專利名稱：電阻式光點(diǎn)位置傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及傳感器，特別是用于測量激光位置的傳感器。
背景技術(shù)：
位移測量儀器，一般采用電容式傳感器、渦流傳感器、差動(dòng)變壓器、霍爾傳感器，以及激光位移傳感器。除激光位移傳感器外，其它傳感器都需要在被測物體上加裝一些部件，這樣就增加了其質(zhì)量，對(duì)其機(jī)械運(yùn)動(dòng)造成影響，因而不適用于微小質(zhì)量的物體的微小位移或形變測量。而激光位移傳感器不需要在被測物體上加裝部件，也不會(huì)在被測物體上加力，因而比較適合應(yīng)用。 但現(xiàn)有的激光位移傳感器采用CCD作為光點(diǎn)位置傳感器，激光光點(diǎn)在CCD上成像，通過掃描感知光點(diǎn)的位置。采用CCD芯片加掃描電路成本高，由于電路精密，易受到電磁干擾。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、低成本的高精度光點(diǎn)位置傳感器，以方便使用。 本發(fā)明的方案是電阻式光點(diǎn)位置傳感器，其特征是在條狀陶瓷基片上均勻涂覆并燒結(jié)有硫化鎘光敏材料層，光敏材料層的上面通過真空磁控飛濺工藝制有兩條線性電阻電阻片，電阻片縱向左右分布，中間留有一均勻的透光縫隙，硫化鎘光敏材料采用低電阻
率，電阻片采用高電阻率，電阻率之比大于ioo倍以上，每條電阻片的端頭設(shè)有引腳，兩個(gè)
引腳位于同一端，傳感器的表面涂有透明環(huán)氧樹脂保護(hù)層。 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是激光光點(diǎn)照射到兩條電阻片之間的縫隙時(shí)，照射處的硫化鎘光敏材料導(dǎo)通，將兩條電阻片在該處連通，根據(jù)光點(diǎn)的位置上下不同，導(dǎo)通處的位置發(fā)生相應(yīng)變化，從而輸出不同的電阻值，反應(yīng)出光點(diǎn)的位置信息。本發(fā)明線性好、精確度高，具有簡單可靠的優(yōu)點(diǎn)。


下面根據(jù)附圖結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
附圖是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖中標(biāo)記說明1引腳壓接頭，2電阻片，3光敏材料層，4陶瓷基片，5引腳。
具體實(shí)施例方式參見附圖，實(shí)施例的結(jié)構(gòu)是在條狀陶瓷基片4有硫化鎘光敏材料層3，光敏材料層3的上面有兩條電阻片2，電阻片2縱向左右分布，中間留有一均勻的透光縫隙，每條電阻片的端頭設(shè)有引腳5，兩個(gè)引腳5位于同一端，傳感器的表面涂有透明環(huán)氧樹脂保護(hù)層。
光敏材料層均勻涂覆在陶瓷基片上并燒結(jié)而成，厚度以及制造工藝與現(xiàn)有的光敏
3電阻相同。 電阻片通過真空磁控飛濺工藝制成，工藝和現(xiàn)有的電位器中的電阻片相同。電阻片為線性電阻。 硫化鎘光敏材料采用低電阻率，電阻片采用高電阻率，電阻率之比大于100倍以上，以消除因光照強(qiáng)度不同時(shí)硫化鎘光敏材料本身的電阻影響。比如實(shí)施例的傳感器在導(dǎo)通點(diǎn)的電阻為IOQ，而電阻片的電阻為10KQ/mm。這樣，假如光照點(diǎn)到引腳處構(gòu)成的有效電阻為100KQ，則總電阻為100.010KQ，當(dāng)光照強(qiáng)度受到其它因素影響變?nèi)?，?dǎo)通點(diǎn)的電阻為12 Q時(shí)總電阻為100.012KQ，基本沒有影響。 由于硫化鎘光敏材料、電阻片的材料為均勻的微小粉末，因而具有較高的分辨率，經(jīng)實(shí)驗(yàn)，實(shí)施例的傳感器可以鑒別直徑2mm激光點(diǎn)位移0. Olmm。
權(quán)利要求
電阻式光點(diǎn)位置傳感器，其特征是在條狀陶瓷基片(4)上均勻涂覆并燒結(jié)有硫化鎘光敏材料層(3)，光敏材料層(3)的上面通過真空磁控飛濺工藝制有兩條線性電阻電阻片(2)，電阻片(2)縱向左右分布，中間留有一均勻的透光縫隙，硫化鎘光敏材料采用低電阻率，電阻片采用高電阻率，電阻率之比大于100倍以上，每條電阻片的端頭設(shè)有引腳(5)，兩個(gè)引腳位于同一端，傳感器的表面涂有透明環(huán)氧樹脂保護(hù)層。
全文摘要
本發(fā)明是電阻式光點(diǎn)位置傳感器，是在條狀陶瓷基片上均勻涂覆并燒結(jié)有硫化鎘光敏材料層，光敏材料層的上面通過真空磁控飛濺工藝制有兩條線性電阻電阻片，電阻片縱向左右分布，中間留有一均勻的透光縫隙，硫化鎘光敏材料采用低電阻率，電阻片采用高電阻率，電阻率之比大于100倍以上，每條電阻片的端頭設(shè)有引腳，兩個(gè)引腳位于同一端，傳感器的表面涂有透明環(huán)氧樹脂保護(hù)層。激光光點(diǎn)照射到兩條電阻片之間的縫隙時(shí)，照射處的硫化鎘光敏材料導(dǎo)通，將兩條電阻片在該處連通，根據(jù)光點(diǎn)的位置上下不同，輸出相應(yīng)的電阻值，從而反應(yīng)出光點(diǎn)的位置信息。
文檔編號(hào)G01B11/02GK101706258SQ20091015467
公開日2010年5月12日 申請(qǐng)日期2009年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月23日
發(fā)明者盧能曉 申請(qǐng)人:盧能曉