專利名稱：電子轟擊樣品加熱架的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及真空設備領域，特別是樣品加熱架。
背景技術(shù)：
超高真空技術(shù)是新材料合成，材料的物理化學性質(zhì)分析和宇宙開 發(fā)的基本環(huán)境。為了實現(xiàn)在超高真空環(huán)境中的各種分析研究，經(jīng)常需 要對樣品進行加熱或冷卻的溫度控制，目前加熱和冷卻一體的裝置， 且在大氣側(cè)進行真空環(huán)境內(nèi)操作的設備尚且空白。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是克服上述不足問題，提供一種電子轟擊樣品 加熱架，結(jié)構(gòu)簡單，加熱冷卻方便，操作簡便。
本實用新型為實現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是電子轟擊樣品 加熱架，臺體一面絕緣固定有樣品架， 一面固定有冷卻裝置，樣品架 內(nèi)臺體上裝有加熱絲，加熱絲接通電極，冷卻裝置通過銅導體連接壓 板。
所述樣品架安裝在絕緣臺上，樣品架上裝有樣品壓板。 所述導體為銅導體。
所述樣品架為三面開有定位槽的板框式樣品架。 所述冷卻裝置為冷卻頭固定裝在臺體上，冷卻頭管路連通冷卻源。
本實用新型通過對加熱絲導入電流，可使加熱絲放出熱電子，加 熱絲的發(fā)熱本身就可以通過熱輻射實現(xiàn)對樣品的加熱，熱輻射可以對
樣品加熱到600攝氏度，在樣品架上加正電壓后，熱電子被加速到樣 品架上，實現(xiàn)對樣品架的轟擊，以到達1300攝氏度的更高溫度。樣 品架還備有液氮存儲罐，液氮存儲罐儲備液氮后實現(xiàn)低溫，再通過銅 導體將低溫傳導到樣品加上，可實現(xiàn)負200攝氏度的低溫。所有部件 都是金屬或陶瓷構(gòu)成，可耐高溫烘烤，便于實現(xiàn)超高真空。

圖l是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實有新型主視圖。
圖中1臺體；2管路；3冷卻頭；4壓板；5銅導體；6電極； 7加熱絲；8絕緣臺；9樣品架；10熱電偶；具體實施方式
如圖1、 2所示的電子轟擊樣品加熱架，臺體1 一面通過絕緣臺 8固定安裝三面開有定位槽的板框式樣品架9，樣品架上裝有壓板4， 另一面固定有冷卻裝置的冷卻頭3，冷卻頭通過管路2連通冷卻源一 —氮源，樣品架9內(nèi)臺體上裝有加熱絲7——鴨絲，加熱絲7接通電 極6，冷卻頭3通過銅導體5連接壓板4，壓板上連接熱電偶10檢測溫度。
使用時被加熱的樣品通過壓板被固定在樣品架上，加熱時通過電 極向鎢絲通電流，使鎢絲發(fā)熱并產(chǎn)生熱電子，熱輻射會對被加熱樣品進行初步加熱，通過電極使得被加熱的樣品處于正電位，鎢絲放出的 熱電子被加速到樣品上，實現(xiàn)電子轟擊加熱。
冷卻時外部的液氮通過管路導入到低溫冷卻頭部，通過銅導體使 得樣品也被冷卻，樣品的溫度通過熱電偶來測量，絕緣臺起到電的絕 緣作用，但是對熱不起絕緣作用。本實用新型可以完成對樣品從負
200至1300攝氏度的溫度控制。
權(quán)利要求1、電子轟擊樣品加熱架，其特征是臺體一面絕緣固定有樣品架，一面固定有冷卻裝置，樣品架內(nèi)臺體上裝有加熱絲，加熱絲接通電極，冷卻裝置通過導體連接壓板。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子轟擊樣品加熱架，其特征是樣 品架安裝在絕緣臺上，樣品架上裝有樣品壓板。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電子轟擊樣品加熱架，其特征是導 體為銅導體。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子轟擊樣品加熱架，其特征是樣 品架為三面開有定位槽的板框式樣品架。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的電子轟擊樣品加熱架，其特征是冷 卻裝置為冷卻頭固定裝在臺體上，冷卻頭管路連通冷卻源。
專利摘要本實用新型涉及真空設備。電子轟擊樣品加熱架，臺體一面絕緣固定有樣品架，一面固定有冷卻裝置，樣品架內(nèi)臺體上裝有加熱絲，加熱絲接通電極，冷卻裝置通過銅導體連接壓板。本實用新型通過對加熱絲導入電流，可使加熱絲放出熱電子，加熱絲的發(fā)熱本身就可以通過熱輻射實現(xiàn)對樣品的加熱，熱輻射可以對樣品加熱到600攝氏度，在樣品架上加正電壓后，熱電子被加速到樣品架上，實現(xiàn)對樣品架的轟擊，以到達1300攝氏度的更高溫度。樣品架還備有液氮存儲罐，液氮存儲罐儲備液氮后實現(xiàn)低溫，再通過銅導體將低溫傳導到樣品加上，可實現(xiàn)負200攝氏度的低溫。
文檔編號G01N1/36GK201355325SQ200920011038
公開日2009年12月2日 申請日期2009年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月27日
發(fā)明者郭方準 申請人:大連齊維科技發(fā)展有限公司