專利名稱：一種ccd成像系統(tǒng)微調(diào)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種CCD成像系統(tǒng)微調(diào)裝置，尤其是涉及一種鉻版膜針孔 微觀缺陷自動檢查儀CCD成像系統(tǒng)位置微調(diào)裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有鉻版膜針孔微觀缺陷自動檢査儀CCD成像系統(tǒng)微調(diào)裝置，水平上下位置 微調(diào)機(jī)構(gòu)，調(diào)整范圍小，不能滿足水平方向200mm調(diào)整范圍的要求，且無法對 雙鏡頭位置進(jìn)行調(diào)整，制造成本高，并且不適合在半懸浮機(jī)械臂上安裝使用， 沒有移動量的數(shù)字直觀顯示功能，在多兼容規(guī)格下，水平位置調(diào)整困難。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有CCD(電荷耦合器)成像系統(tǒng)位置微調(diào)裝置 存在的缺陷，提供一種可對CCD成像系統(tǒng)雙鏡頭位置進(jìn)行調(diào)整，且調(diào)整范圍大， 制造成本底，適合在半懸浮機(jī)械臂上安裝使用的CCD成像系統(tǒng)位置微調(diào)裝置。
本實用新型的技術(shù)方案是其包括安裝在底板上的1#CCD垂直調(diào)節(jié)器、直 線滑軌、水平調(diào)節(jié)絲杠、 一數(shù)顯卡尺、安裝在直線滑軌上的水平滑塊和安裝在 水平滑塊上的2#CCD垂直調(diào)節(jié)器，所述lttCCD及2ttCCD兩個垂直調(diào)節(jié)器外側(cè)均 設(shè)有與CCD成像系統(tǒng)固定連接用的固定塊，1#CCD及2#CCD兩垂直調(diào)節(jié)器旁分別 設(shè)有軸承導(dǎo)向桿，所述水平調(diào)節(jié)絲杠外端設(shè)有水平位置調(diào)節(jié)帽；所述直線滑軌 與水平調(diào)節(jié)絲杠平行，直線滑軌上的水平滑塊一端固定在水平調(diào)節(jié)絲杠滑塊底 端面上，水平調(diào)節(jié)絲桿上方安裝有數(shù)顯卡尺，數(shù)顯卡尺活動部分固定在水平調(diào) 節(jié)絲杠滑塊上端面上；lftCCD及2ttCCD兩垂直調(diào)節(jié)器保持在同一直線上；底板上 還設(shè)有鉻版膜針孔微觀缺陷自動檢査儀懸臂安裝位。
通過水平調(diào)節(jié)，數(shù)顯卡尺可顯示鉻版膜針孔微觀缺陷自動檢查儀2#CCD相 機(jī)與1#CCD相機(jī)的相對位置數(shù)據(jù)，方便兼容產(chǎn)品位置直觀調(diào)整，提高效率。結(jié) 合CCD成像顯示在鉻版膜針孔微觀缺陷自動檢査儀LCD顯示器上的畫面對版面 邊緣對焦，通過ltf及2ttCCD垂直調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)對版面參照點對焦，可調(diào)至最清晰 狀態(tài)；
3本實用新型可對CCD成像系統(tǒng)雙鏡頭位置進(jìn)行精確調(diào)整，且調(diào)整范圍大； 制造成本底。


圖1為本實用新型一實施例的主視圖。 圖2為圖1所示實施例的俯視圖。 圖3為圖1所示實施例的左視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明。
參照附圖，本實施例包括安裝在底板1上的1#CCD垂直調(diào)節(jié)器2、直線滑軌 10、水平調(diào)節(jié)絲杠7、水平調(diào)節(jié)數(shù)顯卡尺9、安裝在直線滑軌10上的水平滑塊6 和安裝在水平滑塊6上的2#CCD垂直調(diào)節(jié)器3，所述1#CCD垂直調(diào)節(jié)器2外側(cè)設(shè) 有與CCD成像系統(tǒng)固定連接的固定塊5-1， 2#CCD垂直調(diào)節(jié)器3外側(cè)設(shè)有與另一 套CCD成像系統(tǒng)固定連接的固定塊5-2， 1#CCD垂直調(diào)節(jié)器2旁設(shè)有軸承導(dǎo)向桿 14-1， 2tfCCD垂直調(diào)節(jié)器3旁設(shè)有軸承導(dǎo)向桿II4-2， 2#CCD垂直調(diào)節(jié)器3和軸 承導(dǎo)向桿IH-2與水平滑塊6連接；水平調(diào)節(jié)絲杠7外端設(shè)有水平調(diào)節(jié)帽8;直 線滑軌10與水平調(diào)節(jié)絲杠7平行，直線滑軌10上設(shè)有水平滑塊6，水平滑塊6 一端固定在水平調(diào)節(jié)絲杠7滑塊底端面，水平調(diào)節(jié)絲桿7上方安裝有數(shù)顯卡尺9， 數(shù)顯卡尺9活動部分固定在水平調(diào)節(jié)絲杠7滑塊上端面，可與水平滑塊6同步 移動，并時時顯示移動量數(shù)據(jù)；底板1上部設(shè)有鉻版膜針孔微觀缺陷自動檢查 儀懸臂安裝位11; 1#CCD垂直調(diào)節(jié)器2和2ttCCD垂直調(diào)節(jié)器3保持在同一直線 上。
工作時，根據(jù)版面規(guī)格和設(shè)計數(shù)據(jù)，通過水平調(diào)節(jié)組調(diào)節(jié)帽結(jié)合數(shù)據(jù)顯示 調(diào)整2#CCD的與1#CCD的相對位置；被測版面安放在設(shè)備臺面上后，結(jié)合CCD 成像顯示在LCD上的畫面對版面邊緣對焦，調(diào)整l、 2#CCD垂直調(diào)節(jié)組調(diào)節(jié)帽對 版面參照點對焦至最清晰狀態(tài)。整個微調(diào)裝置固定在機(jī)器人Y軸滑塊上，根據(jù) 版面規(guī)格調(diào)整好雙CCD(電荷耦合器)中心距后和焦距后，跟隨ROBOT(機(jī)器人) 同步運(yùn)動，對整個版面掃描。
權(quán)利要求1、一種CCD成像系統(tǒng)微調(diào)裝置，其特征在于，包括安裝在底板上的1#CCD垂直調(diào)節(jié)器、直線滑軌、水平調(diào)節(jié)絲杠、數(shù)顯卡尺、安裝在直線滑軌上的水平滑塊和安裝在水平滑塊上的2#CCD垂直調(diào)節(jié)器，所述1#CCD及2#CCD兩個垂直調(diào)節(jié)器外側(cè)均設(shè)有與CCD成像系統(tǒng)固定連接用的固定塊，1#CCD及2#CCD兩垂直調(diào)節(jié)器旁分別設(shè)有軸承導(dǎo)向桿，所述水平調(diào)節(jié)絲杠外端設(shè)有水平位置調(diào)節(jié)帽；所述直線滑軌與水平調(diào)節(jié)絲杠平行，直線滑軌上的水平滑塊一端固定在水平調(diào)節(jié)絲杠滑塊底端面上，水平調(diào)節(jié)絲桿上方安裝有數(shù)顯卡尺，數(shù)顯卡尺活動部分固定在水平調(diào)節(jié)絲杠滑塊上端面上；1#CCD及2#CCD兩垂直調(diào)節(jié)器保持在同一直線上；底板上還設(shè)有鉻版膜針孔微觀缺陷自動檢查儀懸臂安裝位。
專利摘要一種CCD成像系統(tǒng)微調(diào)裝置，其包括安裝在底板上的1#CCD垂直調(diào)節(jié)器、直線滑軌、水平調(diào)節(jié)絲杠、一數(shù)顯卡尺、安裝在直線滑軌上的水平滑塊和安裝在水平滑塊上的2#CCD垂直調(diào)節(jié)器，兩CCD垂直調(diào)節(jié)器外側(cè)均設(shè)有與CCD成像系統(tǒng)固定連接用的固定塊，兩CCD垂直調(diào)節(jié)器旁分別設(shè)有軸承導(dǎo)向桿，水平調(diào)節(jié)絲杠外端設(shè)有水平位置調(diào)節(jié)帽；直線滑軌與水平調(diào)節(jié)絲杠平行，直線滑軌上的水平滑塊一端固定在水平調(diào)節(jié)絲杠滑塊底端面上，水平調(diào)節(jié)絲桿上方安裝有數(shù)顯卡尺，數(shù)顯卡尺活動部分固定在水平調(diào)節(jié)絲杠滑塊上端面上；兩CCD垂直調(diào)節(jié)器保持在同一直線上。本實用新型可對CCD成像系統(tǒng)雙鏡頭位置進(jìn)行精確調(diào)整，且調(diào)整范圍大；制造成本低。
文檔編號G01N21/88GK201331498SQ20092006519
公開日2009年10月21日 申請日期2009年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月30日
發(fā)明者武 陳 申請人:湖南通源機(jī)電科技有限公司