專利名稱：一種圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于芯片制程技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法及系 統(tǒng)。
背景技術(shù)：
電荷耦合元件(Charge Coupled Device, CCD)和金屬氧化物半導(dǎo)體元件 (Complementary Metal-Oxide Semiconductor, CMOS)等圖像傳感器的品質(zhì)直接影響著后 端應(yīng)用產(chǎn)品的品質(zhì)，在CMOS、CCD等圖像傳感器完成封裝后，都要進(jìn)行外觀檢測(cè)，以保證其 品質(zhì)的優(yōu)良，而這些圖像傳感器品質(zhì)檢測(cè)的效率和質(zhì)量也對(duì)其后端應(yīng)用產(chǎn)品的上市進(jìn)程有 著一定的影響。這一工序目前主要是通過(guò)人工借助顯微鏡來(lái)完成的，但這種人工檢測(cè)方式 受限于人眼的最小分辨能力，在檢測(cè)效率和檢測(cè)質(zhì)量方面存在以下幾個(gè)問(wèn)題1.增加元件暴露在外的時(shí)間，使芯片的品質(zhì)易受環(huán)境落塵的影響；2.人工檢測(cè)需借助顯微鏡，視覺(jué)易疲勞，進(jìn)而誤判、漏判，影響檢驗(yàn)的準(zhǔn)確度；3.人工檢驗(yàn)造成成本的增加，檢驗(yàn)速度也無(wú)法提升；4.檢驗(yàn)人員對(duì)缺陷的判斷易受主觀影響，標(biāo)準(zhǔn)一致性較差；5. 一般人工檢驗(yàn)為off line (離線)檢驗(yàn)，因此無(wú)法整合至現(xiàn)有的自動(dòng)化生產(chǎn)制 程，增加搬運(yùn)時(shí)間與儲(chǔ)放空間，并易增加人為因素造成的異常機(jī)率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例的目的在于提供一種圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法及系統(tǒng)，旨在解決 目前的人工檢測(cè)效率低下、檢測(cè)質(zhì)量不高的問(wèn)題。本發(fā)明實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法，包括以下步驟對(duì)圖像傳感器進(jìn)行光學(xué)放大成像；從光學(xué)放大成像得到的整幅圖像中提取圖像傳感器感光區(qū)域的圖像；將感光區(qū)域的圖像進(jìn)行圖像分割得到二值圖像；若所述二值圖像中相同特征像素的連通域面積大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定在圖像傳感 器的感光區(qū)域有缺陷；若上述二值圖像中相同特征像素的連通域面積不大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則 判定圖像傳感器的感光區(qū)域外觀正常；所述標(biāo)準(zhǔn)閾值對(duì)應(yīng)的像素具有與所述連通域中的像 素相同的顏色特征。本發(fā)明實(shí)施例提供的圖像傳感器的外觀檢測(cè)系統(tǒng)包括可自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)裝置、光學(xué)成像裝置、圖像采集單元、圖像處理單元；所述自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)裝置用于承載待檢測(cè)圖像傳感器，檢測(cè)時(shí)所述自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)移 動(dòng)位置以使待檢測(cè)圖像傳感器位于所述光學(xué)成像裝置的有效作用區(qū)域內(nèi)；所述光學(xué)成像裝置用于對(duì)待檢測(cè)圖像傳感器進(jìn)行光學(xué)放大成像；所述圖像采集單元用于從所述光學(xué)成像裝置輸出的圖像視頻信號(hào)中截取單幀圖 像；
所述圖像處理單元用于從所述圖像采集單元截取得到的圖像中提取待檢測(cè)圖像 傳感器感光區(qū)域的圖像；然后將感光區(qū)域的圖像進(jìn)行圖像分割得到二值圖像；若所述二值 圖像中相同特征像素的連通域面積大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定在圖像傳感器的感光區(qū)域有缺 陷；若上述二值圖像中相同特征像素的連通域面積不大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定圖像傳感器外 觀正常；所述標(biāo)準(zhǔn)閾值對(duì)應(yīng)的像素具有與所述連通域中的像素相同的顏色特征。本發(fā)明實(shí)施例中，利用光學(xué)成像、圖像采集等技術(shù)手段截取圖像傳感器的外觀圖 像，并對(duì)圖像傳感器感光區(qū)定位、分析，可以高效、準(zhǔn)確地對(duì)圖像傳感器進(jìn)行感光區(qū)缺陷的 自動(dòng)檢測(cè)，并且整個(gè)過(guò)程可以很方便地整合到現(xiàn)有的自動(dòng)化制程中，判斷時(shí)不需要人工參 與，保證了標(biāo)準(zhǔn)的一致性，使檢測(cè)質(zhì)量得到提高。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的圖像傳感器外觀檢測(cè)方法的實(shí)現(xiàn)流程圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)原理圖；圖3是為圖2所示圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)物圖。
具體實(shí)施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì) 本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并 不用于限定本發(fā)明。本發(fā)明實(shí)施例中，首先對(duì)圖像傳感器外觀光學(xué)成像，再根據(jù)圖像傳感器表面顏色 分布特征對(duì)所成圖像的感光區(qū)定位、分析，完成感光區(qū)缺陷的自動(dòng)檢測(cè)。圖1示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的圖像傳感器外觀檢測(cè)方法的實(shí)現(xiàn)流程，詳述如 下在步驟SlOl中，對(duì)圖像傳感器進(jìn)行光學(xué)放大成像。在步驟S102中，從光學(xué)成像得到的圖像傳感器的圖像中提取感光區(qū)域的圖像。圖像傳感器表面分為感光和非感光兩種顏色不同的區(qū)域，由于感光區(qū)域上的外觀 缺陷會(huì)對(duì)圖像傳感器的成像效果產(chǎn)生直接的影響，因此本發(fā)明實(shí)施例中僅就感光區(qū)域進(jìn)行 外觀檢測(cè)。具體實(shí)施時(shí)，可以直接以輪廓檢測(cè)的方法進(jìn)行邊界擬合，根據(jù)計(jì)算出的邊界包圍 的面積再確定感光區(qū)域，但是當(dāng)感光區(qū)域有劃痕存在時(shí)這種方法會(huì)失靈。作為本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，可采用逐行/列掃描讀取圖像傳感器的圖像中像 素的RGB值，并根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的圖像傳感器表面顏色分布特性，判斷讀取的像素點(diǎn)是否屬 于感光區(qū)域，進(jìn)而定位出圖像傳感器感光區(qū)域的圖像。預(yù)先存儲(chǔ)的芯片表面顏色分布特性 中包含了圖像傳感器表面感光區(qū)域和非感光區(qū)域的像素顏色信息，以步驟SlOl中得到的 圖像傳感器圖像作為輸入，結(jié)合此預(yù)先存儲(chǔ)的圖像傳感器表面顏色分布特性即可得到感光 區(qū)域的圖像。在步驟S103中，將感光區(qū)域的圖像進(jìn)行圖像分割得到二值圖像。若最初光學(xué)成像的圖像為彩色圖像，還需進(jìn)一步轉(zhuǎn)換為灰度圖像再進(jìn)行圖像分 割。
用戶需要首先設(shè)定待檢測(cè)缺陷的閾值，比如污點(diǎn)的灰度閾值。在得到感光區(qū)域的 圖像后，根據(jù)之前設(shè)定的灰度閾值進(jìn)行圖像分割，分割原理為逐個(gè)判斷感光區(qū)域的每個(gè)像 素值，以設(shè)定的灰度閾值為界限，灰度值大于閾值的像素點(diǎn)置為白(黑)，剩余的像素點(diǎn)置 為黑(白)，從而得到二值圖像。在步驟S104中，若上述二值圖像中相同特征像素的連通域面積大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則 判定在圖像傳感器的感光區(qū)域有缺陷；若上述二值圖像中相同特征像素的連通域面積不大 于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定圖像傳感器的感光區(qū)域外觀檢測(cè)正常；所述標(biāo)準(zhǔn)閾值對(duì)應(yīng)的像素具有 與所述連通域中的像素相同的顏色特征。二值圖像中相同特征像素的連通域的確定方法為掃描二值圖像，記錄掃描到的 第一個(gè)黑色或白色像素點(diǎn)；判斷該像素點(diǎn)的8個(gè)鄰域的像素點(diǎn)是否為相同的顏色，如果存 在則記錄下這些像素點(diǎn)；繼續(xù)判斷記錄過(guò)像素點(diǎn)的8鄰域的像素點(diǎn)中是否存在尚未記錄的 相同顏色的像素點(diǎn)，存在則記錄下來(lái)，并重復(fù)此步驟直至不存在相同顏色的像素點(diǎn)。若在黑色或白色特征的像素連通域中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)缺陷存在，還可以對(duì)二值圖像取反 并重新判斷，而對(duì)于一款確定的圖像傳感器，設(shè)定待檢測(cè)缺陷的灰度閾值時(shí)就決定了其缺 陷具體是在黑色像素連通域還是白色像素連通域，所以一般只在黑色和白色像素連通域中 判斷一次即可。圖2示出了本發(fā)明實(shí)施例提供的圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)原理，為了便于 描述，僅示出了與本發(fā)明相關(guān)的部分。參照?qǐng)D2，本發(fā)明實(shí)施例提供的圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)包括用于承載待檢測(cè)圖 像傳感器的自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)裝置1、光學(xué)成像裝置2、圖像采集單元3、圖像處理單元4，還可以 包括顯示屏5，用于輸出檢測(cè)結(jié)果。其中，自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)1上還可以放置一夾具，該夾具可容納多個(gè)待檢測(cè)圖像傳感 器，檢測(cè)時(shí)自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)1移動(dòng)位置以使夾具中的某一待檢測(cè)圖像傳感器位于光學(xué)成像裝 置2的有效作用區(qū)域內(nèi)，由光學(xué)成像裝置2對(duì)該待測(cè)圖像傳感器進(jìn)行光學(xué)放大成像。圖像 采集單元3從光學(xué)成像裝置2輸出的圖像視頻信號(hào)中截取單幀圖像。圖像采集單元3將截取到的圖像傳感器的圖像傳輸至圖像處理單元4，圖像處理 單元4中預(yù)先存儲(chǔ)有芯片表面顏色分布特性，該特性中包含了圖像傳感器表面感光區(qū)域和 非感光區(qū)域的像素顏色信息，圖像處理單元4以得到的圖像傳感器圖像作為輸入，結(jié)合此 預(yù)先存儲(chǔ)的圖像傳感器表面顏色分布特性即可得到感光區(qū)域的圖像，然后將感光區(qū)域的圖 像進(jìn)行圖像分割得到二值圖像，若該二值圖像中相同特征像素的連通域面積大于標(biāo)準(zhǔn)閾 值，則圖像處理單元4認(rèn)為在圖像傳感器的感光區(qū)域有缺陷，并將污點(diǎn)的位置輸出至顯示 屏5予以顯示；若上述二值圖像中相同特征像素的連通域面積不大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則圖像處 理單元4認(rèn)為圖像傳感器外觀檢測(cè)正常。其中，圖像處理單元4從圖像傳感器圖像中定位出感光器區(qū)域、對(duì)感光區(qū)域圖像 進(jìn)行分割得到二值圖像、以及在二值圖像中確定相同特征像素連通域的具體原理如上文所 述，不再一一贅述。進(jìn)一步地，圖像采集單元3、自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)1之間還設(shè)有一反饋線路，當(dāng)圖像采集 單元3無(wú)法從單幀整幅圖像中截取出圖像傳感器的圖像時(shí)，例如當(dāng)檢測(cè)圖像傳感器沒(méi)有完 全位于光學(xué)成像裝置2的有效作用區(qū)域內(nèi)圖像采集單元3向自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)1反饋一位置調(diào)整控制信號(hào)，自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)1進(jìn)一步調(diào)整位置直至圖像采集單元3可正常提取出所需圖像。進(jìn)一步地，光學(xué)成像裝置2包括光學(xué)顯微鏡、攝像機(jī)、光源，光源固定在顯微鏡物 鏡下方，攝像機(jī)固定在光學(xué)顯微鏡目鏡上方，圖像采集單元3固定在攝像機(jī)上方，包含圖像 傳感器圖像的整幅圖像經(jīng)光學(xué)顯微鏡放大后被攝像機(jī)采集，由于攝像機(jī)通過(guò)光學(xué)顯微鏡所 得的圖像中不僅僅只包括待檢測(cè)圖像傳感器本身的圖像，還包括光學(xué)顯微鏡載物臺(tái)上圖像 傳感器之外的部分，需要由圖像處理單元4從光學(xué)成像得到的整幅圖像中提取圖像傳感器 的圖像，具體可用從整幅圖像中查找圖像傳感器的外輪廓的方法實(shí)現(xiàn)。為能夠準(zhǔn)確真實(shí)地 反映出圖像傳感器表面感光和非感光區(qū)域，光源優(yōu)先選用白色光源，如LED白光源，攝像機(jī) 優(yōu)先選用彩色攝像機(jī)。進(jìn)一步地，自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)1包括XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、電機(jī)、以及電機(jī)控制系統(tǒng)。XY運(yùn)動(dòng)平 臺(tái)固定在光學(xué)顯微鏡的載物臺(tái)上，容納了 m*n個(gè)待檢測(cè)圖像傳感器的特制夾具被定位后放 置在XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，電機(jī)控制系統(tǒng)控制電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)方向和步距，通過(guò)I2C總線與圖像 采集單元相連。圖3為圖2所示圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)物圖，示出了自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)1、特制 夾具10、光學(xué)顯微鏡21、LED白光源22、彩色攝像機(jī)23、圖像采集單元3，以及光學(xué)顯微鏡目 鏡211、光學(xué)顯微鏡物鏡212、光學(xué)顯微鏡的載物臺(tái)213，其中圖像處理單元4采用軟件單元 實(shí)現(xiàn)，內(nèi)置于一計(jì)算機(jī)中，圖像采集單元3與該計(jì)算機(jī)通過(guò)USB總線傳輸圖像數(shù)據(jù)信息，圖 像采集單元3與自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)1之間的反饋線路則可以通過(guò)I2C總線實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明實(shí)施例中，利用光學(xué)成像、圖像采集等技術(shù)手段截取待檢測(cè)圖像傳感器的 外觀圖像，并對(duì)待檢測(cè)圖像傳感器感光區(qū)定位、分析，同時(shí)通過(guò)自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)裝置與圖像處 理單元的配合，可以高效、準(zhǔn)確地對(duì)多個(gè)圖像傳感器完成感光區(qū)缺陷的自動(dòng)檢測(cè)，并且整個(gè) 過(guò)程可以很方便地整合到現(xiàn)有的自動(dòng)化制程中，判斷時(shí)不需要人工參與，保證了標(biāo)準(zhǔn)的一 致性，使檢測(cè)質(zhì)量得到提高。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精 神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法，其特征在于，包括以下步驟對(duì)圖像傳感器進(jìn)行光學(xué)放大成像；從光學(xué)放大成像得到的圖像傳感器圖像中提取感光區(qū)域的圖像；將感光區(qū)域的圖像進(jìn)行圖像分割得到二值圖像；若所述二值圖像中相同特征像素的連通域面積大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定在圖像傳感器的 感光區(qū)域有缺陷；若上述二值圖像中相同特征像素的連通域面積不大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定 圖像傳感器的感光區(qū)域外觀正常；所述標(biāo)準(zhǔn)閾值對(duì)應(yīng)的像素具有與所述連通域中的像素相 同的顏色特征。
2.如權(quán)利要求1所述的圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法，其特征在于，所述從光學(xué)放大成 像得到的整幅圖像中提取圖像傳感器感光區(qū)域的圖像的步驟具體為逐行/列掃描讀取圖像傳感器的圖像中像素的RGB值；根據(jù)預(yù)先存儲(chǔ)的圖像傳感器表面顏色分布特性，判斷讀取的像素點(diǎn)是否屬于感光區(qū) 域；所述圖像傳感器表面顏色分布特性包含有圖像傳感器表面感光區(qū)域和非感光區(qū)域的像 素顏色信息。
3.如權(quán)利要求1所述的圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法，其特征在于，所述二值圖像中相 同特征像素的連通域的確定方法為掃描二值圖像，記錄掃描到的第一個(gè)黑色或白色像素點(diǎn)；判斷該像素點(diǎn)的8個(gè)鄰域的像素點(diǎn)是否為相同的顏色，如果存在則記錄下這些像素點(diǎn)；繼續(xù)判斷記錄過(guò)像素點(diǎn)的8鄰域的像素點(diǎn)中是否存在尚未記錄的相同顏色的像素點(diǎn)， 存在則記錄下來(lái)，并重復(fù)此步驟直至不存在相同顏色的像素點(diǎn)。
4.如權(quán)利要求1所述的圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法，其特征在于，若光學(xué)放大成像得 到的整幅圖像為彩色圖像，則在步驟將感光區(qū)域的圖像進(jìn)行圖像分割得到二值圖像之前， 所述方法還包括以下步驟將感光區(qū)域的圖像轉(zhuǎn)換為灰度圖像。
5.一種圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括可自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)裝置、光學(xué)成像裝置、圖像采集單元、圖像處理單元；所述自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)裝置用于承載待檢測(cè)圖像傳感器，檢測(cè)時(shí)所述自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)位 置以使待檢測(cè)圖像傳感器位于所述光學(xué)成像裝置的有效作用區(qū)域內(nèi)；所述光學(xué)成像裝置用于對(duì)待檢測(cè)圖像傳感器進(jìn)行光學(xué)放大成像；所述圖像采集單元用于從所述光學(xué)成像裝置輸出的圖像視頻信號(hào)中截取單幀圖像；所述圖像處理單元用于從所述圖像采集單元截取得到的圖像中提取待檢測(cè)圖像傳感 器感光區(qū)域的圖像；然后將感光區(qū)域的圖像進(jìn)行圖像分割得到二值圖像；若所述二值圖像 中相同特征像素的連通域面積大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定在圖像傳感器的感光區(qū)域有缺陷；若 上述二值圖像中相同特征像素的連通域面積不大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定圖像傳感器外觀正 常；所述標(biāo)準(zhǔn)閾值對(duì)應(yīng)的像素具有與所述連通域中的像素相同的顏色特征。
6.如權(quán)利要求5所述的圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像處理單元逐 行/列掃描讀取圖像傳感器的圖像中像素的RGB值，判斷讀取的像素點(diǎn)是否屬于感光區(qū)域， 從所述圖像傳感器的圖像中定位出圖像傳感器感光區(qū)域的圖像；所述圖像傳感器表面顏色分布特性包含有圖像傳感器表面感光區(qū)域和非感光區(qū)域的像素顏色信息。
7.如權(quán)利要求5所述的圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像處理單元首 先掃描二值圖像，記錄掃描到的第一個(gè)黑色或白色像素點(diǎn)；然后判斷該像素點(diǎn)的8個(gè)鄰域 的像素點(diǎn)是否為相同的顏色，如果存在則記錄下這些像素點(diǎn)；繼續(xù)判斷記錄過(guò)像素點(diǎn)的8 鄰域的像素點(diǎn)中是否存在尚未記錄的相同顏色的像素點(diǎn)，存在則記錄下來(lái)，并重復(fù)此步驟 直至不存在相同顏色的像素點(diǎn)。
8.如權(quán)利要求5所述的圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像處理單元、圖 像采集單元、自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)之間還設(shè)有一反饋線路，當(dāng)所述圖像處理單元無(wú)法從所圖像采 集單元截取的單幀整幅圖像中提取出待檢測(cè)圖像傳感器的圖像時(shí)，所述圖像處理單元通過(guò) 所圖像采集單元向所自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)反饋一位置調(diào)整控制信號(hào)，所述自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)一步調(diào) 整位置直至所述圖像處理單元可正常提取出所需圖像。
9.如權(quán)利要求5所述的圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光學(xué)成像裝置包 括光學(xué)顯微鏡、攝像機(jī)、光源；所述光源固定在顯微鏡物鏡下方，所述攝像機(jī)固定在所述光 學(xué)顯微鏡目鏡上方，所述圖像采集單元固定在所述攝像機(jī)上方；所述圖像處理單元采用查 找圖像傳感器的外輪廓的方式從光學(xué)顯微鏡成像得到的整幅圖像中提取圖像傳感器的圖 像；所述自動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)包括XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、電機(jī)、以及電機(jī)控制系統(tǒng)；所述XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)固定 在所述光學(xué)顯微鏡的載物臺(tái)上，所述XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上放置一個(gè)可容納多個(gè)待檢測(cè)圖像傳感 器的夾具，所述電機(jī)控制系統(tǒng)控制電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)方向和步距。
10.如權(quán)利要求5所述的圖像傳感器外觀檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述光源為L(zhǎng)ED白光 源，所述攝像機(jī)為一彩色攝像機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明適用于芯片制程技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種圖像傳感器的外觀檢測(cè)方法及系統(tǒng)，所述方法包括以下步驟對(duì)圖像傳感器進(jìn)行光學(xué)放大成像；從光學(xué)放大成像得到的圖像中提取圖像傳感器的感光區(qū)域的圖像，并進(jìn)一步得到二值圖像；若二值圖像中相同特征像素的連通域面積大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定圖像傳感器的感光區(qū)域有缺陷；若不大于標(biāo)準(zhǔn)閾值，則判定圖像傳感器感光區(qū)域的外觀正常；所述標(biāo)準(zhǔn)閾值對(duì)應(yīng)的像素具有與所述連通域中的像素相同的顏色特征。本發(fā)明可以高效、準(zhǔn)確地對(duì)圖像傳感器進(jìn)行感光區(qū)缺陷的自動(dòng)檢測(cè)，整個(gè)過(guò)程可以很方便地整合到現(xiàn)有的自動(dòng)化制程中，判斷時(shí)不需要人工參與，保證了檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)的一致性，使檢測(cè)質(zhì)量得到提高。
文檔編號(hào)G01M11/00GK101995325SQ20091018973
公開(kāi)日2011年3月30日 申請(qǐng)日期2009年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月25日
發(fā)明者李慧, 王艷 申請(qǐng)人:比亞迪股份有限公司