專利名稱：探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)機構，特別涉及應用在探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構。
背景技術：
在LED、半導體等測試領域的測試機中，承載臺用于承載LED、半導體等晶圓待測 物，通過在承載臺進行一角度的旋轉(zhuǎn)，將通過測試機的探針點觸晶圓待測物的接觸墊，進而 測試晶圓待測物的電性。一般常用的測試機是在承載臺側(cè)邊使用皮帶(belt)，通過馬達帶動皮帶的方式， 使得承載臺產(chǎn)生一角度的旋轉(zhuǎn)。然而，由于承載臺必須要維持該角度，因此使用皮帶會有間 隙密度的問題，而影響承載臺的旋轉(zhuǎn)精度，最后則是導致晶圓待測物的電性測試不佳。請參閱圖1，其為中國臺灣專利1302862所提出的一種常用定位系統(tǒng)的俯視示意 圖。在圖1中，定位系統(tǒng)1主要是由第一平臺10、配置于第一平臺10上的第二平臺11、配 置于第一平臺10上的螺桿12、以及連接第二平臺11與螺桿12的連桿13所構成。在定位系統(tǒng)1中，第二平臺11可沿著一預定路徑14而往復移動，其中預定路徑14 的延伸方向與螺桿12成一夾角。當螺桿12轉(zhuǎn)動而使得連桿13移動時，便能夠帶動第二平 臺11沿著預定路徑14移動，藉以提高定位的精度。然而，定位系統(tǒng)1的缺點在于，當螺桿12轉(zhuǎn)動而使得連桿13移動時，螺桿12會產(chǎn) 生非水平于螺桿12方向的施力，因此，在使用上容易造成螺桿12的變形，進而影響定位系 統(tǒng)1移動時的精度。另一方面，請參閱圖2，其為中國臺灣專利1233847所提出的一種常用旋轉(zhuǎn)機構的 俯視示意圖。在圖2中，旋轉(zhuǎn)機構2主要是由馬達20、受控于馬達的螺桿21、連接于螺桿21 的連桿22、以可旋轉(zhuǎn)一小角度的方式而連接于連桿22的曲柄23、以及作為旋轉(zhuǎn)中心的工作 臺24所構成。在旋轉(zhuǎn)機構2中，當驅(qū)動馬達20時，螺桿21轉(zhuǎn)動便可使得連桿22移動，藉此微調(diào) 曲柄23而使得工作臺24旋轉(zhuǎn)，藉以提高定位的精度。然而，旋轉(zhuǎn)機構2的缺點與圖1的定位系統(tǒng)1相同，當驅(qū)動馬達20時，螺桿21轉(zhuǎn) 動使得連桿22移動的過程中，螺桿21除了產(chǎn)生水平于螺桿21方向的施力，也會產(chǎn)生非水 平于螺桿21方向的施力，容易產(chǎn)生變形而影響到精度。

發(fā)明內(nèi)容
因此，有必要構思一種應用在探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構，當工作臺旋轉(zhuǎn)時，螺桿不 會受到側(cè)向力量而影響精度。根據(jù)上述構想，本發(fā)明一方面提出一種探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構，包括一馬達、 受控于該馬達而轉(zhuǎn)動的一螺桿、一端固接于該螺桿而于一滑軌上滑動的一滑塊、一端樞接 于該滑塊的一連桿、以及一曲柄，該曲柄利用一端而固接于該連桿的另一端，而該曲柄的另 一端是固接于該承載臺，其中當該馬達起動時，該螺桿轉(zhuǎn)動以推動該滑塊于該滑軌上滑動，使得該連桿相對于該滑塊樞轉(zhuǎn)，而使得該曲柄及該承載臺同時旋轉(zhuǎn)一角度。根據(jù)上述構想，本發(fā)明另一方面提出一種探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構，包括一馬達、受控于該馬達而轉(zhuǎn)動的一螺桿、一端固接于該螺桿而于一滑軌上滑動的一滑塊、利用一 連接件與固接于該螺桿的該滑塊相連而于該滑軌上滑動的另一滑塊、一端樞接于未固接于 該螺桿的該滑塊的一連桿、以及一曲柄，該曲柄利用一端而固接于該連桿的另一端，而該曲 柄的另一端是固接于該承載臺，其中當該馬達起動時，該螺桿轉(zhuǎn)動以推動該等滑塊于該滑 軌上滑動，使得該連桿相對于未固接于該螺桿的該滑塊樞轉(zhuǎn)，而使得該曲柄及該承載臺同 時旋轉(zhuǎn)一角度。根據(jù)上述構想，本發(fā)明再一方面提出一種探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構，包括一馬 達、受控于該馬達而轉(zhuǎn)動的一螺桿、一端固接于該螺桿而于一滑軌上滑動的一滑塊、利用一 連接件與固接于該螺桿的該滑塊相連而于該滑軌上滑動的另一滑塊、一端樞接于固接于該 螺桿的該滑塊的一連桿、以及一曲柄，該曲柄利用一端而樞接于該連桿的另一端，而該曲柄 的另一端是固接于該承載臺，其中當該馬達動作時，該螺桿轉(zhuǎn)動以推動該等滑塊于該滑軌 上滑動，使得該連桿相對于固接于該螺桿的該滑塊樞轉(zhuǎn)，而使得該曲柄及該承載臺同時旋 轉(zhuǎn)一角度。較佳者，該連桿是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于該滑塊。較佳者，該曲柄是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于該連桿。較佳者，該角度是相對于該些滑塊于該滑軌上滑動的距離而處于十度以內(nèi)。較佳者，該旋轉(zhuǎn)機構是固設于一基臺上，且該曲柄及該承載臺是相對于該基臺而 同時旋轉(zhuǎn)該角度。本發(fā)明通過下列圖式及詳細說明，使得更深入的了解。


圖1是中國臺灣專利1302862所提出的一種常用定位系統(tǒng)的俯視示意圖。圖2是中國臺灣專利1233847所提出的一種常用旋轉(zhuǎn)機構的俯視示意圖。圖3是本發(fā)明所提出探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構一第一較佳實施例的俯視示意圖。圖4是本發(fā)明所提出探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構一第二較佳實施例的俯視示意圖。圖5 本發(fā)明所提出探測用承載臺之旋轉(zhuǎn)機構一第三較佳實施例的俯視示意圖。主要元件符號說明1定位系統(tǒng)10第一平臺11第二平臺12 螺桿13 連桿14預定路徑2旋轉(zhuǎn)機構20 馬達21 螺桿22 連桿
23 曲柄24工作臺3旋轉(zhuǎn)機構30 馬達31 螺桿
32、32，滑塊33 滑軌34 連桿35 曲柄36承載臺361旋轉(zhuǎn)中心37連接件ST 基臺
具體實施例方式請參閱圖3，其為本發(fā)明所提出探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構一第一較佳實施例的俯 視示意圖。在圖3中，旋轉(zhuǎn)機構3是由馬達30、受控于馬達30而轉(zhuǎn)動的螺桿31、一端固接 于螺桿31而于滑軌33上滑動的滑塊32、一端樞接于滑塊32的連桿34、以及曲柄35所構 成，且旋轉(zhuǎn)機構3是固設于基臺ST上。其中，曲柄35是利用一端而樞接于連桿34的另一 端、且利用另一端而固接于承載臺36。其中，當馬達30動作時，螺桿31轉(zhuǎn)動以推動滑塊32于滑軌33上滑動，使得連桿 34相對于滑塊32樞轉(zhuǎn)，而使得曲柄35及承載臺36相對于基臺ST而同時旋轉(zhuǎn)處于十度以 內(nèi)的一角度，以供被承載于承載臺36上的待測物接受測試，此處所謂的曲柄35及承載臺36 相對于基臺ST而同時旋轉(zhuǎn)，是指承載臺36依據(jù)承載臺36的旋轉(zhuǎn)中心361進行旋轉(zhuǎn)，而旋 轉(zhuǎn)中心361的一端是固接在基臺ST上，旋轉(zhuǎn)中心361的另一端是樞接承載臺36。由于曲柄 35的另一端是固接于承載臺36，所以當滑塊32移動使得連桿34樞轉(zhuǎn)時，將使曲柄35與承 載臺36依據(jù)旋轉(zhuǎn)中心361進行旋轉(zhuǎn)。要注意的是，上述所謂該角度的范圍是指曲柄35及承 載臺36相對于滑塊32于滑軌33上滑動的距離而言；亦即，以滑塊32于滑軌33上滑動的 距離范圍為基準，曲柄35及承載臺36相對于基臺ST而同時旋轉(zhuǎn)的角度范圍在十度以內(nèi)。值得一提的是，螺桿31是經(jīng)由未圖示出的一連軸器(Coupling)而受控于于馬達 30。該連軸器的一端固接馬達30的轉(zhuǎn)軸、另一端則固接于螺桿31。在馬達30動作時，由馬 達的轉(zhuǎn)軸帶動該連軸器，再由該連軸器帶動螺桿31轉(zhuǎn)動。此外，連桿34是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于滑塊32，曲柄35是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接 于連桿34 ；也就是說，在螺桿31推動滑塊32而使得曲柄35及承載臺36同時旋轉(zhuǎn)時，連桿 34與滑塊32之間的關節(jié)會轉(zhuǎn)動，曲柄35與連桿34之間的關節(jié)也會隨之轉(zhuǎn)動。與前述中國臺灣專利1302862及1233847相比，本發(fā)明使用了滑軌，螺桿只受到軸 向力而不會受到側(cè)向力的影響，因此不會產(chǎn)生變形而影響精度。請參閱圖4，其為本發(fā)明所提出探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構一第二較佳實施例的俯 視示意圖。與圖3的相異處在于，在滑軌33上多設置了一個滑塊32’，并利用連接件37將滑塊32與32’連接成一個滑塊組。此舉可使得滑塊組32、32’在滑軌33上的滑動更為筆 直，可大幅提升連桿34帶動曲柄35及承載臺36同時旋轉(zhuǎn)時的精度。請參閱圖5，其為本發(fā)明所提出探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構一第三較佳實施例的俯 視示意圖。與圖4的相異處在于，在圖4中原來利用一端樞接于滑塊32的連桿34，也可以 改成利用該端連接于滑塊32’，此時，滑塊32則扮演用來穩(wěn)定滑塊組的滑動的角色，其可以 減少螺桿31所受連桿34回傳的螺桿31側(cè)向反作用力所造成的螺桿31側(cè)向變形的機會。綜上所述，本發(fā)明所提出的探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構的優(yōu)點在于，由于使用了曲 柄、滑軌與連桿的協(xié)同作動，其本身的旋轉(zhuǎn)精度遠大于皮帶的旋轉(zhuǎn)精度及可靠度，所以不會 因旋轉(zhuǎn)精度的問題影響承載臺的角度。本發(fā)明可由熟悉本技術的人士進行設計而做出各種相應的改變和變形，但都不超 過權利要求書所要保護的內(nèi)容。
權利要求
一種探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構，包括一馬達；一螺桿，受控于該馬達而轉(zhuǎn)動；一滑塊，一端固接于該螺桿，而于一滑軌上滑動；一連桿，一端樞接于該滑塊；及一曲柄，利用一端而樞接于該連桿的另一端，該曲柄的另一端固接該承載臺；其中，當該馬達動作時，該螺桿轉(zhuǎn)動以推動該滑塊于該滑軌上滑動，使得該連桿相對于該滑塊樞轉(zhuǎn)，而使得該曲柄及該承載臺同時旋轉(zhuǎn)一角度。
2.如權利要求1所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該連桿是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于該滑塊。
3.如權利要求1所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該曲柄是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于該連桿。
4.如權利要求1所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該角度是相對于該滑塊于該滑軌上滑動的距離 而處于十度以內(nèi)。
5.如權利要求1所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該旋轉(zhuǎn)機構是固設于一基臺上，且該曲柄及該 承載臺是相對于該基臺而同時旋轉(zhuǎn)該角度。
6.一種探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構，包括 一馬達；一螺桿，受控于該馬達而轉(zhuǎn)動；二滑塊，其中一滑塊固接于該螺桿，未固接于該螺桿的另一滑塊利用一連接件與固接 于該螺桿的該滑塊相連，二滑塊能于一滑軌上滑動； 一連桿，一端樞接于未固接于該螺桿的該滑塊；及一曲柄，利用一端而樞接于該連桿的另一端，該曲柄的另一端固接該承載臺； 其中，當該馬達動作時，該螺桿轉(zhuǎn)動以推動該些滑塊于該滑軌上滑動，使得該連桿相對 于未固接于該螺桿的該滑塊樞轉(zhuǎn)，而使得該曲柄及該承載臺同時旋轉(zhuǎn)一角度。
7.如權利要求6所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該連桿是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于未固接于該螺 桿的該滑塊。
8.如權利要求6所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該曲柄是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于該連桿。
9.如權利要求6所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該角度是相對于該些滑塊于該滑軌上滑動的距 離而處于十度以內(nèi)。
10.如權利要求6所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該旋轉(zhuǎn)機構是固設于一基臺上，且該曲柄及該 承載臺是相對于該基臺而同時旋轉(zhuǎn)該角度。
11.一種探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構，包括 一馬達；一螺桿，受控于該馬達而轉(zhuǎn)動；二滑塊，其中一滑塊固接于該螺桿，未固接于該螺桿的另一滑塊利用一連接件與固接 于該螺桿的該滑塊相連，二滑塊能于一滑軌上滑動； 一連桿，一端樞接于固接于該螺桿的該滑塊；及一曲柄，利用一端而樞接于該連桿的另一端，該曲柄的另一端固接該承載臺； 其中，當該馬達動作時，該螺桿轉(zhuǎn)動以推動該些滑塊于該滑軌上滑動，使得該連桿相對 于固接于該螺桿的該滑塊樞轉(zhuǎn)，而使得該曲柄及該承載臺同時旋轉(zhuǎn)一角度。
12.如權利要求11所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該連桿是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于固接于該螺 桿的該滑塊。
13.如權利要求11所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該曲柄是以旋轉(zhuǎn)式關節(jié)而樞接于該連桿。
14.如權利要求11所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該角度是相對于該些滑塊于該滑軌上滑動的 距離而處于十度以內(nèi)。
15.如權利要求11所述的旋轉(zhuǎn)機構，其中該旋轉(zhuǎn)機構是固設于一基臺上，且該曲柄及 該承載臺是相對于該基臺而同時旋轉(zhuǎn)該角度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種探測用承載臺的旋轉(zhuǎn)機構，其是固設于一基臺上，該旋轉(zhuǎn)機構包括一馬達、受控于該馬達而轉(zhuǎn)動的一螺桿、一端固接于該螺桿而于一滑軌上滑動的一滑塊、一端樞接于該滑塊的一連桿、以及一曲柄，該曲柄系利用一端而樞接于該連桿的另一端，而該曲柄的另一端是固接于該承載臺，其中當該馬達動作時，該螺桿轉(zhuǎn)動以推動該滑塊于該滑軌上滑動，使得該連桿相對于該滑塊樞轉(zhuǎn)，而使得該曲柄及該承載臺相對于該基臺而同時旋轉(zhuǎn)一角度。
文檔編號G01R1/04GK101876668SQ20091013623
公開日2010年11月3日 申請日期2009年4月29日 優(yōu)先權日2009年4月29日
發(fā)明者楊天德 申請人:旺矽科技股份有限公司