專利名稱：多軸調(diào)整裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型關于 一種多軸調(diào)整裝置，特別是指 一種由簡易組件所構成的三軸 調(diào)整定位平臺裝置。
背景技術：
隨著半導體、微機電、電子、光電、生醫(yī)及納米科技產(chǎn)業(yè)的相繼發(fā)展，產(chǎn)品 走向輕薄短小化已是趨勢，其零件精密細微，在檢查、組裝貨檢查時，所要求的 定位精度極高。
隨著半導體工業(yè)與納米科技的開發(fā)與運用，使得納米級定位平臺的需求快速 成長同時也是未來科技發(fā)展的關鍵技術之一，現(xiàn)今線性滑軌商品已經(jīng)被廣泛地運 用在精密機械、自動化、各種動力傳輸、半導體、醫(yī)療和航天等產(chǎn)業(yè)上，更進一 步的并應用于高精度的微動定位平臺上，而目前國內(nèi)外對于高精度導螺桿的檢測
技術已經(jīng)是非常的成熟，但是對于三軸定位平臺的檢測技術卻還是在萌芽的階段； 所以如何有效的增加三軸定位平臺量測時的精度和工作效率，是必須考量的。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的即在于提供一種多軸調(diào)整裝置。本實用新型的次一目的在 于提供一種微精細加工后的多軸調(diào)整裝置。本實用新型的另一目的在于提供一種 單一基座其獨立的固定件與平移件間能以相對移動的軌道連接，以實現(xiàn)定位精準 的多軸調(diào)整裝置。本實用新型的又一目的在于提供一種三自由度定位的多軸調(diào)整 裝置，其精準的結構不需經(jīng)由補償平行度誤差量來獲得控制三軸系統(tǒng)運動誤差。
可達成上述實用新型目的的多軸調(diào)整裝置，包括有 一下基座，包括一第一 固定件，及沿一第一方向移動的第一平移件； 一上基座，位于該下基座上方，包 括一第二固定件，及沿一第二方向移動的第二平移件； 一調(diào)整座，位于該上基座 上方并用以置》史該量測物以沿一第三方向轉(zhuǎn)動。
本實用新型采用的以上技術方案，達到了高剛性、高精度、負載重量高及經(jīng) 濟耐用的有益技術效果。且結構緊湊輕巧，運動反應快，速度高。

圖1為本實用新型多軸調(diào)整裝置其第一實施例的立體示意圖2為本實用新型多軸調(diào)整裝置其第一實施例的側(cè)面示意圖；'
圖3為本實用新型多軸調(diào)整裝置其第二實施例的立體示意圖4為多軸調(diào)整裝置其第二實施例連結驅(qū)動單元的示意圖5為圖4其基座的剖面示意圖6為本實用新型調(diào)整座的立體分解示意圖7為本實用新型調(diào)整座的剖面示意圖8為多軸調(diào)整裝置連結驅(qū)動單元的示意圖9為多軸調(diào)整裝置其第三實施例連結驅(qū)動單元的示意圖。
具體實施方式
請參閱圖l至圖5，本實用新型所提供的多軸調(diào)整裝置，主要包括有 一下基 座l、 一上基座2以及一調(diào)整座3所構成。
該下基座1包括一第一固定件11,及沿一第一方向移動的第一平移件12;
該上基座2位于該下基座1上方，包括一第二固定件21,及沿一第二方向移 動的第二平移件22;
該調(diào)整座3位于該上基座2上方并用以置放該量測物(或載具平臺)以沿 一第三 方向轉(zhuǎn)動。
該下基座1(或上基座2)包括一固定件11(21)能固設于該固定平臺(圖中未顯示) 上，于其上方端部凸設一呈鴻尾狀的組接部111(211),而于一平移件12(22)的上方 底部則對應凹設一可與其配合的凹槽部121(221),則該平移件12(22)能順著組接部 111(211)的縱向移動，俾供該固定件11(21)與平移件12(22)間以滾動體13(23)提供 相對平移運動。
如圖6與圖7所示該調(diào)整座3主要由一底盤31、 一轉(zhuǎn)動件32、 一上環(huán)蓋33 以及多個滾動體34所構成；
該底盤31設呈圓盤狀，于其周緣穿設有若干孔洞311,可供相對應數(shù)目的螺 栓35穿通過后鎖設于該上基座2(或下基座l)的平移件上定位，而使得調(diào)整座3可 跟著該平移件位移，該底盤31于其中心內(nèi)部設有一容置空間312,于該容置空間 312的周壁更設有一預定形狀的環(huán)槽313;
該轉(zhuǎn)動件32容設于該底盤31其容置空間312中，于其周緣外部、則相對于該底盤31其環(huán)槽313而設有一凹槽部321,其頂面則設有若干螺孔322,供多個 穿過該載具平臺(圖中未顯示)的螺栓(圖中未顯示)螺入后完成其與該載具平臺的組 接；
該上環(huán)蓋33設呈環(huán)圏狀可套置于該底盤31與該轉(zhuǎn)動件32上，于其周緣上也 設有若干孔洞331，可與該底盤31其孔洞311相對應而供螺栓35—并穿過后鎖固， 組固于底盤頂部。于其環(huán)心內(nèi)部周圍并形成有一限位部332,可與組接后的該底盤 31其環(huán)槽313、該轉(zhuǎn)動件32其凹槽部321構成一滾動空間36，供多個為鋼珠構成 的滾動體37,可以容納于該滾動空間36之中，使該轉(zhuǎn)動件相對于該底盤轉(zhuǎn)動。該 滾動體37可以為滾柱、滾珠。
如圖8所示，該下基座l(或上基座2)設有一驅(qū)動單元4,且該驅(qū)動單元4以螺 帽43與該平移件12(22)連接，供以螺桿42驅(qū)動螺設其上的螺帽43連動平移件 12(22)以相對固定件11(21)產(chǎn)生位移，而該驅(qū)動單元4更連接有一控制器(圖中未 顯示)，該控制器用以驅(qū)動螺桿42,使螺帽43連動平移件12(22)相對固定件11(21) 沿著螺桿42的軸向運動，而調(diào)整座3相對固定件11(21)同步沿著垂直于螺桿42 的軸來轉(zhuǎn)動。
而包含馬達41的驅(qū)動單元4,可接設一螺桿42伸出并利用與該螺桿42螺合 的螺帽43,該螺帽43固接于下基座l(或上基座2)的平移件12(22)上，令該驅(qū)動單 元4的螺桿42與下基座l(或上基座2)的平移件12(22)其滑動或移動同向，則當驅(qū) 動單元4旋轉(zhuǎn)動作，使該螺帽43將帶動該平移件12(22)產(chǎn)生X軸方向或Y軸方向 的移位動作者。
又如圖9所示，該調(diào)整座3能設置于上基座2上方或下基座1與上基座2之 間，以提供固定于調(diào)整座3(或上基座2)上方的載具平臺(圖中未顯示)能作X軸方 向、Y軸方向或旋轉(zhuǎn)移位。而該上基座2或下基座l之上又各設有調(diào)整座3，可大 幅降低因為干涉所產(chǎn)生的誤差，而各該上基座2或下基座1的各構件更由模組化 設計制造，可以控制其精密度與能量產(chǎn)化，售價不高，而且易于對位，可徹底解 決多軸量測與調(diào)整不容易，以及其價格昂貴的缺弊。
以上對本實用新型的描述是說明性的，而非限制性的，本專業(yè)技術人員理解， 在權利要求限定的精神與范圍之內(nèi)可對其進行許多修改、變化或等效，但是它們 都將落入本實用新型的保護范圍內(nèi)。
權利要求1.一種多軸調(diào)整裝置，其特征在于，包括一下基座，包括一第一固定件，及沿一第一方向移動的第一平移件；一上基座，位于該下基座上方，包括一第二固定件，及沿一第二方向移動的第二平移件；一調(diào)整座，位于該上基座上方用以置放一量測物，沿一第三方向轉(zhuǎn)動。
2. 根據(jù)權利要求1所述的多軸調(diào)整裝置，其特征在于，所述的固定件與平移 件間以滾動體提供相對平移運動。
3. 根據(jù)權利要求1所述的多軸調(diào)整裝置，其特征在于，所述的調(diào)整座，包括 固設于平移件上的底盤，其中心內(nèi)部具有一容置空間， 一轉(zhuǎn)動件容設其中， 一上 環(huán)蓋套置于該轉(zhuǎn)動件上并組固于底盤頂部，該容置空間的周壁設有環(huán)槽，該轉(zhuǎn)動 件則于其周緣外部對應設有 一 凹槽部，與該上環(huán)蓋其環(huán)心周圍內(nèi)部形成一 限位部， 共同組構成一滾動空間，多個滾動體容納其中，該轉(zhuǎn)動件相對于該底盤轉(zhuǎn)動。
4. 根據(jù)權利要求1所述的多軸調(diào)整裝置，其特征在于，所述的基座設有一驅(qū) 動單元，且該驅(qū)動單元以螺帽與該平移件連接，螺桿驅(qū)動螺設其上的螺帽連動平 移件相對固定件產(chǎn)生位移，而調(diào)整座相對固定件同步轉(zhuǎn)動。
5. 根據(jù)權利要求2所述的多軸調(diào)整裝置，其特征在于，所述的平移件于其底 部i殳一凹槽部，而所述固定件則于其頂部凸設一與凹槽部相對應配合的組接部， 供所述平移件于縱向的組接部上相對平移移動。
6. 根據(jù)權利要求2所述的多軸調(diào)整裝置，其特征在于，所述的固定件與平移 件間的滾動體為滾柱。
7. 根據(jù)權利要求3所述的多軸調(diào)整裝置，其特征在于，所述的調(diào)整座的滾動 體為滾珠。
8. 根據(jù)權利要求4所述的多軸調(diào)整裝置，其特征在于，所述的驅(qū)動單元更連 接有一控制器，該控制器驅(qū)動該螺桿，使該螺帽連動平移件沿著該螺桿的軸向運 動。
9. 根據(jù)權利要求4所述的多軸調(diào)整裝置，其特征在于，所述的驅(qū)動單元更連 接有一控制器，該控制器驅(qū)動螺桿，使螺帽連動平移件相對固定件沿著螺桿的軸 向運動，而調(diào)整座相對固定件同步沿著垂直于螺桿的軸轉(zhuǎn)動。
專利摘要一種多軸調(diào)整裝置，包括一下基座、一上基座以及一調(diào)整座；該下基座包括一第一固定件，及沿一第一方向移動的第一平移件；該上基座位于該下基座上方，包括一第二固定件，及沿一第二方向移動的第二平移件；該調(diào)整座位于該上基座上方并用以置放該量測物以沿一第三方向轉(zhuǎn)動；其中該基座設有一驅(qū)動單元，且該驅(qū)動單元以螺帽與該平移件連接，供以螺桿驅(qū)動螺設其上的螺帽連動平移件以產(chǎn)生位移，而調(diào)整座同步沿著垂直于螺桿的軸來轉(zhuǎn)動。
文檔編號G01D11/00GK201373754SQ20092000948
公開日2009年12月30日 申請日期2009年4月2日 優(yōu)先權日2009年4月2日
發(fā)明者邱毓英 申請人:邱毓英