專(zhuān)利名稱(chēng)：一種對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料霍爾測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)
試的裝置。
背景技術(shù)：
眾所周知，霍爾效應(yīng)是1879年霍爾在研究帶電導(dǎo)體在磁場(chǎng)中受力的性質(zhì)時(shí)發(fā)現(xiàn) 的。在半導(dǎo)體材料測(cè)量中，霍爾效應(yīng)有著廣泛的應(yīng)用，用它來(lái)研究半導(dǎo)體材料導(dǎo)電過(guò)程或輸 運(yùn)現(xiàn)象，可提供材料的導(dǎo)電類(lèi)型、載流子濃度、雜質(zhì)電離能(包括淺、深能級(jí)雜質(zhì))、禁帶寬 度、遷移率及雜質(zhì)補(bǔ)償度等信息。由于霍爾系數(shù)與電子濃度間具有簡(jiǎn)單的關(guān)系，因此被廣泛 用來(lái)研究Ge、Si等半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電過(guò)程。 40至50年代，霍爾效應(yīng)在晶體的提純技術(shù)中起了重要的作用，并從霍爾系數(shù)和電 導(dǎo)率隨溫度變化的關(guān)系中，得到了本征導(dǎo)電與雜質(zhì)導(dǎo)電同時(shí)存在的證據(jù)，為雜質(zhì)在Ge、 Si 中的作用提供了有意義的知識(shí)。1954年我國(guó)科學(xué)家在研究Ge的低溫電學(xué)性質(zhì)時(shí)提出了雜 質(zhì)帶導(dǎo)電的機(jī)構(gòu)?？傊魻栃?yīng)的研究促近了對(duì)能帶結(jié)構(gòu)進(jìn)一步的認(rèn)識(shí)。1958年Van De Pauw將此法推廣到測(cè)量均勻的、任意形狀的材料，進(jìn)一步擴(kuò)大了該方法的適用性。在確定純 度、材料的補(bǔ)償度、外延異質(zhì)結(jié)材料的電學(xué)性質(zhì)、高阻材料導(dǎo)電類(lèi)型的判斷及新材料的研究 等方面，有它獨(dú)特的作用。但其缺點(diǎn)是操作、數(shù)據(jù)計(jì)算比較復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
( — )要解決的技術(shù)問(wèn)題 本發(fā)明的目的在于提供一種對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，以提高測(cè)試的效
率，最大限度的減少測(cè)試中人為操作帶來(lái)的誤差。
( 二 )技術(shù)方案 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，該裝置 包括第一單刀雙擲繼電器A、第二單刀雙擲繼電器B、第三單刀雙擲繼電器C、第四單刀雙擲 繼電器D、第五單刀雙擲繼電器a、第六單刀雙擲繼電器b、第七單刀雙擲繼電器c和第八單 刀雙擲繼電器d，其中 第一單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1、待測(cè)樣品的第
二電極連接端2，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5 ; 第二單刀雙擲繼電器B分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3、第三單刀雙擲
繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5，以及電壓表的正連接端V+ ; 第三單刀雙擲繼電器C分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2、第三單刀雙擲
繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，以及電壓表的負(fù)連接端V-; 第四單刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3、待測(cè)樣品的第
四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6 ; 第五單刀雙擲繼電器a分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1、待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7 ; 第六單刀雙擲繼電器b分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3、第三單刀雙擲
繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及電流源的正連接端1+ ; 第七單刀雙擲繼電器c分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2、第三單刀雙擲
繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8，以及電流源的負(fù)連接端I-; 第八單刀雙擲繼電器d分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3、待測(cè)樣品的第
四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6。 上述方案中，該裝置具有六種工作狀態(tài)，在第一種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第一
電極連接端1連接于電流源的正連接端I+，待測(cè)樣品的第二電極連接端2連接于電流源的
負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第三電極連接端3連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第四
電極連接端4連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則 第四單刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端4，以及第三單刀 雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，第二單刀雙擲繼電器B分別連接于待 測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及電壓表的正連接端V+，第三單刀雙擲繼電器C分別連接于 第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，以及電壓表的負(fù)連接端V-，第 五單刀雙擲繼電器a分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1，以及第三單刀雙擲繼電器A 與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，第六單刀雙擲繼電器b分別連接于第三單刀雙擲繼電 器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及電流源的正連接端I+，第七單刀雙擲繼電器 c分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及電流源的負(fù)連接端I-。
上述方案中，該裝置具有六種工作狀態(tài)，在第二種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第二 電極連接端2連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第三電極連接端3連接于電流源的 正連接端I+，待測(cè)樣品的第一電極連接端1連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第四 電極連接端4連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則 第一單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1，以及第三單刀 雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5，第二單刀雙擲繼電器B分別連接于第三 單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5，以及電壓表的正連接端V+，第三單 刀雙擲繼電器C分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，以 及電壓表的負(fù)連接端V-，第四單刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端4， 以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，第六單刀雙擲繼電器b分 別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及電流源的正連接端I+，第七單刀雙擲繼電器c 分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及電流源的負(fù)連接端I-。
上述方案中，該裝置具有六種工作狀態(tài)，在第三種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第四 電極連接端4連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第三電極連接端3連接于電流源的 正連接端I+，待測(cè)樣品的第一電極連接端1連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第二 電極連接端2連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則 第二單刀雙擲繼電器B分別連接于第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器 B的連接端5，以及電壓表的正連接端V+ ;第三單刀雙擲繼電器C分別連接于待測(cè)樣品的第 二電極連接端2，以及電壓表的負(fù)連接端V-;第六單刀雙擲繼電器b分別連接于待測(cè)樣品的 第三電極連接端3，以及電流源的正連接端1+ ;第七單刀雙擲繼電器c分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8，以及電流源的負(fù)連接端I-;第八單刀雙 擲繼電器d分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單 刀雙擲繼電器D的連接端8。 上述方案中，該裝置具有六種工作狀態(tài)，在第四種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第一 電極連接端1連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第四電極連接端4連接于電流源的 正連接端I+，待測(cè)樣品的第二電極連接端2連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第三 電極連接端3連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則 第二單刀雙擲繼電器B分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及電壓表的 正連接端￥+ ;第三單刀雙擲繼電器C分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及電壓表 的負(fù)連接端V-;第五單刀雙擲繼電器a分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端l，以及第三 單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7 ;第六單刀雙擲繼電器b分別連接 于第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及電流源的正連接端1+ ; 第七單刀雙擲繼電器c分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接 端8，以及電流源的負(fù)連接端I-;第八單刀雙擲繼電器d分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連 接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8。
上述方案中，該裝置具有六種工作狀態(tài)，在第五種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第一 電極連接端1連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第三電極連接端3連接于電流源的 正連接端I+，待測(cè)樣品的第二電極連接端2連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第四 電極連接端4連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則 第一單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及第三單刀 雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5 ;第二單刀雙擲繼電器B分別連接于第 三單刀雙擲繼電器八與第四單刀雙擲繼電器8的連接端5，以及電壓表的正連接端￥+ ;第三 單刀雙擲繼電器C分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6， 以及電壓表的負(fù)連接端V-;第四單刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端 4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6 ;第五單刀雙擲繼電器 a分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼 電器B的連接端7 ;第六單刀雙擲繼電器b分別連接于第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀 雙擲繼電器B的連接端7，以及電流源的正連接端1+ ;第七單刀雙擲繼電器c分別連接于第 三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端S，以及電流源的負(fù)連接端I-;第八 單刀雙擲繼電器d分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及第三單刀雙擲繼電器C與 第四單刀雙擲繼電器D的連接端8。 上述方案中，該裝置具有六種工作狀態(tài)，在第六種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第二 電極連接端2連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第四電極連接端4連接于電流源的 正連接端I+，待測(cè)樣品的第一電極連接端1連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第三 電極連接端3連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則 第五單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及第三單刀 雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，第六單刀雙擲繼電器B分別連接于第 三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及電流源的正連接端I+，第七 單刀雙擲繼電器C分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8，以及電流源的負(fù)連接端I-，第八單刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端 4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8，第一單刀雙擲繼電器A 分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1，以及第一單刀雙擲繼電器A與第二單刀雙擲繼 電器B的連接端5，第二單刀雙擲繼電器B分別連接于第一單刀雙擲繼電器A與第二單刀雙 擲繼電器B的連接端5，以及電壓表的正連接端V+，第三單刀雙擲繼電器C分別連接于第三 單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，以及電壓表的負(fù)連接端V-，第四單 刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及第三單刀雙擲繼電器C與第 四單刀雙擲繼電器D的連接端6。
(三)有益效果 利用本發(fā)明提供的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，提高了測(cè)試的效率，最大 限度的減少測(cè)試中人為操作帶來(lái)的誤差。


圖1是本發(fā)明提供的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置的示意圖； 圖2. 1. 1至圖2. 6. 2是本發(fā)明提供的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置按照范德
堡法的邏輯關(guān)系的工作狀態(tài)示意圖； 其中，附圖標(biāo)記如下
A第一單刀雙擲繼電器 B第二單刀雙擲繼電器 C第三單刀雙擲繼電器 D第四單刀雙擲繼電器 a第五單刀雙擲繼電器 b第六單刀雙擲繼電器 c第七單刀雙擲繼電器 d第八單刀雙擲繼電器


















1待測(cè)樣品的第一電極連接端 2待測(cè)樣品的第二電極連接端 3待測(cè)樣品的第三電極連接端 4待測(cè)樣品的第四電極連接端
5第一單刀雙擲繼電器A與第二單刀雙擲繼電器B的連接端 6第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端 7第五單刀雙擲繼電器A與第六單刀雙擲繼電器B的連接端 8第七單刀雙擲繼電器C與第八單刀雙擲繼電器D的連接端 V+電壓表的正連接端 v-電壓表的負(fù)連接端 1+電流源的正連接端 I-電流源的負(fù)連接端
8
具體實(shí)施例方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照 附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。 如圖1所示，圖1是本發(fā)明提供的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置的示意圖，該 裝置包括第一單刀雙擲繼電器A、第二單刀雙擲繼電器B、第三單刀雙擲繼電器C、第四單刀 雙擲繼電器D、第五單刀雙擲繼電器a、第六單刀雙擲繼電器b、第七單刀雙擲繼電器c和第 八單刀雙擲繼電器d，其中 第一單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1、待測(cè)樣品的第
二電極連接端2，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5 ; 第二單刀雙擲繼電器B分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3、第三單刀雙擲
繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5，以及電壓表的正連接端V+ ; 第三單刀雙擲繼電器C分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2、第三單刀雙擲
繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，以及電壓表的負(fù)連接端V-; 第四單刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3、待測(cè)樣品的第
四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6 ; 第五單刀雙擲繼電器a分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1、待測(cè)樣品的第
二電極連接端2，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7 ; 第六單刀雙擲繼電器b分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3、第三單刀雙擲
繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及電流源的正連接端1+ ; 第七單刀雙擲繼電器c分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2、第三單刀雙擲
繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8，以及電流源的負(fù)連接端I-; 第八單刀雙擲繼電器d分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3、待測(cè)樣品的第
四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6。 本發(fā)明提供的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，具有六種工作狀態(tài)，分別對(duì)應(yīng)
于圖2中的各示意圖。 在第一種工作狀態(tài)，如圖2. 1. 1，以及2. 1. 2所示，為使待測(cè)樣品的第一電極連接 端1連接于電流源的正連接端I+，待測(cè)樣品的第二電極連接端2連接于電流源的負(fù)連接端 I-，待測(cè)樣品的第三電極連接端3連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第四電極連接 端4連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則第四單刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第四 電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，第二單刀 雙擲繼電器B分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及電壓表的正連接端V+，第三單 刀雙擲繼電器C分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6， 以及電壓表的負(fù)連接端V-，第五單刀雙擲繼電器a分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端 1 ，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，第六單刀雙擲繼電器b 分別連接于第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及電流源的正連 接端I+，第七單刀雙擲繼電器c分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及電流源的負(fù) 連接端I-。 在第二種工作狀態(tài)，如圖2. 2. 1，以及2. 2. 2所示，為使待測(cè)樣品的第二電極連接 端2連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第三電極連接端3連接于電流源的正連接端I+，待測(cè)樣品的第一 電極連接端1連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第四電極連接 端4連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則第一單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第一 電極連接端1，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5，第二單刀 雙擲繼電器B分別連接于第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5，以及 電壓表的正連接端V+，第三單刀雙擲繼電器C分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單 刀雙擲繼電器D的連接端6，以及電壓表的負(fù)連接端V-，第四單刀雙擲繼電器D分別連接于 待測(cè)樣品的第四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接 端6，第六單刀雙擲繼電器b分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及電流源的正連 接端I+，第七單刀雙擲繼電器c分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及電流源的負(fù) 連接端I-。 在第三種工作狀態(tài)，如圖2. 3. 1和2. 3. 2所示，為使待測(cè)樣品的第四電極連接端4 連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第三電極連接端3連接于電流源的正連接端I+， 待測(cè)樣品的第一電極連接端1連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第二電極連接端2 連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則第二單刀雙擲繼電器B分別連接于第三單刀雙擲繼電器A 與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5，以及電壓表的正連接端V+;第三單刀雙擲繼電器C分 別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端2，以及電壓表的負(fù)連接端V-;第六單刀雙擲繼電器 b分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及電流源的正連接端1+ ;第七單刀雙擲繼電 器c分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8，以及電流源的 負(fù)連接端I-;第八單刀雙擲繼電器d分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端4，以及第三單 刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8。 在第四種工作狀態(tài)，如圖2. 4. 1和2. 4. 2所示，為使待測(cè)樣品的第一電極連接端1 連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第四電極連接端4連接于電流源的正連接端I+， 待測(cè)樣品的第二電極連接端2連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第三電極連接端3 連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則第二單刀雙擲繼電器B分別連接于待測(cè)樣品的第三電極 連接端3，以及電壓表的正連接端￥+ ;第三單刀雙擲繼電器C分別連接于待測(cè)樣品的第二電 極連接端2，以及電壓表的負(fù)連接端V-;第五單刀雙擲繼電器a分別連接于待測(cè)樣品的第一 電極連接端1，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7 ;第六單刀 雙擲繼電器b分別連接于第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及 電流源的正連接端1+ ;第七單刀雙擲繼電器c分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單 刀雙擲繼電器D的連接端8，以及電流源的負(fù)連接端I-;第八單刀雙擲繼電器d分別連接于 待測(cè)樣品的第四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接 端8。 在第五種工作狀態(tài)，如圖2. 5. 1和2. 5. 2所示，為使待測(cè)樣品的第一電極連接端1 連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第三電極連接端3連接于電流源的正連接端I+， 待測(cè)樣品的第二電極連接端2連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第四電極連接端4 連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則第一單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第二電極 連接端2，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5 ;第二單刀雙擲 繼電器B分別連接于第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端5，以及電 壓表的正連接端V+ ;第三單刀雙擲繼電器C分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，以及電壓表的負(fù)連接端V-;第四單刀雙擲繼電器D分別連接于待 測(cè)樣品的第四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接 端6 ;第五單刀雙擲繼電器a分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端1，以及第三單刀雙擲 繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7 ;第六單刀雙擲繼電器b分別連接于第三單 刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及電流源的正連接端1+ ;第七單刀 雙擲繼電器c分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8，以及 電流源的負(fù)連接端I-;第八單刀雙擲繼電器d分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以 及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端8。 在第六種工作狀態(tài)，如圖2. 6. 1和2. 6. 2所示，為使待測(cè)樣品的第二電極連接端2 連接于電流源的負(fù)連接端I-，待測(cè)樣品的第四電極連接端4連接于電流源的正連接端I+， 待測(cè)樣品的第一電極連接端1連接于電壓表的正連接端V+，待測(cè)樣品的第三電極連接端3 連接于電壓表的負(fù)連接端V-，則第五單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第二電極 連接端2，以及第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，第六單刀雙擲 繼電器B分別連接于第三單刀雙擲繼電器A與第四單刀雙擲繼電器B的連接端7，以及電 流源的正連接端I+，第七單刀雙擲繼電器C分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀 雙擲繼電器D的連接端8，以及電流源的負(fù)連接端I-，第八單刀雙擲繼電器D分別連接于待 測(cè)樣品的第四電極連接端4，以及第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接 端8，第一單刀雙擲繼電器A分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端l，以及第一單刀雙擲 繼電器A與第二單刀雙擲繼電器B的連接端5，第二單刀雙擲繼電器B分別連接于第一單刀 雙擲繼電器A與第二單刀雙擲繼電器B的連接端5，以及電壓表的正連接端V+，第三單刀雙 擲繼電器C分別連接于第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6，以及電 壓表的負(fù)連接端V-，第四單刀雙擲繼電器D分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端3，以及 第三單刀雙擲繼電器C與第四單刀雙擲繼電器D的連接端6。 本發(fā)明提供的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，通過(guò)以下步驟制作完成
步驟1 :在印刷電路板上放置8個(gè)繼電器；
步驟2 :8個(gè)繼電器分別引到不同的接線(xiàn)端； 步驟3 :由PC發(fā)出指令控制8個(gè)繼電器的閉合、放開(kāi)達(dá)到自動(dòng)切換測(cè)試檔位的目 的。 以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳 細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡 在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保 護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，其特征在于，該裝置包括第一單刀雙擲繼電器(A)、第二單刀雙擲繼電器(B)、第三單刀雙擲繼電器(C)、第四單刀雙擲繼電器(D)、第五單刀雙擲繼電器(a)、第六單刀雙擲繼電器(b)、第七單刀雙擲繼電器(c)和第八單刀雙擲繼電器(d)，其中第一單刀雙擲繼電器(A)分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端(1)、待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)，以及第一單刀雙擲繼電器(A)與第二單刀雙擲繼電器(B)的連接端(5)；第二單刀雙擲繼電器(B)分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)、第一單刀雙擲繼電器與第二單刀雙擲繼電器的連接端(5)，以及電壓表的正連接端(V+)；第三單刀雙擲繼電器(C)分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)、第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀雙擲繼電器(D)的連接端(6)，以及電壓表的負(fù)連接端(V-)；第四單刀雙擲繼電器(D)分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)、待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)，以及第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀雙擲繼電器(D)的連接端(6)；第五單刀雙擲繼電器(a)分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端(1)、待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)，以及第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端(7)；第六單刀雙擲繼電器(b)分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)、第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端(7)，以及電流源的正連接端(I+)；第七單刀雙擲繼電器(c)分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)、第三單刀雙擲繼電器(c)與第四單刀雙擲繼電器(d)的連接端(8)，以及電流源的負(fù)連接端(I-)；第八單刀雙擲繼電器(d)分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)、待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)，以及第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀雙擲繼電器(D)的連接端(6)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，其特征在于，該裝置具 有六種工作狀態(tài)，在第一種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第一電極連接端(1)連接于電流源 的正連接端(I+)，待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)連接于電流源的負(fù)連接端(I-)，待測(cè)樣 品的第三電極連接端(3)連接于電壓表的正連接端(V+)，待測(cè)樣品的第四電極連接端(4) 連接于電壓表的負(fù)連接端(v-)，則第四單刀雙擲繼電器(D)分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)，以及第三單刀 雙擲繼電器(C)與第四單刀雙擲繼電器(D)的連接端(6)，第二單刀雙擲繼電器(B)分別 連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)，以及電壓表的正連接端(V+)，第三單刀雙擲繼電 器(C)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀雙擲繼電器(D)的連接端(6)，以 及電壓表的負(fù)連接端(V-)，第五單刀雙擲繼電器(a)分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接 端(l)，以及第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端(7)，第六單刀 雙擲繼電器(b)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端(7) ，以及電流源的正連接端(I+)，第七單刀雙擲繼電器(c)分別連接于待測(cè)樣品的第二電 極連接端(2)，以及電流源的負(fù)連接端(I-)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，其特征在于，該裝置具有六種工作狀態(tài)，在第二種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)連接于電流源 的負(fù)連接端(I-)，待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)連接于電流源的正連接端(I+)，待測(cè)樣 品的第一電極連接端(1)連接于電壓表的正連接端(V+)，待測(cè)樣品的第四電極連接端(4) 連接于電壓表的負(fù)連接端(v-)，則第一單刀雙擲繼電器(A)分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端(l)，以及第一單刀 雙擲繼電器(A)與第二單刀雙擲繼電器(B)的連接端(5)，第二單刀雙擲繼電器(B)分別連 接于第一單刀雙擲繼電器(A)與第二單刀雙擲繼電器(B)的連接端(5)，以及電壓表的正連 接端(V+)，第三單刀雙擲繼電器(C)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀雙擲 繼電器(D)的連接端(6)，以及電壓表的負(fù)連接端(V-)，第四單刀雙擲繼電器(D)分別連接 于待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)，以及第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀雙擲繼電器 (D)的連接端(6)，第六單刀雙擲繼電器(b)分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)，以 及電流源的正連接端(I+)，第七單刀雙擲繼電器(c)分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接 端(2)，以及電流源的負(fù)連接端(I-)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，其特征在于，該裝置具 有六種工作狀態(tài)，在第三種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)連接于電流源 的負(fù)連接端(I-)，待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)連接于電流源的正連接端(I+)，待測(cè)樣 品的第一電極連接端(1)連接于電壓表的正連接端(V+)，待測(cè)樣品的第二電極連接端(2) 連接于電壓表的負(fù)連接端(v-)，則第二單刀雙擲繼電器(B)分別連接于第一單刀雙擲繼電器(A)與第二單刀雙擲繼電器 (B)的連接端(5)，以及電壓表的正連接端(V+);第三單刀雙擲繼電器(C)分別連接于待測(cè) 樣品的第二電極連接端(2)，以及電壓表的負(fù)連接端(V-);第六單刀雙擲繼電器(b)分別 連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)，以及電流源的正連接端(1+);第七單刀雙擲繼電 器(c)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(c)與第四單刀雙擲繼電器(d)的連接端(8)，以及 電流源的負(fù)連接端(I-);第八單刀雙擲繼電器(d)分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端 (4)，以及第三單刀雙擲繼電器(c)與第四單刀雙擲繼電器(d)的連接端(8)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，其特征在于，該裝置具 有六種工作狀態(tài)，在第四種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第一電極連接端(1)連接于電流源 的負(fù)連接端(I-)，待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)連接于電流源的正連接端(I+)，待測(cè)樣 品的第二電極連接端(2)連接于電壓表的正連接端(V+)，待測(cè)樣品的第三電極連接端(3) 連接于電壓表的負(fù)連接端(v-)，則第二單刀雙擲繼電器(B)分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)，以及電壓表的 正連接端(V+);第三單刀雙擲繼電器(C)分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)，以 及電壓表的負(fù)連接端(V-);第五單刀雙擲繼電器(a)分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接 端(l)，以及第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端(7);第六單刀 雙擲繼電器(b)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端 (7)，以及電流源的正連接端(1+);第七單刀雙擲繼電器(c)分別連接于第三單刀雙擲繼電 器(c)與第四單刀雙擲繼電器(d)的連接端(8)，以及電流源的負(fù)連接端(I-);第八單刀雙 擲繼電器(d)分別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)，以及第三單刀雙擲繼電器(c)與 第四單刀雙擲繼電器(d)的連接端(8)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，其特征在于，該裝置具 有六種工作狀態(tài)，在第五種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第一電極連接端(1)連接于電流源 的負(fù)連接端(I-)，待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)連接于電流源的正連接端(I+)，待測(cè)樣 品的第二電極連接端(2)連接于電壓表的正連接端(V+)，待測(cè)樣品的第四電極連接端(4) 連接于電壓表的負(fù)連接端(v-)，則第一單刀雙擲繼電器(A)分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)，以及第一單刀 雙擲繼電器(A)與第二單刀雙擲繼電器(B)的連接端(5);第二單刀雙擲繼電器(B)分別 連接于第一單刀雙擲繼電器(A)與第二單刀雙擲繼電器(B)的連接端(5)，以及電壓表的 正連接端(V+);第三單刀雙擲繼電器(C)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀 雙擲繼電器(D)的連接端(6)，以及電壓表的負(fù)連接端(V-);第四單刀雙擲繼電器(D)分 別連接于待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)，以及第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀雙擲 繼電器(D)的連接端(6);第五單刀雙擲繼電器(a)分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接 端(l)，以及第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端(7);第六單刀 雙擲繼電器(b)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端 (7)，以及電流源的正連接端(1+);第七單刀雙擲繼電器(c)分別連接于第三單刀雙擲繼電 器(c)與第四單刀雙擲繼電器(d)的連接端(8)，以及電流源的負(fù)連接端(I-);第八單刀雙 擲繼電器(d)分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)，以及第三單刀雙擲繼電器(c)與 第四單刀雙擲繼電器(d)的連接端(8)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，其特征在于，該裝置具 有六種工作狀態(tài)，在第六種工作狀態(tài)，為使待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)連接于電流源 的負(fù)連接端(I-)，待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)連接于電流源的正連接端(I+)，待測(cè)樣 品的第一電極連接端(1)連接于電壓表的正連接端(V+)，待測(cè)樣品的第三電極連接端(3) 連接于電壓表的負(fù)連接端(v-)，則第五單刀雙擲繼電器(a)分別連接于待測(cè)樣品的第二電極連接端(2)，以及第三單刀 雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端(7)，第六單刀雙擲繼電器(b)分別連 接于第三單刀雙擲繼電器(a)與第四單刀雙擲繼電器(b)的連接端(7)，以及電流源的正連 接端(I+)，第七單刀雙擲繼電器(c)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(c)與第四單刀雙擲 繼電器(d)的連接端(8)，以及電流源的負(fù)連接端(I-)，第八單刀雙擲繼電器(d)分別連接 于待測(cè)樣品的第四電極連接端(4)，以及第三單刀雙擲繼電器(c)與第四單刀雙擲繼電器 (d)的連接端(8)，第一單刀雙擲繼電器(A)分別連接于待測(cè)樣品的第一電極連接端(1)，以 及第一單刀雙擲繼電器(A)與第二單刀雙擲繼電器(B)的連接端(5)，第二單刀雙擲繼電 器(B)分別連接于第一單刀雙擲繼電器(A)與第二單刀雙擲繼電器(B)的連接端(5)，以及 電壓表的正連接端(V+)，第三單刀雙擲繼電器(C)分別連接于第三單刀雙擲繼電器(C)與 第四單刀雙擲繼電器(D)的連接端(6)，以及電壓表的負(fù)連接端(V-)，第四單刀雙擲繼電器 (D)分別連接于待測(cè)樣品的第三電極連接端(3)，以及第三單刀雙擲繼電器(C)與第四單刀 雙擲繼電器(D)的連接端(6)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行霍爾測(cè)試的裝置，該裝置包括第一單刀雙擲繼電器(A)、第二單刀雙擲繼電器(B)、第三單刀雙擲繼電器(C)、第四單刀雙擲繼電器(D)、第五單刀雙擲繼電器(a)、第六單刀雙擲繼電器(b)、第七單刀雙擲繼電器(c)和第八單刀雙擲繼電器(d)。利用本發(fā)明，提高了測(cè)試的效率，最大限度的減少測(cè)試中人為操作帶來(lái)的誤差。
文檔編號(hào)G01N27/72GK101793867SQ20091024453
公開(kāi)日2010年8月4日 申請(qǐng)日期2009年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月30日
發(fā)明者曾一平, 李弋洋, 李成基 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所