)上套有安裝永磁鐵的定位磁環(huán)(10)，定位磁環(huán)(10)產(chǎn)生的磁場與波導管(7)產(chǎn)生的磁場方向不同；所述傳感電子頭(2)包括五個子系統(tǒng)，分別為控制單元、激勵信號發(fā)生系統(tǒng)、通信系統(tǒng)、供電電源電路和回波采集處理分析系統(tǒng)；其中所述控制單元，用于發(fā)出激勵發(fā)生信號給激勵發(fā)生電路，發(fā)出信號處理控制信號給處理分析系統(tǒng)，發(fā)出時間讀取信號給時間量計量電路，同時接收來自采集回波電路的回波信號，并將處理后的數(shù)據(jù)經(jīng)過串口輸出到PC；所述激勵信號發(fā)生系統(tǒng)，用于向波導管發(fā)出激勵脈沖信號，并對信號進行功率放大；所述通信系統(tǒng)，采用了RS485通訊協(xié)議以及Zigbee無線通訊協(xié)議，通過串口與傳感電子頭相連接，用于將來自傳感電子頭的測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C；所述回波采集處理分析電路，用于對傳感器回傳信號處理分析，回波采集電路通過檢測、采集、濾波形成回波信號，再將回波信號發(fā)送到信號處理分析電路，并最終將信號傳送到控制單元。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度大量程磁致伸縮位移傳感器，其特征在于所述的波 導管(7)外裝有外管(S)，外管(8)上套有安裝永磁鐵的定位磁環(huán)(IO)，定位磁環(huán)(10)產(chǎn) 生的磁場與波導管(7)產(chǎn)生的磁場方向不同。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的高精度大量程磁致伸縮位移傳感器，其特征在于在波導管 (7)的兩端設(shè)有阻尼元件(9)，在外管(8)上設(shè)有由第一輔助定位磁體(11)和第二輔助定 位磁體(12)形成的雙輔助磁環(huán)結(jié)構(gòu)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度大量程磁致伸縮位移傳感器，其特征在于所述回波 采集處理分析電路采用了脈沖計數(shù)法對回波信號進行處理，采用500MHz振蕩源作為計數(shù) 脈沖源，采用非遞歸性結(jié)構(gòu)的FIR低通數(shù)字濾波器。
專利摘要本實用新型涉及一種高精度大量程磁致伸縮位移傳感器，主要包括波導管和傳感電子頭，所述波導管用于產(chǎn)生回波信號，接收激勵脈沖信號，同時在磁環(huán)的位置產(chǎn)生磁致伸縮效應，產(chǎn)生磁致扭轉(zhuǎn)波回傳給回波采集處理分析系統(tǒng)，波導管上套有安裝永磁鐵的磁環(huán)，磁環(huán)產(chǎn)生的磁場與波導管產(chǎn)生的磁場方向不同，一旦交匯就產(chǎn)生磁致扭轉(zhuǎn)波。所述傳感電子頭包括五個子系統(tǒng)，分別為控制單元、激勵信號發(fā)生系統(tǒng)、通信系統(tǒng)、供電電源電路和回波采集處理分析系統(tǒng)。本實用新型的優(yōu)點在于設(shè)計了穩(wěn)定的信號激勵及高速數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，加強了信號的抗干擾設(shè)計；提高了傳感器的應用范圍；測量精度非常高，測量范圍大，其測量距離在25mm～18000mm，同時還可以通過Zigbee無線將長距離測量的數(shù)據(jù)進行處理。
文檔編號G01B7/02GK201535664SQ20092012031
公開日2010年7月28日 申請日期2009年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月18日
發(fā)明者吳珂 申請人:杭州明豪科技有限公司